滑動テーブル
【課題】テーブル板の回転可能角度が大きく、そして十分な耐荷重性を示す滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台１１の上にテーブル板１３を複数の支持ユニット２１を介して滑動可能に支持してなり、支持ユニット２１が、基台に固定された中央に開口２２ａを備える固定支持板２２と、固定支持板の上面に複数の球体２７が保持された中央に開口２３ａを備える球体保持板２３を介して滑動可能に配設され、上記固定支持板の開口２２ａの内部に延びる滑動制限軸２８を持つ滑動支持板２５とを含み、そして上記開口２２ａ、２３ａが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線１３ｃに沿うように配設され、そして上記開口２２ａの領域内に球体２７が移動しないよう、球体保持板２３と固定支持板２２とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。
【解決手段】基台１１の上にテーブル板１３を複数の支持ユニット２１を介して滑動可能に支持してなり、支持ユニット２１が、基台に固定された中央に開口２２ａを備える固定支持板２２と、固定支持板の上面に複数の球体２７が保持された中央に開口２３ａを備える球体保持板２３を介して滑動可能に配設され、上記固定支持板の開口２２ａの内部に延びる滑動制限軸２８を持つ滑動支持板２５とを含み、そして上記開口２２ａ、２３ａが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線１３ｃに沿うように配設され、そして上記開口２２ａの領域内に球体２７が移動しないよう、球体保持板２３と固定支持板２２とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置決めテーブルに組み込んで使用するのに適した滑動テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
位置決めテーブルは、基台表面に沿って滑動可能なテーブル板を備える滑動テーブルと、テーブル板を滑動させる駆動装置とから構成される。
【０００３】
位置決めテーブルは、例えば、液晶セルを構成する二枚のガラス基板を位置決めする際に用いられる。液晶セルの一方のガラス基板をテーブル板の上に乗せ、このガラス基板の上方に僅かな間隙を介して他方のガラス基板を配置し、そして駆動装置を作動させてテーブル板を前者のガラス基板と共に滑動（直線移動あるいは回転移動）させることにより、後者のガラス基板に対して位置決めすることができる。
【０００４】
特許文献１の図１及び図２には、基台の上にテーブル板をテーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された三個の支持ユニットを介して滑動可能に支持した構成の滑動テーブルが開示されている。
【０００５】
同文献の図３及び図４には、基台（支持台）に支柱（取付部材）を介して固定された固定支持板（内側支持板）と、固定支持板の上面に複数の球体（ボール）が保持された上側球体保持板（保持部材）を介して滑動可能に配設された滑動支持板（外側支持板）と、滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、前記固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口（遊び孔）を備える下側球体保持板（保持部材）を介して接触下に配設された中央に開口（遊び孔）を備える滑動補助板（外側支持板）とを備える支持ユニットが開示されている。
【０００６】
同文献の図７及び図８には、基台に固定された中央に開口（遊び孔）を備える固定支持板（内側支持板）と、前記固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口（遊び孔）を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸（結合部材）を有する滑動支持板（外側支持板）とを備える支持ユニットが開示されている。同文献には、上記の固定支持板及び球体保持板のそれぞれの開口を細長形状にすることにより、長さ方向の移動ストロークが大きくなるとの記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−１５５６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、位置決め対象物（例えば、液晶セルを構成するガラス基板）の大型化に伴い、滑動テーブルの大型化が進んでいる。
【０００９】
滑動テーブルが大型化しても、位置決め対象物を乗せたテーブル板を所定距離にて直線移動させる場合には、テーブル板の中央部あるいは周縁部の移動距離もまた上記所定距離に等しくなる。
【００１０】
しかし、位置決め対象物を乗せたテーブル板を所定角度にて回転移動させる場合には、滑動テーブルが大型化してテーブル板のサイズが大きくなるほど、テーブル板の周縁部の回転方向（周方向）への移動距離が大きくなる。従って、各支持ユニットにより、テーブル板の周縁部を回転方向になるべく大きな距離にて移動することができるように支持する必要がある。
【００１１】
本発明の課題は、テーブル板の直線方向への移動可能距離に対してテーブル板の回転可能角度が大きく、そして十分な耐荷重性を示す滑動テーブルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は、滑動テーブルのテーブル板を支持する各支持ユニットとして、固定支持板及び球体保持板のそれぞれの開口を細長い形状に設定したものを用い、そして各支持ユニットを上記の細長い開口が概ねテーブル板の回転移動の方向に沿うように配設することにより、テーブル板の回転可能角度を大きくすることについて検討した。
【００１３】
一方、上記の球体保持板の滑動可能範囲、すなわち球体保持板に保持された球体の転動可能範囲は、球体保持板の開口を通る滑動制限軸により制限される。ところが、上記のように固定支持板及び球体保持板のそれぞれの開口が細長い形状に設定されていると、固定支持板の開口の面積が大きくなることに加えて、固定支持板の開口の内部での滑動制限軸の移動可能距離が長くなり、これに伴い球体保持板に保持された球体の転動可能範囲が広くなることから、球体保持板が滑動（特に、回転移動）した際に、球体が固定支持板の開口の領域内に移動し易くなり、その結果、幾つかの球体が開口内に落下することがある。滑動テーブルの耐荷重性は、支持ユニットの固定支持板及び滑動支持板の対向面により挟まれている球体の個数により定まる。従って、上記のように球体が固定支持板の開口の領域内に移動すると、滑動テーブルの耐荷重性が低下する。
【００１４】
本発明者は、更に研究を進めた結果、上記のように各支持ユニットの配置を工夫することに加えて、更に各支持ユニットの球体保持板と固定支持板（もしくは滑動支持板）とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段を設けることにより、テーブル板の回転可能角度を大きくすることができ、そして球体の固定支持板の開口の領域内への移動（そして、その結果として発生する球体の開口内への落下）も防止できることを見出し、本発明に到達した。
【００１５】
本発明は、基台の上にテーブル板をテーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数の支持ユニットを介して滑動可能に支持してなり、前記の支持ユニットが、基台に固定された中央に開口を備える固定支持板と、固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸を有する滑動支持板とを含む支持ユニットである滑動テーブルであって、上記の固定支持板と球体保持板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の固定支持板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする滑動テーブルにある。
