【課題】振動板等の可動電極を当接させる際の当接電圧を低くできる静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、それらの製造方法等を得る。
【解決手段】個別電極１２と、個別電極１２と所定の距離で対向して支持され、固定電極との間で発生した静電気力により動作する、板状の可動電極となる振動板２２を備え、振動板２２の支持された振動板端部２２ｂ以外の少なくとも一部である振動板中央部２２ａを、振動板端部２２ｂよりも薄くし、個別電極１２と対向する面と反対側が段状になるように形成するものである。 （もっと読む）

【課題】塩基性のインクに対し耐性があり、安定した吐出が行えるインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】インク吐出のためのエネルギー発生素子１２とインク吐出孔１４を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、インク吐出孔を形成する樹脂材料がポリフェニレンサルファイド樹脂であり、インク吐出孔の周辺部が、ウレタン結合を介してラジカル重合性不飽和結合を有するフッ素樹脂、片末端ラジカル重合性ポリシロキサン及びラジカル重合性単量体を共重合してなるグラフト共重合体、及び、イソシアネートプレポリマー、ブロック化イソシアネートプレポリマー及びジイソシアネート類から選ばれる硬化剤を含む塗料によってコーティングされていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】シリコン回路基板からシリコンの溶出を防止する。
【解決手段】液体を吐出口６ａと圧力発生素子２が設けられた液室７に流路８を経て供給し、圧力発生素子２で液体を吐出口６ａから吐出させる吐出ヘッド１の圧力発生素子２が設けられたシリコン回路基板３の流路８の一部を構成する端面のシリコン材料が露出した露出部９を表面処理する処理液に、少なくとも水及び水溶性有機溶媒を含む溶媒と、溶媒に分散される界面活性剤と、少なくともリチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウムから選ばれるアルカリ金属を含むアルカリ金属塩とを含有させる。 （もっと読む）

【課題】非導電性のノズルプレートを用いた場合でも、電気泳動現象による画質の劣化や、電気分解で発生した異物・ガスによる吐出不良の問題等を引き起こすことなく、液滴への電荷の注入を支障なく行うことができるようにする。
【解決手段】本発明の液体噴射ヘッド１２は、非導電性材料から成るノズル基材３１を含み、ノズル開口３２がノズル基材３１に貫通形成されているノズルプレート３０と、ノズル開口３２の内周壁面の少なくとも一部に被覆形成された導電膜３６とを備える。導電膜３６の形成領域は、ノズル開口３２からの液滴の吐出動作に伴ってノズル開口３２の内周壁面上を移動するメニスカス３４の移動範囲を包含している。 （もっと読む）

【課題】 記録素子基板と支持基板との密着性を向上させて、信頼性の高いインクジェット記録ヘッド、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】 カップリング剤を添加した紫外線と熱の併用硬化型接着剤を用いて、第１、第２の記録素子基板Ｈ１１００、Ｈ１１０１と第１のプレートＨ１２００とを接着し、第１のプレートＨ１２００側の接着面に、紫外線の反射を防止するための紫外線反射防止処理領域Ｈ１２５０を形成する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成の装置で実施でき、耐薬品性及び絶縁性に優れたポリパラキシリレン膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】本発明のポリパラキシリレン膜の形成方法は、基体の温度が２０℃以下又は材料ガスの圧力が１００ｍｍＴｏｒｒ以上の条件で材料ガスを基体に接触させることによってポリパラキシリレンからなる下部を形成し、下部形成時よりも基体温度が高いか、材料ガスの圧力が低い条件で材料ガスを基体に接触させることによって下部を覆うポリパラキシリレンからなる上部を形成する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド形成の際に、しわなどの変形を防止しながら厚さの薄い振動板を熱圧着することができるインクジェットヘッドの製造方法、およびその方法で製造されたインクジェットヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】
振動板４を固定部材本体３３０の外側面に密着させ、振動板４の両端側のそれぞれを固定部材本体３３０と外部固定部材３４０との間に挟持して、振動板固定部材３１３に振動板４を固定する振動板固定工程と、積層部材２の開口部を振動板固定部材３１３に対向させて配置する配置工程と、振動板固定部材３１３および積層部材２を加熱する加熱工程と、加熱された振動板固定部材３１３を、加熱された積層部材２の開口部を覆うように振動板４を介して押圧し熱圧着する熱圧着工程とを具備し、振動板４の変形を防止しながら拡散接合できる。 （もっと読む）

【課題】製造過程でのごみによるプリントヘッドのノズル閉塞を防止し、インクがアクチュエーター構造体と化学的に反応することを防止できるプリントヘッド組立体を提供する。
【解決手段】プリントヘッド用の少なくとも一つのフィルターと共にプリントヘッドを組み立て、流体状又はガス状コーティング物質を該フィルター経由で該プリントヘッド組立体を通過させ、プリントヘッド及びフィルター両者の表面のうち少なくとも一部の表面に不働体化層を形成する工程からなるプリントヘッド組立体の不働体化方法。 （もっと読む）

圧電素子１は、下部電極２と圧電体膜３と上部電極４とがその順に積層されて構成されている。この圧電素子１の上部電極４の表面に対して、ジルコニウム化合物６に曝す処理を施している。
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【課題】 本発明は、液体吐出装置の製造方法に関し、例えばサーマル方式によるインクジェットプリンタに適用して、シランカップリング剤により密着性を向上して撥水性膜を形成した後、液室側面、ノズル内側壁面から選択的に撥水性膜を除去する場合に、安定かつ確実に液滴を吐出させることができるようにする。
【解決手段】 本発明は、酸素ラジカルにより局所的に撥水材を除去した後、三フッ化塩素又は二フッ化キセノンの照射によりシリコン酸化膜を除去する。 （もっと読む）

【課題】低温でプリンタヘッドの部材同士を接合して溶剤系のインクの流路を形成する。
【解決手段】プリンタヘッドの吐出口２１が形成された前面部材２とベース部材３とにおいて、前面部材２のベース部材３側の面の流路との境界に金の金属層である境界部２２１を設け、ベース部材３の前面部材２側の面にも金の金属層３０２を設ける。境界部２２１と金属層３０２とはプラズマ処理を施した後、低温にて金属接合される。これにより、前面部材２とベース部材３との母材同士を直接金属接合する場合に比べて低温で接合を行うことができ、高い精度にて形成された吐出口２１を有する前面部材２の変形を抑えつつ接合を行うことができる。また、金属接合により溶剤系のインクに適した流路を形成することができる。さらに、ピエゾを有する部材とベース部材３との接合に際してもプラズマ処理を利用した低温の金属接合を行うことにより、ピエゾの破損を防止することができる。 （もっと読む）

電子デバイスは、第１の表面及び第２の表面を含む基板（１１０）と、第１の表面及び第２の表面を含む基板キャリア（１０５）と、基板（１１０）の第２の表面及び基板キャリア（１０５）の第２の表面を接着する無機材料（１２０）とを備える。
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【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、リード電極を形成すると共に不連続金属層を貫通孔に対応する領域の少なくとも一部に形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着層を介して固着する工程と、少なくとも不連続金属層を含む膜によって貫通孔が封止された状態で流路形成基板をその他方面側からウェットエッチングして連通部を形成する工程と、不連続金属層を構成する少なくとも金属層をウェットエッチングによって完全に除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程と、少なくともリザーバの内面に耐液体性を有する材料からなる液体保護膜を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）