【課題】繰り返しの熱処理でも安定して膜の積層が可能で、製造工程を短縮できる電気−機械変換膜の作製方法と、電気-機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第1の電極と、電気-機械変換膜８３と、第2の電極とを順次設けて成る電気-機械変換素子を基板又は下地膜上に備えた液体吐出ヘッド構成体の、電気-機械変換膜８３を、少なくとも酸化チタン等の光触媒機能を有する化合物から成る表面改質膜８０を形成する工程と、表面改質膜８０に選択的に光を照射して光照射部位の親水性を高め、光照射部位と光未照射部位との水に対する接触角の差を60°を超えるように制御する工程により親水性とされた部位８１に直接、もしくは親水性部位８１に第1の電極を設けこれを介してインクジェット法によりパターン化して設ける電気−機械変換素子。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生や成長が抑制された圧電体層を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、圧電体層７０は、Ｂｉ，Ｆｅ，Ｂａ，Ｔｉ及びＣｏを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であり、Ｃｏと、Ｃｏ及びＦｅの総量とのモル比であるＣｏ／（Ｃｏ＋Ｆｅ）が、０．０２以上０．０７以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】下電極の剥がれを抑制し、かつ、高い圧電性をもつ圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュールは、複合基板１と配線基板２との間の空間のうち、平面的な広がりにおいて、絶縁性のスペーサ層ＬＢが、圧電素子層ＬＰが存在しない領域ＮＡと下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧとの双方を覆いつつも圧電素子層ＬＰから離れた範囲でダイヤフラム上に形成され、下電極層ＬＬのエッジ部ＥＧを固定しつつ複合基板１と配線基板２との上下間隔を維持する。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きい圧電体膜を製造できる圧電体膜の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂｉ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｂａ及びＴｉを含有し、Ｂｉと、Ｆｅ及びＭｎの総量とのモル比であるＢｉ／（Ｆｅ＋Ｍｎ）が、１．０２以上１．０８以下である圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を加熱して結晶化する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】インク保護膜が剥離しにくく、接着不良を起こしにくいシリコンノズル基板を得る。
【解決手段】シリコン基板４４を貫通させて形成したノズル孔２１を有し、吐出面１５側からノズル孔２１を介してインクの液滴を吐出するシリコンノズル基板１であって、吐出面１５は平面視でノズル孔２１を含み表面に撥水膜４３が形成されている撥水領域１１と撥水領域１１を囲む環状の領域である非撥水領域１２とに区画されており、撥水領域１１には撥水膜４３とシリコン基板４４との間にインク保護膜４１が形成されており、非撥水領域１２にはインク保護膜４１が薄く形成されているか又は全く形成されておらず、シリコン基板４４の端面１３にはインク保護膜４１が全く形成されていないことを特徴とするシリコンノズル基板１。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、良好な圧電特性を有する圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、圧電体層の原料液となる前駆体溶液を第１電極１０上に塗布して前駆体層２２を形成する工程と、前駆体層２２を熱処理により脱脂する工程と、脱脂した前駆体層２２を結晶化して、圧電体層を形成する工程と、を含み、前駆体溶液は、ビスマス、ナトリウム、バリウム、およびチタンを含み、熱処理の温度は、４２５℃以上４５０℃以下である。 （もっと読む）

【課題】ＫＮＮ薄膜を優先的に（１００）に配向させた、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】ノズル開口６１２に連通する圧力室６２２と、圧電体３０と、圧電体３０に設けられた第１電極１９及び第２電極２０を有する圧電素子１００と、を備えた液体噴射ヘッド６００であって、第１電極１０及び第２電極２０の少なくとも一方は、白金を含み、圧電体３０は、ニオブ酸カリウムナトリウム及び鉄酸ビスマスを含む複合酸化物からなり、ニオブ酸カリウムナトリウムと鉄酸ビスマスのモル数の和に対する鉄酸ビスマスのモル数の比が、３％以上１０％以下であり、かつ、ニオブのモル数に対するカリウムとナトリウムのモル数の和の比が、１０３％以上１１５％以下である。 （もっと読む）

