位置決め装置
【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出するギャップセンサ３０と、
このギャップセンサ３０の出力に基づいてレゾルバ２の出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出するギャップセンサ３０と、
このギャップセンサ３０の出力に基づいてレゾルバ２の出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は位置決め装置に関し、詳しくは、平面モータを構成するプラテンに対するスライダの位置を制御する位置決め装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図２２は従来の位置決め装置の一例を示す構成図である。四辺形のプラテン１０上に四辺形のスライダＡ，Ｂが搭載されており、プラテン１０上でそれぞれ個別にＸ軸方向およびＹ軸方向に位置制御される。プラテン１０とスライダＡ，Ｂのそれぞれの対向面には所定ピッチの磁極の歯（以下単に歯という）が形成されており、平面モータを構成している。この平面モータを駆動することによって、スライダＡ，Ｂはそれぞれ指定された位置に移動する。
【０００３】
スライダＡ，Ｂの側辺の３辺にはバーミラーが設けられている。プラテン１０の各辺１０ａ〜１０ｄには複数のレーザ干渉計が固定配置されている。一方の対向する辺１０ａ，１０ｂに配置されたレーザ干渉計はスライダＡ，ＢのＸ軸方向の位置検出を行い、他方の対向する辺１０ｃ，１０ｄに配置されたレーザ干渉計はスライダＡ，ＢのＹ軸方向の位置検出を行う。これらのレーザ干渉計は、出射したレーザ光とこのレーザ光が各スライダＡ，Ｂのバーミラーで反射されて戻ってくる反射光との干渉に基づき、スライダＡ，Ｂの位置検出を行う。下記特許文献１には、レーザ干渉計を用いてスライダの位置検出を行う位置決め装置が記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１６３４１８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、スライダの位置検出に上記のようなレーザ干渉計を使用したシステムを採用すると、レーザ干渉計やバーミラーが高価であるため、多額の費用がかかるという問題がある。位置検出の精度や位置決め装置の規模によっては、スライダ１台につき３０００万円に達する場合もある。さらに、レーザ干渉計に用いるレーザ光源は寿命が短く、１万〜数万時間程度で交換が必要となる。
【０００６】
また、レーザ干渉計を使用したシステムでは、レーザ光を遮るものがあると位置検出ができないため、位置決め装置全体としての設計の自由度が低いという問題がある。たとえば図２２の例では、スライダＢのＸ軸方向の位置はプラテン１０の辺１０ｂに配置されたレーザ干渉計で検出されるが、スライダＢがスライダＡの背後（すなわちスライダＡと辺１０ａの間）に回り込んでしまうと、辺１０ｂのレーザ干渉計からのレーザ光がスライダＡで遮られ、位置検出ができなくなってしまう。したがって、スライダＡ，Ｂの可動範囲は制約され、この点を考慮して位置決め装置を設計しなければならない。
【０００７】
さらに、レーザ干渉計を使用したシステムでは、レーザ光を利用するため、温度や空気の揺らぎなどの周囲環境による影響が大きいという問題がある。
【０００８】
本発明は、従来技術の問題をなくし、安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記のような目的を達成するために、請求項１の発明は、
互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダと、このスライダと対向する面に磁極の歯が形成されてスライダと平面モータを構成するプラテンとを備えた位置決め装置において、
スライダの１軸方向の位置を検出するレゾルバと、
このレゾルバとプラテンとの間のギャップを検出するギャップセンサと、
このギャップセンサの出力に基づいてレゾルバの出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、
請求項１に記載の位置決め装置において、補正部は、ギャップセンサの出力に応じてレゾルバの出力の振幅に乗じる定数を決定することを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、
請求項１または２に記載の位置決め装置において、ギャップセンサは、レゾルバに隣接して配置されたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明は、
請求項１〜３に記載の位置決め装置において、ギャップセンサは、レゾルバの１軸方向の両側に配置されたことを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、
請求項１または２に記載の位置決め装置において、ギャップセンサは、スライダの１軸方向の両端部に配置されたことを特徴とする。
【００１４】
請求項６の発明は、
請求項１または２に記載の位置決め装置において、ギャップセンサは、スライダの角部に配置されたことを特徴とする。
【００１５】
請求項７の発明は、
請求項１〜６に記載の位置決め装置において、ギャップセンサの出力に基づいてプラテンに対するスライダの姿勢を制御することを特徴とする
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明によれば、
スライダの位置検出に、レーザ干渉計ではなくレゾルバを利用することによって、安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現することができる。
また、レゾルバの出力の振幅を、レゾルバとプラテンとの間のギャップに応じて補正することにより、レゾルバの位置検出精度を高めることができ、スライダの位置をより正確に検出することができる。
【００１７】
請求項２の発明によれば、
補正部は、ギャップセンサの出力に応じた定数をレゾルバの出力の振幅に乗じるため、ギャップ変化によってレゾルバ出力に生じた振幅変化を補正することができる。
【００１８】
請求項３の発明によれば、
ギャップセンサがレゾルバに隣接して配置されているため、レゾルバとプラテンとの間のギャップを直接的に検出することができる。
【００１９】
請求項４の発明によれば、
ギャップセンサがレゾルバの１軸方向の両側に配置されているため、複数のギャップセンサの出力に基づいてレゾルバとプラテンとの間のギャップを求めることで、ギャップをより正確に検出することができる。また、レゾルバの１軸方向の傾きも検出することができる。
【００２０】
請求項５の発明によれば、
ギャップセンサがスライダの１軸方向の両端部に配置されているため、ギャップセンサの出力からプラテンに対するスライダの傾きを求めることにより、プラテンに対するレゾルバの傾きを高精度に検出することができる。
【００２１】
請求項６の発明によれば、
ギャップセンサがスライダの角部に配置されているため、たとえばスライダの各辺にレゾルバを配置してギャップに応じた補正を行う場合に、少ないギャップセンサで各レゾルバのプラテンとの間のギャップおよびプラテンに対する傾きを検出することができる。
【００２２】
請求項７の発明によれば、
ギャップセンサの出力に基づいてスライダの姿勢を制御するため、スライダがプラテンに対して常に所定の姿勢に維持される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明では、レゾルバを用いてスライダの位置の検出を行う。レゾルバは、コアとコイルのみで構成されているため、レーザ干渉計など他のセンサに比較して構造が簡単で安価であり、また高い耐環境性を持っている。さらに、レゾルバにはレーザ干渉計のレーザ光源のように寿命の短い部品がないため、メンテナンスが容易である。まず、レゾルバによるスライダの位置検出の動作原理について説明する。
【００２４】
図１はレゾルバによる位置検出の動作原理の説明図である。レゾルバのセンサ部２００は、コア２０１と、このコア２０１に巻かれたコイル２０２で構成される。センサ部２００はプラテン１０上に所定の空隙を介して配置される。コア２０１のプラテン１０と対向する面には、プラテン１０の歯と同じピッチＰで歯が形成されている。
【００２５】
プラテン１０とコア２０１との間には、プラテン１０の歯とコア２０１の歯の相対位置に応じたインピーダンスＺが存在する。コイル２０１に励磁電圧として一定振幅の矩形電圧を入力すると、コア２０１が励磁されてプラテン１０との間に磁気回路Ｂが形成される。この磁気回路ＢはインピーダンスＺにより影響を受けるため、結果としてコイル２０２の端子間電圧はプラテン１０とコア２０１の相対位置に応じて変化する。そこで、コイル２０２の端子間電圧を取り出し、その振幅を検出信号とする。
【００２６】
図１の（ａ）は、コア２０１の歯とプラテン１０の歯との対向する面積が最大、すなわち位相差が０°となる相対位置を示している。このときインピーダンスＺは最小となり、検出信号は最大となる。
一方、図１の（ｂ）は、コア２０１の歯とプラテン１０の歯との対向する面積が最小、すなわち位相差が１８０°となる相対位置を示している。このときインピーダンスＺは最大となり、検出信号は最小となる。
【００２７】
センサ部２００がプラテン１０上を移動すると、インピーダンスＺは正弦波状に変化する。そのため、検出信号は、図１の（ｃ）に示すように、ピッチＰの周期で正弦波状に変化する。
【００２８】
レゾルバは、このようなセンサ部２００を２組用意し、図２に示すようにプラテン１０に対する位相を９０°ずらして配置して構成する。センサ部２００の一方をｓｉｎ相、他方をｃｏｓ相とし、これらのセンサ部から得られる検出信号のアークタンジェントを取ることによって、レゾルバのプラテン１０に対する位相差、すなわちプラテン１０の歯に対する相対位置が求められる。なお、プラテン１０のどの歯に対する相対位置かは、検出信号が原点位置から繰り返す正弦波の山の数をカウントして求められる。
以上により、原点位置を基準として、プラテン１０上におけるレゾルバの位置を精度よく検出できる。
【実施例１】
【００２９】
図３は、実施例１として、本発明をリニアモータに適用した構成を示す図である。
プラテン１０上にエアベアリングを利用してスライダ１が搭載されている。スライダ１はプラテン１０上でＸ軸方向に位置制御される。プラテン１０とスライダ１のそれぞれの対向面にはＸ軸方向に一定ピッチＰで歯１０ａが形成されており、平面モータを構成している。この平面モータを駆動することによって、スライダ１はプラテン１０上の指定されたＸ位置に移動する。なお、本図ではプラテン１０の歯を一部省略して示している。
【００３０】
スライダ１は矩形状をしており、スライダ１の各辺はＸ軸またはこのＸ軸に直交するＹ軸のいずれかに沿うようにプラテン１０上に配置されている。
【００３１】
スライダ１のＸ軸に沿った側面の一方に、Ｘ軸方向の位置を検出するレゾルバ２が固定されている。レゾルバ２はスライダ１の側面のＸ軸方向の中央部に配置されている。レゾルバ２のプラテン１０との対向面にはＸ軸方向に一定ピッチＰで歯が形成されており、これらの歯がプラテン１０の歯と対向するように配置されている。
【００３２】
ところで、プラテン１０の歯ピッチや歯溝の深さなどの寸法は、プラテン１０の全面を通して同じ値に設計される。スライダ１の歯の歯ピッチや歯溝の深さも同様に、すべて一定の値に設計される。
しかし、プラテン１０やスライダ１には、製作時に機械加工誤差が生じるため、形成されるすべての歯において歯ピッチや歯溝の深さを完全に一致させることはできない。したがって、スライダ１をプラテン１０に搭載すると、スライダ１のプラテン１０における位置に応じて、スライダ１とプラテン１０との間のギャップは変化する。これに伴い、スライダ１に固定されたレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップも、スライダ１のプラテン１０上の位置によって変化してしまう。
【００３３】
図４はレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを示す図である。図中の２ａはレゾルバ２のセンサ部である。図４の（ａ）はレゾルバ２が設計値である間隔ｄのギャップを介してプラテン１０と対向している状態を示し、図４の（ｂ）はレゾルバ２とプラテン１０とのギャップが間隔ｄよりも狭い間隔ｄ’となった状態を示し、図４の（ｃ）はレゾルバ２とプラテン１０とのギャップが間隔ｄよりも広い間隔ｄ”となった状態を示したものである。
【００３４】
