【課題】リード電極の電食を抑え、所定の電圧で駆動できる圧電素子およびその製造方法を得ること。
【解決手段】ニッケルおよびクロムを含む第１リード電極９１１がチタンを含む第２上電極８２と接触している。ここで、ニッケルおよびクロムとチタンとの標準電極電位差が、ニッケルおよびクロムとイリジウムとの標準電極電位差より小さいので、ニッケルおよびクロムを含む第１リード電極９１１がイリジウムを含む第１上電極８１と接触している場合と比較して電食を生じにくくできる。したがって、上電極８０と上電極用リード電極９１との間の接触面積が狭くなったり、上電極用リード電極９１の剥離が生じたりして抵抗が高くなるのを抑えることができ、所定の電圧で駆動できる圧電素子３００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子の製造方法は、基板１の上方に、第１電極１０を形成する工程と、基板１および第１電極１０の上方に、樹脂層４０を成膜する工程と、樹脂層４０をパターニングして、第１電極１０を露出する工程と、露出した第１電極１０を覆うように、前駆体溶液２０ａを塗布する工程と、前駆体溶液２０ａを焼成により脱脂して、前駆体層を形成する工程と、前駆体層を焼成により結晶化して、圧電体層を形成する工程と、圧電体層の上方に、第２電極を形成する工程と、を含み、樹脂層４０は、前駆体溶液２０ａを脱脂するための焼成温度に対して、耐熱性を有する。 （もっと読む）

【課題】 保護層をエネルギー発生素子毎に独立して設けると、保護層とエネルギー発生素子との間のリーク電流検査を１度で行うことができず液体吐出ヘッド用基板の製造時の検査に時間がかかる懸念がある。
【解決手段】 複数の保護層と電気的に接続し、供給口となる位置に対応する基体の上側に設けられた接続部に接続する検査用端子と、複数のエネルギー発生素子が接続される端子と、の間のリーク電流検査を行った後に、前記接続部を除去して液体吐出ヘッド用基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】生産性の高いインクジェットヘッドと硬化性の高いインク組成物とを用いた場合であっても、高い吐出安定性を示し、高精細な画像が得られるインクジェット記録方法、及び、該インクジェット記録方法により記録された印刷物を提供すること。
【解決手段】インク吐出側の面が親インク処理されたノズルプレートを有するインクジェットヘッドを用いて、重合性化合物及び重合開始剤を含み、かつ表面張力が３４．０〜４０．０ｍＮ／ｍの範囲内であるインク組成物を吐出し、被記録媒体上に画像を形成する画像形成工程、及び、吐出されたインク組成物に活性放射線を照射してインク組成物を硬化する硬化工程、を含むことを特徴とするインクジェット記録方法、並びに、前記インクジェット記録方法により記録された印刷物。 （もっと読む）

【課題】変位低下を抑えつつ、基板と下電極との密着性が向上し、安定した駆動の行なえる圧電アクチュエーター、圧電アクチュエーターを備えた液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】チタン膜６１と、チタン膜６１上に形成され、膜厚の比が１．５以下の白金膜６２とが、チタンと白金と酸素とを含むＰＺＴ前駆体膜７１とともに焼成される。チタン膜６１の膜厚を４０ｎｍ以下とすることで、ＰＺＴ前駆体膜７１との界面への焼成によるチタンの拡散を抑えることができ、酸化チタンの形成を抑えることができる。また、白金膜６２の膜厚に応じてチタン膜６１の膜厚の下限が決まる。したがって、変位低下を抑えつつ、弾性膜５０および絶縁体膜５５と下電極６０との密着性を向上でき、安定した駆動が行なえる圧電アクチュエーター３１０および圧電アクチュエーター３１０の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエーターの変位量を大きくし、液体噴射ヘッド間あるいは液体噴射
ヘッド内での各々の圧電アクチュエーターの振動特性のバラツキを少なくし、噴射される
液体の量が安定した液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】第１上電極８１のイリジウムのヤング率と比較して、第２上電極８２に含ま
れるタングステン、モリブデン、アルミニウム、マグネシウムのヤング率が小さいので、
第１上電極単層の構成と比較して、圧電体層７０の変形を妨げる力が弱まる。したがって
、圧電体層７０が変形しやすくなり、変形量の大きい圧電アクチュエーター３１０を得る
ことができる。 （もっと読む）