【００１６】
本発明はまた、基台に固定される中央に開口を備える固定支持板と、固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸を有する滑動支持板とを含む支持ユニットであって、上記の固定支持板と球体保持板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、そして上記の固定支持板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする支持ユニットにもある。
【００１７】
上記の滑動制限軸を有する滑動支持板を備える本発明の滑動テーブル及び支持ユニットにおいては、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部から構成されていることが好ましい。
【００１８】
本発明はまた、基台の上にテーブル板をテーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数の支持ユニットを介して滑動可能に支持してなり、前記の支持ユニットが、基台に固定された支柱を中央部の下側に有する固定支持板と、固定支持板の上面に複数の球体が保持された上側球体保持板を介して滑動可能に配設された滑動支持板と、滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口を備える下側球体保持板を介して接触下に配設された中央に開口を備える滑動補助板とを含む支持ユニットである滑動テーブルであって、上記の下側球体保持板と滑動補助板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の滑動補助板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする滑動テーブルにもある。
【００１９】
本発明はまた、基台に固定される支柱を中央部の下側に有する固定支持板と、固定支持板の上面に複数の球体が保持された上側球体保持板を介して滑動可能に配設された滑動支持板と、滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口を備える下側球体保持板を介して接触下に配設された中央に開口を備える滑動補助板とを含む支持ユニットであって、上記の下側球体保持板と滑動補助板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、そして上記の滑動補助板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする支持ユニットにもある。
【００２０】
上記の支柱を有する固定支持板を備える本発明の滑動テーブル及び支持ユニットにおいては、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部から構成されていることが好ましい。
【００２１】
なお、本明細書において、上記の「テーブル板の中心点」とは、テーブル板の表面上でテーブル板の重心の上方に位置する点を中心とし、かつテーブル板に外接する円の半径の１５％（好ましくは１０％）以内の長さの半径を有する円の内側の領域内にある点であることを意味する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の滑動テーブルは、テーブル板の直線方向への移動可能距離に対して、テーブル板を大きな角度にて回転移動させることができ、そして十分な耐荷重性を示す。従って、本発明の滑動テーブルは、大型の位置決め対象物、例えば、大型の液晶セルを構成する大きなサイズのガラス基板の位置決めに有利に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の滑動テーブル（滑動制限軸を有する滑動支持板を備えるもの）の構成例を示す一部切り欠き平面図である。但し、図１にはテーブル板１３の駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃを記入してある。
【図２】図１に記入した切断線II−II線に沿って切断した滑動テーブル１０の拡大断面図である。
【図３】図２に示す支持ユニット２１の分解斜視図である。
【図４】図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が右側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【図５】図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が上側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【図６】図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が左斜め上側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【図７】図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が回転移動した状態で示す拡大図である。
【図８】球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が備えられていない支持ユニット１２１を球体保持板２３が回転移動した状態で示す図である。
【図９】図８の支持ユニット１２１を、滑動制限軸２８が固定支持板２２及び球体保持板２３の各々の開口２２ａ、２３ａの隅部に移動して、かつ球体保持板２３が滑動制限軸２８を中心に回転移動した状態で示す図である。
【図１０】図１に示す駆動装置６０ａの近傍の部位の拡大図である。
【図１１】図１０の駆動装置６０ａの近傍の部位を図の下側から見た図である。
【図１２】本発明の滑動テーブル（滑動制限軸を有する滑動支持板を備えるもの）の別の構成例を示す断面図である。
【図１３】本発明の滑動テーブル（支柱を有する固定支持板を備えるもの）の構成例を示す断面図である。
【図１４】図１３に示す支持ユニット４１の分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の滑動テーブルを、添付の図面を用いて説明する。図１は、本発明の滑動テーブル（滑動制限軸２８を有する滑動支持板２５を備えるもの）の構成例を示す一部切り欠き平面図である。図２は、図１に記入した切断線II−II線に沿って切断した滑動テーブル１０の拡大断面図である。そして図３は、図２に示す支持ユニット２１の分解斜視図である。
【００２５】
図１の滑動テーブル１０は、テーブル板１３の一部を切り欠いた状態で示している。また、上記テーブル板１３には、駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃが接続されていている。滑動テーブル１０と駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃとにより位置決めテーブルが構成される。
【００２６】
図１の滑動テーブル１０が備える合計で４個の支持ユニット２１としては、例えば、互いに同一の構成のものが用いられている。但し、図１にて基台１１の左下隅部に配置された支持ユニット２１は、滑動支持板を取り外した状態で、また基台１１の右下隅部に配置された支持ユニット２１は、滑動支持板と球体保持板とを取り外した状態で記入してある。
【００２７】
図１〜図３に示す本発明の滑動テーブル１０は、基台１１の上にテーブル板１３をテーブル板１３の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数（例えば、合計で４個）の支持ユニット２１を介して滑動可能に支持した構成を有していて、上記の支持ユニット２１は、基台１１に固定された中央に開口２２ａを備える固定支持板２２と、固定支持板２２の上面に複数の球体２７が保持された中央に開口２３ａを備える球体保持板２３を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板２２の開口２２ａの内部に延びる滑動制限軸２８を有する滑動支持板２５とを備えている。
