【課題】多層構造体の層の厚さを求めるシステムを提供する。
【解決手段】多層構造体の第１の面に接触して配置されるように構成された第１の電極１２２と、多層構造体の第２の面に接触して配置されるように構成された第２の電極１２４であって、第２の面が第１の面の反対側にある第２の電極１２４と、第１の電極を、多層構造体に対して所定のサンプリング圧力で実質的に押しつけるように構成された圧力制御デバイス１４４であって、サンプリング圧力が、試料の電気インピーダンスが試料に関連した基準インピーダンスを追跡する圧力である圧力制御デバイス１４４と、第１の電極１２２および第２の電極１２４に電気的に結合された測定デバイス１６０であって、第１の電極と第２の電極の間の電気インピーダンスを測定するように構成された測定デバイスとを含む。 （もっと読む）

【課題】
触針式段差計において探針を交換した後に行う力の較正を自動的に短時間で正確に行う方法及び該自動較正機能を備えた触針式段差計を提供する。
【解決手段】
本発明の方法は、針圧発生装置のコイルに流す電流と探針の針圧との関係を求め、求めた関係に基いて探針の針圧の変化を自動的に較正する。また本発明の自動較正機能を備えた触針式段差計においては、針圧発生装置のコイルに流す電流と探針の針圧との関係を求め、求めた関係に基いて探針の針圧の変化を自動的に較正するコンピュータ手段が設けられる。 （もっと読む）

【課題】各列の転動体３、３に付与した予圧の変動に拘らず、ハブ２に外嵌固定したエンコーダ４ｃと、外輪１に支持したセンサユニット１５の検出部との軸方向のずれを補償する。そして、上記予圧の変動が、上記外輪１とハブ２とのアキシアル方向の相対変位に関する測定値のずれに結び付く事を防止する。
【解決手段】上記エンコーダ４ｃの両端部を、上記ハブ２を構成するハブ本体１８と内輪１９とに、それぞれ締り嵌めで外嵌固定する。予圧変動に基づく、これらハブ本体１８と内輪１９との軸方向に関する変動が生じると、上記エンコーダ４ｃの両端部が逆方向に同じだけ変位する。この結果、このエンコーダ４ｃの中間部外周面に設けた被検出面は軸方向に変位しないので、上記課題を解決できる。 （もっと読む）