【課題】 原点出し用治具の設置再現性の問題を解決すると共に、原点出しを簡易にする。
【解決手段】 被測定対象物の煽り、高さ並びに平面位置及び平面回転位置の６軸を同時に検出できる６軸測定装置を用いて、６軸基準位置を設定するための原点出し用治具１であり、治具本体１ａの面に、煽りの原点出しのための鏡面加工された第１の加工部２、高さの原点出しのための凹状の第２の加工部３並びに平面位置及び平面回転位置の原点出しのための穴状の第３の加工部４，５を設け、治具本体１ａにはこの治具本体原点位置を位置決めするための穴からなる位置決め部６，７を設けてある。 （もっと読む）

【課題】測定時の環境温度が異なった場合に、温度変化による体積変化率及び／又は長さ変化率の影響を取り除き、固体自身の体積変化率及び／又は長さ変化率を得ることができる体積変化率及び／又は長さ変化率を測定する方法を提供する。
【解決手段】標準器を用いて、固体の体積変化率及び／又は長さ変化率を測定する方法において、標準器が、線膨張係数が8.8〜12.5×10^-6/℃である材料からなることを特徴とする体積変化率及び／又は長さ変化率を測定する方法を構成とする。 （もっと読む）

スケールバー加工品は、ベースと、構造部材と、構造部材に配置されて、中心を持つ球形物体を収容するように構成される少なくとも２つのネストと、それぞれが第１部位及び第２部位を含む少なくとも３つの取り付けアセンブリとを含むことができる。各取り付けアセンブリの第２部位は、ベースに連結される。各取り付けアセンブリの第１部位は、構造部材に連結される。各取り付けアセンブリの第１部位と第２部位は、互いに接している。各取り付けアセンブリは、回転中心を有する。３つの取り付けアセンブリの回転中心は、球形物体の中心と共通の平面を共有する。
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【課題】
コンタミネーションの付着を低減する、微細な基準寸法を有する、電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材を提供する。
【解決手段】
少なくともシリコンを含み、予めピッチ寸法が求められている回折格子の配列よりなる電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材において、寸法校正用標準部材の溝パターンの表面に１ｎｍから５ｎｍのシリコン酸化膜を形成することによって、電子ビーム照射によって付着するコンタミネーション量を低減する。 （もっと読む）

【課題】 被計測物の長さがノギスの測長範囲を越えるものであっても、デジタルノギスの精度を維持して計測域を拡大できるようにする。
【解決手段】 ビーム本体１から張り出すサポート５ａ，５ｂに支持されたガイドビーム６が、スライダ２に形成されたムーバブルジョウ７の変位を案内すべく、ビーム本体１に対して平行に延びて設けられる。ガイドビーム６の先端にはスライダ２の変位基準点を与える基準面８が形成されると共に、その基準面部には延長ロッド９を取り付けることができる接続機構１０が形成される。延長ロッド９は定寸ロッド９Ａ，９Ｂ，９Ｃの連結体としておき、その定寸ロッドはミクロンオーダの精度で与えられたラウンドナンバー長としておく。被計測物の長さが大きく異なっても、簡単にその測長域に順応させることができる。 （もっと読む）