【課題】プライマー膜のはみ出しを効果的に防止でき、しかもアルカリ液に接触しても基材同士が剥離しないアルカリ耐性に優れた基材同士の接合法、接合体、及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】Ｓｉ原子を少なくとも表面の一部に含むシリコン系材料のノズルプレート６０の表面を水素終端化処理する終端化処理工程と、終端化処理後のノズルプレート６０の表面のうち接合領域６０Ａのみにエネルギーを付与しながら、ノズルプレート６０の表面に、不飽和結合を末端に有する有機性のプライマー膜原料を接触させることにより、接合領域６０Ａにのみ選択的にＳｉ−Ｃ結合によるプライマー膜６２を形成するプライマー膜形成工程と、プライマー膜６２を少なくとも介してノズルプレート６０とヘッド本体部５０Ａとを結合する結合工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室の長手方向で小型化し、かつ、液体流路の浸食を抑制した液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 流路形成基板１０、保護基板３０及び封止部材１００を接合した状態で、個別流路１５、連通部１６及びマニホールド部３３を有する液体流路内に、保護膜を形成するための処理剤を流通させ液体流路の内壁に連続的な保護膜２００を成膜する成膜工程を備えている。液体噴射ヘッドは、液体流路内に保護膜２００を備える。液体噴射装置は、液体流路内に保護膜２００を備えた液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】電極の劣化が抑制されたインクジェトプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】少なくとも一部がインクに接する表面を有する電極を備え、前記電極のインクに接する表面に、メタクリル基、メルカプト基、およびスルフィド基からなる群から選択される反応性官能基を有するシランカップリング剤からなる保護層が形成されていることを特徴とする、インクジェットプリンタヘッド。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズル孔１１を備えるノズルプレート１０と、封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合され、基板２０と封止シート３０とが接合膜２５を介して接合されている。これら接合膜１５、２５は、それぞれ、ポリエステル変性シリコーン材料を含有する液状材料を乾燥および／または硬化させてなるものである。そして、これらの各接合膜１５、２５にエネルギーを付与すると、表面が活性化されることに起因して、各接合膜１５、２５に接着性が発現する。この接着性によって、基板２０とノズルプレート１０および基板２０と封止シート３０が接合されている。 （もっと読む）

【課題】部材を接合した部分の接着剤に空隙がなく、不要な部分に接着剤が流れ込むことがなく、接着剤のポットライフが長く、耐水性のみならず耐溶剤性の良好なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】エポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤および熱カチオン重合開始剤を含有する接着剤により、複数の部材を貼り合わせる工程、接着剤のはみ出した部分に光を照射する工程の後に加熱工程を有するインクジェットヘッドの製造方法において、全エポキシ樹脂の８０〜１００質量％が芳香族エポキシ化合物であり、加熱工程が４０℃以上の温度範囲において昇温する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッド製造方法。 （もっと読む）

【課題】吐出特性を均一化するとともに、歩留まりの向上が可能なインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧力室３４に対応して、振動板１２の上に下部電極１６、圧電体膜１８、上部電極２０から成る圧電素子２２を形成する。圧電素子２２の静電容量を測定し、測定値が基準値以上の場合には、振動板１２にレーザ加工により振動板１２の厚みを小さくする低剛性化処理が施される。振動板１２を低剛性化することで圧電素子２２が動作したときの振動板１２の変位量が大きくなり、圧電素子２２の静電容量のバラつきに起因する変位量のバラつきが補償され、インクジェットヘッドの吐出特性が均一化される。振動板１２に代わり圧電素子２２の耐湿保護膜２４にレーザ加工を施して低剛性化しても同様の効果をえることができる。 （もっと読む）

