【課題】簡便なプロセス工程によりコストダウンを実現するとともに、長期にわたり吐出信頼性を獲得することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ノズル孔１２を有するノズル形成基板１０およびノズル孔１２内部に撥水膜を形成する撥水膜形成工程と、ノズル形成基板１０表面の撥水膜１４に保護フィルム１６を貼り付ける保護フィルム貼付工程と、ノズル孔１２内部の撥水膜１４をプラズマ処理により除去するプラズマ照射工程と、保護フィルム１６を剥離する保護フィルム剥離工程と、を有し、保護フィルム１６の粘着成分および基材にポリシロキサンを含有しない液滴吐出ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】インクカートリッジを長期間保持しても、駆動パルス変化、出力画像変化が少なく、十分な吐出特性と印字耐久性、印字に伴う温度上昇も少ないインクカートリッジの提供。
【解決手段】サーマルインクジェットヘッドを具備するインクカートリッジである。発熱部がインクと接する面に保護層を有し、インクが、保護層を溶解する物質と下記一般式（１）で表される化合物とを含有し、且つ、下記一般式（１）で表される化合物のインク中の含有量Ｘ（質量％）が１≦Ｘ≦３０を満足し、保護層のインクと接する部分の表面積に対するインク液室の容積の割合が５０μｍ³／μｍ²以下である。
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【課題】目詰まりを防止すると共に、撥水層が剥がれたり付着物が付着したりしても容易に撥水層を再生し得ることにより、結果的に長寿命を確保し得る液体吐出ノズル、及び液体吐出ノズルにおける撥水層の再生方法を提供する。
【解決手段】吐出液を収容する液溜容器１０と、液溜容器１０の下側に連通する吐出筒２０とを備える。吐出筒２０の吐出口先端２０ａ、吐出筒２０の内壁面２０ｂ、及び液溜容器１０の内壁面１０ａには撥水層５が設けられている。撥水層５は、フッ素系撥水層からなっている。フッ素系撥水層の下地層として、酸化アルミ層と酸化ケイ素層との積層膜が用いられている。積層された酸化アルミ層、酸化ケイ素層及びフッ素系撥水層の総膜厚は２５ｎｍ以下であり、フッ素系撥水層の膜厚は１〜４ｎｍである。 （もっと読む）

【課題】ノズルの内壁面の液状体に対する前進接触角及び後退接触角を最適化することによって気泡の巻き込みを低減し、安定的な吐出を行うことができ、高速化を図ることができる液滴吐出ヘッド及び記録装置を提供すること。
【解決手段】ノズル１３から液状体を吐出する液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル１３の内壁面は、前記液状体に対する前進接触角が５０°以下であり、後退接触角が９０°以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド、及び、前記液滴吐出ヘッドを備え、前記ノズル１３から吐出される液状体を被記録材に着弾させることによって記録を行うことを特徴とする記録装置。 （もっと読む）