【課題】クラックやアブレーションにより劣化が生じることを低減させる。
【解決手段】基板上の薄膜形成において、薄膜形成にかかるインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面の裏面に、塗布された領域よりも照射範囲を大きくしたレーザ光を照射し、そのインク滴が塗布された領域に対応した位置の、そのインク滴が塗布された面に、塗布された領域に対応した範囲にレーザ光を照射してインク滴を加熱して焼成させる。 （もっと読む）

【課題】配線に印加する電圧に応じて所定量変形する圧電素子、安定した液体の噴射を行なう液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】開口部１１０は、上電極８０の表面に形成された保護膜１００および上電極８０を貫通している。ここで、開口部１１０の側面１１２の面積は、同面積の矩形または円形の断面を有する開口部の側面の面積と比較して広くなるので、開口部１１０の側面１１２で接触する上電極８０とリード電極９０との接触面積も広くなり、接触抵抗を低くできる。したがって、接触抵抗による電圧降下および発熱を低減でき、リード電極９０に印加する電圧に応じて機能する圧電素子３００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップが大型化することなく、ヘッドチップ上の限られたスペースに電流密度の小さな共通電極を備えた独立駆動型のインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】ヘッドチップ１は、後面に、駆動チャネル１１Ａ、１１Ｂ内の駆動電極と導通する接続電極が形成され、前面に、複数のダミーチャネル１２Ａ、１２Ｂ内の駆動電極と共通に導通する共通電極１７Ａ、１７Ｂが形成されていると共に、駆動チャネル１１Ａ、１１Ｂ及びダミーチャネル１２Ａ、１２Ｂの他に、前面から後面に貫通する貫通孔１６Ａ、１６Ｂを有しており、共通電極１７Ａ、１７Ｂは、貫通孔１６Ａ、１６Ｂ内を通ってヘッドチップ１の後面に引き出されている。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１００）面に優先配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子とを有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合して得られる圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子などを精度よく、かつ、簡便に製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上に、第１導電層１０を形成する工程と、第１導電層１０の上に、能動領域となる領域を有する圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上に、前記領域とオーバーラップする第２導電層３０ａを形成する工程と、第２導電層３０ａの上に、前記領域とオーバーラップする第３導電層３０ｂを形成する工程と、前記領域の上方の第３導電層３０ｂにおいて、第３導電層３０ｂを第１の部分３１と第２の部分３２とに分割する開口部３６を形成する工程と、開口部３６と、第１の部分３１および第２の部分３２の開口部３６側の周縁部を覆うレジスト層１３０を形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第３導電層３０ｂをエッチングし、第１導電部３３と第２導電部３４とを形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第２導電層３０ａをエッチングし、第３導電部３５を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ（１１０）面に結晶が強配向した圧電体層を有する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧電素子と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、（１１１）面に優先配向している白金からなる白金膜を形成する工程と、前記白金膜上に、Ｂｉ、Ｌａ、Ｆｅ、Ｍｎを含み、少なくともＬａを含有する有機金属化合物のキシレン溶液及びＦｅを含有する有機金属化合物のキシレン溶液を混合した混合溶液にプロピレングリコールを添加した圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を焼成することにより圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層上に電極を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、ポリパラキシリレンの過剰エッチングによりチップ端部の電極が露出した場合でも、電極を腐食から保護することができるインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】インクチャネル内に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、電極膜上に絶縁性保護膜を成膜する保護膜成膜工程と、保護膜成膜工程の処理に伴ってチャネル基板の一端面に成膜された絶縁性保護膜を除去する保護膜除去工程と、チャネル基板の一端面及びインクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を連続的に被覆する接着剤層を形成する接着剤塗布工程と、チャネル基板の他端面に位置するインクチャネルの入口からチャネル基板の一端面に位置するインクチャネルの出口に向かう空気流で、インクチャネルの内側面に塗布された接着剤の余剰部分をインクチャネル外部へ押し出す接着剤押し出し工程と、チャネル基板の一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定した噴射特性を有する液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド１００は、制御部４０，４２が、第１電極１２の電位が第２電極１４の電位より低くなる時間が、第１電極の電位１２が第２電極１６の電位より高くなる時間よりも長い駆動電圧を、第１電極１２と第２電極１６との間に印加する第１制御と、第３電極２２の電位が第４電極２６の電位より高くなる時間が、第３電極２２の電位が第４電極２６の電位より低くなる時間よりも長い駆動電圧を、第３電極２２と第４電極２６との間に印加する第２制御と、を行い、第１制御および第２制御によって、開口部６から液体を排出する。 （もっと読む）

