【課題】製造コストを低廉に維持しつつ、電極の腐食を防止することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１１は、複数のノズル２７を有するノズルプレート１８と、ノズル２７に対応するように溝状をなした複数の圧力室１４と、この圧力室１４に隣接して設けられるとともに圧力室１４を加圧してノズル２７から液を吐出させる駆動素子と、を有する圧電体１２と、圧力室１４の１つの壁部を構成する壁部構成部材と、圧力室１４内で圧電体１２に密着するように設けられるとともに、駆動素子に電力を供給する電極１６と、電極１６の表面を被覆するように圧電体１２に塗布されたコーティング材１９と、を具備する。コーティング材１９は、圧電体１２と壁部構成部材とを接着するための接着剤を兼ねている。 （もっと読む）

【課題】 アクチュエータの繰返し駆動による可動電極及び固定電極の表面に形成された電極保護膜同士の表面吸着力を抑制し、かつ、動作安定性及び信頼性を維持することができる静電型アクチュエータを提供することを目的とする。
【解決手段】 一部が可動電極となっている変形可能な振動板と、前記振動板に空隙を介して対向配置された固定電極とを備え、前記可動電極と前記固定電極との間に電圧を印可した時に発生する静電力で前記振動板が変形し、前記振動板の前記空隙に面した第１の部分が、前記固定電極の前記空隙に面した第２の部分と当接する静電型アクチュエータであって、前記第１の部分及び前記第２の部分のみが、疎水性を有する部分であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長寿命で、しかもインクジェットヘッド内のインクの滞留による残留物の発生を防止することができるインクジェットヘッド等を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドはインクタンクと、流路部と、吐出部とを備えている。流路部の一端はインクタンクに連通し、他端は吐出部に連通している。インクはインクタンクから流路部に流入するとともに、底部の吐出部から吐出される。流路部は、流動するインクに接触する疎液性層がその上に形成されている流路内壁面を有する。この疎液性層とその上を流動する液体との接触角度は９０°以上であるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、その下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これらの各接合膜１５、２５は、それぞれ、シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、基板２０の下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合されており、この接合膜１５は、プラズマ重合法で形成され、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与したことにより、接合膜１５の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜１５に発現した接着性によって、基板２０とノズルプレート１０とを接合している。 （もっと読む）

【課題】低表面エネルギを示し、他の成分と適合し、さらにベースフィルムとの良好な接着を示すコーティングを有する開口プレートを提供する。
【解決手段】フッ素化化合物と、尿素、イソシアネート、およびメラミンからなる群より選択される有機化合物とを含むコーティング組成物でコートされた開口プレートである。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドに適用した際に、長期間にわたって高品位の印字を可能とするノズルプレート、かかるノズルプレートの製造方法、寸法精度に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、ノズル孔１１を有し、一方の面に撥液膜１４、他方の面に接合膜１５を備えたノズルプレート８０と、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、ノズルプレート８０が備える撥液膜１４の基膜１４１と接合膜１５とは、ともに、シロキサン結合を含み、ランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むプラズマ重合膜で構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドに適用した際に、長期間にわたって高品位の印字を可能とするノズルプレート、かかるノズルプレートの製造方法、寸法精度に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドの製造方法、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、ノズル孔１１を有し、一方の面に撥水膜１４、他方の面に接合膜１５を備えたノズルプレート８０と、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、ノズルプレート８０が備える撥水膜１４と接合膜１５とは、ともに、シロキサン結合を含み、ランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合するアルキル基とを含むプラズマ重合膜で構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】高精細化と低コスト化を実現するノズルプレートの製造方法を提供することである。
【解決手段】インクジェットプリンタのインクジェットヘッドに用いられるノズルプレート１０は、ノズル１０ａが形成されたノズルプレート１０とダミー基板１６とを、ノズル出口１０ｂの周囲の長さにノズルプレート１０とダミー基板１６間の距離ｄを乗じた値がノズルの開口面積よりも小さくなるように平行に保持し、ノズルプレート１０とダミー基板１６間を撥液剤１７で満たす工程を採り入れた製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】吐出液が保護膜を浸食して下地のシリコンが溶出することがない、シリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】シリコン製ノズル基板１は、ノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃを経て液滴吐出側の面と反対側の面１ｂまで耐吐出液保護膜Ａが連続して形成され、耐吐出液保護膜Ａは陽極酸化により形成された酸化膜１２である。シリコン製ノズル基板１の製造方法は、シリコン基材１００に凹部１１０を形成する工程と、凹部１１０よりも大きい径の貫通孔５０ａを有する支持基板５０を凹部１１０と貫通孔５０ａとが同軸上になるようにして貼り合わせる工程と、凹部を形成した側の面と反対側の面１００ｃを薄板化して凹部１１０を開口させる工程と、シリコン基材１００を陽極酸化して連続した酸化膜１２を形成する工程と、支持基板５０を剥離する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、ノズルプレートの所望の位置に精度良く撥液性樹脂層を形成することのできる撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法を提供する。
【解決手段】ノズル孔を有するノズルプレートの表面に撥液性樹脂層をラミネートによって形成してノズル孔を覆う工程、ノズル孔の撥液性樹脂層をセルフアライメントで除去する工程を含む撥液性樹脂層付きノズルプレートの作製方法。 （もっと読む）

