【課題】応力を緩和することができる信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上に形成された第１圧電体３０と、第１電極２０および第１圧電体３０の側方に形成され、第１圧電体３０の密度より小さい密度を有する低密度領域４０と、第１圧電体３０および低密度領域４０を覆って形成された第２圧電体５０と、第２圧電体５０の上に形成された第２電極６０と、を含み、第１圧電体３０および第２圧電体５０の少なくとも一方は、低密度領域４０に近づくにつれてシリコンの濃度が大きくなる分布を有する。 （もっと読む）

【課題】流体吐出装置の防湿を提供する。
【解決手段】流体吐出装置は、流体流のための複数の流体通路及び複数の流体通路に流体連結された複数のノズルを有する基板と、基板の上部に配置され、複数の流体通路内の流体が複数のノズルから吐出されるようにする複数のアクチュエータと、複数のアクチュエータの少なくとも一部の上に形成された保護層であって、固有透湿度が２．５×１０^−３ｇ／ｍ・ｄａｙ未満である保護層と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの上部電極が酸化することを防止すると共に、駆動時に生じ得るセル間ショートを事前に防止することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】複数のインクチャンバ６０が形成される流路プレート１０と、インクチャンバ６０のインクを外部に吐出するためにインクチャンバに夫々連結される複数のノズル３５が形成されるノズルプレート３０と、インクチャンバ６０の上部に形成されインクチャンバ６０の圧力を調節する圧電アクチュエータ４０と、圧電アクチュエータ４０の酸化を防止するために備えられるパリレン保護膜５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電部の組成がより安定した圧電素子およびその製造方法ならびに前記圧電素子を用いたポンプを提供する。
【解決手段】本発明の圧電素子は、圧電材料を備える圧電部６と、圧電部６の主面上に形成された下部電極５と、下部電極５上に形成されたバリア層４と、バリア層４上に形成された酸化層３とを備え、バリア層４は、鉛系ペロブスカイト型化合物に含まれる元素のうち、チタンと酸素を除く元素の少なくとも１つがドープされた酸化チタンからなる。 （もっと読む）

【課題】振動板クラックを防止し、耐久性が向上した液滴噴射ヘッド及び液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】ノズル孔１２に連通する圧力室１１が設けられた圧力室基板１０と、第１面３１と、該第１面３１と対向する第２面とを有し、第１面３１で圧力室１１を覆う振動板３０と、第１導電層４０と、圧電体層５０と、第２導電層６０とを含み、第２導電層６０は、第２方向２２０から見て、少なくとも第１領域面３３と重なる領域内において、第１方向２１０においては第１導電層４０と重なり、かつ、第３方向２３０においては第１導電層４０の一部と重なるように、圧電体層５０の少なくとも一部を覆うように形成され、第２方向２２０から見て、複数の第１導電層４０と重なるように形成され、振動板３０は、第２方向２２０から見て、第１導電層４０、第２導電層６０及び圧電体層５０のうち少なくとも１つで覆われている。 （もっと読む）

【課題】キュリー温度が高く、圧電性に優れたニオブ酸バリウムビスマス系のタングステンブロンズ構造金属酸化物を含有する圧電材料の提供。
【解決手段】下記一般式（１）で表されるタングステンブロンズ構造金属酸化物を含有する圧電材料であって、前記タングステンブロンズ構造金属酸化物にＬｉが含有されており、前記Ｌｉの含有量が金属換算で前記タングステンブロンズ構造金属酸化物１００重量部に対して０．０１５重量部以上０．６００重量部以下である圧電材料。Ａ_ｘＢ_１０Ｏ_３０（式中、ＡはＢａおよびＢｉであるか、またはＮａ、Ｓｒ、Ｃａから選ばれる少なくとも１種以上の元素、ＢａおよびＢｉである。ＢはＮｂ、またはＮｂおよびＴａである。ｘは４．５＜ｘ＜５．５の数値を表す。） （もっと読む）