【課題】接着剤によって圧電素子にノズルプレートを接着したとき、この接着剤が圧力室内に、想定以上にはみ出さないインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズルを有するノズルプレートと、ノズルに対応する複数の圧力室と、この圧力室に隣接して設けられるとともに圧力室を加圧してノズルから液を吐出させる駆動素子と成る側壁と、を有する圧電素子と、圧電素子が接着される基板と、圧電素子を囲むように基板に載置される枠体と、を具備し、圧電素子の一端面側には溝部が形成され、ノズルプレートは、側壁の上端部に塗布するとともに溝部に充填させた接着剤で圧電素子に接着されたインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】機械的な耐久性と撥水機能の耐久性を両立することができる液滴吐出ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル孔を有するノズルプレートと、ノズル孔に流路を介して繋がる圧力室と、前記圧力室の前記液体に圧力を加える圧力発生素子と、を備える流路構造体と、からなり、ノズルプレートの液体を吐出する吐出面側がフッ素含有ＤＬＣ膜２０からなることを特徴とする液滴吐出ヘッドおよび製造方法である。 （もっと読む）

【課題】インクジェット印刷ヘッド用の開口プレートであって、所望の放射率をもたらし、放射電力損失を低減することができる、改善された開口プレートの提供。
【解決手段】第１放射率を有する第１層１２と、第２放射率であって、第１放射率が第２放射率よりも高い第２放射率を有し、第１層の上に配置される第２層１４と、接触角を制御するコーティング層を含む第２層の上に配置される少なくとも１つの追加層１８とを含む、開口プレート１０。 （もっと読む）

【課題】変位量を向上して、剥離等の破壊の発生を抑制することができる液体噴射ヘッド
、液体噴射装置及び圧電アクチュエーターを提供することを目的とする。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、該
流路形成基板１０に設けられて下電極６０、該下電極６０上に形成された圧電体層７０及
び該圧電体層６０上に形成された上電極８０を有する圧電アクチュエーター３００と、を
具備し、前記上電極８０が複数の電極層８１、８２で構成され、当該上電極８０を構成す
る１つの前記電極層８１が圧縮応力を有すると共に、当該上電極８０を構成するその他の
電極層８２は、当該圧縮応力を有する前記電極層８１の圧縮応力よりも小さい圧縮応力を
有し、当該上電極８０全体の内部応力が圧縮応力を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の配向を容易に制御できる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上方に第１電極１０を形成する工程と、第１電極１０の上方に前駆体溶液を塗布する工程と、前駆体溶液を乾燥および脱脂して、前駆体層を形成する工程と、前駆体層にマイクロ波を照射して前記前駆体層を結晶化し、圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上方に第２電極３０を形成する工程と、を含み、圧電体層２０は、鉛、ジルコニウム、チタンおよびニオブを含む酸化物である。 （もっと読む）

【課題】安定したインク吐出特性を得ることが可能な電気機械変換素子及びその製造方法、並びに、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本電気機械変換素子の製造方法は、導電性酸化物からなる第１の電極を形成する第１工程と、前記第１の電極上に金属からなる第２の電極を形成し、前記第２の電極をパターニングする第２工程と、前記第２の電極のみを表面改質させて撥水化する第３工程と、前記第２の電極が形成されていない前記第１の電極上にインクジェット法により電気機械変換膜を形成する第４工程と、前記電気機械変換膜上に導電性酸化物からなる第３の電極を形成する第５工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】第１の基板と第２の基板の接合面の耐エッチング性を高めて、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】第１の基板３のノズル孔２に連通する加圧液室６と該加圧液室６へインクを供給するための共通液室４を有し、加圧液室６に充填されたインクに対してノズル孔２から吐出させるための液滴吐出エネルギーを発生させる圧電体素子７、振動板８が設けられた第２の基板９と、外部からインクが供給される液体供給貫通口１０に連通するとともに、共通液室４とも連通している共通液体供給流路１１を有する第３の基板１２と、が積層されるように接合された液滴吐出ヘッド１において、接合された第２の基板９と第３の基板１２の、少なくとも連通している共通液室４と共通液体供給流路１１の内壁側の接合面Ｃを含む範囲を覆うようにして保護層１９が設けられている。 （もっと読む）

