【課題】異物などによる駆動回路などの実装不良を確実に防止することができ、歩留まり及び信頼性を向上した液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板に圧力発生室に圧力変化を生じさせる圧力発生手段を形成する工程と、流路形成基板に一方の面が接合される接合基板１３０を接合基板の一方の面とは反対側の他方の面にプライマ液２１０が付着しないようにプライマ液に浸漬させるプライマ処理工程と、接合基板と流路形成基板とを接着剤を介して接合する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ハーモニカタイプのヘッドチップの後面に、接着剤を使用せずに流路規制部材を形成でき、チャネルの閉塞のおそれがないインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】チャネル１２、１３と圧電素子からなる駆動壁１１が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれチャネル１１、１２の開口部が配置され、チャネル１２、１３内に駆動電極１４が形成されたヘッドチップ１Ａの後面に、チャネル１２、１３内へのインクの流路を規制する流路規制部材３を、ヘッドチップ１Ａの後面に、感光性樹脂フィルムを接着剤を使用することなく加熱及び加圧して貼着した後、所定パターンの開口を有するフォトマスクを重ねて露光及び現像することによって形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電体の変位の変動やバラツキを抑制する。
【解決手段】基板５２上に結晶化下地である共通電極４６を形成する。共通電極４６の一部を覆うように非晶質下地である第１の層間絶縁層５４を形成し、第１の層間絶縁層５４に圧電体動作領域４８Ａを規定するための開口を設ける。さらに、共通電極４６及び第１の層間絶縁層５４の上に圧電体４８を積層し、圧電体４８の上に信号電極５０を形成する。共通電極４６上に堆積された圧電体４８はペロブスカイト結晶相からなり、圧電体４８が変位する圧電体動作領域４８Ａとなる。第１の層間絶縁層５４上に堆積された圧電体４８は非晶質相又はパイロクロア相を含んでおり、圧電体４８が変位しない圧電体非動作領域４８Ｂとなる。 （もっと読む）

【課題】クロストークを減少させて液体の吐出特性を向上すると共に小型化した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を有する個別流路が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側の前記圧力発生室１２に相対向する領域に設けられた圧力発生素子３００とを具備し、前記流路形成基板１０の前記圧力発生素子３００側の面には、前記圧力発生素子３００に相対向する領域に前記個別流路の共通の液体室となるリザーバ１００が設けられたリザーバ形成基板３０が、前記圧力発生素子３００との間に所定の間隔で設けられたコンプライアンス基板４０を介して接合され、且つ前記コンプライアンス基板４０が前記リザーバ１００の開口を封止すると共に当該コンプライアンス基板４０の前記リザーバ１００を封止する領域に可撓部４４を設ける。 （もっと読む）

【課題】無電解めっきにより形成される電極間に不要なめっき膜が析出せず、短絡の発生を効果的に防止することのできる電極形成方法及びこれを用いたインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板１上に複数の感光性樹脂層２、３を形成し、パターニングにより電極形成部５を形成した後、最表層の前記感光性樹脂層３及び前記電極形成部５の表面に対して触媒付与を行い、次に前記複数の感光性樹脂層２、３のうちの前記触媒６が付着した表側の感光性樹脂層３を除去した後、無電解めっき液に浸漬し、前記触媒６が付与された前記電極形成部５を含む部位にめっき膜を形成し、基板１上に電極７をパターン形成する。 （もっと読む）

【課題】絶縁耐圧の低下がなく、また繰り返し衝突によっても膜剥がれのない駆動耐久特性に優れた絶縁膜を有する電極基板、その電極基板を有する静電アクチュエータ、その製造方法等を提供する。
【解決手段】所定の間隔で対向する可動電極となる振動板２２との間に静電気力を発生させて振動板２２を変位させるための固定電極となる個別電極１２を電極基板１０上に形成する工程と、少なくとも個別電極１２を覆う電極側絶縁膜１５を形成する成膜処理と絶縁膜の洗浄及び表面改質を行う表面改質処理とを、所望の厚さの電極側絶縁膜１５が成膜されるまで交互に繰り返す工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドに対して物流時に貼り付けられている保護テープが製造時や物流搬送時に剥がれ落ちない十分な粘着力と、剥がす際に容易に剥がれ吐出口部を破損しない程度の粘着力となるようにしたインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】記録素子１３３両端部の吐出口１４１から所定距離離れた領域に紫外線を照射し表面改質した。 （もっと読む）