【課題】圧電体粉末と、バインダと、溶媒とを含むペースト材料を、基板上に印刷した後、焼成することで、圧電素子を製造する方法において、圧電特性を向上する。
【解決手段】単一径の圧電体粉末を用いるのではなく、比較的大径の圧電体粉末と小径の圧電体粉末と混合したペーストを用いる。具体的には、メジアンが０．９μｍのＰＺＴ粉末と、０．３μｍのＰＺＴ−ＰＺＮ粉末とを１：１で混合した粉末を用いた。したがって、焼成前（ａ）と後（ｂ）とを比較すると、大径のＰＺＴ粉末は成長の核になり、小径のＰＺＴ−ＰＺＮ粉末は大径のＰＺＴ粉末に吸収されつつ、流動化が活発で緻密な膜を成膜する。これによって、圧電特性を向上することができる。また、本焼成の温度を１１５０℃から、８５０℃程度にまで下げることができ、基板へのダメージを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を有する流路形成基板１０と、該流路形成基板１０上方に設けられて、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、を具備し、前記圧電素子３００が、（１００）面に優先配向し、ペロブスカイト構造を有するランタンニッケル酸化物を主成分とする配向制御層６２を有する第１電極６０と、該第１電極６０上方に形成されて鉄、マンガン、ビスマス、チタン及びカリウムを含む複合酸化物からなり、（１００）面に優先配向した圧電体層７０と、該圧電体層７０上方に設けられた第２電極８０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】位置ずれを発生させずに圧力室とノズルを高精度に形成する。
【解決手段】基板にノズルストレート部及びノズルテーパー部の領域を規定するための第１のマスクパターンと前記基板に圧力室に相当する空間部の領域を規定するための第２のマスクパターンとを同時に形成するパターニング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第１のエッチングを行い、前記基板にストレート状の貫通孔を形成する第１のエッチング工程と、前記第２のマスクパターンに基づいて第２のエッチングを行い、前記基板に前記圧力室に相当する空間部を形成する第２のエッチング工程と、前記第１のマスクパターンに基づいて第３のエッチングを行い、前記圧力室に相当する空間部の前記貫通孔が形成された面のうち、該貫通孔の周辺にテーパー形状を形成する第３のエッチング工程とを備えた液体吐出ヘッドの製造方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】圧電部材の配置の密度が高められる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッド３は、液体を吐出するための圧力を液体に付与するための圧力室１４と、圧力室１４の内面の側に設けられた第１電極２２と、圧力室１４の外側に設けられた第２電極２３と、を備える圧電部材１２が、複数、各圧電部材１２の圧力室１４を流れる液体の流れ方向が互いに沿う様に、流れ方向と交わる第１方向と、流れ方向と交わるとともに第１方向とも交わる第２方向と、のそれぞれに関して配列されている。第１方向に配列された複数の第１電極２２と共通して接続された第１共通配線２４と、第２方向に配列された複数の第２電極２３と共通して接続された第２共通配線２５と、をそれぞれ複数有し、複数の第１共通配線２４が第２方向に関して配列され、複数の第２共通配線２５が第１方向に関して配列されている。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも拡散防止層による変位量の低下が小さい圧電膜型アクチュエータ、及びその圧電膜型アクチュエータを使った十分な吐出量の確保が可能な液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】 アルミニウムを含有するステンレス基板１０上に下部電極１３、圧電膜１２、上部電極１１からなる３層構造を有する圧電薄膜型アクチュエータであって、前記３層構造はステンレス基板１０の表面を窒化処理して形成した窒化アルミニウム層からなる拡散防止層５の上に形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電特性の良い非鉛材料薄膜を実現するために、結晶配向性に優れた（Ｎａ，Ｂｉ）ＴｉＯ₃−ＢａＴｉＯ₃薄膜およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板１２上の（１１１）面方位である電極膜１３上に形成された、
ペロブスカイト型複合酸化物（Ｎａ，Ｂｉ）ＴｉＯ₃−ＢａＴｉＯ₃圧電体層１５において、電極膜１３との界面に隣接して、（１１１）面方位である（Ｎａ_xＢｉ_0.5）ＴｉＯ_0.5x+2.75−ＢａＴｉＯ₃（０．２９≦ｘ≦０．４）界面膜１４を設けている。本発明による（Ｎａ，Ｂｉ）ＴｉＯ₃−ＢａＴｉＯ₃圧電体層１５は、（１１１）面方位にのみに強く結晶配向することで優れた圧電特性を示し、鉛を含まない元素による圧電体薄膜を提供することができ、インクジェットヘッド、角速度センサ、圧電発電素子等への応用が可能となる。 （もっと読む）