【００２８】
そして、この滑動テーブル１０は、上記の支持ユニット２１の固定支持板２２と球体保持板２３の双方に備えられた開口２２ａ、２３ａが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点１３ａを中心とする円弧１３ｂの接線１３ｃに沿うように配設され、そして上記の固定支持板２２の開口２２ａの領域内に球体２７が移動することのないよう、球体保持板２３と固定支持板２２とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が設けられていることに主な特徴がある。
【００２９】
このように、各支持ユニット２１の固定支持板２２と球体保持板２３の双方に備えられた開口２２ａ、２３ａが、共に一方の径が長い長方形（もしくは長円形）をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点１３ａを中心とする円弧１３ｂの接線１３ｃに沿うように配設されていると、各支持ユニット２１の滑動支持板２５は滑動制限軸２８と共に固定支持板２２の開口２２ａの長さ方向（概ねテーブル板の回転方向）に沿って長距離にて移動することができる。従って、本発明の滑動テーブル１０は、従来の滑動テーブルと比較して、テーブル板１３の直線方向への移動可能距離に対するテーブル板１３の回転可能角度が大きい。
【００３０】
なお、本明細書で云う「長方形」もしくは「長円形」とは、滑動支持板２５のテーブル板１３の中心点１３ａを通る直線方向への移動可能距離に対して、テーブル板１３の回転方向への移動可能距離を大きくすることができれば、厳密な（幾何学的な）長方形もしくは長円形である必要はない。例えば、本明細書で云う「長方形」には、長方形の隅部を円弧で形成した形状、そして長方形の隅部を面取りした形状、長方形の各辺を湾曲させた形状も含まれる。また、例えば、本明細書で云う「長方形」もしくは「長円形」には、長方形もしくは長円形をテーブル板１３の中心点１３ａを中心とする円弧１３ｂに沿って湾曲させた形状も含まれる。
【００３１】
また、固定支持板２２の開口２２ａと球体保持板２３の開口２３ａが、共に一方の径が長い長方形（もしくは長円形）の形状とされ、これらの開口２２ａ、２３ａの面積が大きくなった場合であっても、球体保持板２３と固定支持板２２（もしくは滑動支持板２５）とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３を介して、球体保持板２３と固定支持板２２（もしくは滑動支持板２５）とが互いに係合するため、球体保持板２３の滑動可能範囲は、球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することのない範囲に制限される。従って、本発明の滑動テーブル１０は、十分な耐荷重性（特に、テーブル板１３に下向きに付与される荷重に対する耐荷重性）を示す。
【００３２】
図１及び図３に示す構成では、球体保持板２３と固定支持板２２とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３は、一方の板（固定支持板）２２に形成された突起３５と、他方の板（球体保持板）２３に設けられた孔部３６とから構成されている。
【００３３】
球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段は、球体保持板に形成された突起と、固定支持板に設けられた孔部とから構成することもできる。また前記孔部に代えて、凹部（例、上記突起に係合する非貫通孔あるいは切り欠き）を用いることもできる。
【００３４】
図２及び図３に示す構成では、支持ユニット２１は、中央部の上側が上記滑動制限軸２８の下端部に接続されていて、固定支持板２２の下面に複数の球体２７が保持された中央に開口２４ａを備える球体保持板２４を介して接触下に配設された滑動補助板２６を更に備えていることが好ましい。
【００３５】
上記の滑動補助板２６と滑動支持板２５との間隔を調節する（例えば、滑動制限軸２８の長さを短くする）ことにより、滑動支持板２５が複数の球体２７を介して固定支持板２２の上に緊密に支持される。このため、滑動支持板２５を水平方向に高い精度で滑動させることができる。
【００３６】
上記の球体保持板２４に備えられた開口２４ａもまた、一方の径が長い長方形（もしくは長円形）をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点１３ａを中心とする円弧１３ｂの接線１３ｃに沿うように配設され、そして上記の固定支持板２２の開口２２ａの領域内に球体２７が移動することのないよう、球体保持板２４と滑動補助板２６（もしくは固定支持板２２）とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３４が設けられていることが好ましい。
【００３７】
図３に示す構成では、球体保持板２４と滑動補助板２６とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３４は、一方の板（滑動補助板）２６に形成された突起３５と、他方の板（球体保持板）２４に設けられた凹部（切り欠き）３７とから構成されている。
【００３８】
次に、本発明の支持ユニットの球体保持板の滑動可能範囲について、上記支持ユニット２１を代表例として説明する。なお、下記の図４〜図７において、支持ユニット２１の滑動支持板２５、滑動制限軸２８、および固定支持板２２の背面側（図２にて下側）の部品は記入していない。
【００３９】
図４は、図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が右側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【００４０】
図４に示すように、球体保持板２３が右側の方向（Ｘ軸方向）に移動した場合、球体保持板２３の孔部３６と固定支持板２２の突起３５とが互いに接触して係合するため、この球体保持板２３が更に右側の方向に移動することはない。従って、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することがなく、開口２２ａの内部に落下することもない。
【００４１】
図５は、図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が上側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【００４２】
図５に示すように、球体保持板２３が上側の方向（Ｙ軸方向）に移動した場合もまた、球体保持板２３の孔部３６と固定支持板２２の突起３５とが互いに接触して係合するため、この球体保持板２３が更に上側の方向に移動することはない。従って、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することがなく、開口２２ａの内部に落下することもない。
【００４３】
図６は、図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が左斜め上側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【００４４】
図６に示すように、球体保持板２３が左斜め上側の方向に移動した場合もまた、球体保持板２３の孔部３６と固定支持板２２の突起３５とが互いに接触して係合するため、この球体保持板２３が更に左斜め上側の方向に移動することはない。従って、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することがなく、開口２２ａの内部に落下することもない。
