【課題】 容量変化率を大きくして、検出精度または感度の向上を図る。
【解決手段】 静電容量センサ１０であって、行配線１４に接続された検出行配線３４と、 列配線１７に接続された検出列配線３７と、検出行配線３４上を被覆する第１の誘電体層１５と、検出列配線３７上を被覆する第２の誘電体層１６と、が設けられ、第１の誘電体層１５の比誘電率よりも第２の誘電体層１６の比誘電率のほうが大きく設定されてなる。 （もっと読む）

【課題】 複数のコイルを有する磁気センサにおいて、測定精度を確保しつつ、測定の際に使用するコイルの配置間隔を容易に変えることができる磁気センサの提供。
【解決手段】この発明は、磁気検出部１、励磁電源２、選択回路３、差動増幅器４などを備えている。磁気検出部１は、励磁用コイル１１ｄと、検出用コイル１１ａ，１１ｂ，１１ｃ、１１ｅ，１１ｆ，１１ｇとを有する。選択回路３は、欠陥検出の際に、コイル１１ａ〜１１ｇの一端側を選択的に接地させるスイッチ３１ａ〜３１ｇを備えている。また、選択回路３は、欠陥検出の際に、検出用コイルのうちから所定の２つのコイルを選択し、この選択した２つのコイルの検出信号を差動増幅器４の入力側に導くとともに、その選択されない残余のコイルについては各コイルの両端をフローティング状態で短絡させるための切り替えスイッチ３２ａ〜３２ｆを備えている。 （もっと読む）

本発明は、基板（１、１１）に設けられた有機電界効果トランジスタ（１０）を備える力センサに関するものである。本発明によれば、該トランジスタへの機械的な作用力は、ソース−ドレイン電圧またはソース−ドレイン電流（Ｉ_Ｄ）の対応する変化を引き起こす。これにより、該変化は、印加される力に対する測定変数（Ｖ_測定、Ｉ_測定）として、それぞれ検出される。また、本発明は、このタイプの力センサを用いる膜ベースの圧力センサ、このタイプの力センサを複数用いる一次元または二次元の位置センサ、並びにこのタイプの力センサを複数用いる指紋センサに関する。
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材料の表面上の欠陥または汚染を特定する方法およびシステム。この方法およびシステムでは、半導体ウェハなどの材料を提供し、非振動式接触電位差センサを用いてウェハを走査し、接触電位差データを発生し、このデータを処理して、欠陥または汚染の特性を示すパターンを特定する。

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