【課題】孔部を有する基材の表面をムラなく均一に撥液処理を行う。
【解決手段】孔部を有する基材の表面に撥液性を付与する撥液処理方法であって、前記基材の表面及び孔部内壁面に有機膜を形成する有機膜形成工程と、前記基材の表面の有機膜上に保護部材を形成する保護部材形成工程と、前記基材の孔部内壁面の有機膜を除去する有機膜除去工程と、前記基材の表面の有機膜上の前記保護部材を除去する保護部材除去工程と、前記基材の表面の有機膜をフッ化処理するフッ化処理工程と、を含むことを特徴とする撥液処理方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】撥液面及び親液面を有する樹脂成形体を簡単なプロセスで均一に処理可能にする。
【解決手段】樹脂からなる基材の少なくとも一部の面に、少なくともフッ素を含むガスによってフッ化処理を施して撥液層を形成するフッ化処理工程と、前記基材の撥液層が形成された面の一部に保護部材を形成する保護部材形成工程と、前記基材の保護部材が形成されていない面に形成された撥液層を除去すると同時に当該面の親液化を行う撥液層除去工程と、前記保護部材を除去する保護部材除去工程と、を含むことを特徴とする樹脂成形体の製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】ノズル板の滴吐出面側に保護シートを貼り付けてノズル内壁面の撥水層をプラズマ処理で除去するときに、保護シートの浮きによって滴吐出面の撥水層が除去される。
【解決手段】液滴を吐出するノズル４を有し、滴吐出面側に撥水層３２を有するノズル板２００からノズル内壁面の撥水層３２を除去してノズル板２を形成するとき、ノズル板２００を真空チャンバー１０１、１０２内に保持して、真空チャンバー１０１、１０２内を真空引きし、ノズル板２００の滴吐出面側を液供給面側に対して陽圧に保持して、液供給面側にのみプラズマを発生させて、ノズル４の内壁面に付着した撥水層３２を除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズルごとにばらつきが少ない段差構造を高精度に形成し、吐出安定性、メンテナンス性を向上させる。
【解決手段】孔部を有する基材上に第１プラズマ重合膜を形成する工程と、前記第１プラズマ重合膜に水素プラズマ処理を行う工程と、前記第１プラズマ重合膜上に前記第１プラズマ重合膜と同一材料で構成される第２プラズマ重合膜を形成する工程と、マスクを用いて酸化処理又はエッチング処理によって前記第２プラズマ重合膜における前記孔部の開口周辺部に対応する部分を選択的に除去し、前記孔部よりも拡径した段差構造を形成する工程と、前記段差構造が形成された前記第１及び第２プラズマ重合膜の表面に酸化処理を行う工程と、前記酸化処理が行われた前記第１及び第２プラズマ重合膜の表面に前記撥液膜を形成する工程と、を含む撥液膜形成方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】２つの基材同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができるとともに、使用後にはこれら基材同士を効率よく剥離することができる接合体の形成方法、および、２つの基材同士が高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合体の形成方法は、第１の基板（基材）２１および第２の基板（基材）２２上に、それぞれ、化学的気相成膜法を用いて、銅と有機成分とで構成され、前記銅の含有率が９０ａｔ．％以上でかつ９９ａｔ．％未満である接合膜３１、３２を形成する工程と、接合膜３１、３２同士が対向するようにして、第１の基板２１および第２の基板２２同士を接触させた状態で、第１の基板２１および第２の基板２２間に圧縮力を付与して、接合膜３１、３２同士を結着させることにより接合体を得る工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】２つの基材同士を、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができるとともに、使用後にはこれら基材同士を効率よく剥離することができる接合体の形成方法、および、２つの基材同士が高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合体の形成方法は、第１の基板（基材）２１および第２の基板（基材）２２上に、それぞれ、化学的気相成膜法を用いて、銅と有機成分とで構成され、前記銅の含有率が原子比で８０ａｔ．％以上でかつ９０ａｔ．％未満である接合膜３１、３２を形成する工程と、接合膜３１、３２同士が対向するようにして、第１の基板２１および第２の基板２２同士を接触させた状態で、第１の基板２１および第２の基板２２間に圧縮力を付与して、接合膜３１、３２同士を結着させることにより接合体を得る工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドのための優れたノズルアセンブリを提供する。
【解決手段】インクジェットプリントヘッドのためのノズルアセンブリは、ノズル開口が画定されているルーフを有するノズルチャンバを含む。ルーフは、固定部に対し相対的に動作可能な可動部を備え、固定部に対する相対的な可動部の動きによってインクがノズル開口を通じて吐出される構成とされている。このノズルアセンブリは、また、可動部を動かすためのアクチュエータと、シール部材と、を含む。シール部材は、可動部と固定部との間を架け渡すブリッジとして構成されている。 （もっと読む）

【課題】流路形成基板と圧力室形成基板とを接着させてなる、両者の十分な接着強度を維持しつつ、接着剤のはみ出しによる液体の変質、吐出性の低下などが抑制された液滴吐出ヘッド液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの簡易な製造方法、及び、該液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】貫通孔２０が形成された流路形成基板２２と圧力室１２を有する圧力室形成基板１８とを接着剤２４を介して接着してなる液滴吐出ヘッドであって、流路形成基板２２における貫通孔２０の、接着剤２４との接触面端部が１〜１００μｍのＲ形状を有する。貫通孔端部のＲ形状は、パターン状のマスクを加熱してパターン状のマスクの端部にＲ形状を形成するキュア工程と、ドライエッチングによりに貫通孔を形成した後、さらに、形成された貫通孔の端部に低選択比でドライエッチングを行う貫通孔形成工程とを含む製造方法により簡易に形成しうる。 （もっと読む）