【００４５】
図７は、図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が回転移動した状態で示す拡大図である。
【００４６】
図７に示すように、球体保持板２３が回転移動（滑動）した場合もまた、球体保持板２３の孔部３６と固定支持板２２の突起３５とが互いに接触して係合するため、この球体保持板２３が更に回転移動することはない。従って、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することがなく、開口２２ａの内部に落下することもない。
【００４７】
このように、支持ユニット２１では、固定支持板２２の開口２２ａと球体保持板２３の開口２３ａとがそれぞれ細長い形状（長方形もしくは長円形）に設定されている場合であっても、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することができないようにされている。
【００４８】
なお、球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３は、詳細に説明すると、球体２７が固定支持板２２と滑動支持板（図２：２５）との対向面のそれぞれに接触した状態が維持されるよう、球体保持板２３の滑動可能範囲を制限する機能を有している。すなわち、図４〜図７に示すように、球体保持板２３の滑動可能範囲が制限された際に、球体２７が固定支持板２２の外周縁よりも外周側に移動することもなく、滑動支持板（図２：２５）の外周縁よりも外周側に移動することもないようにされている。
【００４９】
球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３を構成する固定支持板２２の突起３５の形成位置や形状、そして球体保持板２３の孔部３６の形成位置や形状は、例えば、コンピュータ援用設計システム（CAD：computer-aided design)上にて球体保持板を滑動させ、その滑動可能範囲を確認することによって簡単に設定することができる。
【００５０】
一方、支持ユニット２１では、前記のように球体保持板２３の開口２３ａを通る滑動制限軸２８により、球体保持板２３の滑動可能範囲、すなわち球体２７の転動可能範囲がある程度の範囲内に制限されるが、仮に球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が備えられていない場合には、球体保持板２３に保持された球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することを防止することはできない。
【００５１】
以下では、図８及び図９を参照しながら、上記のような球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段を備えていない支持ユニット、すなわち本発明に包含されない支持ユニットの球体保持板の滑動可能範囲について説明する。なお、図８及び図９において、支持ユニット１２１の滑動支持板、および固定支持板２２の背面側の部品は記入していない。
【００５２】
図８は、球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が備えられていない、すなわち本発明に包含されない支持ユニット１２１を球体保持板２３が回転移動した状態で示す図である。
【００５３】
図８に示すように、上記の球体保持板２３の回転移動により、球体保持板２３に保持された複数の球体のうち、合計で４個の球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動する。
【００５４】
図９は、図８の支持ユニット１２１を、滑動制限軸２８が固定支持板２２及び球体保持板２３の各々の開口２２ａ、２３ａの隅部に移動して、かつ球体保持板２３が滑動制限軸２８を中心に回転移動した状態で示す図である。
【００５５】
図９に示すように、上記の滑動制限軸２８の移動と球体保持板２３の回転移動とにより、球体保持板２３に保持された複数の球体のうちの更に多くの数の球体２７が、固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動したり、固定支持板２２の外周縁よりも外周側に移動したりする。
【００５６】
このように、球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段を備えていない、すなわち本発明に包含されない支持ユニット１２１では、例えば、上記の図８及び図９に示すような球体保持板２３の回転移動（滑動）により、固定支持板２２及び滑動支持板（図示していない）の対向面に挟まれている球体の数が少なくなる。従って、このような支持ユニット１２１の複数によりテーブル板を支持して滑動テーブルを構成すると、例えば、上記の図８及び図９に示すように球体保持板２３が回転移動した際に滑動テーブルの耐荷重性が低下する。
【００５７】
本発明の滑動テーブルのテーブル板の駆動方法は、公知の滑動テーブル、例えば、前記の特許文献１の滑動テーブルの場合と同様である。以下では、図１の滑動テーブル１０のテーブル板１３の駆動方法について、図１、図１０及び図１１に示す駆動装置６０ａ〜６０ｃを用いる場合を代表例として説明を行なう。
【００５８】
図１０は、図１に示す駆動装置６０ａの近傍の部位の拡大図であり、そして図１１は、図１０の駆動装置６０ａの近傍の部位を図の下側から見た図である。
【００５９】
テーブル板１３には、例えば、合計で三台の駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃが接続されている。駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃの構成は互いに同一である。
【００６０】
駆動装置６０ａは、滑動テーブル１０の基台１１の側面に固定された補助台１２の上に設置されている。
【００６１】
駆動装置６０ａは、回転駆動装置（代表例、ステッピングモータ）６１、そして回転駆動装置６１の回転軸６１ａにカップリング６２を介して接続されたねじ軸６３ａと、ねじ軸６３ａの周囲に嵌め合わされたナット６３ｂとからなる送りねじ６３を備えている。
【００６２】
送りねじ６３のねじ軸６３ａは、補助台１２に設置された回転軸受６４ａ、６４ｂにより回転可能に支持されている。一方、送りねじ６３のナット６３ｂには、二本のロッド６５が接続されている。各々のロッド６５は、補助台１２に設置された直動軸受６６により、その長さ方向に滑動可能に支持されている。
【００６３】
二本のロッド６５の先端には、一対の回転軸受６７を介して軸体６８が回転可能に支持されている。軸体６８には、レール６９ａとスライダ６９ｂとからなるリニアガイド６９が揺動可能に支持されている。リニアガイド６９のレール６９ａは接続部材７１を介してテーブル板１３に固定されている。
【００６４】
回転駆動装置６１の回転軸６１ａを送りねじ６３のねじ軸６３ａと共に回転させ、ねじ軸６３ａに嵌め合わされたナット６３ｂをＸ軸方向（図にて右側の方向）に移動させることにより、ナット６３ｂにロッド６５を介して接続された接続部材７１をＸ軸方向に移動させることができる。その一方で、回転駆動装置６１の回転軸６１ａを前記の回転の向きとは逆向きに回転させることにより、接続部材７１をＸ軸方向とは逆向きの方向（図にて左側の方向）に移動させることができる。
【００６５】
そして、図１に示す駆動装置６０ａ、６０ｂの各々の接続部材７１をＸ軸方向に互いに等しい距離にて移動させることにより、テーブル板１３をＸ軸方向に滑動させることができる。この際に、駆動装置６０ｃの接続部材７１に固定されているリニアガイド６９のレール６９ａがスライダ６９ｂに支持された状態にてＸ軸方向に滑動する。このため、駆動装置６０ｃがテーブル板１３のＸ軸方向への移動を妨げることはない。
【００６６】