【課題】均一に形成でき、液体吐出特性を長期間一定に維持することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】シリコンからなり、液体を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０を具備し、前記流路形成基板の、前記圧力発生室が形成され前記液体の流路となる面に、金属シリサイドからなる保護膜が設けられている。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの剥離残りの発生の把握が容易な配線基板の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】レジストパターン１６０を介してリード電極９０及び島状のカウントマーク１２０をパターニングするパターニング工程と、パターニング工程の後、レジストパターン１６０を酸素プラズマによって剥離するアッシング工程と、を有する流路形成基板１０の製造方法であって、パターニング工程では、アッシング工程におけるレジストパターン１６０の剥離特性に基づいて、リード電極９０におけるレジストパターン１６０の剥離時間よりも、カウントマーク１２０におけるレジストパターン１６０の剥離時間を長くするように、カウントマーク１２０の平面形状を設定するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】基板と撥水膜の密着性を向上させることができ、耐磨耗性を向上させることができる撥水膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板１０上に、Ｓｉ−Ｏ結合を主として、Ｓｉに有機基が直接接合された中間層２０を形成する中間層形成工程と、中間層２０に励起光を照射し、中間層２０表面のＯＨ基を増加させる照射工程と、基板１０および中間層２０を加熱する加熱工程と、中間層２０表面にシランカップリング剤３１により有機膜を形成する有機膜形成工程と、を有することを特徴とする撥水膜３０の形成方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、および、インクジェット記録装置である。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの性能の低下を抑制でき、生産性の低下を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体が噴射されるノズル開口に通じる流路を有する流路形成部材を備える液体噴射ヘッドの製造方法は、流路形成部材の一部を構成し、プレート状の第１部材の酸化膜を含む第１面に対して、真空中においてイオン及び中性原子の少なくとも一方を照射する工程と、流路形成部材の一部を構成し、プレート状の第２部材の酸化膜を含む第２面に対して、真空中においてイオン及び中性原子の少なくとも一方を照射する工程と、真空中において第１面と第２面とを接触させた状態で第１部材に第２部材を押し付けて第１部材と第２部材とを接合する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高アスペクト比のホールやトレンチの多段構造を高い加工精度で容易に形成することができるシリコン構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンからなる基材１に凹部４の一部である初期凹部４ａを形成する初期凹部形成工程と、初期凹部４ａの凹部側壁４２ａに保護膜を形成する保護膜形成工程と、凹部側壁４２ａの保護膜に隣接した基材１の一部を隔壁１２として残存させて、初期凹部４ａに隣接する周回領域の基材１を深さ方向に異方性エッチングするエッチング工程と、残存した突起状の隔壁を酸化してシリコン酸化物を形成する突起状隔壁酸化工程と、酸化した突起状の隔壁を除去する突起状隔壁除去工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】液体流路を高精度に形成することができると共にコストを低減することができる
液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエーター３００が一方面に形成された流路形成基板１０の他方
面にクロムが含有されたマスク５２を形成すると共にパターニングする工程と、前記流路
形成基板１０を他方面側から前記マスク５２を介して異方性エッチングすることにより、
液体流路１２等を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】簡便な電位制御により、ノズルプレート等の被処理物に対しそれぞれに適した重合膜の生成および重合膜の表面改質が容易に行なえる、プラズマ装置を提供する。
【解決手段】プラズマ装置３０は、内部の圧力およびガス雰囲気を調整可能なチャンバー３１と、電力を供給する高周波電源３４と、チャンバー３１内に設けられ、高周波電源３４に接続された高周波電極３３およびアース３８に接続されノズルプレート２０を載置するための接地電極３６を有する放電電極と、を備え、アース３８と接地電極３６との間に、可変コイル４０ａおよび可変コンデンサー４０ｂを有する電位制御部４０をさらに備えていること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 吐出口が設けられた部材の撥水材の凝集による凹みを抑え、かつ撥水性の優れた吐出口面を形成し、高密度、高品質な印字を実現するインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 基板上に光カチオン重合性樹脂材料を含む光カチオン重合性樹脂層を形成する工程と、光カチオン重合性樹脂層をパターン露光し吐出口を含む微細パターンの潜像を形成する工程と、プラズマ処理装置を用いた表面処理により該樹脂層表面に官能基を導入する工程と、該光カチオン重合性樹脂層上に、撥水材を含む撥水層を形成する工程と、を含むインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、基板内を貫通する供給口の底部にフィルタ構造を精度良く形成できる吐出素子基板の製造方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、液体を吐出する吐出口及び該吐出口に連通する液体流路を有する流路形成部材と、前記液体流路に前記液体を供給する供給口を有する基板と、を備え、前記供給口の底部にフィルタ構造を有する吐出素子基板の製造方法であって、（１）前記基板の前記流路形成部材が配置される側の第一の面と反対側の第二の面から反応性イオンエッチングを行って貫通口を形成することにより前記供給口を形成する工程と、（２）前記供給口の側面及び底部に樹脂保護膜を配置する工程と、（３）前記供給口の底部の前記樹脂保護膜に前記第二の面側からのレーザー加工によって微細口を形成する工程と、を有することを特徴とする吐出素子基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】印刷品位の低下を抑制することが可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】インク圧力室を形成する圧電部材と、前記圧電部材の側面に配置された電極と、前記圧電部材に接着されるとともに前記インク圧力室に連通するノズル穴を有するノズルプレートと、前記ノズルプレートの表面、前記圧電部材と前記ノズルプレートとの接着部、及び、前記電極を覆う保護膜と、を備え、前記ノズルプレートの上面における前記ノズル穴の周囲においては、前記保護膜の少なくとも一部が欠落していることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズル孔１１を備えるノズルプレート１０と、封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これら接合膜１５、２５は、それぞれ、エポキシ変性シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥および／または硬化させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル吐出面の撥水膜上の異物また撥水膜の残渣を除去し、かつ、この除去物がノズル内または流路内に侵入することを防止することができる撥水膜形成方法、形成された撥水膜を備えるノズルプレート、インクジェットヘッド、電子機器を提供することを目的とする。
【解決手段】ノズルが形成された基板表面に撥水膜２１０を形成する撥水膜形成工程と、撥水膜２１０が形成された面の反対側からノズルを通過して流体を噴出させながら、撥水膜２１０が形成された基板表面を処理剤２２８に浸漬する浸漬工程と、を有することを特徴とする撥水膜形成方法、および形成された撥水膜を備えるノズルプレート、インクジェットヘッド、電子機器である。 （もっと読む）