【課題】シリコン回路基板からシリコン材料の溶出を防止する。
【解決手段】吐出ヘッド１のシリコン回路基板３の流路８の一部を構成する端面のシリコン材料が露出した露出部９を表面処理する処理液中に、少なくとも水及び水溶性有機溶媒を含む溶媒と、溶媒に分散される界面活性剤と、水溶性シラン系表面処理剤とを含有させ、この処理液で露出部９を表面処理することで、露出部９に液体に不溶な有機薄膜層１１を形成する。 （もっと読む）

【課題】流路基板とノズルプレートの接合工程における相対的な位置ずれが少なく、接合性が良好な歩留まりの高い液滴吐出装置の製造方法及び液滴吐出装置の製造装置を提供する。
【解決手段】流路基板１００とノズルプレート１０２の周辺部に基板の相対位置がずれないように空間保持部材１０４を挟み込んだ状態で固定し、その状態で基板中央部を変形させて接触・接合を行う。 （もっと読む）

【課題】異方性導電接着剤を用いて電気接続する電気配線基板を、予め、大気圧でプラズマ処理する方法において、放電の飛来による電気配線基板の溶解を防止する。
【解決手段】電気配線基板２００の電極端子２０４以外の箇所に、電極端子よりも誘電性の高い誘電部２０８を設け、プラズマ処理を行う。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗性に優れた撥液膜を基板上に形成することができる撥液膜の形成方法を提供する。
【解決手段】基板上に蒸着法により撥液性を有する材料からなる蒸着膜２０５を形成する蒸着工程と、蒸着膜に紫外線を所定時間だけ照射して蒸着膜を硬化させる照射工程と、蒸着膜上に粘着テープ５０を貼り付けた後この粘着テープと共に蒸着膜の一部を剥離して基板上に所定厚さの撥液膜２５を形成する剥離工程とを有するようにする。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレート等の基材表面に形成される下地膜を更に有効活用することが可能な部材を提供する。
【解決手段】ノズルプレート１８等の基材の表面に、ノズルプレート１８等の基材の表面の凹凸を平坦化するシリコーン材料のプラズマ重合膜２２等の下地膜と、前記下地膜表面に金属アルコキシドが重合した分子膜２４等の撥液膜とを有することを特徴とする。好ましくは前記金属アルコキシドがフッ素を含む長鎖高分子基２４ｂを有する。前記下地膜は、基材に応じ、シリコーン材料のプラズマ重合膜２２以外に、ＳｉＯ₂、ＺｎＯ、ＮｉＯ、ＳｎＯ_２、Ａｌ₂Ｏ₃、ＺｒＯ₂、酸化銅、酸化銀、酸化クロム、または、酸化鉄を含む構成とすることができる。 （もっと読む）

【課題】インク吐出面の撥インク性が長期間維持される高耐久性のインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】フッ素樹脂の水性分散液と水溶性ポリアミドイミドとを含む塗布液をインクジェット記録ヘッドのインク吐出面に塗布し、焼成する。 （もっと読む）