また、駆動装置６０ｃの接続部材７１をＹ軸方向に移動させることにより、テーブル板１３をＹ軸方向に滑動させることができる。この際に、駆動装置６０ａ、６０ｂの各々の接続部材７１に固定されているリニアガイド６９のレール６９ａがスライダ６９ｂに支持された状態にてＹ軸方向に滑動する。このため、駆動装置６０ａ、６０ｂがテーブル板１３のＹ軸方向への移動を妨げることはない。
【００６７】
更にまた、駆動装置６０ａの接続部材７１をＸ軸方向とは逆向きに、駆動装置６０ｂの接続部材７１をＸ軸方向に、互いに等しい距離にて移動させることにより、テーブル板１３を図に記入したθ方向に回転移動（滑動）させることができる。この際に、駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃの各々の接続部材７１に固定されているリニアガイド６９が、テーブル板１３の回転移動の角度に応じて、リニアガイド６９とロッド６５との間に備えられた軸体（図１１：６８）を中心として傾斜移動する。
【００６８】
滑動テーブル１０は、各支持ユニット２１の滑動支持板２５が滑動制限軸２８と共に固定支持板２２の開口２２ａの長さ方向（概ねテーブル板１３の回転方向）に沿って長距離にて移動することができるため、テーブル板１３の直線方向への移動可能距離に対するテーブル板１３の回転可能角度が大きい。従って、テーブル板１３のサイズが大きい場合であっても、テーブル板１３を大きな角度で回転移動させることができる。
【００６９】
本発明の滑動テーブル（滑動制限軸を有する滑動支持板を備えるもの）において、支持ユニットの数は２〜８個の範囲にあることが好ましく、３個又は４個であることが更に好ましく、４個であることが特に好ましい。
【００７０】
支持ユニットの数が４個である場合には、図１及び図３に示すように、支持ユニット２１の固定支持板２２の形状が矩形（例、正方形）とされていて、この固定支持板２２の長方形（もしくは長円形）の開口２２ａが、その長い径の方向（長さ方向）が固定支持板２２の対角線に沿うように配設されていることが好ましい。
【００７１】
これにより、固定支持板２２のサイズ（すなわち支持ユニット２１のサイズ）が同じであれば、開口２２ａの長さを長くすることができるため、滑動支持板２５を滑動制限軸２８と共に開口２２ａに沿って長距離にて移動させることが可能になる。
【００７２】
本発明の滑動テーブルにおいては、テーブル板の中心点の下側を、上記の支持ユニットとは別の支持ユニットで更に支持することもできる。
【００７３】
テーブル板の中心点の下側を支持する支持ユニットとしては、例えば、上記支持ユニット２１と同一の構成を有する支持ユニットを用いることもできるし、上記支持ユニット２１とは異なる構成を有する支持ユニット（例えば、固定支持板の開口や球体保持板の開口の形状が円形であるもの）を用いることもできる。
【００７４】
また、図３に示すように、球体保持板２３と固定支持板２２（あるいは滑動支持板２５）とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が２個（あるいは３個以上）備えられていることが好ましい。これにより、球体保持板２３の滑動（特に回転移動）の範囲を制限することが容易になる。
【００７５】
上記の２個の球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３は、球体保持板２３の開口２３ａの幅方向の両外側の位置にそれぞれ設けられていることが更に好ましい。これにより、固定支持板２２と球体保持板２３の双方に備えられた開口２２ａ、２３ａの長さを長くすることができる。
【００７６】
同様に、球体保持板２４と滑動補助板２６（あるいは固定支持板２２）とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３４が２個（あるいは３個以上）備えられていることが好ましく、上記の２個の球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３４が、球体保持板２４の開口２４ａの幅方向の両外側の位置にそれぞれ設けられていることが更に好ましい。
【００７７】
図１２は、本発明の滑動テーブル（滑動制限軸２８を有する滑動支持板２５を備えるもの）の別の構成例を示す断面図である。
【００７８】
図１２の滑動テーブル２０の構成は、支持ユニット３１の固定支持板２２と基台１１ａとの固定が、基台１１ａに滑動補助板２６が接触することのないよう、スペーサ３８を介してなされていること以外は、図２に示す滑動テーブル１０の構成と同様である。
【００７９】
支持ユニット３１を用いる場合、基台１１ａに滑動補助板２６を収容する開口を形成する必要はない。
【００８０】
図１３は、本発明の滑動テーブル（支柱４８を有する固定支持板４２を備えるもの）の構成例を示す断面図であり、そして図１４は、図１３に示す支持ユニット４１の分解斜視図である。図１３の滑動テーブル３０の構成は、支持ユニット４１の構成が異なること以外は図１２の滑動テーブル２０の構成と同様である。
【００８１】
滑動テーブ３０が備える支持ユニット４１は、基台１１ａに固定された支柱４８を中央部の下側に有する固定支持板４２と、固定支持板４２の上面に複数の球体２７が保持された上側球体保持板４３を介して滑動可能に配設された滑動支持板４５と、滑動支持板４５の周縁から下方に延びる接続部４７に固定されていて、固定支持板４２の下面に複数の球体２７が保持された中央に開口４４ａを備える下側球体保持板４４を介して接触下に配設された中央に開口４６ａを備える滑動補助板４６とを備えている。
【００８２】
そして、この滑動テーブル３０は、上記の支持ユニット４１の下側球体保持板４４と滑動補助板４６の双方に備えられた開口４４ａ、４６ａが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の滑動補助板４６の開口４６ａの領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板４４と滑動補助板４６とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４が設けられていることに主な特徴がある。
【００８３】
このように、各支持ユニット４１の下側球体保持板４４と滑動補助板４６の双方に備えられた開口４４ａ、４６ａが、共に一方の径が長い長方形（もしくは長円形）をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設されていると、各支持ユニット４１の滑動支持板４５は滑動補助板４６と共に開口４６ａの長さ方向（概ねテーブル板の回転方向）に沿って長距離にて移動することができる。従って、本発明の滑動テーブル３０もまた、従来の滑動テーブルと比較して、テーブル板１３の直線方向への移動可能距離に対するテーブル板１３の回転可能角度が大きい。
【００８４】
また、下側球体保持板４４の開口４４ａと滑動補助板４６の開口４６ａが、共に一方の径が長い長方形（もしくは長円形）の形状とされ、これらの開口４４ａ、４６ａの面積が大きくなった場合であっても、下側球体保持板４４と滑動補助板４６（もしくは固定支持板４２）とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４を介して、下側球体保持板４４と滑動補助板４６（もしくは固定支持板４２）とが互いに係合するため、下側球体保持板４４の滑動可能範囲は、球体２７が滑動補助板４６の開口４６ａの領域内に移動することのない範囲に制限される。従って、滑動テーブル３０は十分な耐荷重性（特に、テーブル板１３に上向きに付与される荷重に対する耐荷重性）を示す。
【００８５】
図１４に示すように、下側球体保持板４４と滑動補助板４６とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４は、一方の板（滑動補助板）４６に形成された突起３５と、他方の板（下側球体保持板）４４に設けられた凹部（切り欠き）３７とから構成することができる。
【００８６】
