【課題】小さな倣い力で高精度の倣いを実現できる倣い機構を安価に提供する。
【解決手段】この発明による倣い機構は、摺動保持部２２と摺動部２１を備えて２次元に摺動可能なスライダ機構２の下面中心から下方に突出する中空の吸排気部３を設け、この吸排気部３に吸着した倣い対象物７を倣い基準物１０に押し当て、倣い対象物７と倣い基準物１０の接点Ｃ１と、吸排気部３と倣い対象物７の接点が共に摺動しないように吸排気部３の吸排気エアの流量を制御して倣い対象物７を倣い基準物１０に倣わせるものである。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを有するとともに、
スライダ１のＸ軸方向の位置に応じた信号を出力するレゾルバ３０と、スライダ１のＸ軸方向の加速度を検出する加速度センサ３１とを備えた位置検出装置３００を備え、
位置検出装置３００がレゾルバ３０と加速度センサ３１の出力に基づいてスライダ１の位置を求めることを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】安価な構成により高精度でかつ短時間に原点復帰を行うことができる位置決め装置の実現を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向およびＹ軸方向に位置制御されるスライダ２００，３００と、このスライダ２００，３００と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ２００，３００と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ２００，３００に設けられ、スライダ２００，３００のプラテン１０に対する位置を検出するＸ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバと、
Ｘ軸レゾルバおよびＹ軸レゾルバで得られる位置検出信号に基づいて、スライダ２００，３００をプラテン１０上に設定された原点位置にサーボ制御する原点復帰制御部４０２と、
を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 電磁継手の力のよって生じる天板の変形を抑える。
【解決手段】 本発明の位置決め装置は、位置決め対象物を搭載する第１ステージ２０２と、第１ステージを搭載して移動する第２ステージ２０６と、第２ステージに対して第１ステージを駆動するアクチュエータ２０４とを備える。また、第１ステージが中空構造となっており、アクチュエータ２０４の発生する力の方向及びそれと直交する方向に沿った断面が四角形で第１ステージの側板を構成する第１リブ２１３と、第１リブに対し角度をなして接合された断面がひし形の第２リブ２１１とを備える。さらに、第１ステージは、さらに、アクチュエータ２０４の発生する力の方向に略平行で、該力のかかる箇所を通る第３リブ２１２を前記中空内部に備える。 （もっと読む）

【課題】移動体計測用干渉計の測定精度を向上させること。
【解決手段】ステージ装置１０１は、ステージ１０の位置又は姿勢を計測するＸ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３と、Ｘ軸レーザ干渉計２及びＹ軸レーザ干渉計３のレーザビームの波長変化を補償する波長補償器１と、温度制御された気体を供給する温調器１２に接続され、Ｘ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｘ、１４ｙと、温調器１２に接続され、波長補償器１に前記温度制御された気体を供給するための送風ダクト１４ｃと、を備える。前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｘ、１４ｙを経由して温調器１２からＸ軸レーザ干渉計２の光軸及びＹ軸レーザ干渉計３の光軸に到達するまでの時間と、前記温度制御された気体が送風ダクト１４ｃを経由して温調器１２から波長補償器１に到達するまでの時間と、は同一である。 （もっと読む）

【課題】小形・軽量化でき、搭載物の変形や位置決め誤差を生じることが無いアライメントステージを提供する。
【解決手段】テーブル１０とベース１００間に配置された推力を発生する少なくとも１つアクチュエータ１５０Ａと、前記テーブル１０上に載置された搭載物４を直線Ｘ方向、直線Ｙ方向、回転θ方向に移動させる支持機構１２１，１２２，１２３を備えたアライメントステージ１において、
前記アクチュエータ１５０Ａは、Ｘ方向とＹ方向の２方向に推力を発生する平面モータ１６０と前記支持機構１２１，１２２，１２３により構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】高精度で位置及び運動を制御することができる装置を提供する。
【解決手段】１以上の整流リニアモータであって、リニアモータは、ガイドレスステージを、１つの長い直線方向に動かし、ある平面において、微動のヨー回転を行わせる。単一のボイスコイルモータ（ＶＣＭ）を保持するキャリア／従動子は、長い直線運動の方向に動くステージを概ね追従するように制御される。ＶＣＭは、ある平面において、電磁力を与えて、長い直線運動の方向に直交する直線方向に、ステージを微動させる。これにより、適正なアライメントが得られる。整流型リニアモータの一方の要素（つまり、コイル又は磁石）が、平面上を自在に動くことのできる駆動フレームの上に設けられる。駆動フレームは、反作用力によって駆動され、装置の重心位置を維持する働きを持つ。１つのリニアモータを使用する場合には、２つのＶＣＭを用いて、ヨー回転を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明はθテーブルの回動動作を安定的且つ精密に制御できることを課題とする。
【解決手段】ステージ装置１０Ａは、定盤２０と、定盤２０の平面上を移動するステージ３０と、ステージ３０上に載置されたθテーブル４０とを有する。Ｘステージ３８とθテーブル４０との間には、θテーブル４０をθｚ方向に回動可能に支持するピボット軸８０と、ピボット軸８０を回転可能に軸承する軸受８２とが設けられている。一対のθリニアモータ７４は、上方からみるとピボット軸８０を中心に対称となる位置に平行に設けられている。また、θリニアモータ７４は、マグネットヨーク７６がθテーブル４０の側面と同一高さとなるように支持部７９により支持されており、且つ支持部７９が定盤２０より側方に離間した床面上に起立されているため、θテーブル４０をθｚ方向に回動させる際の反力が支持部７９を介して床面に伝播される。 （もっと読む）

【課題】自動的にスライダの回動状態を検出し、回動状態を所定の基準に対して自動的に修正復帰できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテンにスライダが配置されたＸＹステージにおいて、前記プラテンの一方の側面に設けられた補助台と、この補助台に設けられ前記プラテンの一方の側面に沿ってこの補助台を摺動するあるいは所定位置に固定される取り付け台と、この取り付け台と前記スライダとに設けられ前記スライダの回動を検出する回動検出手段と、前記スライダに設けられこの回転検出手段の信号に基づき前記スライダの回動を復帰させるスライダ回動復帰手段とを具備したことを特徴とするＸＹステージ。 （もっと読む）

【課題】 レーザ干渉計自身に初期位置回転の検出機能を持たせ、スライダ部の回転方向及び回転角度を自動的に検出することを可能とするＸＹステージを実現する。
【解決手段】 レーザ干渉計とこのレーザ干渉計の照射ビームを反射するバーミラーを有し、スライダ部の移動に応じて前記レーザ干渉計と前記バーミラーが相対的に移動し、前記レーザ干渉計により位置が検出される前記スライダ部をプラテン上で２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーの反射ビームを検出し、検出した反射ビームから前記スライダ部の回転を検出する回転検出手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 バーミラーのサイズに制限を受けることなく、複数のスライダ部を同一プラテン上の任意位置に位置制御できるＸＹステージを実現する。
【解決手段】 四辺形のプラテン上で四辺形のスライダ部を２次元方向に位置制御するＸＹステージにおいて、
前記スライダ部の四辺の少なくとも三辺に設けられたバーミラーと、
前記プラテンの四辺の少なくとも二辺に沿って固定配置され、前記バーミラーに照射したレーザビームの反射光を受光する複数個のレーザ干渉計と、
を備える。 （もっと読む）