【課題】良好な変位量を得られる液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴噴射装置１０００は、ノズル孔２８ａに連通する圧力室２０ａを有する基板２０と、下部電極１０と、前記下部電極１０の上方に形成されペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層１２と、前記圧電体層１２の上方に形成された上部電極１４と、を有し、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせる圧電素子と、を備える。前記圧電体層１２は、前記下部電極１０側に位置する第１圧電体層１２ａと、前記第１圧電体層１２ａと前記上部電極１４との間に位置する第２圧電体層１２ｂと、を有し、前記第１圧電体層１２ａの分極軸は、当該第１圧電体層の膜面内方向に優先的に向いており、前記第２圧電体層１２ｂは、擬立方晶の表示で（１００）に優先的に配向している。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、上部に振動板が設けられたヘッドボディを用意する工程と、振動板の上面に下部電極をコーティングする工程と、振動板の上側に開放領域が形成されるようにレジストをパターニングする工程と、開放領域内に圧電体を充填する工程と、圧電体の上面に上部電極を選択的にコーティングする工程と、レジストを除去する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いアクチュエーターを製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るアクチュエーター１００の製造方法は、第１領域１２５の上方の少なくとも一部における被覆層１３０を除去して第１開口部１５０を形成し、かつ第２領域１２７の上方の少なくとも一部における被覆層１３０を除去して第２開口部１５２を形成する工程と、第１領域１２５の上方、第２領域１２７の上方、および被覆層１３０の上方に第１金属層１４２を成膜する工程と、第１金属層１４２の上方に第２金属層１４４を成膜する工程と、第１金属層１４２および第２金属層１４４をパターニングして、第２開口部１５２を介して第２導電層１４６と電気的に接続するリード配線１４０を形成する工程と、第１領域１２５の上方に成膜された第２金属層１４４を除去して第３導電層１２８を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】振動板との密着力に優れた圧電素子を有する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並
びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が設けられた流路形成基板１０と
、前記流路形成基板１０上に設けられた振動板と、前記振動板上に設けられた圧電素子３
００とを有する液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子３００は、前記振動板上に形成さ
れニッケル酸ランタン（ＬＮＯ）を含む第１ＬＮＯ層６１と、前記第１ＬＮＯ層６１上に
形成された配線層６２と、前記配線層６２上に形成されニッケル酸ランタンを含む第２Ｌ
ＮＯ層６３とからなる第１電極６０と、前記第１電極６０上に形成された圧電体層７０と
、前記圧電体層７０上に形成された第２電極８０とを有するものとする。 （もっと読む）

圧電ユニットは、流体チャンバと、流体出口と、薄膜圧電セラミック素子および流体チャンバの壁の機能を果たす膜を含むアクチュエータと、アクチュエータの支持部分がアクチュエータの駆動の主移動方向において移動しないようにすると同時に、支持部分の少なくとも２つの側で係る駆動の移動を可能にするように構成された支持要素とを含み、支持要素は、アクチュエータのおおよそ反対側に延在するユニット部分に接続される。 （もっと読む）

【課題】 複雑なプロセスを必要とせず、振動板の撓みと残留応力を制御でき、圧電膜による安定な変位特性を有する液体噴射装置およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 液体噴射装置を構成する流路構造基板１１は液体を通過させる流路構造を有し、流路構造の一部に圧力室１４が形成され、圧力室１４においてその上に配置された圧電素子１３により生ずる圧力によって液体を噴射するように構成され、圧力室１４はステンレス材により形成され、圧電素子１３は圧力室１４の壁の外側の一つの面に形成された圧電膜２２と上部電極２１、下部電極２３とからなり、圧電素子１３に接する圧力室１４の壁の内面に１つの流路方向の溝１５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電特性及び駆動耐久性の良好な鉛含有ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体膜を簡易な方法により成膜する。
【解決手段】本発明の鉛含有ペロブスカイト型酸化物からなる圧電体膜の成膜方法は、スパッタリング法による成膜において、成膜途中で、前記基板の電位を第1の基板電位Ｖｓｕｂ１から、前記圧電体膜の鉛組成を所望の組成とするように第２の基板電位Ｖｓｕｂ２に変更する。 （もっと読む）

【課題】所望のばらつきの少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射ヘッドの製造工程において高精度に検査できる製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、圧電素子の並設方向の両外側には、第１電極６０と、圧電体層と、第２電極とをこの順で備えてなり、全体が被覆膜１００に覆われた一対の検査用基準圧電素子５０２Ａと、第２電極の上面を露出させる開口部１０１が設けられた被覆膜に覆われた一対のシート抵抗測定用圧電素子５０１Ａとを備え、前記圧電素子の並設方向の一端側の前記検査用基準圧電素子の前記第２電極のシート抵抗Ｒｓ１と前記検査用圧電素子の前記第２電極のシート抵抗Ｒ１とのシート抵抗比Ｒｓ１／Ｒ１と、前記圧電素子の並設方向の他端側の検査用基準圧電素子の前記第２電極のシート抵抗Ｒｓ２と前記検査用圧電素子の第２電極のシート抵抗Ｒ２とのシート抵抗比Ｒｓ２／Ｒ２との差が、０．１４以内である。 （もっと読む）