【課題】インクチャネルユニットを形成する部品の表面を改質し、接着力および親水性の向上したインクジェットプリンタのインクカートリッジおよびインクジェットプリンタのインクカートリッジ製造方法を提供する。
【解決手段】インクを格納する少なくとも一つ以上のインクタンク１２１と、インクタンクに連結される少なくとも一つ以上の負圧調節部１３１と、インクタンクに連結される負圧調節部の一側の反対側に連結され、インクタンクからのインクを供給するインクチャネルユニット１４０と、少なくとも一つ以上のノズルを備え、インクチャネルユニットに連結される少なくとも一つ以上のプリントヘッド１５０とを具備するインクジェットプリンタのインクカートリッジ１００であって、インクチャネルユニット１４０は、Ｉｏｎ Ａｓｓｉｓｔｅｄ Ｒｅａｃｔｉｏｎによって表面処理された部材を用いて形成される。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータにおける絶縁膜をＨｉｇｈ−Ｋ材により構成する場合において、接合強度の低下を防ぎ、かつ絶縁耐圧の低下がなく、さらに駆動耐久性に優れた静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する単一または複数のノズル孔１１を有するノズル基板１と、ノズル基板との間で、ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室２１となる凹部が形成されたキャビティ基板２と、吐出室の底部にて構成される振動板６に所定のギャップを介して対向配置される個別電極５が形成された電極基板３とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、個別電極５の対向面に形成された第１の絶縁膜７と、振動板６の対向面に形成された第２の絶縁膜８とを備え、前記第１及び第２の絶縁膜の一方または両方を酸化シリコンよりも比誘電率が高い誘電材料により構成する。 （もっと読む）

【課題】振動板と圧電素子との密着性を高めることで歩留まりを向上できる、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の面に金属酸化物層６５が形成されてなる振動板５５と、振動板５５の金属酸化物層６５上に設けられた下部電極４と下部電極４と上部電極６との間に圧電体層５が挟持されてなる圧電体素子５４と、を備える液滴吐出ヘッドの製造方法である。金属酸化物層６５の表面を還元して金属化させる表面処理を行う。そして、表面処理によって金属化された金属酸化物層６５上に下部電極４を形成する。そして、下部電極４を含む圧電体素子５４を形成する。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータの駆動遅れを生じることなく駆動耐久性を向上させること。
【解決手段】静電アクチュエータを有するインクジェットヘッド１０において、弾性変形可能な一方の対向部材である振動板２２と、この振動板２２に絶縁膜２６および一定の間隙（ギャップ）Ｇを介して対向配置された他方の対向部材である個別電極３１と、これら個別電極３１と振動板２２との間に駆動電圧を印加し静電気力を発生させる駆動制御回路（駆動手段）４とを備え、振動板２２の下面に形成された絶縁膜２６の表面に、疎水基構造の異なる複数の処理剤を用いて、シロキサン結合で結合された一次表面処理膜及び二次表面処理膜からなる疎水性膜２９を形成する。 （もっと読む）

【課題】撥インク性に優れた撥インク層を有し、安定した射出角度でインク滴を吐出し、耐久性に優れたインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】超臨界重合法により、インクと出面にフッ素系樹脂からなる撥インク層を形成する。 （もっと読む）

【課題】生産性及び収率が高く、コストが低いインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。
【解決手段】圧電素子を使用するインクジェットヘッドの製造方法において、複数の側壁とインクの通路となるチャネル１１とが交互に並設された圧電材料基板１をプラズマ処理した後、イオン銃によるイオン照射なしに蒸着により電極６を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】積層体の接合時の、加熱による撥水膜の膜質の劣化を防止することが可能な、液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出するノズル２ａを有するとともに、表面に撥水膜１０が形成されたノズルプレート１と、ノズルプレート１の裏面に接合され、ノズル２ａに連通する連通孔３ａおよび液プール３ｂを有するプールプレート３とを備えた第１の積層体Ｓ１を準備する第１の工程と、複数の板４、５、６、７を接合して構成され、連通孔３ａを介してノズル２ａに液体を供給する圧力発生室６ａを有する第２の積層体Ｓ２を準備する第２の工程と、第１の積層体Ｓ１の裏面に第２の積層体Ｓ２を撥水膜１０の耐熱温度以下の温度で接合する第３の工程とを含む製造方法により液滴吐出ヘッド１を製造する。 （もっと読む）