【課題】オートセット動作や測定器追従機能においても、高精度な設定や測定が期待できる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗと検出器８とを互いに直交する３軸方向へ相対移動させるＹ軸移動機構、Ｚ軸移動機構（Ｚスライダ４）およびＸ軸移動機構６と、相対移動方向が被測定物の測定面と平行になるようにＸ軸移動機構６を傾斜させる傾斜機構（旋回プレート５）と、この傾斜角を記憶する傾斜角記憶手段と、傾斜角記憶手段に記憶された傾斜角に基づいて、被測定物Ｗと検出器８との相対距離が被測定物Ｗの測定面に対して垂直方向に変化するように、Ｚ軸移動機構（Ｚスライダ４）およびＸ軸移動機構６の駆動を制御する制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、精度良く膜厚測定可能な厚み測定装置または厚み測定方法を提供する。
【解決手段】基準部材１６の上に載置された測定対象部材１８上に載置されるように挿入された厚みの異なる複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の測定結果に基づいた該距離の差分と、該厚み測定装置１０において予め特定環境条件下において測定された複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の差分と、の比較結果に基づいて、膜厚センサ１２によって測定した膜厚測定結果を補正する。 （もっと読む）

測定プローブ（８）を、支持体が支持している対象物の表面に沿って測定経路を横断させるために、第１の方向（Ｘ）に支持体（４）と測定プローブ（８）のキャリッジ（７）との間で相対移動を行うドライバ（３３）を有する計量装置。測定プローブ（８）は、表面特性を追従する場合に第１の方向を横切る第２の方向（Ｚ）に移動する。第１および第２の位置トランスジューサ（３５，３２）は、それぞれ第１および第２の方向の測定プローブの位置を表す第１および第２の位置データを提供する。較正装置（３００）は、既知の形状の表面上で入手した測定データを使用して較正手順を実行する。較正装置は、基準面の既知の形状を補正後の測定データとして使用することにより、補正後の測定データおよび実際の測定データに関する式の較正係数を決定する。較正装置は、少なくとも１つの式がデータに適合するまで、チェビシェフ点に対する較正係数を変化させる。 （もっと読む）

測定システムは関節式プローブヘッドに取り付けられた表面検出器を有し、プローブヘッドはさらに座標位置決め装置に取り付けられる。表面検出器は、表面を走査するため、座標位置決め装置およびプローブヘッドの少なくとも一方を少なくとも１つの軸線に関して駆動することにより、表面に対して動かされる。この表面検出器は表面からのその距離を測定し、プローブヘッドは、表面検出器の相対位置を実時間にて表面から予め設定された範囲内まで制御するため、表面検出器が少なくとも１つの軸線を中心として回転するように駆動される。
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【課題】反転法の欠点を解消でき、かつ、既存の装置を改良することなく信頼性の高い測定データが得られる測定機の真直精度補正方法を提供する。
【解決手段】直動機構を有する測定機の真直精度補正方法であって、測定機１の直動機構（４，５）を使って検出器７を移動させながら、予め形状データが値付けされたマスターワークＭＷを測定し、そのマスターワーク測定データから前記値付けされた形状データを差し引いて直動機構の真直精度データを求める真直精度データ算出工程と、前記測定機の直動機構を使って検出器を移動させながら、ワークを測定し、そのワーク測定データを求めるワーク測定データ算出工程と、前記ワーク測定データから前記真直精度データを差し引いてワークの真値データを求めるワーク形状演算工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 原器を被測定物の形状の種類分用意することなく、また、形状が異なる度に補正のための測定を行うことなく、衝となる測定機と機上形状測定機の機差を補償する。
【解決手段】 任意の設計式にて面形状を定義できる被測定物である被測定原器１７を、衝となる外部形状測定機１２にて測定して形状を明らかにする工程と、超精密加工用旋盤１に設置された形状測定機３にて被測定原器１７を測定して形状を明らかにする工程と、外部形状測定機１２により明らかにされた形状と形状測定機３により明らかにされた形状との誤差を求める工程と、誤差に基づいて加工機上に設置された形状測定機３の測定結果に補正を与える工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】 倣いプローブの校正のための自動化が可能な校正プログラムと校正方法を提供すること。
【解決手段】 校正装置を構成する計算機に実行させることにより、被測定物の表面性状を少なくとも２軸方向で測定する倣いプローブを校正するプログラムであって、各軸測定範囲を含む校正条件を入力する準備ステップと、真直測定を行って誤差を収集するステップと、指示誤差と真直度誤差と回転誤差とを算出する誤差算出ステップと、直交データを収集する直交データ収集ステップと、直交誤差を算出する直交誤差算出ステップと、を計算機に実行させる。 （もっと読む）

