【課題】 出力軸の回動の駆動力として伝達されるべき減速歯車の回転力が、出力軸を傾かせる力として作用しても、回転角検出装置の本体とシャフトの適正な角度（略直角）を保ちながら保持する。
【解決手段】 保持具２５は、回転角検出装置２０を装着する装着部２５ｂと、ベース部１１に締結される締結部２５ａと、装着部２５ｂと締結部２５ａとの間に、一対の軸受部２２の軸受中心を結ぶ仮想直線に対する出力軸１５の傾きに応じて変位する受動部２５ｃとを有し、受動部２５ｃの変位に応じて装着部２５ｂを変位させる。 （もっと読む）

【課題】部品の寸法上の誤差や変形に関わらず移動体の位置を常に正確に読み取ることができる移動体の位置読取装置を提供する。
【解決手段】移動体の移動可能方向に延在形成され移動体の位置を記録する位置記録部１１０と、位置記録部を配置したフレーム１２０と、位置記録部と所定距離離間しかつ位置記録部に沿って延在するようにフレームに支持されたガイド軸１３０と、位置記録部に記録された移動体の位置を読み取る読取部１４０と、ガイド軸に沿って移動し、読取部が位置記録部と所定間隔隔てて対向配置するように読取部を備えたケース本体１５０と、ケース本体に備わった読取部とフレームに配置された位置記録部との間隔をケース本体がガイド軸の何れの位置にあっても一定となるようにケース本体を位置記録部に付勢する付勢部材１６０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】 磁気センサー素子と磁気媒体間のギャップ変動が小さく、組み立てが容易で、
部品点数が少なく、耐摺動性が高く、衝撃等の外力に対しても安定した磁気エンコーダー
を得る。また、磁気センサー素子はウェファーから砥石で切断した状態で使用できる磁気
エンコーダーを提供する。
【解決手段】 磁気センサーの保持機構の構造を、往復摺動相対移動方向を回転軸とする
回転に対する弾性と、往復相対移動方向に垂直で且つ磁気媒体に平行な方向を回転軸とす
る回転に対する弾性を有し、センサー素子に垂直な方向に対し弾性を有する渦巻き状板ば
ね構造とし、５０ｍＮ以上８００ｍＮ以下の範囲で磁気媒体に押付ける荷重を与える。 （もっと読む）

【課題】 板ばねの撓みによる横ずれを抑制し、変位検出を正確にできる変位検出器を提供すること。
【解決手段】 板ばね２２１Ａ〜Ｄによって対物レンズ１を光軸方向に変位させる構成の合焦点式変位検出器において、対物レンズ１の横ずれを補正するための板ばね３１１Ａ〜Ｄが設けられる。板ばね２２１Ａ〜Ｄが撓められると、対物レンズ１は光軸方向と垂直な方向に横ずれするが、このとき、板ばね３１１Ａ〜Ｄを撓めることによって、横ずれを相殺する。横ずれを相殺することによって、対物レンズ１の軌道を正確に光軸方向と一致させることができるので、光源から出射され対物レンズ１を通じて被測定物Ｗ上に照射される光の照射位置が所期の照射位置Ｐからずれることがない。そのため、被測定物Ｗの表面形状が対物レンズ１の光軸に対して大きく傾斜している場合であっても、変位検出を正確にできる。 （もっと読む）