レゾルバ２は、プラテン１０との間のインピーダンスＺの変化に基づいて検出信号を取得するものである。レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが変化すると、インピーダンスＺが変化してしまい、検出信号に振幅誤差が生じる。
【００３５】
図５はレゾルバ２の検出信号の例を示す図である。図中の破線は、検出信号の理論値から求められる理想波形であり、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが図４の（ａ）の状態にあるときに得られる検出信号波形である。理想波形は、プラテン１０やスライダ１、レゾルバ２自体の設計値に基づいて算出可能である。実線は実際にレゾルバ２から取得される検出信号の例である。
図５の（ａ）は、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが、図４の（ｂ）の状態にあるときに取得される検出信号を示したものである。レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが狭くなるとインピーダンスＺが小さくなり、検出信号は理想波形の振幅が拡大された状態となる。
一方、図５の（ｂ）は、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが、図４の（ｃ）の状態にあるときに取得される検出信号を示したものである。レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが広くなるとインピーダンスＺが大きくなり、検出信号は理想波形の振幅が縮小された状態となる。
したがって、図４の（ｂ）、（ｃ）のようにギャップが変化してしまっている場合には、図５の（ａ）、（ｂ）のようにレゾルバ２の検出信号に振幅誤差が生じ、検出信号をそのまま用いても精度の高いスライダ位置の測定はできない。
【００３６】
図３に戻り、レゾルバ２に、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出するギャップセンサ３０が設けられている。ギャップセンサ３０は静電容量式ギャップセンサであり、プラテン１０との間に生じる静電容量を測定することにより、プラテン１０までの間隔を測定する。レゾルバ２とギャップセンサ３０からの出力は、図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、演算部４に入力される。
【００３７】
図６はレゾルバ２とギャップセンサ３０の拡大図である。図中の２ａと２ｂはレゾルバ２のセンサ部である。ギャップセンサ３０は、センサ部２ａとセンサ部２ｂの間に配置されている。ギャップセンサ３０は、センサ部２ａ，２ｂの歯先の面からプラテン１０の歯先の面（対向面Ｓ）までの間隔ｄ１を検出し、演算部４に出力する。
なお、ギャップセンサ３０は、スライダ１の移動に伴ってプラテン１０の歯の上を移動するため、凸凹の出力を出す。そのため、凸凹のギャップのうち最小レベルを抽出して対向面Ｓとの間隔ｄ１とする。
【００３８】
図７は演算部４の構成を示す図である。演算部４はレゾルバ位置算出部４０から構成されている。レゾルバ位置算出部４０は、定数決定部４０ａ、補正部４０ｂ、位置変換部４０ｃから構成されている。
【００３９】
定数決定部４０ａは、ギャップセンサ３０から入力される間隔ｄ１に基づいてレゾルバ２の出力に乗じる定数ｐを決定し、補正部４０ｂに出力する。この定数ｐは、ギャップ変化によって生じた振幅誤差を打ち消すための定数である。たとえば、間隔ｄ１が間隔ｄ（設計値）と「ｄ１＝α×ｄ」の関係にあり、さらに、レゾルバ２の検出信号がギャップの大きさに反比例すると仮定した場合に、定数ｐ＝αとなる。
定数決定部４０ａは、ギャップと定数ｐを対応付ける変換テーブルを備え、ギャップセンサ３０から入力されるギャップをテーブル変換して定数ｐを決定する。
【００４０】
補正部４０ｂにはレゾルバ２の検出信号、すなわちセンサ部２ａ，２ｂからの出力が入力される。補正部４０ｂは、センサ部２ａ，２ｂのそれぞれの出力に定数ｐを乗じる。定数ｐを乗じることにより、ギャップ変化によってレゾルバ２の検出信号に生じた振幅誤差が補正され、理想波形と同じ振幅に矯正される。補正後のレゾルバ２の出力は、位置変換部４０ｃに出力される。
【００４１】
位置変換部４０ｃは、補正後のレゾルバ２の出力に基づいてＸ位置の検出を行う。検出されたＸ位置は、スライダ１のＸ位置として、スライダ１を駆動する平面モータにフィードバックされ、位置制御に利用される。なお、図７では演算部４を機能ブロック図のみで示してあるが、実際には演算部４はプログラムがダウンロードされたＣＰＵなどで構成される。
【００４２】
本実施例によれば、スライダ１の位置検出にレーザ干渉計ではなくレゾルバを利用することによって、安価で簡易な構成によりスライダ１の位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現することができる。
また、レゾルバ２の出力をレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップに応じて補正することにより、レゾルバ２の出力の振幅誤差をリアルタイムに補正できる。
これにより、レゾルバ２の位置検出精度が向上し、スライダ１の位置をより正確に検出することができる。
【００４３】
また、ギャップセンサ３０はレゾルバ２に隣接して配置されているため、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを直接的に検出することができる。
【００４４】
なお、本実施例では、定数決定部４０ａにおいて定数ｐをテーブル変換で決定したが、数式変換により定数ｐを決定してもよい。
【００４５】
また、本実施例では、静電容量式のギャップセンサを用いたが、ギャップセンサの方式は静電容量式のものに限らず、他の方式のものを利用してもよい。
【実施例２】
【００４６】
図８は本発明の実施例２を示す上面図である。本実施例は、先の実施例１に対して、ギャップセンサの個数および配置を変更したものである。
【００４７】
レゾルバ２に隣接してギャップセンサ３０，３１が設けられている。ギャップセンサ３０，３１は、レゾルバ２のスライダ１と反対側の側面に取り付けられている。ギャップセンサ３０，３１は、Ｘ軸方向に沿って配置され、それぞれレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出する。レゾルバ２およびギャップセンサ３０，３１からの出力は図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、演算部４’に入力される。
【００４８】
ところで、レゾルバ２はスライダ１の移動中にも検出信号を出力するが、移動中のスライダ１は、加速に基づく推力によりプラテン１０に対して傾斜する。
【００４９】
図９はスライダ１の加速とプラテン１０に対する傾斜を示す図である。図９の（ａ）は、スライダ１がプラテン１０上で静止している状態である。スライダ１は、静止時には傾斜することなく、プラテン１０の対向面Ｓと平行に浮上する。浮上量は１０μｍ程度である。
しかし、スライダ１が移動する際には、図９の（ｂ）のように加速によって進行方向前方が浮いて後方が沈むような現象が発生し、スライダ１はプラテン１０の対向面Ｓに対して角度φで傾斜する。さらに加速が強くなると、図９の（ｃ）のようにスライダ１のプラテン１０の対向面Ｓに対する傾斜角度φは大きくなる。傾斜したスライダ１の両端の高低差ｈは数μｍ程度に達することもある。レゾルバ２はスライダ１に固定されているため、スライダ１が傾斜するとレゾルバ２も傾斜する。
【００５０】
図１０はレゾルバ２とギャップセンサ３０，３１の拡大図である。本図は、スライダ１が図中右方向に加速しており、レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂがプラテン１０の対向面Ｓに対して傾斜している状態を示している。
【００５１】
ギャップセンサ３０は、センサ部２ａのＸ軸方向の中央に形成された歯とＸ軸方向に位置を揃えて配置されている。ギャップセンサ３０は、位置合わせをした歯の歯先の面と、プラテン１０の対向面Ｓとの間隔ｄ２を検出する。同様に、ギャップセンサ３１はセンサ部２ｂのＸ軸方向の中央に形成された歯とＸ軸方向に位置を揃えて配置され、その歯の歯先の面とプラテン１０の対向面Ｓとの間隔ｄ３を検出する。
【００５２】
図１１は演算部４’の構成を示す図である。演算部４’は、レゾルバ位置算出部４０’およびスライダ姿勢算出部４１から構成されている。レゾルバ位置算出部４０’は、定数決定部４０ａ、４０ａ’、補正部４０ｂ、４０ｂ’、位置変換部４０ｃから構成されている。
【００５３】
ギャップセンサ３０の出力が定数決定部４０ａに入力される。定数決定部４０ａは、ギャップセンサ３０から入力される間隔ｄ２に基づいてセンサ部２ａの出力に乗じる定数ｐａを決定し、補正部４０ｂに出力する。同様に、ギャップセンサ３１の出力は定数決定部４０ａ’に入力される。定数決定部４０ａ’は、ギャップセンサ３１から入力される間隔ｄ３に基づいてセンサ部２ｂの出力に乗じる定数ｐｂを決定し、補正部４０ｂ’に出力する。
【００５４】
定数ｐａ，ｐｂは、ギャップ変化によって生じたレゾルバ２の検出信号の振幅誤差を打ち消すための定数である。定数決定部４０ａ，４０ａ’は、ギャップと定数ｐａ，ｐｂを対応付ける変換テーブルを備え、ギャップセンサ３０，３１から入力されるギャップをテーブル変換して定数ｐａ，ｐｂを決定する。
【００５５】
補正部４０ｂにはセンサ部２ａからの出力が入力され、補正部４０ｂ’にはセンサ部２ｂからの出力が入力される。補正部４０ｂ，４０ｂ’は、それぞれセンサ部２ａ，２ｂの出力に定数ｐａ，ｐｂを乗じる。定数ｐａ，ｐｂを乗じることにより、ギャップ変化によってレゾルバ２の検出信号に生じた振幅誤差が補正され、理想波形と同じ振幅に矯正される。レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂの補正後の出力は、位置変換部４０ｃに出力される。
【００５６】
位置変換部４０ｃは、補正後のレゾルバ２の出力に基づいてＸ位置の検出を行う。検出されたＸ位置は、スライダ１のＸ位置として利用される。
【００５７】
また、スライダ姿勢算出部４１にギャップセンサ３０，３１の出力が入力される。スライダ姿勢算出部４１は、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいて、ギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φを算出する。スライダ姿勢算出部４１は、この角度φをスライダ１のＸ軸方向の傾斜角度φとして出力する。スライダ１の傾斜角度φは、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。その他の構成は前記実施例１と同じである。
【００５８】
本実施例によれば、実施例１で得られる効果に加え、ギャップセンサ３０，３１がレゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂのそれぞれに配置されているため、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップをセンサ部ごとに検出できる。そのため、ギャップ補正をレゾルバ２の相ごとに個別に行うことができ、レゾルバ２の位置検出精度をさらに高めることができる。また、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいてスライダ１の姿勢を制御するため、スライダ１がプラテン１０に対して常に所定の姿勢に維持される。
【実施例３】
【００５９】
図１２は本発明の実施例３を示す上面図であり、先の実施例２に対して、ギャップセンサの配置を変更したものである。
【００６０】
ギャップセンサ３０，３１は、レゾルバ２に隣接して配置されるとともに、レゾルバ２をＸ軸方向から挟むように配置されている。レゾルバ２およびギャップセンサ３０，３１からの出力は図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、演算部４”に入力される。
【００６１】
図１３はレゾルバ２とギャップセンサ３０，３１の拡大図であり、スライダ１が図中右方向に加速しており、レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂがプラテン１０の対向面Ｓに対して傾斜している状態を示している。
【００６２】