下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段は、下側球体保持板に形成された突起と、滑動補助板に設けられた凹部とから構成することもできる。
【００８７】
支持ユニット４１の上側球体保持板４３が保持する球体２７が、固定支持板４２と滑動支持板４５との対向面のそれぞれに接触した状態が維持されるよう、上側球体保持板４３と固定支持板４２（あるいは滑動支持板４５）とのそれぞれに、互いに係合して上側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５３が設けられていることが好ましい。
【００８８】
図１４に示すように、上側球体保持板４３と固定支持板４２とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５３は、一方の板（固定支持板）４２に形成された突起３５と、他方の板（上側球体保持板）４３に設けられた孔部３６とから構成することができる。
【００８９】
支持ユニット４１では、例えば、滑動支持板４５と滑動補助板４６との周縁部を接続部４７を介して隙間無く接続することにより、固定支持板４２と滑動支持板４５もしくは滑動補助板４６との間に塵や埃が侵入することを抑制することができる。
【００９０】
本発明の滑動テーブル（支柱を有する固定支持板を備えるもの）においてもまた、支持ユニットの数は、２〜８個の範囲にあることが好ましく、３個又は４個であることが更に好ましく、４個であることが特に好ましい。
【００９１】
支持ユニットの数が４個である場合には、図１４に示すように、支持ユニット４１の滑動補助板４６の形状が矩形（例、正方形）とされていて、この滑動補助板４６の長方形（もしくは長円形）の開口４６ａが、その長い径の方向（長さ方向）が滑動補助板４６の対角線に沿うように配設されていることが好ましい。
【００９２】
これにより、滑動補助板４６のサイズ（すなわち支持ユニット４１のサイズ）が同じであれば、開口４６ａの長さを長くすることができるため、滑動支持板４５を滑動補助板４６と共に開口４６ａに沿って長距離にて移動させることが可能になる。
【００９３】
また、図１４に示すように、下側球体保持板４４と滑動補助板４６（あるいは固定支持板４２）とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４が２個（あるいは３個以上）備えられていることが好ましい。これにより、下側球体保持板４４の滑動（特に回転移動）の範囲を制限することが容易になる。
【００９４】
上記の２個の下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４は、下側球体保持板４４の開口４４ａの幅方向の両外側の位置にそれぞれ設けられていることが更に好ましい。これにより、下側球体保持板４４と滑動補助板４６の双方に備えられた開口４４ａ、４６ａの長さを長くすることができる。
【００９５】
同様に、上側球体保持板４３と固定支持板４２（あるいは滑動支持板４５）とのそれぞれに、互いに係合して上側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５３が２個（あるいは３個以上）備えられていることが好ましい。
【符号の説明】
【００９６】
１０、２０、３０ 滑動テーブル
１１、１１ａ 基台
１２ 補助台
１３ テーブル板
１３ａ テーブル板の中心点
１３ｂ 円弧
１３ｃ 接線
２１、３１ 支持ユニット
２２ 固定支持板
２２ａ 開口
２３、２４ 球体保持板
２３ａ、２４ａ 開口
２５ 滑動支持板
２６ 滑動補助板
２７ 球体
２８ 滑動制限軸
３３ 球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段
３４ 球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段
３５ 突起
３６ 孔部
３７ 凹部
３８ スペーサ
４１ 支持ユニット
４２ 固定支持板
４３ 上側球体保持板
４４ 下側球体保持板
４４ａ 開口
４５ 滑動支持板
４６ 滑動補助板
４６ａ 開口
４７ 接続部
４８ 支柱
５３ 上側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段
５４ 下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段
６０ａ、６０ｂ、６０ｃ 駆動装置
６１ 回転駆動装置
６１ａ 回転軸
６２ カップリング
６３ 送りねじ
６３ａ ねじ軸
６３ｂ ナット
６４ａ、６４ｂ 回転軸受
６５ ロッド
６６ 直動軸受
６７ 回転軸受
６８ 軸体
６９ リニアガイド
６９ａ レール
６９ｂ スライダ
７１ 接続部材
１２１ 支持ユニット
【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置決めテーブルに組み込んで使用するのに適した滑動テーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
位置決めテーブルは、基台表面に沿って滑動可能なテーブル板を備える滑動テーブルと、テーブル板を滑動させる駆動装置とから構成される。
【０００３】
位置決めテーブルは、例えば、液晶セルを構成する二枚のガラス基板を位置決めする際に用いられる。液晶セルの一方のガラス基板をテーブル板の上に乗せ、このガラス基板の上方に僅かな間隙を介して他方のガラス基板を配置し、そして駆動装置を作動させてテーブル板を前者のガラス基板と共に滑動（直線移動あるいは回転移動）させることにより、後者のガラス基板に対して位置決めすることができる。
【０００４】
特許文献１の図１及び図２には、基台の上にテーブル板をテーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された三個の支持ユニットを介して滑動可能に支持した構成の滑動テーブルが開示されている。
【０００５】
同文献の図３及び図４には、基台（支持台）に支柱（取付部材）を介して固定された固定支持板（内側支持板）と、固定支持板の上面に複数の球体（ボール）が保持された上側球体保持板（保持部材）を介して滑動可能に配設された滑動支持板（外側支持板）と、滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、前記固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口（遊び孔）を備える下側球体保持板（保持部材）を介して接触下に配設された中央に開口（遊び孔）を備える滑動補助板（外側支持板）とを備える支持ユニットが開示されている。
【０００６】
同文献の図７及び図８には、基台に固定された中央に開口（遊び孔）を備える固定支持板（内側支持板）と、前記固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口（遊び孔）を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸（結合部材）を有する滑動支持板（外側支持板）とを備える支持ユニットが開示されている。同文献には、上記の固定支持板及び球体保持板のそれぞれの開口を細長形状にすることにより、長さ方向の移動ストロークが大きくなるとの記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−１５５６６６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
近年、位置決め対象物（例えば、液晶セルを構成するガラス基板）の大型化に伴い、滑動テーブルの大型化が進んでいる。
【０００９】
滑動テーブルが大型化しても、位置決め対象物を乗せたテーブル板を所定距離にて直線移動させる場合には、テーブル板の中央部あるいは周縁部の移動距離もまた上記所定距離に等しくなる。
【００１０】
