【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置１を、１個の正・逆回転可能なモータ１００と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ６００を保持するＸ軸方向キャリッジ４００Ｘ及びＸ軸方向キャリッジ４００Ｘと、モータ１００の回転力をＸ軸方向キャリッジ４００ＸをＸ軸方向に移動させる経路に伝達するか、Ｙ軸方向キャリッジ４００ＹをＹ軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ６００の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ１００の回転軸の回転運動をＸ軸方向キャリッジ４００Ｘの直線往復運動又はＹ軸方向キャリッジ４００Ｙの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、Ｘ軸方向キャリッジ案内手段及びＹ軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ６００の移動目標に応じてモータ１００の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 （もっと読む）

【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】簡易な駆動手段にすることで操作性が良くコンパクトな構造が可能となるスライド操作式アリ溝摺動ステージを提供する。
【解決手段】スライド操作式アリ溝摺動ステージ１は、摺動方向（Ｘ）と略平行な固定部品３の側面壁に設けられ、固定部品３に連結する逆三角形の突出部１０をネジ６で当接して摺動部品２のアリ５に接触させ、ネジ６を締め込むことで摺動部品２の摺動を固定する摺動固定ネジ６を備え、摺動固定ネジ６は、前記突出部１０に当接して摺動部品２のアリ５に接触させたネジ６の回転量を調節することで固定部品３に対する摺動部品２の摺動の程度を微調整する摺動調節ネジ、及び、操作者が摺動部品２を所望の位置にスライド操作するために把持する駆動手段、として兼用される。 （もっと読む）

【課題】真空容器内に設置する駆動用モータ、潤滑油や樹脂製ベルトなどから発生するアウトガスによって真空度が悪化するため分析精度が低下する。またピニオンとラック間のバックラッシュによって位置決め精度が悪化し、ピニオンやベルトの使用によりテーブル移動の分解能が低下する。
【解決手段】Ｙ軸方向に移動可能なスプライン軸受１４を使用することにより、Ｙモータ２とともにＸモータ７を真空容器３０の外に設置することができる。また、直交する２軸間のトルクおよび回転運動の伝達機構として、ラック＆ピニオンの代わりに、非接触でバックラッシュのない磁気カップリング２４を使用することにより、位置決め精度が改良される。さらにラック＆ピニオンやベルトに代えてＸ送りねじ１０を使用することにより分解能が改善される。 （もっと読む）

【課題】送りネジ式手動ステージ用の簡易で機能的なストッパ機能を有し、小型の手動ステージでありながら摺動の精度が高く、摺動部品の任意の位置でハンドルの回転を簡易に固定できる送りネジ式手動ステージを提供する。
【解決手段】ハンドル４の回転操作部６と、環状のクランプ部材９と、クランプ部材９の内側の雌ネジ孔１２ａと係合する雄ネジ部１１と、第１第１ブロック５ａに係止して雄ネジ棒７のハンドル方向への移動を拘束する係止部１３とを備え、クランプ部材９の雌ネジ孔１２ａが雄ネジ部１１から離間するようにハンドル４の回転操作部６を回転させ、クランプ部材９を第１第１ブロック５ａに圧着させて雄ネジ棒７の回転を拘束し、摺動部品２を固定部品３に対して任意の位置で固定させる。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の回転可能角度が大きく、そして十分な耐荷重性を示す滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台１１の上にテーブル板１３を複数の支持ユニット２１を介して滑動可能に支持してなり、支持ユニット２１が、基台に固定された中央に開口２２ａを備える固定支持板２２と、固定支持板の上面に複数の球体２７が保持された中央に開口２３ａを備える球体保持板２３を介して滑動可能に配設され、上記固定支持板の開口２２ａの内部に延びる滑動制限軸２８を持つ滑動支持板２５とを含み、そして上記開口２２ａ、２３ａが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線１３ｃに沿うように配設され、そして上記開口２２ａの領域内に球体２７が移動しないよう、球体保持板２３と固定支持板２２とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】重心位置が低く、高剛性のステージ装置を提供する。
【解決手段】
第一の可動部材１３を一の平面内で所望の方向に移動させることができるように構成されたステージ装置１０であって、第一の可動部材１３に設けられた第二の駆動部と、第二の駆動部に設けられた第二の可動部材１５とを有し、第二の駆動部は、第一の動力伝達部３２と、第一の動力伝達部３２を移動させることができる動力部３１と、第一の動力伝達部３２の移動に伴って前記一の平面に対して垂直な方向に移動する第二の動力伝達部３３とを有し、第一の駆動部と動力部３１は、台座１１と第一の可動部材１３との間に配置され、動力部３１は第一の可動部材１３に固定され、第二の動力伝達部３３は第二の可動部材１５に固定され、動力部３１は第一、第二の動力伝達部３２、３３を介して第二の可動部材１５を前記一の平面に対して垂直な方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供すること。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｘ軸固定子５１、及びＸ軸可動子５２を有するＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸移動体４と、Ｙ軸固定子、及びＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータ３とを備え、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａが第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように連結されている。これにより、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長が他端部５１ｂ側で解放される。 （もっと読む）