ギャップセンサ３０，３１は、センサ部２ａ，２ｂを間に挟むようにして、センサ部２ａの一端とセンサ部２ｂの他端に取り付けられている。すなわち、センサ部２ａの一端にはギャップセンサ３０が配置され、センサ部２ｂの他端にはギャップセンサ３１が配置されている。ギャップセンサ３０は、センサ部２ａの歯先の面と高さを揃えて配置され、プラテン１０の対向面Ｓとの間隔ｄ４を検出する。また、ギャップセンサ３１は、センサ部２ｂの歯先の面と高さを揃えて配置され、プラテン１０の対向面Ｓとの間隔ｄ５を検出する。
【００６３】
図１４は演算部４”の構成を示す図である。演算部４”は、レゾルバ位置算出部４０”およびスライダ姿勢算出部４１から構成されている。レゾルバ位置算出部４０”は、定数決定部４０ａ、４０ａ’、補正部４０ｂ、４０ｂ’、位置変換部４０ｃ、ギャップ算出部４０ｄから構成されている。
【００６４】
ギャップセンサ３０，３１の出力がギャップ算出部４０ｄに入力される。ギャップ算出部４０ｄは、ギャップセンサ３０，３１の出力およびギャップセンサ３０，３１の間隔に基づいて、ギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φを算出する。
【００６５】
そして、ギャップ算出部４０ｄは、算出した角度φと、センサ部２ａのギャップセンサ３０，３１に対する相対位置に基づいて、センサ部２ａのＸ軸方向の中央に位置する歯の歯先からプラテン１０の対向面Ｓまでの間隔ｄ４’を算出し、定数決定部４０ａに出力する。同様に、ギャップ算出部４０ｄは、センサ部２ｂのＸ軸方向の中央に位置する歯の歯先からプラテン１０の対向面Ｓまでの間隔ｄ５’を算出し、定数決定部４ｂに出力する。
【００６６】
定数決定部４０ａは、ギャップ算出部４０ｄから入力される間隔ｄ４’に基づいてセンサ部２ａの出力に乗じる定数ｐａを決定し、補正部４０ｂに出力する。同様に、定数決定部４０ａ’は、ギャップ算出部４０ｄから入力される間隔ｄ５’に基づいてセンサ部２ｂの出力に乗じる定数ｐｂを決定し、補正部４０ｂ’に出力する。
【００６７】
定数ｐａ，ｐｂは、ギャップ変化によって生じたレゾルバ２の検出信号の振幅誤差を打ち消すための定数である。定数決定部４０ａ，４０ａ’は、ギャップと定数ｐａ，ｐｂを対応付ける変換テーブルを備え、ギャップ算出部４０ｄから入力されるギャップｄ４’，ｄ５’をテーブル変換して定数ｐａ，ｐｂを決定する。
【００６８】
補正部４０ｂにはセンサ部２ａからの出力が入力され、補正部４０ｂ’にはセンサ部２ｂからの出力が入力される。補正部４０ｂ，４０ｂ’は、それぞれセンサ部２ａ，２ｂの出力に定数ｐａ，ｐｂを乗じる。定数ｐａ，ｐｂを乗じることにより、ギャップ変化によってレゾルバ２の検出信号に生じた振幅誤差が補正され、理想波形と同じ振幅に矯正される。レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂの補正後の出力は、位置変換部４０ｃに出力される。
【００６９】
位置変換部４０ｃは、補正後のレゾルバ２の出力に基づいてＸ位置の検出を行う。検出されたＸ位置は、スライダ１のＸ位置として利用される。また、レゾルバ２の傾きφは、スライダ１の傾きとして、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。
【００７０】
また、スライダ姿勢算出部４１にギャップセンサ３０，３１の出力が入力される。スライダ姿勢算出部４１は、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいて、ギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φを算出する。スライダ姿勢算出部４１は、この角度φをスライダ１のＸ軸方向の傾斜角度φとして出力する。スライダ１の傾斜角度φは、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。その他の構成は前記実施例２と同じである。
【００７１】
本実施例によれば、実施例１で得られる効果に加え、ギャップセンサ３０，３１がレゾルバ２のＸ軸方向の両側に配置されているため、これらのギャップセンサ３０，３１の出力に基づく演算により、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップをセンサ部ごとに検出することができる。そのため、ギャップ補正をレゾルバ２の相ごとに個別に行うことができ、レゾルバ２の位置検出精度をさらに高めることができる。
【００７２】
なお、本実施例では、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいて、レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂそれぞれ個別にギャップを求めた。しかし、ギャップセンサ３０，３１で求められるギャップの平均値を、センサ部２ａ，２ｂの各相に共通のギャップとして利用してもよい。
【００７３】
また、本実施例では、スライダ姿勢算出部４１で算出した角度をスライダ１の傾斜角度φとして出力しているが、ギャップ算出部４０ｄで算出した角度をスライダ１の傾斜角度φとして出力してもよい。
【実施例４】
【００７４】
図１５は本発明の実施例４を示す上面図であり、先の実施例３に対して、ギャップセンサの配置を変更したものである。
【００７５】
ギャップセンサ３０，３１が、スライダ１のレゾルバ２が配置された側辺のＸ軸方向の端部に固定されている。ギャップセンサ３０，３１は、配置された側辺の端部において、スライダ１とプラテン１０とのギャップを検出する。レゾルバ２およびギャップセンサ３０，３１の出力は演算部４”に入力される。
【００７６】
演算部４”の構成は前記実施例３と同様である。
演算部４”は、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいてギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φを算出する。そして、演算部４”は、算出した角度φと、センサ部２ａ，２ｂそれぞれのギャップセンサ３０，３１に対する相対位置に基づいて、センサ部２ａ，２ｂのＸ軸方向の中央に位置する歯の歯先からプラテン１０の対向面Ｓまでの間隔ｄ４’，ｄ５’を求める。これにより、ギャップセンサ３０，３１によって、間接的にレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが検出される。
【００７７】
演算部４”は、ギャップｄ４’，ｄ５’に基づいてセンサ部２ａ，２ｂの出力を補正し、補正後のセンサ部２ａ，２ｂの出力に基づいてＸ位置の検出を行う。検出されたＸ位置は、演算部４”から外部へ出力され、スライダ１のＸ位置として利用される。また、演算部４”からはスライダ１の傾斜角度φが出力され、スライダ１の姿勢制御に利用される。その他の構成は前記実施例３と同じである。
【００７８】
本実施例によれば、実施例３で得られる効果に加え、ギャップセンサ３０，３１がスライダ１の側辺の端部に配置されているため、ギャップセンサ同士の間隔を広くとることができる。これにより、スライダ１の傾斜角度、すなわちレゾルバ２の傾斜角度φを高い分解能で検出することができる。レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップをより精度良く算出でき、レゾルバ２の出力を精度良く補正することができる。
【実施例５】
【００７９】
図１６は、実施例５として、本発明を２次元方向の平面モータに適用した構成を示す図である。
プラテン１０上にはエアベアリングを利用してスライダ１が搭載されている。スライダ１は、プラテン１０上でＸ軸方向およびＹ軸方向に位置制御される。プラテン１０とスライダ１のそれぞれの対向面にはＸ軸方向およびＹ軸方向に一定ピッチＰの格子状に歯１０ｂが形成されており、平面モータを構成している。この平面モータを駆動することによって、スライダ１はプラテン１０上の指定されたＸ位置およびＹ位置に移動する。なお、本図ではプラテン１０の歯１０ｂを一部のみに示している。
【００８０】
スライダ１は矩形状をしており、スライダ１の各辺はＸ軸またはこのＸ軸に直交するＹ軸のいずれかに沿うようにプラテン１０上に配置されている。
【００８１】
スライダ１の各側面の中央部にレゾルバ２０〜２３が固定されている。スライダ１のＸ軸と平行な対向辺にレゾルバ２０，２１が配置され、Ｙ軸と平行な対向辺にレゾルバ２２，２３が配置されている。レゾルバ２０，２１はＸ軸方向の位置を検出し、レゾルバ２２，２３はＹ軸方向の位置を検出する。レゾルバ２０，２１に基づいてスライダ１のＸ位置の検出を行い、レゾルバ２２，２３に基づいてスライダ１のＹ位置の検出を行う。
【００８２】
レゾルバ２０〜２３のそれぞれにギャップセンサ３０〜３３が設けられている。ギャップセンサ３０〜３３は静電容量式ギャップセンサであり、プラテン１０との間に生じる静電容量を測定することにより、プラテン１０までの間隔を測定する。
【００８３】
スライダ１の各辺において、前記実施例１におけるレゾルバ２およびギャップセンサ３０と同様の処理を行い、各レゾルバの位置検出の精度を高める。
すなわち、ギャップセンサ３０によりレゾルバ２０に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３１によりレゾルバ２１に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３２によりレゾルバ２２に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３３によりレゾルバ２３に生じた振幅誤差の補正を行う。
【００８４】
図１７は本実施例における演算部（図１６では図示せず）を示す図である。
演算部は、レゾルバ位置算出部４００〜４０３、スライダ姿勢算出部４１、スライダ位置・回転角算出部４２から構成されている。
レゾルバ２０およびギャップセンサ３０の出力は、図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、レゾルバ位置算出部４００に入力される。レゾルバ位置算出部４０は前記実施例１におけるレゾルバ位置算出部４０と同じ構成のものである。レゾルバ位置演算部４０は、ギャップセンサ３０の出力に基づいてレゾルバ２０の振幅誤差を打ち消す補正を行い、レゾルバ２０の補正後の出力に基づいてＸ位置を検出する。
【００８５】
同様に、レゾルバ位置演算部４０１にはレゾルバ２１およびギャップセンサ３１の出力が入力され、レゾルバ２１の補正後の出力に基づいて検出されたＸ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０２にはレゾルバ２２およびギャップセンサ３２の出力が入力され、レゾルバ２２の補正後の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０３にはレゾルバ２３およびギャップセンサ３３の出力が入力され、レゾルバ２３の補正後の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
【００８６】
レゾルバ位置演算部４００，４０１から出力されるＸ位置およびレゾルバ位置演算部４０２，４０３から出力されるＹ位置は、スライダ位置・回転角算出部４２に入力される。スライダ位置・回転角算出部４２は、レゾルバ位置演算部４００，４０１からそれぞれ入力されるＸ位置の平均をとり、スライダ１のＸ位置とする。また、スライダ位置・回転角算出部４２は、レゾルバ位置演算部４０２，４０３からそれぞれ入力されるＹ位置の平均をとり、スライダ１のＹ位置とする。
さらにスライダ位置・回転角算出部は、レゾルバ位置演算部４００，４０１からのＸ位置の差分およびレゾルバ位置演算部４０２，４０３からのＹ位置の差分に基づいて、スライダ１のプラテン１０上での回転角θを算出する。
【００８７】
また、スライダ姿勢算出部４１にギャップセンサ３０〜３３の出力が入力される。スライダ姿勢算出部４１は、ギャップセンサ３０〜３３の出力に基づいて、スライダ１の全体的な傾きや、スライダ１のたわみを算出する。
【００８８】
スライダ位置・回転角算出部４２で求められたスライダ１の位置、回転角θは、スライダ１を駆動する平面モータにフィードバックされ、位置制御や姿勢制御に利用される。また、スライダ姿勢算出部４１で求められたスライダ１の傾きやたわみは、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。
【００８９】
なお、レゾルバ位置演算部４００〜４０３、スライダ姿勢算出部４１、スライダ位置・回転角算出部４２は、プログラムがダウンロードされたＣＰＵなどで構成される。
【００９０】
本実施例によれば、実施例１で得られる効果に加え、スライダ１の複数個所に本発明を適用することによって、スライダ１のＸ位置、Ｙ位置の検出精度を高めることができる。また、スライダ１のＸ軸周りおよびＹ軸周りの傾きが求められ、プラテン１０に対するスライダ１の姿勢を精度よく制御できる。