しかし、位置決め対象物を乗せたテーブル板を所定角度にて回転移動させる場合には、滑動テーブルが大型化してテーブル板のサイズが大きくなるほど、テーブル板の周縁部の回転方向（周方向）への移動距離が大きくなる。従って、各支持ユニットにより、テーブル板の周縁部を回転方向になるべく大きな距離にて移動することができるように支持する必要がある。
【００１１】
本発明の課題は、テーブル板の直線方向への移動可能距離に対してテーブル板の回転可能角度が大きく、そして十分な耐荷重性を示す滑動テーブルを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明者は、滑動テーブルのテーブル板を支持する各支持ユニットとして、固定支持板及び球体保持板のそれぞれの開口を細長い形状に設定したものを用い、そして各支持ユニットを上記の細長い開口が概ねテーブル板の回転移動の方向に沿うように配設することにより、テーブル板の回転可能角度を大きくすることについて検討した。
【００１３】
一方、上記の球体保持板の滑動可能範囲、すなわち球体保持板に保持された球体の転動可能範囲は、球体保持板の開口を通る滑動制限軸により制限される。ところが、上記のように固定支持板及び球体保持板のそれぞれの開口が細長い形状に設定されていると、固定支持板の開口の面積が大きくなることに加えて、固定支持板の開口の内部での滑動制限軸の移動可能距離が長くなり、これに伴い球体保持板に保持された球体の転動可能範囲が広くなることから、球体保持板が滑動（特に、回転移動）した際に、球体が固定支持板の開口の領域内に移動し易くなり、その結果、幾つかの球体が開口内に落下することがある。滑動テーブルの耐荷重性は、支持ユニットの固定支持板及び滑動支持板の対向面により挟まれている球体の個数により定まる。従って、上記のように球体が固定支持板の開口の領域内に移動すると、滑動テーブルの耐荷重性が低下する。
【００１４】
本発明者は、更に研究を進めた結果、上記のように各支持ユニットの配置を工夫することに加えて、更に各支持ユニットの球体保持板と固定支持板（もしくは滑動支持板）とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段を設けることにより、テーブル板の回転可能角度を大きくすることができ、そして球体の固定支持板の開口の領域内への移動（そして、その結果として発生する球体の開口内への落下）も防止できることを見出し、本発明に到達した。
【００１５】
本発明は、基台の上にテーブル板をテーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数の支持ユニットを介して滑動可能に支持してなり、前記の支持ユニットが、基台に固定された中央に開口を備える固定支持板と、固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸を有する滑動支持板とを含む支持ユニットである滑動テーブルであって、上記の固定支持板と球体保持板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の固定支持板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする滑動テーブルにある。
【００１６】
本発明はまた、基台に固定される中央に開口を備える固定支持板と、固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸を有する滑動支持板とを含む支持ユニットであって、上記の固定支持板と球体保持板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、そして上記の固定支持板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする支持ユニットにもある。
【００１７】
上記の滑動制限軸を有する滑動支持板を備える本発明の滑動テーブル及び支持ユニットにおいては、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部から構成されていることが好ましい。
【００１８】
本発明はまた、基台の上にテーブル板をテーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数の支持ユニットを介して滑動可能に支持してなり、前記の支持ユニットが、基台に固定された支柱を中央部の下側に有する固定支持板と、固定支持板の上面に複数の球体が保持された上側球体保持板を介して滑動可能に配設された滑動支持板と、滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口を備える下側球体保持板を介して接触下に配設された中央に開口を備える滑動補助板とを含む支持ユニットである滑動テーブルであって、上記の下側球体保持板と滑動補助板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の滑動補助板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする滑動テーブルにもある。
【００１９】
本発明はまた、基台に固定される支柱を中央部の下側に有する固定支持板と、固定支持板の上面に複数の球体が保持された上側球体保持板を介して滑動可能に配設された滑動支持板と、滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口を備える下側球体保持板を介して接触下に配設された中央に開口を備える滑動補助板とを含む支持ユニットであって、上記の下側球体保持板と滑動補助板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、そして上記の滑動補助板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする支持ユニットにもある。
【００２０】
上記の支柱を有する固定支持板を備える本発明の滑動テーブル及び支持ユニットにおいては、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部から構成されていることが好ましい。
【００２１】
なお、本明細書において、上記の「テーブル板の中心点」とは、テーブル板の表面上でテーブル板の重心の上方に位置する点を中心とし、かつテーブル板に外接する円の半径の１５％（好ましくは１０％）以内の長さの半径を有する円の内側の領域内にある点であることを意味する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の滑動テーブルは、テーブル板の直線方向への移動可能距離に対して、テーブル板を大きな角度にて回転移動させることができ、そして十分な耐荷重性を示す。従って、本発明の滑動テーブルは、大型の位置決め対象物、例えば、大型の液晶セルを構成する大きなサイズのガラス基板の位置決めに有利に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の滑動テーブル（滑動制限軸を有する滑動支持板を備えるもの）の構成例を示す一部切り欠き平面図である。但し、図１にはテーブル板１３の駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃを記入してある。
【図２】図１に記入した切断線II−II線に沿って切断した滑動テーブル１０の拡大断面図である。
【図３】図２に示す支持ユニット２１の分解斜視図である。
【図４】図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が右側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【図５】図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が上側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【図６】図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が左斜め上側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【図７】図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が回転移動した状態で示す拡大図である。