流体吐出装置は、外面と内面とを有する基板を含む。非湿潤性被覆が、外面の少なくとも一部を被覆することができ、流路内に実質的に存在しないことができる。非湿潤性被覆は、分子集合体で構成されていてもよい。非湿潤性被覆の前駆体は、基板よりも高い温度でチャンバ内に流れてもよい。非湿潤性被覆は、シード層の上にあってもよい。シード層の外側部分は、内側部分よりも、高い水分子の濃度又は高い密度を有していてもよい。外側部分は、内側部分よりも大きい水の分圧と母材前駆体の分圧との比で堆積されてもよい。酸素プラズマを外面上のシード層に当ててもよく、非湿潤性被覆をシード層上に置いてもよい。
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【課題】2つの基材同士を接合するために設けられた接合膜に優れた耐溶剤性を発揮させることができる接合方法、および、かかる接合方法により接合された耐溶剤性に優れた接合体を提供する。
【解決手段】接合方法は、接合膜を介して互いに接合すべき第1の基材21と第2の基材22とを用意し、第1の基材21および第2の基材22の少なくとも一方に、シリコーン材料を含有する液状材料を供給することにより液状被膜を形成する工程と、液状被膜を乾燥して、第1の基材21および第2の基材22の少なくとも一方に、接合膜3を得る工程と、接合膜3を加熱することにより、この接合膜3中に含まれる前記シリコーン材料同士を架橋する工程と、接合膜3にエネルギーを付与することにより、接合膜3の表面32付近に接着性を発現させこの接合膜3を介して第1の基材21と第2の基材22とが接合された接合体1を得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接合膜付き基材、かかる接合膜付き基材と被着体とを、低温下で効率よく接合する接合方法、および、前記接合膜付き基材と被着体とが高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合膜付き基材は、基板２（基材）と、この基板２上に設けられた接合膜３とを有しており、対向基板４（他の被着体）に対して接合可能なものである。このような接合膜３は、金属原子と、有機成分で構成される脱離基が導入された膜である。また、この接合膜３は、紫外線を照射することにより、表面３５付近に存在する脱離基が脱離し、これにより接合膜３の表面３５に、対向基板４との接着性が発現し得るものである。 （もっと読む）

【課題】撥液膜の形状劣化や基板の反りを防止しつつ、撥液膜の撥液性を回復させる。
【解決手段】孔部を有する基材の表面に撥液性を有する撥液膜を形成する撥液膜形成方法であって、前記基材の表面にマスキングテープを貼り付け、前記孔部の内壁面に保護膜を形成し、前記マスキングテープを除去する保護膜形成工程と、前記基材の表面にプラズマ重合膜で構成される中間層を形成する中間層形成工程と、前記中間層に酸化処理を施し、水酸基及び又は吸着水を導入する酸化処理工程と、前記酸化処理が施された前記中間層に前記撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、を含み、前記中間層及び／又は前記撥液膜はプラズマ重合法によって形成され、前記中間層及び／又は前記撥液膜の形成と同時に前記保護膜の除去が行われることを特徴とする撥液膜形成方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】各電極の相互間の絶縁部分における金属残渣を削減することができ、これにより各電極の相互間の電気的な短絡を防ぐことができる信頼性にすぐれたインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１の表面をエッチングし、その基板１の表面に圧電部材１５，１３を設け、この圧電部材１５，１３および基板１の表面に金属膜２２を形成し、その金属膜２２に対するレーザパターンニング処理により複数の電極Ｐ２を形成するものであって、金属膜２２の形成前に、上記エッチングされた基板１の表面における各電極Ｐ２の形成予定部位を予めレーザ光の照射により滑らかにする。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低廉に維持しつつ、電極の腐食を防止することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１１は、複数のノズル２７を有するノズルプレート１８と、ノズル２７に対応するように溝状をなした複数の圧力室１４と、この圧力室１４に隣接して設けられるとともに圧力室１４を加圧してノズル２７から液を吐出させる駆動素子と、を有する圧電体１２と、圧力室１４の１つの壁部を構成する壁部構成部材と、圧力室１４内で圧電体１２に密着するように設けられるとともに、駆動素子に電力を供給する電極１６と、電極１６の表面を被覆するように圧電体１２に塗布されたコーティング材１９と、を具備する。コーティング材１９は、圧電体１２と壁部構成部材とを接着するための接着剤を兼ねている。 （もっと読む）