【実施例６】
【００９１】
図１８は本発明の実施例６を示す上面図である。本実施例は、先の実施例５に対して、ギャップセンサの個数および配置を変更したものである。
【００９２】
レゾルバ２０の両側にはギャップセンサ３０，３１が固定され、レゾルバ２１の両側にはギャップセンサ３２，３３が固定されている。ギャップセンサ３０，３２はそれぞれレゾルバ２０，２１の＋Ｘ方向に設けられ、ギャップセンサ３１，３３はそれぞれレゾルバ２０，２１の−Ｘ方向に設けられている。
【００９３】
レゾルバ２２の両側にはギャップセンサ３４，３５が固定され、レゾルバ２３の両側にはギャップセンサ３６，３７が固定されている。ギャップセンサ３４，３６はそれぞれレゾルバ２２，２３の−Ｙ方向に設けられ、ギャップセンサ３５，３７はそれぞれレゾルバ２０，２１の＋Ｙ方向に設けられている。
【００９４】
スライダ１の各辺において、前記実施例３におけるレゾルバ２およびギャップセンサ３０，３１と同様の処理を行い、各レゾルバの位置検出の精度を高める。
すなわち、ギャップセンサ３０，３１によってレゾルバ２０に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３２，３３によってレゾルバ２１に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３４，３５によってレゾルバ２２に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３６，３７によってレゾルバ２３に生じた振幅誤差の補正を行う。
【００９５】
図１９は本実施例における演算部（図１８では図示せず）を示す図である。
演算部は、レゾルバ位置算出部４００〜４０３、スライダ姿勢算出部４１、スライダ位置・回転角算出部４２から構成されている。
レゾルバ２０およびギャップセンサ３０，３１の出力は、図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、レゾルバ位置演算部４００に入力される。レゾルバ位置演算部４００は前記実施例３におけるレゾルバ位置演算部４０”と同じ構成のものである。レゾルバ位置演算部４００は、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいて、ギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φ０を求める。そして、角度φ０およびレゾルバ２０のギャップセンサ３０，３１に対する相対位置に基づいて、レゾルバ２０とプラテン１０との間のギャップを算出する。レゾルバ位置演算部４００は、算出したギャップに基づいてレゾルバ２０の振幅誤差を打ち消す補正を行い、補正後のレゾルバ２０に基づいてＸ位置を検出する。
【００９６】
同様に、レゾルバ位置演算部４０１にはレゾルバ２１およびギャップセンサ３２，３３の出力が入力され、補正後のレゾルバ２１の出力に基づいて検出されたＸ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０２にはレゾルバ２２およびギャップセンサ３４，３５の出力が入力され、補正後のレゾルバ２２の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０３にはレゾルバ２３およびギャップセンサ３６，３７の出力が入力され、補正後のレゾルバ２３の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
【００９７】
レゾルバ位置演算部４００，４０１から出力されるＸ位置およびレゾルバ位置演算部４０２，４０３から出力されるＹ位置は、スライダ位置・回転角算出部４２に入力される。スライダ位置・回転角算出部４２は、レゾルバ位置演算部４００，４０１からそれぞれ入力されるＸ位置の平均をとり、スライダ１のＸ位置とする。また、スライダ位置・回転角算出部４２は、レゾルバ位置演算部４０２，４０３からそれぞれ入力されるＹ位置の平均をとり、スライダ１のＹ位置とする。
さらにスライダ位置・回転角算出部は、レゾルバ位置演算部４００，４０１からのＸ位置の差分およびレゾルバ位置演算部４０２，４０３からのＹ位置の差分に基づいて、スライダ１のプラテン１０上での回転角θを算出する。
【００９８】
また、スライダ姿勢算出部４１にギャップセンサ３０〜３７の出力が入力される。スライダ姿勢算出部４１は、ギャップセンサ３０〜３７の出力に基づいて、スライダ１の全体的な傾きや、スライダ１のたわみを算出する。
【００９９】
スライダ位置・回転角算出部４２で求められたスライダ１の位置、回転角θは、スライダ１を駆動する平面モータにフィードバックされ、位置制御や姿勢制御に利用される。また、スライダ姿勢算出部４１で求められたスライダ１の傾きやたわみは、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。その他の構成は前記実施例５と同じである。
【０１００】
本実施例によれば、実施例５で得られる効果に加え、ギャップセンサの数が多いため、スライダ１の傾きやたわみをより精度良く検出することができる。
【実施例７】
【０１０１】
図２０は本発明の実施例７を示す上面図である。本実施例は、先の実施例５に対して、ギャップセンサの配置を変更したものである。
【０１０２】
矩形状に形成されたスライダ１の角部にギャップセンサ３０〜３３が固定されている。ギャップセンサ３０はレゾルバ２０，２２が配置された側辺よりなる角部に配置され、ギャップセンサ３１はレゾルバ２２，２１が配置された側辺よりなる角部に配置され、ギャップセンサ３２はレゾルバ２１，２３が配置された側辺よりなる角部に配置され、ギャップセンサ３３はレゾルバ２３，２０が配置された側辺よりなる角部に配置されている。
【０１０３】
ギャップセンサ３０，３１は、スライダ１に配置された角部において、スライダ１とプラテン１０との間のギャップを検出する。そして、ギャップセンサ３３，３０によってレゾルバ２０に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３０，３１によってレゾルバ２２に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３１，３２によってレゾルバ２１に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３２，３３によってレゾルバ２３に生じた振幅誤差の補正を行う。
【０１０４】
図２１は本実施例における演算部（図２０では図示せず）を示す図である。
レゾルバ２０およびギャップセンサ３０，３３の出力は、図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、レゾルバ位置演算部４００に入力される。レゾルバ位置演算部４００は実施例３におけるレゾルバ位置演算部４０”と同じ構成のものである。レゾルバ位置演算部４００は、ギャップセンサ３０，３３の出力に基づいてギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３３の傾斜角度φを求める。なお、ギャップセンサ３０，３３はそれぞれスライダ１の角部に配置されているため、算出された角度φはプラテン１０に対するスライダ１の側辺の傾きそのものである。
【０１０５】
レゾルバ位置演算部４００は、角度φおよびレゾルバ２０のギャップセンサ３０，３３に対する相対位置に基づき、レゾルバ２０とプラテン１０との間のギャップを算出する。レゾルバ位置演算部４００は、算出したギャップに基づいてレゾルバ２０の振幅誤差を打ち消す補正を行い、補正後のレゾルバ２０に基づいてＸ位置を検出する。
【０１０６】
同様に、レゾルバ位置演算部４０１にはレゾルバ２１およびギャップセンサ３１，３２の出力が入力され、補正後のレゾルバ２１の出力に基づいて検出されたＸ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０２にはレゾルバ２２およびギャップセンサ３０，３１の出力が入力され、補正後のレゾルバ２２の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０３にはレゾルバ２３およびギャップセンサ３２，３３の出力が入力され、補正後のレゾルバ２３の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
その他の構成は前記実施例５と同じである。
【０１０７】
本実施例によれば、実施例５で得られる効果に加え、ギャップセンサ３０〜３３をスライダ１の各角部に配置したことによって、レゾルバ２０〜２３のギャップ補正に必要なギャップセンサの個数が少なくて済む。また、ギャップセンサ３０〜３３がスライダ１の各角部に配置されているため、スライダ１の各側辺の傾きを直接的に算出することができ、スライダ１の傾きをより正確に検出することができる。
【０１０８】
以上説明したように、本発明によれば、安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】レゾルバによる位置検出の動作原理の説明図である。
【図２】レゾルバの構成を示す図である。
【図３】本発明の実施例１を示す上面図である。
【図４】レゾルバ２とプラテン１０とのギャップを示す図である。
【図５】レゾルバ２の検出信号の例を示す図である。
【図６】レゾルバ２とギャップセンサ３０の拡大図である。
【図７】実施例１の演算部の構成を示す図である。
【図８】本発明の実施例２を示す上面図である。
【図９】スライダ１の加速と傾きを示す図である。
【図１０】レゾルバ２とギャップセンサ３０，３１の拡大図である。
【図１１】実施例２の演算部の構成を示す図である。
【図１２】本発明の実施例３を示す上面図である。
【図１３】レゾルバ２とギャップセンサ３０，３１の拡大図である。
【図１４】実施例３の演算部の構成を示す図である。
【図１５】本発明の実施例４を示す上面図である。
【図１６】本発明の実施例５を示す上面図である。
【図１７】実施例５の演算部の構成を示す図である。
【図１８】本発明の実施例６を示す上面図である。
【図１９】実施例６の演算部の構成を示す図である。
【図２０】本発明の実施例７を示す上面図である。
【図２１】実施例７の演算部の構成を示す図である。
【図２２】従来例の位置決め装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１ スライダ
２，２０〜２３ レゾルバ
３０〜３３ ギャップセンサ
４，４’，４” 演算部
４０，４０’，４０” レゾルバ位置算出部
４０ａ 定数決定部
４０ｂ 補正部
４０ｃ レゾルバ位置変換部
４０ｄ ギャップ算出部
４１ スライダ姿勢算出部
４２ スライダ位置・回転角算出部
１０ プラテン
【技術分野】
【０００１】
本発明は位置決め装置に関し、詳しくは、平面モータを構成するプラテンに対するスライダの位置を制御する位置決め装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図２２は従来の位置決め装置の一例を示す構成図である。四辺形のプラテン１０上に四辺形のスライダＡ，Ｂが搭載されており、プラテン１０上でそれぞれ個別にＸ軸方向およびＹ軸方向に位置制御される。プラテン１０とスライダＡ，Ｂのそれぞれの対向面には所定ピッチの磁極の歯（以下単に歯という）が形成されており、平面モータを構成している。この平面モータを駆動することによって、スライダＡ，Ｂはそれぞれ指定された位置に移動する。
【０００３】
スライダＡ，Ｂの側辺の３辺にはバーミラーが設けられている。プラテン１０の各辺１０ａ〜１０ｄには複数のレーザ干渉計が固定配置されている。一方の対向する辺１０ａ，１０ｂに配置されたレーザ干渉計はスライダＡ，ＢのＸ軸方向の位置検出を行い、他方の対向する辺１０ｃ，１０ｄに配置されたレーザ干渉計はスライダＡ，ＢのＹ軸方向の位置検出を行う。これらのレーザ干渉計は、出射したレーザ光とこのレーザ光が各スライダＡ，Ｂのバーミラーで反射されて戻ってくる反射光との干渉に基づき、スライダＡ，Ｂの位置検出を行う。下記特許文献１には、レーザ干渉計を用いてスライダの位置検出を行う位置決め装置が記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−１６３４１８
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、スライダの位置検出に上記のようなレーザ干渉計を使用したシステムを採用すると、レーザ干渉計やバーミラーが高価であるため、多額の費用がかかるという問題がある。位置検出の精度や位置決め装置の規模によっては、スライダ１台につき３０００万円に達する場合もある。さらに、レーザ干渉計に用いるレーザ光源は寿命が短く、１万〜数万時間程度で交換が必要となる。