【課題】所望のばらつきの少ない液体噴射特性を有することが確認された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、及び製造工程において所望のばらつきの少ない液体吐出特性を有するか否かを簡易にかつ高精度に検査することができる製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数のノズル開口２１にそれぞれ連通する圧力発生室１２と、各圧力発生室に圧力変化を生じさせる複数の圧電素子３００と、複数の圧電素子からなる圧電素子群の圧電素子の並設方向の両外側に設けられた一対の検査用圧電素子とを具備し、検査用圧電素子の圧電体層が、その飽和分極の変動幅が５％以内であり、残留分極の変動幅が１５％以内であり、かつ、抗電界強度の変動幅が１５％以内である。液体噴射装置は、これを備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、検査用圧電素子３００Ａを用いて圧電特性を測定する測定工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 所望のばらつきの少ない液体噴射特性を有することが確認された液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及びその製造工程において所望のばらつきの少ない液体吐出特性を有するか否かを簡易にかつ高精度に検査することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、圧電素子の並設方向の両外側には、少なくとも第１電極からなる検査用パターンと、第１電極、圧電体層及び第２電極とをこの順で備えてなる検査用圧電素子とが設けられ、検査用パターンの前記第１電極のシート抵抗Ｒｓ１と検査用圧電素子の前記第１電極のシート抵抗Ｒ１とのシート抵抗比Ｒｓ１／Ｒ１と、検査用パターンの第１電極のシート抵抗Ｒｓ２と検査用圧電素子の第１電極のシート抵抗Ｒ２とのシート抵抗比Ｒｓ２／Ｒ２との差が、０．２０以内である。 （もっと読む）

【課題】成膜後の後処理により、シランカップリング剤からなる有機膜の耐久性と平滑性を向上させることができる有機膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基材１００の表面上にシランカップリング剤により有機膜１１０を形成する有機膜形成工程と、有機膜１１０が形成された基材１００を、少なくとも水蒸気を含む雰囲気下で保持する水蒸気導入工程と、水蒸気導入工程の雰囲気下より、水蒸気の存在量が少ない雰囲気下で保持する脱水処理工程と、を含む後処理工程と、を有することを特徴とする有機膜の形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 鉛を含有せず、かつ変位特性の高い圧電素子を有する液体噴射ヘッド及びこれ
を用いた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドＩは、液滴を噴射するノズルに連通する圧力発生室１２を
備えた流路形成基板１０と、該流路形成基板上に設けられる圧電素子３００とを具備し、
前記圧電素子が、圧電体層７０とこの圧電体層の両面に設けられる一対の電極とで構成さ
れていると共に、前記圧電体層がＢａＴｉＯ_３、ＣａＴｉＯ_３及びＥｕ_２Ｏ_３を有する。
液体噴射装置は、この液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】安価に製造することができる、圧電方式のインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に設けられ、シリコン基板２との対向方向に振動可能な振動膜５と、振動膜５上に設けられた圧電素子６と、振動膜５に対してシリコン基板２側に振動膜５に臨んで形成され、インクが充填される加圧室６２と、振動膜５を貫通して形成され、加圧室６２と連通し、加圧室６２から送出されるインクを吐出するノズル６４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】簡素化した工程で選択的にパターン化可能な電気機械変換素子の製造方法と、その製造方法により製造した電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】電気機械変換素子の製造方法は、下部電極としてのアモルファス酸化物電極膜１２上に電気機械変換層になるゾルゲル液を塗布する工程と、塗布したゾルゲル液を乾燥・熱分解後に部分的にレーザを照射し、アモルファス酸化物電極膜１２とゾルゲル熱分解膜１４の両者を結晶化させる工程と、未照射部の非結晶のゾルゲル熱分解膜１３をエッチングして除去する工程と、未照射部のアモルファス酸化物電極膜１２をエッチングして除去する工程と、電気機械変換層１４の特性回復と残部のアモルファス酸化物電極膜１２の結晶化のための熱処理を行う工程と、上部電極を積層する工程とを有している。 （もっと読む）