【課題】供給路を精度良く形成することができ、印字不良を低減することが可能な液体供給部材を提供する。
【解決手段】第１の部材２１１と第２の部材２２０とが樹脂材料からなり、液体を吐出する吐出口を有する液体吐出ヘッドに、液体を供給する供給路２２４が形成され、供給路２２４の内表面の少なくとも一部は、成形後の樹脂の溶融により平滑化された平滑面２５０である。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの信頼性が向上するノズルプレート、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズルプレートは、厚み方向に貫通する並列されたノズル３６からなるノズル列を有する金属製のノズルプレート本体３８ａを有し、ノズルプレート本体３８ａの液滴吐出面７８のノズル３６の周縁部は、撥水膜４８が設けられ、撥水膜４８を除く、ノズルプレート本体３８ａの液滴吐出面７８の外周部の少なくとも一部は、プライマー処理されている。 （もっと読む）

【課題】基材を高密度に被覆することができ、アルカリ性溶液に対しても高い耐性を有する有機膜の形成方法を提供することを目的とする
【解決手段】基材１００の表面にプラズマ処理を行うプラズマ処理工程と、プラズマ処理した基材１００の表面を、少なくとも水を含む雰囲気下に暴露する暴露処理工程と、を含む前処理工程と、基材１００の表面上にシランカップリング剤により有機膜１１０を形成する有機膜形成工程と、を有することを特徴とする有機膜の形成方法である。 （もっと読む）

【課題】２つの部材同士を、接合面の一部の領域において選択的に、高い寸法精度で強固に接合可能な接合方法、２つの部材同士を、接合面の一部の領域において選択的に、高い寸法精度で強固に接合してなる接合体、かかる接合体を備えた信頼性の高い液滴吐出ヘッド、およびかかる液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、２つの基材２１、２２の表面上に、それぞれプラズマ重合膜３０１、３０２を形成する工程と、各プラズマ重合膜３０１、３０２の表面の一部の所定領域３１１、３１２にそれぞれ紫外光を選択的に照射して、表面を活性化させる工程と、活性化させた表面同士を密着させるように、２つの基材２１、２２を貼り合わせ、２つの基材２１、２２が、所定領域３１１と所定領域３１２とが重なり合った部分、すなわち接合部３１３において、部分的に接合してなる接合体を得る工程とを有する。 （もっと読む）