【０００６】
また、レーザ干渉計を使用したシステムでは、レーザ光を遮るものがあると位置検出ができないため、位置決め装置全体としての設計の自由度が低いという問題がある。たとえば図２２の例では、スライダＢのＸ軸方向の位置はプラテン１０の辺１０ｂに配置されたレーザ干渉計で検出されるが、スライダＢがスライダＡの背後（すなわちスライダＡと辺１０ａの間）に回り込んでしまうと、辺１０ｂのレーザ干渉計からのレーザ光がスライダＡで遮られ、位置検出ができなくなってしまう。したがって、スライダＡ，Ｂの可動範囲は制約され、この点を考慮して位置決め装置を設計しなければならない。
【０００７】
さらに、レーザ干渉計を使用したシステムでは、レーザ光を利用するため、温度や空気の揺らぎなどの周囲環境による影響が大きいという問題がある。
【０００８】
本発明は、従来技術の問題をなくし、安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記のような目的を達成するために、請求項１の発明は、
互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダと、このスライダと対向する面に磁極の歯が形成されてスライダと平面モータを構成するプラテンとを備えた位置決め装置において、
スライダの１軸方向の位置を検出するレゾルバと、
このレゾルバとプラテンとの間のギャップを検出するギャップセンサと、
このギャップセンサの出力に基づいてレゾルバの出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２の発明は、
請求項１に記載の位置決め装置において、補正部は、ギャップセンサの出力に応じてレゾルバの出力の振幅に乗じる定数を決定することを特徴とする。
【００１１】
請求項３の発明は、
請求項１または２に記載の位置決め装置において、ギャップセンサは、レゾルバに隣接して配置されたことを特徴とする。
【００１２】
請求項４の発明は、
請求項１〜３に記載の位置決め装置において、ギャップセンサは、レゾルバの１軸方向の両側に配置されたことを特徴とする。
【００１３】
請求項５の発明は、
請求項１または２に記載の位置決め装置において、ギャップセンサは、スライダの１軸方向の両端部に配置されたことを特徴とする。
【００１４】
請求項６の発明は、
請求項１または２に記載の位置決め装置において、ギャップセンサは、スライダの角部に配置されたことを特徴とする。
【００１５】
請求項７の発明は、
請求項１〜６に記載の位置決め装置において、ギャップセンサの出力に基づいてプラテンに対するスライダの姿勢を制御することを特徴とする
【発明の効果】
【００１６】
請求項１の発明によれば、
スライダの位置検出に、レーザ干渉計ではなくレゾルバを利用することによって、安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現することができる。
また、レゾルバの出力の振幅を、レゾルバとプラテンとの間のギャップに応じて補正することにより、レゾルバの位置検出精度を高めることができ、スライダの位置をより正確に検出することができる。
【００１７】
請求項２の発明によれば、
補正部は、ギャップセンサの出力に応じた定数をレゾルバの出力の振幅に乗じるため、ギャップ変化によってレゾルバ出力に生じた振幅変化を補正することができる。
【００１８】
請求項３の発明によれば、
ギャップセンサがレゾルバに隣接して配置されているため、レゾルバとプラテンとの間のギャップを直接的に検出することができる。
【００１９】
請求項４の発明によれば、
ギャップセンサがレゾルバの１軸方向の両側に配置されているため、複数のギャップセンサの出力に基づいてレゾルバとプラテンとの間のギャップを求めることで、ギャップをより正確に検出することができる。また、レゾルバの１軸方向の傾きも検出することができる。
【００２０】
請求項５の発明によれば、
ギャップセンサがスライダの１軸方向の両端部に配置されているため、ギャップセンサの出力からプラテンに対するスライダの傾きを求めることにより、プラテンに対するレゾルバの傾きを高精度に検出することができる。
【００２１】
請求項６の発明によれば、
ギャップセンサがスライダの角部に配置されているため、たとえばスライダの各辺にレゾルバを配置してギャップに応じた補正を行う場合に、少ないギャップセンサで各レゾルバのプラテンとの間のギャップおよびプラテンに対する傾きを検出することができる。
【００２２】
請求項７の発明によれば、
ギャップセンサの出力に基づいてスライダの姿勢を制御するため、スライダがプラテンに対して常に所定の姿勢に維持される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明では、レゾルバを用いてスライダの位置の検出を行う。レゾルバは、コアとコイルのみで構成されているため、レーザ干渉計など他のセンサに比較して構造が簡単で安価であり、また高い耐環境性を持っている。さらに、レゾルバにはレーザ干渉計のレーザ光源のように寿命の短い部品がないため、メンテナンスが容易である。まず、レゾルバによるスライダの位置検出の動作原理について説明する。
【００２４】
図１はレゾルバによる位置検出の動作原理の説明図である。レゾルバのセンサ部２００は、コア２０１と、このコア２０１に巻かれたコイル２０２で構成される。センサ部２００はプラテン１０上に所定の空隙を介して配置される。コア２０１のプラテン１０と対向する面には、プラテン１０の歯と同じピッチＰで歯が形成されている。
【００２５】
プラテン１０とコア２０１との間には、プラテン１０の歯とコア２０１の歯の相対位置に応じたインピーダンスＺが存在する。コイル２０１に励磁電圧として一定振幅の矩形電圧を入力すると、コア２０１が励磁されてプラテン１０との間に磁気回路Ｂが形成される。この磁気回路ＢはインピーダンスＺにより影響を受けるため、結果としてコイル２０２の端子間電圧はプラテン１０とコア２０１の相対位置に応じて変化する。そこで、コイル２０２の端子間電圧を取り出し、その振幅を検出信号とする。
【００２６】
図１の（ａ）は、コア２０１の歯とプラテン１０の歯との対向する面積が最大、すなわち位相差が０°となる相対位置を示している。このときインピーダンスＺは最小となり、検出信号は最大となる。
一方、図１の（ｂ）は、コア２０１の歯とプラテン１０の歯との対向する面積が最小、すなわち位相差が１８０°となる相対位置を示している。このときインピーダンスＺは最大となり、検出信号は最小となる。
【００２７】
センサ部２００がプラテン１０上を移動すると、インピーダンスＺは正弦波状に変化する。そのため、検出信号は、図１の（ｃ）に示すように、ピッチＰの周期で正弦波状に変化する。
【００２８】
レゾルバは、このようなセンサ部２００を２組用意し、図２に示すようにプラテン１０に対する位相を９０°ずらして配置して構成する。センサ部２００の一方をｓｉｎ相、他方をｃｏｓ相とし、これらのセンサ部から得られる検出信号のアークタンジェントを取ることによって、レゾルバのプラテン１０に対する位相差、すなわちプラテン１０の歯に対する相対位置が求められる。なお、プラテン１０のどの歯に対する相対位置かは、検出信号が原点位置から繰り返す正弦波の山の数をカウントして求められる。
以上により、原点位置を基準として、プラテン１０上におけるレゾルバの位置を精度よく検出できる。
【実施例１】
【００２９】
図３は、実施例１として、本発明をリニアモータに適用した構成を示す図である。
プラテン１０上にエアベアリングを利用してスライダ１が搭載されている。スライダ１はプラテン１０上でＸ軸方向に位置制御される。プラテン１０とスライダ１のそれぞれの対向面にはＸ軸方向に一定ピッチＰで歯１０ａが形成されており、平面モータを構成している。この平面モータを駆動することによって、スライダ１はプラテン１０上の指定されたＸ位置に移動する。なお、本図ではプラテン１０の歯を一部省略して示している。
【００３０】
スライダ１は矩形状をしており、スライダ１の各辺はＸ軸またはこのＸ軸に直交するＹ軸のいずれかに沿うようにプラテン１０上に配置されている。
【００３１】
スライダ１のＸ軸に沿った側面の一方に、Ｘ軸方向の位置を検出するレゾルバ２が固定されている。レゾルバ２はスライダ１の側面のＸ軸方向の中央部に配置されている。レゾルバ２のプラテン１０との対向面にはＸ軸方向に一定ピッチＰで歯が形成されており、これらの歯がプラテン１０の歯と対向するように配置されている。
【００３２】
ところで、プラテン１０の歯ピッチや歯溝の深さなどの寸法は、プラテン１０の全面を通して同じ値に設計される。スライダ１の歯の歯ピッチや歯溝の深さも同様に、すべて一定の値に設計される。
しかし、プラテン１０やスライダ１には、製作時に機械加工誤差が生じるため、形成されるすべての歯において歯ピッチや歯溝の深さを完全に一致させることはできない。したがって、スライダ１をプラテン１０に搭載すると、スライダ１のプラテン１０における位置に応じて、スライダ１とプラテン１０との間のギャップは変化する。これに伴い、スライダ１に固定されたレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップも、スライダ１のプラテン１０上の位置によって変化してしまう。
【００３３】
図４はレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを示す図である。図中の２ａはレゾルバ２のセンサ部である。図４の（ａ）はレゾルバ２が設計値である間隔ｄのギャップを介してプラテン１０と対向している状態を示し、図４の（ｂ）はレゾルバ２とプラテン１０とのギャップが間隔ｄよりも狭い間隔ｄ’となった状態を示し、図４の（ｃ）はレゾルバ２とプラテン１０とのギャップが間隔ｄよりも広い間隔ｄ”となった状態を示したものである。
【００３４】
レゾルバ２は、プラテン１０との間のインピーダンスＺの変化に基づいて検出信号を取得するものである。レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが変化すると、インピーダンスＺが変化してしまい、検出信号に振幅誤差が生じる。
【００３５】
図５はレゾルバ２の検出信号の例を示す図である。図中の破線は、検出信号の理論値から求められる理想波形であり、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが図４の（ａ）の状態にあるときに得られる検出信号波形である。理想波形は、プラテン１０やスライダ１、レゾルバ２自体の設計値に基づいて算出可能である。実線は実際にレゾルバ２から取得される検出信号の例である。
図５の（ａ）は、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが、図４の（ｂ）の状態にあるときに取得される検出信号を示したものである。レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが狭くなるとインピーダンスＺが小さくなり、検出信号は理想波形の振幅が拡大された状態となる。
一方、図５の（ｂ）は、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが、図４の（ｃ）の状態にあるときに取得される検出信号を示したものである。レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが広くなるとインピーダンスＺが大きくなり、検出信号は理想波形の振幅が縮小された状態となる。
したがって、図４の（ｂ）、（ｃ）のようにギャップが変化してしまっている場合には、図５の（ａ）、（ｂ）のようにレゾルバ２の検出信号に振幅誤差が生じ、検出信号をそのまま用いても精度の高いスライダ位置の測定はできない。
【００３６】
図３に戻り、レゾルバ２に、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出するギャップセンサ３０が設けられている。ギャップセンサ３０は静電容量式ギャップセンサであり、プラテン１０との間に生じる静電容量を測定することにより、プラテン１０までの間隔を測定する。レゾルバ２とギャップセンサ３０からの出力は、図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、演算部４に入力される。
【００３７】