【課題】 圧力発生室１２に保護膜５１が形成されている場合であっても、流路形成基板１０とノズルプレート２０との接着強度を十分に確保する。
【解決手段】 エッチング面（粗面）とされた接着面５３に接着剤５２を直接介在させて壁部１１の接着面５３にノズルプレート２０を接合し、接着力を向上させて接着強度を十分に確保した状態で流路形成基板１０とノズルプレート２０を接着する。 （もっと読む）

【課題】材料費を抑え、また撥水性処理を簡便にできるノズル基板、ノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル部１１ａと、このノズル部より断面積が大きくノズル部と同軸上に設けられた導入部１１ｂとを少なくとも備えたノズル孔１１を複数備えたノズル基板１であって、ノズル孔が多結晶シリコン基板を材料に用いて形成され、この多結晶シリコン基板の表面である吐出面に０．１〜５．０μｍの微小凹凸を有するものとする。 （もっと読む）

【課題】２つの基材同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができるとともに、使用後にはこれら基材同士を効率よく剥離することができる接合体の形成方法、および、２つの基材同士が高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合体の形成方法は、第１の基板（基材）２１および第２の基板（基材）２２上に、それぞれ、化学的気相成膜法を用いて、銅と有機成分とで構成され、前記銅の含有率が９０ａｔ．％以上でかつ９９ａｔ．％未満である接合膜３１、３２を形成する工程と、接合膜３１、３２同士が対向するようにして、第１の基板２１および第２の基板２２同士を接触させた状態で、第１の基板２１および第２の基板２２間に圧縮力を付与して、接合膜３１、３２同士を結着させることにより接合体を得る工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】耐インク性、硬化性、接着性に優れた接着剤により形成したインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】エポキシ化合物、光カチオン重合開始剤及び下記一般式（Ｉ）で表される熱カチオン重合開始剤を含有する接着剤により、複数の構成部材を接合して形成されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【化１】
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【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、基板２０の下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合されており、この接合膜１５は、プラズマ重合法で形成され、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与したことにより、接合膜１５の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜１５に発現した接着性によって、基板２０とノズルプレート１０とを接合している。 （もっと読む）

【課題】半導体基板内部にアスペクト比が大きい中空を位置や形状を制御して形成する方法とアスペクト比が大きい中空が形成された半導体基板を提供することを目的とする。
【解決手段】第１の層１０１と、第１の層１０１の上に形成された第１の層１０１より正孔濃度が低い第２の層１０２を有する半導体基板１０６の内部に中空を形成する方法であって、半導体基板１０６に、第２の層１０２を貫通して第１の層１０１に開口を形成する工程と、第１の層１０１の開口内の壁面を多孔質領域にする工程と、開口の第１の層１０１内の幅を拡大する工程と、開口を封止する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、基板２０の下面に設けられたノズルプレート１０と、基板２０の上面に設けられた封止シート３０および振動板４０、圧電素子５０と、振動板４０の上面に設けられたケースヘッド６０とを有し、振動板４０とケースヘッド６０とが接合膜４５ｂを介して接合されており、この接合膜４５ｂは、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与したことにより、接合膜４５ｂの表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４５ｂに発現した接着性によって、振動板４０とケースヘッド６０とを接合している。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の下面に設けられたノズルプレート１０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０および振動板４０（封止板）とを有し、封止シート３０と振動板４０とが接合膜３５を介して接合されており、この接合膜３５は、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与したことにより、接合膜３５の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜３５に発現した接着性によって、封止シート３０と振動板４０とを接合している。 （もっと読む）

【課題】接合部に吐出液が浸透することを防止し、液滴吐出ヘッドの耐久性を向上させ、吐出液の種類が制限されない液滴吐出ヘッド及びその製造方法、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】液体Ｌを液滴として吐出するノズル開口１４７が形成されたノズル基板１４３と、ノズル開口１４７に連通する液体Ｌの流路Ｒが形成された流路基板１４２と、流路Ｒの壁面を構成する振動板１４１と、が積層されて接着剤を介して接合され、ノズル基板１４３、流路基板１４２、および前記振動板１４１の前記液体Ｌとの接液面１４３ｒ，１４２ｒ，１４１ｒに液体Ｌに耐性を有する耐液性膜Ｃが連続して形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）