【課題】小型で簡素な構成により、被測定物の表面と裏面との相対的な位置ずれを測定できる測定用治具を用いた被測定物の３次元形状を測定するための３次元形状測定方法を提供すること。
【解決手段】測定用治具１００に平行平面１４０を保持し、その表面１４１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１４２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。また、測定用治具１００に基準球１５０を保持し、その表面１５１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１５２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。この測定結果から、円錐面１１１、１１２の位置関係に対応する補正値を算出する。さらに、測定用治具１００に非球面レンズ１２０を保持し、その表面１２１側と円錐面１１１の形状測定、及び裏面１２２側と円錐面１１２の形状測定を行なう。そして、上記補正値を用いて表面１２１と裏面１２２との相対的な位置関係を求める。 （もっと読む）

【課題】 車体が受けた損傷の範囲と深さを、極めて簡単な構造の計測器を用いて誰にでも容易に、且つ、正確に計測することができるように工夫した自動車用損傷計測器を提供する。
【解決手段】 マグネットラバー製吸着板１０の計測穴１１を塞ぐ透明合成樹脂板製計測板２０に、損傷５０Ｘ、５０Ｚの大きさを計測するサークルライン２１Ａ〜２１Ｄと、計測用突子体４０を差し込んで、損傷５０Ｘ、５０Ｚの深さを計測する計測用小孔２２Ａ〜２２Ｄを設ける。 （もっと読む）

【課題】 ワークやプローブの表面に塵埃が付着していても、容易にそれら塵埃を取り除くことができ、ワークやプローブを破損することなく、高精度な測定ができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】 プローブ２４をワークＷに接触させた状態で、移動機構１２により前記プローブ２４と前記ワークＷとを相対的に走査させることによって前記ワークＷの表面形状を測定する形状測定機１であって、前記ワークＷを支持するワーク支持手段５と、前記ワークＷに対して前記プローブ２４を進退可能に支持するとともに、前記走査において前記ワーク支持手段５に対して相対的に移動するプローブ支持手段２１，２２と、前記ワーク支持手段５に支持された状態のワークＷまたは前記プローブ支持手段２１，２２に支持された状態のプローブ２４の少なくともいずれか一方を洗浄する洗浄手段３７と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と、位置決め、搬送の能率につき向上を図る。また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持する既存の発明を改良し、計測動作等から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

【課題】 ダイヤルゲージ（２）等で水平方向の平滑度を計測する際、又はハイトゲージ等で水平方向のけがきをする際の摩擦および振動で計測精度の低下、作業性の非効率をまねく。そこで、計測動作から生じる定盤との摩擦と振動を抑えることにより、計測過程における精度と能率のにつき向上を図る。
また、支持したい計測器が重いとき、定盤等との摩擦を抑えることにより、取り扱いなどの作業能率向上と、維持管理の簡便を図る。
【解決手段】 静圧気体軸受機構を有する計測器支持台（１０）により計測器等を静圧により浮上支持し、計測動作から生じる摩擦を抑制し、振動を抑え、計測機構への負荷を低減し、作業者への重量面での負担を軽くした。 （もっと読む）

板状不規則形状体３の全体的な厚みの変化を測定して前記板状不規則形状体３の３次元形状を測定することを特徴とする。従って、板状不規則形状体３の全体的な厚みの変化を測定して前記板状不規則形状体３の３次元形状を測定することができる。このため、板状不規則形状体３の厚みを測定しながらその表面の３次元形状をも測定し、板状不規則形状体３の厚み方向を含む３次元形状を測定することができる。 （もっと読む）

ベース端及びプローブ端を有する内部ＣＭＭアームと、複数の伝達手段を介して内部ＣＭＭアームを駆動する外骨格とを備える、外骨格を有するＣＭＭアームの装置が提供される。１つ又は複数の接触プローブ、光学プローブ、及び工具が、プローブ端に取り付けられる。外骨格を有するＣＭＭアームは、手動操作可能な実施形態及び自動実施形態で提供される。外骨格を有するＣＭＭアームは、高精度測定のため、又は高精度動作を行うために動作可能である。外骨格を有するＣＭＭアームの動作の方法が提供される。

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