【課題】ステージの送り方式（微動⇔粗動）を切り換えるときの操作性を向上させたステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置１は、移動機構３０が運動変換機構を用いて送り軸１５の回転を受けて送り軸１５上を移動する微動状態と、移動機構３０の運動変換機能を解除して移動機構３０が送り軸１５の回転によらず送り軸１５上を自由に移動する粗動状態とを切り換える切換機構５０を備え、切換機構５０は、外部から作用させた送り軸１５に沿った方向の力を用いて微動状態と粗動状態とを切り換えるように構成される。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の支持ユニットのサイズが比較的に小さく、そしてテーブル板を大きな角度で回転移動させることができる滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台１１の上に支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板１３を備え、そして上記支持装置が、基台に固定された中央に開口部を備える支持板２２と、その上下の各表面に複数個の球体２３を介して接触配置され且つ互いに上記開口部を通る支柱を介して接合された上側可動板２４及び下側可動板と、複数個の球体２３を保持する球体保持板４７とを有する、テーブル板の下面中央に配置された主支持ユニット２１、および基台に固定された支持板４２と、支持板の上面に複数個の球体４３を介して接触配置された可動板４４と、複数個の球体４３を保持する球体保持板４７と、球体保持板の移動距離を制限する手段４８とを有する、主支持ユニット２１の周囲に配置された複数個の副支持ユニット４１からなる滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】回転軸と推進構造部との接触圧力について制約がなくステージの大型化に対応可能であり、さらに粗動移動時においてステージあるいは推進構造部と他の構成部材との衝突を回避することができる載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】物体を載置する載物台と、回動によって前記載物台を駆動する駆動軸と、前記駆動軸を加圧保持して前記駆動軸の回動を前記載物台の駆動に変換する変換部と、前記変換部の前記駆動軸に対する加圧保持および加圧解除を行うアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備えたことを特徴とする載物台用送り機構。 （もっと読む）

【課題】組み立てが容易で、荷重が付与された際にもテーブル板を正確な位置に維持することができる位置決めテーブルを提供すること。
【解決手段】基台の上方に下記条件を満足する三以上の支持ユニットを介してテーブル板を支持する位置決めテーブル：(１)各々の支持ユニットは、基台表面にスライド可能に設置された昇降装置、および昇降装置とテーブル板とを接続する接続具からなる；(２)昇降装置は、基台表面に沿って延びるレール２４、レールに支持された第一のスライド部材２１及び第二のスライド部材２２、第二のスライド部材の上方に傾斜配置された第一のリニアガイド３１を介して支持され、第一のスライド部材の側面に第二のリニアガイド３２を介して昇降可能に接続された昇降部材２３、および各スライド部材を上記レール上でスライドさせて保持する駆動手段２５からなる；(３)接続具は、球面軸受３４と球面軸受を保持する第三のリニアガイド３３とからなる。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成かつ小型化を実現し、オペレータの手作業による位置決め調整を容易にする。
【解決手段】ステージ装置１は、回転ベース１０、Ｙベース２０、Ｘベース３０、Ｚ／チルトベース４０及びユニットベース５０が積層して構成される。回転方向の位置決めは、Ｙベース２０のスタンドピン２９を用いて、回転用調整器具１００により行う。Ｙ方向の位置決めは、Ｙベース２０のＹカムフォロア（ナット）２３及びＸベース３０のＹカムフォロア３２を用いて、Ｙ軸調整器具２００によりＹカムフォロア３２をＹガイド穴３３内に移動させることで行う。Ｘ方向の位置決めは、Ｘベース３０のＸカムフォロア（ナット）３４及びＺ／チルトベース４０のＸカムフォロア４２を用いて、Ｘ軸調整器具３００によりＸカムフォロア４２をＸガイド穴４３内に移動させることで行う。Ｚ／チルト方向の位置決めは、Ｚ／チルトベース４０のＺ／チルト調整ネジ４５により行う。 （もっと読む）