図６はレゾルバ２とギャップセンサ３０の拡大図である。図中の２ａと２ｂはレゾルバ２のセンサ部である。ギャップセンサ３０は、センサ部２ａとセンサ部２ｂの間に配置されている。ギャップセンサ３０は、センサ部２ａ，２ｂの歯先の面からプラテン１０の歯先の面（対向面Ｓ）までの間隔ｄ１を検出し、演算部４に出力する。
なお、ギャップセンサ３０は、スライダ１の移動に伴ってプラテン１０の歯の上を移動するため、凸凹の出力を出す。そのため、凸凹のギャップのうち最小レベルを抽出して対向面Ｓとの間隔ｄ１とする。
【００３８】
図７は演算部４の構成を示す図である。演算部４はレゾルバ位置算出部４０から構成されている。レゾルバ位置算出部４０は、定数決定部４０ａ、補正部４０ｂ、位置変換部４０ｃから構成されている。
【００３９】
定数決定部４０ａは、ギャップセンサ３０から入力される間隔ｄ１に基づいてレゾルバ２の出力に乗じる定数ｐを決定し、補正部４０ｂに出力する。この定数ｐは、ギャップ変化によって生じた振幅誤差を打ち消すための定数である。たとえば、間隔ｄ１が間隔ｄ（設計値）と「ｄ１＝α×ｄ」の関係にあり、さらに、レゾルバ２の検出信号がギャップの大きさに反比例すると仮定した場合に、定数ｐ＝αとなる。
定数決定部４０ａは、ギャップと定数ｐを対応付ける変換テーブルを備え、ギャップセンサ３０から入力されるギャップをテーブル変換して定数ｐを決定する。
【００４０】
補正部４０ｂにはレゾルバ２の検出信号、すなわちセンサ部２ａ，２ｂからの出力が入力される。補正部４０ｂは、センサ部２ａ，２ｂのそれぞれの出力に定数ｐを乗じる。定数ｐを乗じることにより、ギャップ変化によってレゾルバ２の検出信号に生じた振幅誤差が補正され、理想波形と同じ振幅に矯正される。補正後のレゾルバ２の出力は、位置変換部４０ｃに出力される。
【００４１】
位置変換部４０ｃは、補正後のレゾルバ２の出力に基づいてＸ位置の検出を行う。検出されたＸ位置は、スライダ１のＸ位置として、スライダ１を駆動する平面モータにフィードバックされ、位置制御に利用される。なお、図７では演算部４を機能ブロック図のみで示してあるが、実際には演算部４はプログラムがダウンロードされたＣＰＵなどで構成される。
【００４２】
本実施例によれば、スライダ１の位置検出にレーザ干渉計ではなくレゾルバを利用することによって、安価で簡易な構成によりスライダ１の位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現することができる。
また、レゾルバ２の出力をレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップに応じて補正することにより、レゾルバ２の出力の振幅誤差をリアルタイムに補正できる。
これにより、レゾルバ２の位置検出精度が向上し、スライダ１の位置をより正確に検出することができる。
【００４３】
また、ギャップセンサ３０はレゾルバ２に隣接して配置されているため、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを直接的に検出することができる。
【００４４】
なお、本実施例では、定数決定部４０ａにおいて定数ｐをテーブル変換で決定したが、数式変換により定数ｐを決定してもよい。
【００４５】
また、本実施例では、静電容量式のギャップセンサを用いたが、ギャップセンサの方式は静電容量式のものに限らず、他の方式のものを利用してもよい。
【実施例２】
【００４６】
図８は本発明の実施例２を示す上面図である。本実施例は、先の実施例１に対して、ギャップセンサの個数および配置を変更したものである。
【００４７】
レゾルバ２に隣接してギャップセンサ３０，３１が設けられている。ギャップセンサ３０，３１は、レゾルバ２のスライダ１と反対側の側面に取り付けられている。ギャップセンサ３０，３１は、Ｘ軸方向に沿って配置され、それぞれレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出する。レゾルバ２およびギャップセンサ３０，３１からの出力は図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、演算部４’に入力される。
【００４８】
ところで、レゾルバ２はスライダ１の移動中にも検出信号を出力するが、移動中のスライダ１は、加速に基づく推力によりプラテン１０に対して傾斜する。
【００４９】
図９はスライダ１の加速とプラテン１０に対する傾斜を示す図である。図９の（ａ）は、スライダ１がプラテン１０上で静止している状態である。スライダ１は、静止時には傾斜することなく、プラテン１０の対向面Ｓと平行に浮上する。浮上量は１０μｍ程度である。
しかし、スライダ１が移動する際には、図９の（ｂ）のように加速によって進行方向前方が浮いて後方が沈むような現象が発生し、スライダ１はプラテン１０の対向面Ｓに対して角度φで傾斜する。さらに加速が強くなると、図９の（ｃ）のようにスライダ１のプラテン１０の対向面Ｓに対する傾斜角度φは大きくなる。傾斜したスライダ１の両端の高低差ｈは数μｍ程度に達することもある。レゾルバ２はスライダ１に固定されているため、スライダ１が傾斜するとレゾルバ２も傾斜する。
【００５０】
図１０はレゾルバ２とギャップセンサ３０，３１の拡大図である。本図は、スライダ１が図中右方向に加速しており、レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂがプラテン１０の対向面Ｓに対して傾斜している状態を示している。
【００５１】
ギャップセンサ３０は、センサ部２ａのＸ軸方向の中央に形成された歯とＸ軸方向に位置を揃えて配置されている。ギャップセンサ３０は、位置合わせをした歯の歯先の面と、プラテン１０の対向面Ｓとの間隔ｄ２を検出する。同様に、ギャップセンサ３１はセンサ部２ｂのＸ軸方向の中央に形成された歯とＸ軸方向に位置を揃えて配置され、その歯の歯先の面とプラテン１０の対向面Ｓとの間隔ｄ３を検出する。
【００５２】
図１１は演算部４’の構成を示す図である。演算部４’は、レゾルバ位置算出部４０’およびスライダ姿勢算出部４１から構成されている。レゾルバ位置算出部４０’は、定数決定部４０ａ、４０ａ’、補正部４０ｂ、４０ｂ’、位置変換部４０ｃから構成されている。
【００５３】
ギャップセンサ３０の出力が定数決定部４０ａに入力される。定数決定部４０ａは、ギャップセンサ３０から入力される間隔ｄ２に基づいてセンサ部２ａの出力に乗じる定数ｐａを決定し、補正部４０ｂに出力する。同様に、ギャップセンサ３１の出力は定数決定部４０ａ’に入力される。定数決定部４０ａ’は、ギャップセンサ３１から入力される間隔ｄ３に基づいてセンサ部２ｂの出力に乗じる定数ｐｂを決定し、補正部４０ｂ’に出力する。
【００５４】
定数ｐａ，ｐｂは、ギャップ変化によって生じたレゾルバ２の検出信号の振幅誤差を打ち消すための定数である。定数決定部４０ａ，４０ａ’は、ギャップと定数ｐａ，ｐｂを対応付ける変換テーブルを備え、ギャップセンサ３０，３１から入力されるギャップをテーブル変換して定数ｐａ，ｐｂを決定する。
【００５５】
補正部４０ｂにはセンサ部２ａからの出力が入力され、補正部４０ｂ’にはセンサ部２ｂからの出力が入力される。補正部４０ｂ，４０ｂ’は、それぞれセンサ部２ａ，２ｂの出力に定数ｐａ，ｐｂを乗じる。定数ｐａ，ｐｂを乗じることにより、ギャップ変化によってレゾルバ２の検出信号に生じた振幅誤差が補正され、理想波形と同じ振幅に矯正される。レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂの補正後の出力は、位置変換部４０ｃに出力される。
【００５６】
位置変換部４０ｃは、補正後のレゾルバ２の出力に基づいてＸ位置の検出を行う。検出されたＸ位置は、スライダ１のＸ位置として利用される。
【００５７】
また、スライダ姿勢算出部４１にギャップセンサ３０，３１の出力が入力される。スライダ姿勢算出部４１は、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいて、ギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φを算出する。スライダ姿勢算出部４１は、この角度φをスライダ１のＸ軸方向の傾斜角度φとして出力する。スライダ１の傾斜角度φは、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。その他の構成は前記実施例１と同じである。
【００５８】
本実施例によれば、実施例１で得られる効果に加え、ギャップセンサ３０，３１がレゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂのそれぞれに配置されているため、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップをセンサ部ごとに検出できる。そのため、ギャップ補正をレゾルバ２の相ごとに個別に行うことができ、レゾルバ２の位置検出精度をさらに高めることができる。また、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいてスライダ１の姿勢を制御するため、スライダ１がプラテン１０に対して常に所定の姿勢に維持される。
【実施例３】
【００５９】
図１２は本発明の実施例３を示す上面図であり、先の実施例２に対して、ギャップセンサの配置を変更したものである。
【００６０】
ギャップセンサ３０，３１は、レゾルバ２に隣接して配置されるとともに、レゾルバ２をＸ軸方向から挟むように配置されている。レゾルバ２およびギャップセンサ３０，３１からの出力は図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、演算部４”に入力される。
【００６１】
図１３はレゾルバ２とギャップセンサ３０，３１の拡大図であり、スライダ１が図中右方向に加速しており、レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂがプラテン１０の対向面Ｓに対して傾斜している状態を示している。
【００６２】
ギャップセンサ３０，３１は、センサ部２ａ，２ｂを間に挟むようにして、センサ部２ａの一端とセンサ部２ｂの他端に取り付けられている。すなわち、センサ部２ａの一端にはギャップセンサ３０が配置され、センサ部２ｂの他端にはギャップセンサ３１が配置されている。ギャップセンサ３０は、センサ部２ａの歯先の面と高さを揃えて配置され、プラテン１０の対向面Ｓとの間隔ｄ４を検出する。また、ギャップセンサ３１は、センサ部２ｂの歯先の面と高さを揃えて配置され、プラテン１０の対向面Ｓとの間隔ｄ５を検出する。
【００６３】
図１４は演算部４”の構成を示す図である。演算部４”は、レゾルバ位置算出部４０”およびスライダ姿勢算出部４１から構成されている。レゾルバ位置算出部４０”は、定数決定部４０ａ、４０ａ’、補正部４０ｂ、４０ｂ’、位置変換部４０ｃ、ギャップ算出部４０ｄから構成されている。
【００６４】
ギャップセンサ３０，３１の出力がギャップ算出部４０ｄに入力される。ギャップ算出部４０ｄは、ギャップセンサ３０，３１の出力およびギャップセンサ３０，３１の間隔に基づいて、ギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φを算出する。
【００６５】
そして、ギャップ算出部４０ｄは、算出した角度φと、センサ部２ａのギャップセンサ３０，３１に対する相対位置に基づいて、センサ部２ａのＸ軸方向の中央に位置する歯の歯先からプラテン１０の対向面Ｓまでの間隔ｄ４’を算出し、定数決定部４０ａに出力する。同様に、ギャップ算出部４０ｄは、センサ部２ｂのＸ軸方向の中央に位置する歯の歯先からプラテン１０の対向面Ｓまでの間隔ｄ５’を算出し、定数決定部４ｂに出力する。
【００６６】
定数決定部４０ａは、ギャップ算出部４０ｄから入力される間隔ｄ４’に基づいてセンサ部２ａの出力に乗じる定数ｐａを決定し、補正部４０ｂに出力する。同様に、定数決定部４０ａ’は、ギャップ算出部４０ｄから入力される間隔ｄ５’に基づいてセンサ部２ｂの出力に乗じる定数ｐｂを決定し、補正部４０ｂ’に出力する。
【００６７】
定数ｐａ，ｐｂは、ギャップ変化によって生じたレゾルバ２の検出信号の振幅誤差を打ち消すための定数である。定数決定部４０ａ，４０ａ’は、ギャップと定数ｐａ，ｐｂを対応付ける変換テーブルを備え、ギャップ算出部４０ｄから入力されるギャップｄ４’，ｄ５’をテーブル変換して定数ｐａ，ｐｂを決定する。
【００６８】
補正部４０ｂにはセンサ部２ａからの出力が入力され、補正部４０ｂ’にはセンサ部２ｂからの出力が入力される。補正部４０ｂ，４０ｂ’は、それぞれセンサ部２ａ，２ｂの出力に定数ｐａ，ｐｂを乗じる。定数ｐａ，ｐｂを乗じることにより、ギャップ変化によってレゾルバ２の検出信号に生じた振幅誤差が補正され、理想波形と同じ振幅に矯正される。レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂの補正後の出力は、位置変換部４０ｃに出力される。