【課題】成膜した状態で引張応力膜となっている圧電体を用いた圧電アクチュエータの変位効率を向上させる。
【解決手段】空間部を有する基板の一方の面に設けられた弾性膜と、前記弾性膜の前記空間部上に設けられた圧電素子とを備え、前記圧電素子に電圧が印加されて撓み振動することにより、前記弾性膜を前記圧電素子の撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、前記弾性膜は、前記圧電素子が形成される部分に引張応力を有し、前記圧電素子が形成される周辺部分に圧縮応力を有することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】安定したインク吐出特性を得ることが可能な電気機械変換素子及びその製造方法、並びに、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本電気機械変換素子の製造方法は、金属からなる第１の電極を形成する第１工程と、前記第１の電極上に導電性酸化物からなる第２の電極を形成し、前記第２の電極をパターニングする第２工程と、前記第１の電極のみを表面改質させて撥水化する第３工程と、パターニングされた前記第２の電極上にインクジェット法により電気機械変換膜を形成する第４工程と、前記電気機械変換膜上に導電性酸化物からなる第３の電極を形成する第５工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】凹部３を構成する側壁１０の厚さが圧力室４の配列ピッチや駆動条件に影響しないようにして設計自由度を拡大させた液体噴射ヘッド１を提供する。
【解決手段】表面に凹部３からなる圧力室４を所定方向に複数配列する基体２と、凹部３の側壁１０上面に接合し、凹部３の開口端を閉塞する圧電体基板５と、圧力室４に液体を供給する液体供給室６と、圧力室４から液体を吐出する吐出孔２２と、を備え、圧電体基板５は開口端の端面の面内方向に一様に分極され、圧電体基板５の圧力室４とは反対側の表面及び圧力室４側の裏面に圧電体基板５を挟む一対の表面及び裏面駆動電極９ａ、９ｂが開口端の略中央部から凹部３の側壁１０まで延在させた。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１積層体１２と、第１電極２０の上方に第１積層体１２と離間して形成された第２積層体１４と、第１積層体１２の側面、第２積層体１４の側面、および第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面を覆う被覆層６０と、を含み、第１積層体１２および第２積層体１４は、第１電極２０の上方に形成された圧電体３０と、圧電体３０の上方に形成された第２電極４０と、を有し、第１電極２０は、塩素と化学反応する金属を含有し、第１積層体１２と第２積層体１４との間であって第１電極２０の表面２０ａには、凸部５０および凹部の少なくとも一方が形成されている。 （もっと読む）

【課題】リード電極の電食を抑え、所定の電圧で駆動できる圧電素子およびその製造方法を得ること。
【解決手段】ニッケルおよびクロムを含む第１リード電極９１１がチタンを含む第２上電極８２と接触している。ここで、ニッケルおよびクロムとチタンとの標準電極電位差が、ニッケルおよびクロムとイリジウムとの標準電極電位差より小さいので、ニッケルおよびクロムを含む第１リード電極９１１がイリジウムを含む第１上電極８１と接触している場合と比較して電食を生じにくくできる。したがって、上電極８０と上電極用リード電極９１との間の接触面積が狭くなったり、上電極用リード電極９１の剥離が生じたりして抵抗が高くなるのを抑えることができ、所定の電圧で駆動できる圧電素子３００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく、圧電特性に優れた新規な圧電材料を提供する。
【解決手段】ペロブスカイト型構造を有する圧電材料は，一般式（１）で表される。(Ｂｉ_1-xＢａ_x)（Ｆｅ_1-xＴｉ_x）Ｏ₃・・・（１）但し，０＜ｘ＜１である。ｘは、ペロブスカイト型構造のＡサイトにおけるＢａ組成であって、ＢサイトにおけるＴｉ組成である。圧電材料は、環境上問題となる鉛（Ｐｂ）を含まないため、極めて有用である。さらに、鉛フリーでありながら、良好な圧電特性、例えば充分な格子のひずみ量を得ることができる。 （もっと読む）