【課題】 出力軸の回動の駆動力として伝達されるべき減速歯車の回転力が、出力軸を傾かせる力として作用しても、回転角検出装置の本体とシャフトの適正な角度（略直角）を保ちながら保持する。
【解決手段】 保持具２５は、回転角検出装置２０を装着する装着部２５ｂと、ベース部１１に締結される締結部２５ａと、装着部２５ｂと締結部２５ａとの間に、一対の軸受部２２の軸受中心を結ぶ仮想直線に対する出力軸１５の傾きに応じて変位する受動部２５ｃとを有し、受動部２５ｃの変位に応じて装着部２５ｂを変位させる。 （もっと読む）

【課題】より簡単の構造でチェンジレバーの位置を精度よく検出する。
【解決手段】チェンジレバーのシフト方向の３つのレンジとチェンジレバーのセレクト方向の３つのレンジとにおけるマグネット２の磁気に対応して出力するホール素子３の電気的シフト位置信号値および電気的セレクト位置信号値をセンサ特性値としてホール素子のメモリに記録する。各レンジ間においては、ホール素子３は、隣接する電気的シフト位置信号値どうしを結ぶシフト側仮想直線および隣接する電気的セレクト位置信号値どうしを結ぶセレクト側仮想直線を用いてセンサ特性値として、ホール素子３の位置に対応した電気的シフト位置信号値および電気的セレクト位置信号値を補完出力する。これにより、種々のばらつきが生じていても、チェンジレバーの位置を精度よく検出可能となる。 （もっと読む）

【課題】静電チャックの電極上に設けられた絶縁膜の膜厚に着目し、それを測定することで静電チャックの状態を把握できるようにした静電チャックの管理方法を提供する。
【解決手段】電極１１と、電極１１上に設けられた絶縁膜１５と、を有する静電チャック１００の管理方法であって、渦電流式膜厚測定器２００を用いて、絶縁膜１５の膜厚を測定し、測定された絶縁膜１５の膜厚値と予め設定された基準値とを比較する。このような方法によれば、静電チャック１００の状態を客観的に把握することができる。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出するギャップセンサ３０と、
このギャップセンサ３０の出力に基づいてレゾルバ２の出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

人によって装着されたセンサが人の動作を測定する。本発明によれば、向きの動作は、静止基準点からセンサに関連付けられた基準点に導く回転によって表現されず、静止基準点の軸又は平面と装着者に関連付けられた軸とを分離する角度によって表現され、それによって、彼／彼女の動作及び彼／彼女の活動をより良好に特定することを可能にする。本発明を患者のモニタリングに適用し得る。

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