【００６９】
位置変換部４０ｃは、補正後のレゾルバ２の出力に基づいてＸ位置の検出を行う。検出されたＸ位置は、スライダ１のＸ位置として利用される。また、レゾルバ２の傾きφは、スライダ１の傾きとして、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。
【００７０】
また、スライダ姿勢算出部４１にギャップセンサ３０，３１の出力が入力される。スライダ姿勢算出部４１は、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいて、ギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φを算出する。スライダ姿勢算出部４１は、この角度φをスライダ１のＸ軸方向の傾斜角度φとして出力する。スライダ１の傾斜角度φは、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。その他の構成は前記実施例２と同じである。
【００７１】
本実施例によれば、実施例１で得られる効果に加え、ギャップセンサ３０，３１がレゾルバ２のＸ軸方向の両側に配置されているため、これらのギャップセンサ３０，３１の出力に基づく演算により、レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップをセンサ部ごとに検出することができる。そのため、ギャップ補正をレゾルバ２の相ごとに個別に行うことができ、レゾルバ２の位置検出精度をさらに高めることができる。
【００７２】
なお、本実施例では、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいて、レゾルバ２のセンサ部２ａ，２ｂそれぞれ個別にギャップを求めた。しかし、ギャップセンサ３０，３１で求められるギャップの平均値を、センサ部２ａ，２ｂの各相に共通のギャップとして利用してもよい。
【００７３】
また、本実施例では、スライダ姿勢算出部４１で算出した角度をスライダ１の傾斜角度φとして出力しているが、ギャップ算出部４０ｄで算出した角度をスライダ１の傾斜角度φとして出力してもよい。
【実施例４】
【００７４】
図１５は本発明の実施例４を示す上面図であり、先の実施例３に対して、ギャップセンサの配置を変更したものである。
【００７５】
ギャップセンサ３０，３１が、スライダ１のレゾルバ２が配置された側辺のＸ軸方向の端部に固定されている。ギャップセンサ３０，３１は、配置された側辺の端部において、スライダ１とプラテン１０とのギャップを検出する。レゾルバ２およびギャップセンサ３０，３１の出力は演算部４”に入力される。
【００７６】
演算部４”の構成は前記実施例３と同様である。
演算部４”は、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいてギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φを算出する。そして、演算部４”は、算出した角度φと、センサ部２ａ，２ｂそれぞれのギャップセンサ３０，３１に対する相対位置に基づいて、センサ部２ａ，２ｂのＸ軸方向の中央に位置する歯の歯先からプラテン１０の対向面Ｓまでの間隔ｄ４’，ｄ５’を求める。これにより、ギャップセンサ３０，３１によって、間接的にレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップが検出される。
【００７７】
演算部４”は、ギャップｄ４’，ｄ５’に基づいてセンサ部２ａ，２ｂの出力を補正し、補正後のセンサ部２ａ，２ｂの出力に基づいてＸ位置の検出を行う。検出されたＸ位置は、演算部４”から外部へ出力され、スライダ１のＸ位置として利用される。また、演算部４”からはスライダ１の傾斜角度φが出力され、スライダ１の姿勢制御に利用される。その他の構成は前記実施例３と同じである。
【００７８】
本実施例によれば、実施例３で得られる効果に加え、ギャップセンサ３０，３１がスライダ１の側辺の端部に配置されているため、ギャップセンサ同士の間隔を広くとることができる。これにより、スライダ１の傾斜角度、すなわちレゾルバ２の傾斜角度φを高い分解能で検出することができる。レゾルバ２とプラテン１０との間のギャップをより精度良く算出でき、レゾルバ２の出力を精度良く補正することができる。
【実施例５】
【００７９】
図１６は、実施例５として、本発明を２次元方向の平面モータに適用した構成を示す図である。
プラテン１０上にはエアベアリングを利用してスライダ１が搭載されている。スライダ１は、プラテン１０上でＸ軸方向およびＹ軸方向に位置制御される。プラテン１０とスライダ１のそれぞれの対向面にはＸ軸方向およびＹ軸方向に一定ピッチＰの格子状に歯１０ｂが形成されており、平面モータを構成している。この平面モータを駆動することによって、スライダ１はプラテン１０上の指定されたＸ位置およびＹ位置に移動する。なお、本図ではプラテン１０の歯１０ｂを一部のみに示している。
【００８０】
スライダ１は矩形状をしており、スライダ１の各辺はＸ軸またはこのＸ軸に直交するＹ軸のいずれかに沿うようにプラテン１０上に配置されている。
【００８１】
スライダ１の各側面の中央部にレゾルバ２０〜２３が固定されている。スライダ１のＸ軸と平行な対向辺にレゾルバ２０，２１が配置され、Ｙ軸と平行な対向辺にレゾルバ２２，２３が配置されている。レゾルバ２０，２１はＸ軸方向の位置を検出し、レゾルバ２２，２３はＹ軸方向の位置を検出する。レゾルバ２０，２１に基づいてスライダ１のＸ位置の検出を行い、レゾルバ２２，２３に基づいてスライダ１のＹ位置の検出を行う。
【００８２】
レゾルバ２０〜２３のそれぞれにギャップセンサ３０〜３３が設けられている。ギャップセンサ３０〜３３は静電容量式ギャップセンサであり、プラテン１０との間に生じる静電容量を測定することにより、プラテン１０までの間隔を測定する。
【００８３】
スライダ１の各辺において、前記実施例１におけるレゾルバ２およびギャップセンサ３０と同様の処理を行い、各レゾルバの位置検出の精度を高める。
すなわち、ギャップセンサ３０によりレゾルバ２０に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３１によりレゾルバ２１に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３２によりレゾルバ２２に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３３によりレゾルバ２３に生じた振幅誤差の補正を行う。
【００８４】
図１７は本実施例における演算部（図１６では図示せず）を示す図である。
演算部は、レゾルバ位置算出部４００〜４０３、スライダ姿勢算出部４１、スライダ位置・回転角算出部４２から構成されている。
レゾルバ２０およびギャップセンサ３０の出力は、図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、レゾルバ位置算出部４００に入力される。レゾルバ位置算出部４０は前記実施例１におけるレゾルバ位置算出部４０と同じ構成のものである。レゾルバ位置演算部４０は、ギャップセンサ３０の出力に基づいてレゾルバ２０の振幅誤差を打ち消す補正を行い、レゾルバ２０の補正後の出力に基づいてＸ位置を検出する。
【００８５】
同様に、レゾルバ位置演算部４０１にはレゾルバ２１およびギャップセンサ３１の出力が入力され、レゾルバ２１の補正後の出力に基づいて検出されたＸ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０２にはレゾルバ２２およびギャップセンサ３２の出力が入力され、レゾルバ２２の補正後の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０３にはレゾルバ２３およびギャップセンサ３３の出力が入力され、レゾルバ２３の補正後の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
【００８６】
レゾルバ位置演算部４００，４０１から出力されるＸ位置およびレゾルバ位置演算部４０２，４０３から出力されるＹ位置は、スライダ位置・回転角算出部４２に入力される。スライダ位置・回転角算出部４２は、レゾルバ位置演算部４００，４０１からそれぞれ入力されるＸ位置の平均をとり、スライダ１のＸ位置とする。また、スライダ位置・回転角算出部４２は、レゾルバ位置演算部４０２，４０３からそれぞれ入力されるＹ位置の平均をとり、スライダ１のＹ位置とする。
さらにスライダ位置・回転角算出部は、レゾルバ位置演算部４００，４０１からのＸ位置の差分およびレゾルバ位置演算部４０２，４０３からのＹ位置の差分に基づいて、スライダ１のプラテン１０上での回転角θを算出する。
【００８７】
また、スライダ姿勢算出部４１にギャップセンサ３０〜３３の出力が入力される。スライダ姿勢算出部４１は、ギャップセンサ３０〜３３の出力に基づいて、スライダ１の全体的な傾きや、スライダ１のたわみを算出する。
【００８８】
スライダ位置・回転角算出部４２で求められたスライダ１の位置、回転角θは、スライダ１を駆動する平面モータにフィードバックされ、位置制御や姿勢制御に利用される。また、スライダ姿勢算出部４１で求められたスライダ１の傾きやたわみは、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。
【００８９】
なお、レゾルバ位置演算部４００〜４０３、スライダ姿勢算出部４１、スライダ位置・回転角算出部４２は、プログラムがダウンロードされたＣＰＵなどで構成される。
【００９０】
本実施例によれば、実施例１で得られる効果に加え、スライダ１の複数個所に本発明を適用することによって、スライダ１のＸ位置、Ｙ位置の検出精度を高めることができる。また、スライダ１のＸ軸周りおよびＹ軸周りの傾きが求められ、プラテン１０に対するスライダ１の姿勢を精度よく制御できる。
【実施例６】
【００９１】
図１８は本発明の実施例６を示す上面図である。本実施例は、先の実施例５に対して、ギャップセンサの個数および配置を変更したものである。
【００９２】
レゾルバ２０の両側にはギャップセンサ３０，３１が固定され、レゾルバ２１の両側にはギャップセンサ３２，３３が固定されている。ギャップセンサ３０，３２はそれぞれレゾルバ２０，２１の＋Ｘ方向に設けられ、ギャップセンサ３１，３３はそれぞれレゾルバ２０，２１の−Ｘ方向に設けられている。
【００９３】
レゾルバ２２の両側にはギャップセンサ３４，３５が固定され、レゾルバ２３の両側にはギャップセンサ３６，３７が固定されている。ギャップセンサ３４，３６はそれぞれレゾルバ２２，２３の−Ｙ方向に設けられ、ギャップセンサ３５，３７はそれぞれレゾルバ２０，２１の＋Ｙ方向に設けられている。
【００９４】
スライダ１の各辺において、前記実施例３におけるレゾルバ２およびギャップセンサ３０，３１と同様の処理を行い、各レゾルバの位置検出の精度を高める。
すなわち、ギャップセンサ３０，３１によってレゾルバ２０に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３２，３３によってレゾルバ２１に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３４，３５によってレゾルバ２２に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３６，３７によってレゾルバ２３に生じた振幅誤差の補正を行う。
【００９５】
図１９は本実施例における演算部（図１８では図示せず）を示す図である。
演算部は、レゾルバ位置算出部４００〜４０３、スライダ姿勢算出部４１、スライダ位置・回転角算出部４２から構成されている。
レゾルバ２０およびギャップセンサ３０，３１の出力は、図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、レゾルバ位置演算部４００に入力される。レゾルバ位置演算部４００は前記実施例３におけるレゾルバ位置演算部４０”と同じ構成のものである。レゾルバ位置演算部４００は、ギャップセンサ３０，３１の出力に基づいて、ギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３１の傾斜角度φ０を求める。そして、角度φ０およびレゾルバ２０のギャップセンサ３０，３１に対する相対位置に基づいて、レゾルバ２０とプラテン１０との間のギャップを算出する。レゾルバ位置演算部４００は、算出したギャップに基づいてレゾルバ２０の振幅誤差を打ち消す補正を行い、補正後のレゾルバ２０に基づいてＸ位置を検出する。