【課題】駆動効率及び動作速度を確保できるとともにコンパクトに構成でき、しかも、製造コストを低減することのできるアライメントステージ及び処理装置を提供する。
【解決手段】本発明のアライメントステージ１０は、第１の回転駆動手段と、第２の回転駆動手段と、第１の回転軸線１１ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第１の回転駆動手段により回転駆動される第１の回転体１１と、第１の回転体に対して第１の回転軸線と平行な第２の回転軸線１２ｘを中心に回転可能に軸支されるとともに第２の回転駆動手段により回転駆動される第２の回転体１２と、第２の回転体と一体に構成され、或いは、第２の回転体に固定若しくは連結された移動ステージ１３と、を具備し、第２の回転駆動手段は、第１の回転軸線を中心に回転する第２の回転駆動軸４と、第２の回転駆動軸と第２の回転体との間に接続された第２の回転伝達機構９と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】テーブルの水平移動、昇降、回転の各運動を単一の支持ユニットとして実現するのに好適な２軸直交案内装置、３軸直交案内装置、３軸直交・回転案内装置及びこれらを備えるテーブル装置を提供する。
【解決手段】一対の第１移動体１０ａ、１０ｂと、互いに直交する２軸を想定した場合に、該２軸のうちの第１の軸方向に一対の第１移動体１０ａ、１０ｂをそれぞれ独立して移動自在に案内する第１案内機構と、第２移動体２０と、該第２移動体２０を支持し、一対の第１移動体１０ａ、１０ｂにおける第１の軸方向の間隔を接近または離間させる方向に変化させる相対運動を第２移動体２０における２軸のうちの第２の軸方向の運動に変換し、第２移動体２０を第２の軸方向に沿って移動自在に案内する第２案内機構と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ステージを移動面に沿って移動させる。
【解決手段】移動面を移動するステージに対して用力を供給する用力供給装置（１５５）が、第１軸部（２３２）、第１支持部（２３４，２３５）、第２軸部（２３８）及び第２支持部（２３９）を備え、第１軸部は第１支持部により第１軸の方向及び第１軸回りに移動可能に支持され、第２軸部は第２支持部により第２軸の方向及び第２軸回りに移動可能に支持されている。このように用力供給装置を少なくとも４自由度を有する機構とすることにより、ステージが２次元面内で、第１、第２軸方向、及び各軸回りの回転方向に移動しても、用力供給装置がその移動の妨げとなることがないので、流体の供給にチューブなどの配管を用いる場合と比較して、チューブを引きずることによるステージの位置制御性の低下を完全に回避することができる。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置内でパターン付けされた基板のパラメータを測定する高速メトロロジーツールを提供する。
【解決手段】メトロロジーツールは、リソグラフィ装置内でパターン付けされた基板９のパラメータを測定するように構成されている。メトロロジーツールは、ベースフレーム５と、基板を保持するように構成された基板テーブル６と、基板のパラメータを測定するように構成された少なくとも１つのセンサと、基板テーブルおよびセンサのどちらか一方を他方に対して、少なくとも第１方向において変位させるための変位システム２５と、第１バランスマスと、基板テーブルおよびセンサのどちらか一方の第１方向における変位を相殺するため、第１方向の反対方向へ実質的に自由に移動するように第１バランスマス２０を移動可能に支持する第１ベアリング２１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の円滑な移動を安定に実現することができる滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】支持板１１、支持板の上面に配置された複数個の球体１２、１２〜、上下に開口し且つ上側の開口１４ａの直径が球体の直径よりも小さな値に設定された複数個の透孔１３、１３、〜を備え、そして各透孔に上記球体を上下の開口から部分的に突き出た状態で回転可能に収容保持している球体保持板１５、および上記の複数個の球体の上に配置されたテーブル板１６を含む滑動テーブルであって、上記球体保持板の複数個の透孔のうちの少なくとも一個の透孔１３ａの下側の開口１４ｂの縁部の少なくとも一部が、滑動テーブルの上下を逆向きに配置したときに球体保持板の下面全体がテーブル板の表面に密着することがないように開口の内側に突出していることを特徴とする滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の円滑な移動を安定に実現することができる滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】支持板１１、支持板の上面に配置された複数個の球体１２、上側の開口の直径が球体の直径よりも小さく、かつ下側の開口の直径が球体の直径よりも大きな値に設定された複数の球体保持孔１３を備え、そして各保持孔に上記球体を収容保持している球体保持板１５、および上記の複数個の球体の上に配置されたテーブル板１６を含む滑動テーブルであって、上記球体保持板が、支持板とテーブル板との間に配置された上記球体と同径の球体２２を回転可能に収容している球体収容孔２３を更に備え、この収容孔の上側の開口２４ａの直径が球体の直径よりも大きな値に設定され、そして下側の開口２４ｂの縁部が、滑動テーブルの上下を逆向きに配置したときに球体保持板の下面全体がテーブル板の表面に密着することがないように開口の内側に突出していることを特徴とする滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】誤差の少ない高精度な位置検出が可能な平面モータを実現する。
【解決手段】プラテン上に配置されたスライダをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御する平面モータにおいて、
前記スライダにレーザ光源、レンズおよびイメージセンサを搭載し、前記レーザ光源から出射したレーザ光を前記プラテンで反射させ前記レンズを介して前記イメージセンサで受光するように構成した。 （もっと読む）