【００９６】
同様に、レゾルバ位置演算部４０１にはレゾルバ２１およびギャップセンサ３２，３３の出力が入力され、補正後のレゾルバ２１の出力に基づいて検出されたＸ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０２にはレゾルバ２２およびギャップセンサ３４，３５の出力が入力され、補正後のレゾルバ２２の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０３にはレゾルバ２３およびギャップセンサ３６，３７の出力が入力され、補正後のレゾルバ２３の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
【００９７】
レゾルバ位置演算部４００，４０１から出力されるＸ位置およびレゾルバ位置演算部４０２，４０３から出力されるＹ位置は、スライダ位置・回転角算出部４２に入力される。スライダ位置・回転角算出部４２は、レゾルバ位置演算部４００，４０１からそれぞれ入力されるＸ位置の平均をとり、スライダ１のＸ位置とする。また、スライダ位置・回転角算出部４２は、レゾルバ位置演算部４０２，４０３からそれぞれ入力されるＹ位置の平均をとり、スライダ１のＹ位置とする。
さらにスライダ位置・回転角算出部は、レゾルバ位置演算部４００，４０１からのＸ位置の差分およびレゾルバ位置演算部４０２，４０３からのＹ位置の差分に基づいて、スライダ１のプラテン１０上での回転角θを算出する。
【００９８】
また、スライダ姿勢算出部４１にギャップセンサ３０〜３７の出力が入力される。スライダ姿勢算出部４１は、ギャップセンサ３０〜３７の出力に基づいて、スライダ１の全体的な傾きや、スライダ１のたわみを算出する。
【００９９】
スライダ位置・回転角算出部４２で求められたスライダ１の位置、回転角θは、スライダ１を駆動する平面モータにフィードバックされ、位置制御や姿勢制御に利用される。また、スライダ姿勢算出部４１で求められたスライダ１の傾きやたわみは、スライダ１のエアベアリングにフィードバックされ、スライダ１の姿勢制御に利用される。その他の構成は前記実施例５と同じである。
【０１００】
本実施例によれば、実施例５で得られる効果に加え、ギャップセンサの数が多いため、スライダ１の傾きやたわみをより精度良く検出することができる。
【実施例７】
【０１０１】
図２０は本発明の実施例７を示す上面図である。本実施例は、先の実施例５に対して、ギャップセンサの配置を変更したものである。
【０１０２】
矩形状に形成されたスライダ１の角部にギャップセンサ３０〜３３が固定されている。ギャップセンサ３０はレゾルバ２０，２２が配置された側辺よりなる角部に配置され、ギャップセンサ３１はレゾルバ２２，２１が配置された側辺よりなる角部に配置され、ギャップセンサ３２はレゾルバ２１，２３が配置された側辺よりなる角部に配置され、ギャップセンサ３３はレゾルバ２３，２０が配置された側辺よりなる角部に配置されている。
【０１０３】
ギャップセンサ３０，３１は、スライダ１に配置された角部において、スライダ１とプラテン１０との間のギャップを検出する。そして、ギャップセンサ３３，３０によってレゾルバ２０に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３０，３１によってレゾルバ２２に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３１，３２によってレゾルバ２１に生じた振幅誤差の補正を行い、ギャップセンサ３２，３３によってレゾルバ２３に生じた振幅誤差の補正を行う。
【０１０４】
図２１は本実施例における演算部（図２０では図示せず）を示す図である。
レゾルバ２０およびギャップセンサ３０，３３の出力は、図示しないＡ／Ｄ変換器によりデジタル化され、レゾルバ位置演算部４００に入力される。レゾルバ位置演算部４００は実施例３におけるレゾルバ位置演算部４０”と同じ構成のものである。レゾルバ位置演算部４００は、ギャップセンサ３０，３３の出力に基づいてギャップセンサ３０に対するギャップセンサ３３の傾斜角度φを求める。なお、ギャップセンサ３０，３３はそれぞれスライダ１の角部に配置されているため、算出された角度φはプラテン１０に対するスライダ１の側辺の傾きそのものである。
【０１０５】
レゾルバ位置演算部４００は、角度φおよびレゾルバ２０のギャップセンサ３０，３３に対する相対位置に基づき、レゾルバ２０とプラテン１０との間のギャップを算出する。レゾルバ位置演算部４００は、算出したギャップに基づいてレゾルバ２０の振幅誤差を打ち消す補正を行い、補正後のレゾルバ２０に基づいてＸ位置を検出する。
【０１０６】
同様に、レゾルバ位置演算部４０１にはレゾルバ２１およびギャップセンサ３１，３２の出力が入力され、補正後のレゾルバ２１の出力に基づいて検出されたＸ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０２にはレゾルバ２２およびギャップセンサ３０，３１の出力が入力され、補正後のレゾルバ２２の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
レゾルバ位置演算部４０３にはレゾルバ２３およびギャップセンサ３２，３３の出力が入力され、補正後のレゾルバ２３の出力に基づいて検出されたＹ位置が出力される。
その他の構成は前記実施例５と同じである。
【０１０７】
本実施例によれば、実施例５で得られる効果に加え、ギャップセンサ３０〜３３をスライダ１の各角部に配置したことによって、レゾルバ２０〜２３のギャップ補正に必要なギャップセンサの個数が少なくて済む。また、ギャップセンサ３０〜３３がスライダ１の各角部に配置されているため、スライダ１の各側辺の傾きを直接的に算出することができ、スライダ１の傾きをより正確に検出することができる。
【０１０８】
以上説明したように、本発明によれば、安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】レゾルバによる位置検出の動作原理の説明図である。
【図２】レゾルバの構成を示す図である。
【図３】本発明の実施例１を示す上面図である。
【図４】レゾルバ２とプラテン１０とのギャップを示す図である。
【図５】レゾルバ２の検出信号の例を示す図である。
【図６】レゾルバ２とギャップセンサ３０の拡大図である。
【図７】実施例１の演算部の構成を示す図である。
【図８】本発明の実施例２を示す上面図である。
【図９】スライダ１の加速と傾きを示す図である。
【図１０】レゾルバ２とギャップセンサ３０，３１の拡大図である。
【図１１】実施例２の演算部の構成を示す図である。
【図１２】本発明の実施例３を示す上面図である。
【図１３】レゾルバ２とギャップセンサ３０，３１の拡大図である。
【図１４】実施例３の演算部の構成を示す図である。
【図１５】本発明の実施例４を示す上面図である。
【図１６】本発明の実施例５を示す上面図である。
【図１７】実施例５の演算部の構成を示す図である。
【図１８】本発明の実施例６を示す上面図である。
【図１９】実施例６の演算部の構成を示す図である。
【図２０】本発明の実施例７を示す上面図である。
【図２１】実施例７の演算部の構成を示す図である。
【図２２】従来例の位置決め装置の一例を示す構成図である。
【符号の説明】
【０１１０】
１ スライダ
２，２０〜２３ レゾルバ
３０〜３３ ギャップセンサ
４，４’，４” 演算部
４０，４０’，４０” レゾルバ位置算出部
４０ａ 定数決定部
４０ｂ 補正部
４０ｃ レゾルバ位置変換部
４０ｄ ギャップ算出部
４１ スライダ姿勢算出部
４２ スライダ位置・回転角算出部
１０ プラテン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダと、このスライダと対向する面に磁極の歯が形成されて前記スライダと平面モータを構成するプラテンとを備えた位置決め装置において、
前記スライダの前記１軸方向の位置を検出するレゾルバと、
このレゾルバと前記プラテンとの間のギャップを検出するギャップセンサと、
このギャップセンサの出力に基づいて前記レゾルバの出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
前記補正部は、前記ギャップセンサの出力に応じて前記レゾルバの出力の振幅に乗じる定数を決定することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記ギャップセンサは、前記レゾルバに隣接して配置されたことを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記ギャップセンサは、前記レゾルバの前記１軸方向の両側に配置されたことを特徴とする請求項１〜３に記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記ギャップセンサは、前記スライダの前記１軸方向の両端部に配置されたことを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記ギャップセンサは、前記スライダの角部に配置されたことを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項７】
前記ギャップセンサの出力に基づいて前記プラテンに対する前記スライダの姿勢を制御することを特徴とする請求項１〜６に記載の位置決め装置。
【請求項１】
互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダと、このスライダと対向する面に磁極の歯が形成されて前記スライダと平面モータを構成するプラテンとを備えた位置決め装置において、
前記スライダの前記１軸方向の位置を検出するレゾルバと、
このレゾルバと前記プラテンとの間のギャップを検出するギャップセンサと、
このギャップセンサの出力に基づいて前記レゾルバの出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
前記補正部は、前記ギャップセンサの出力に応じて前記レゾルバの出力の振幅に乗じる定数を決定することを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記ギャップセンサは、前記レゾルバに隣接して配置されたことを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項４】
前記ギャップセンサは、前記レゾルバの前記１軸方向の両側に配置されたことを特徴とする請求項１〜３に記載の位置決め装置。
【請求項５】
前記ギャップセンサは、前記スライダの前記１軸方向の両端部に配置されたことを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項６】
前記ギャップセンサは、前記スライダの角部に配置されたことを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【請求項７】
前記ギャップセンサの出力に基づいて前記プラテンに対する前記スライダの姿勢を制御することを特徴とする請求項１〜６に記載の位置決め装置。
【図１】
【図２】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１３】
【図１４】
【図１７】
【図１９】
【図２１】
【図２２】
【図３】
【図８】
【図１２】
【図１５】
【図１６】
【図１８】
【図２０】
【図２】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１３】
【図１４】
【図１７】
【図１９】
【図２１】
【図２２】
【図３】
【図８】
【図１２】
【図１５】
【図１６】
【図１８】
【図２０】
【公開番号】特開２０１０−８０６３（Ｐ２０１０−８０６３Ａ）
【公開日】平成２２年１月１４日（２０１０．１．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１６４２４６（Ｐ２００８−１６４２４６）
【出願日】平成２０年６月２４日（２００８．６．２４）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１月１４日（２０１０．１．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年６月２４日（２００８．６．２４）
【出願人】（０００００６５０７）横河電機株式会社 (4,443)
【Ｆターム（参考）】
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