【図８】球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が備えられていない支持ユニット１２１を球体保持板２３が回転移動した状態で示す図である。
【図９】図８の支持ユニット１２１を、滑動制限軸２８が固定支持板２２及び球体保持板２３の各々の開口２２ａ、２３ａの隅部に移動して、かつ球体保持板２３が滑動制限軸２８を中心に回転移動した状態で示す図である。
【図１０】図１に示す駆動装置６０ａの近傍の部位の拡大図である。
【図１１】図１０の駆動装置６０ａの近傍の部位を図の下側から見た図である。
【図１２】本発明の滑動テーブル（滑動制限軸を有する滑動支持板を備えるもの）の別の構成例を示す断面図である。
【図１３】本発明の滑動テーブル（支柱を有する固定支持板を備えるもの）の構成例を示す断面図である。
【図１４】図１３に示す支持ユニット４１の分解斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【００２４】
本発明の滑動テーブルを、添付の図面を用いて説明する。図１は、本発明の滑動テーブル（滑動制限軸２８を有する滑動支持板２５を備えるもの）の構成例を示す一部切り欠き平面図である。図２は、図１に記入した切断線II−II線に沿って切断した滑動テーブル１０の拡大断面図である。そして図３は、図２に示す支持ユニット２１の分解斜視図である。
【００２５】
図１の滑動テーブル１０は、テーブル板１３の一部を切り欠いた状態で示している。また、上記テーブル板１３には、駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃが接続されていている。滑動テーブル１０と駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃとにより位置決めテーブルが構成される。
【００２６】
図１の滑動テーブル１０が備える合計で４個の支持ユニット２１としては、例えば、互いに同一の構成のものが用いられている。但し、図１にて基台１１の左下隅部に配置された支持ユニット２１は、滑動支持板を取り外した状態で、また基台１１の右下隅部に配置された支持ユニット２１は、滑動支持板と球体保持板とを取り外した状態で記入してある。
【００２７】
図１〜図３に示す本発明の滑動テーブル１０は、基台１１の上にテーブル板１３をテーブル板１３の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数（例えば、合計で４個）の支持ユニット２１を介して滑動可能に支持した構成を有していて、上記の支持ユニット２１は、基台１１に固定された中央に開口２２ａを備える固定支持板２２と、固定支持板２２の上面に複数の球体２７が保持された中央に開口２３ａを備える球体保持板２３を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板２２の開口２２ａの内部に延びる滑動制限軸２８を有する滑動支持板２５とを備えている。
【００２８】
そして、この滑動テーブル１０は、上記の支持ユニット２１の固定支持板２２と球体保持板２３の双方に備えられた開口２２ａ、２３ａが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点１３ａを中心とする円弧１３ｂの接線１３ｃに沿うように配設され、そして上記の固定支持板２２の開口２２ａの領域内に球体２７が移動することのないよう、球体保持板２３と固定支持板２２とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が設けられていることに主な特徴がある。
【００２９】
このように、各支持ユニット２１の固定支持板２２と球体保持板２３の双方に備えられた開口２２ａ、２３ａが、共に一方の径が長い長方形（もしくは長円形）をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点１３ａを中心とする円弧１３ｂの接線１３ｃに沿うように配設されていると、各支持ユニット２１の滑動支持板２５は滑動制限軸２８と共に固定支持板２２の開口２２ａの長さ方向（概ねテーブル板の回転方向）に沿って長距離にて移動することができる。従って、本発明の滑動テーブル１０は、従来の滑動テーブルと比較して、テーブル板１３の直線方向への移動可能距離に対するテーブル板１３の回転可能角度が大きい。
【００３０】
なお、本明細書で云う「長方形」もしくは「長円形」とは、滑動支持板２５のテーブル板１３の中心点１３ａを通る直線方向への移動可能距離に対して、テーブル板１３の回転方向への移動可能距離を大きくすることができれば、厳密な（幾何学的な）長方形もしくは長円形である必要はない。例えば、本明細書で云う「長方形」には、長方形の隅部を円弧で形成した形状、そして長方形の隅部を面取りした形状、長方形の各辺を湾曲させた形状も含まれる。また、例えば、本明細書で云う「長方形」もしくは「長円形」には、長方形もしくは長円形をテーブル板１３の中心点１３ａを中心とする円弧１３ｂに沿って湾曲させた形状も含まれる。
【００３１】
また、固定支持板２２の開口２２ａと球体保持板２３の開口２３ａが、共に一方の径が長い長方形（もしくは長円形）の形状とされ、これらの開口２２ａ、２３ａの面積が大きくなった場合であっても、球体保持板２３と固定支持板２２（もしくは滑動支持板２５）とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３を介して、球体保持板２３と固定支持板２２（もしくは滑動支持板２５）とが互いに係合するため、球体保持板２３の滑動可能範囲は、球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することのない範囲に制限される。従って、本発明の滑動テーブル１０は、十分な耐荷重性（特に、テーブル板１３に下向きに付与される荷重に対する耐荷重性）を示す。
【００３２】
図１及び図３に示す構成では、球体保持板２３と固定支持板２２とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３は、一方の板（固定支持板）２２に形成された突起３５と、他方の板（球体保持板）２３に設けられた孔部３６とから構成されている。
【００３３】
球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段は、球体保持板に形成された突起と、固定支持板に設けられた孔部とから構成することもできる。また前記孔部に代えて、凹部（例、上記突起に係合する非貫通孔あるいは切り欠き）を用いることもできる。
【００３４】
図２及び図３に示す構成では、支持ユニット２１は、中央部の上側が上記滑動制限軸２８の下端部に接続されていて、固定支持板２２の下面に複数の球体２７が保持された中央に開口２４ａを備える球体保持板２４を介して接触下に配設された滑動補助板２６を更に備えていることが好ましい。
【００３５】
上記の滑動補助板２６と滑動支持板２５との間隔を調節する（例えば、滑動制限軸２８の長さを短くする）ことにより、滑動支持板２５が複数の球体２７を介して固定支持板２２の上に緊密に支持される。このため、滑動支持板２５を水平方向に高い精度で滑動させることができる。
【００３６】
上記の球体保持板２４に備えられた開口２４ａもまた、一方の径が長い長方形（もしくは長円形）をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点１３ａを中心とする円弧１３ｂの接線１３ｃに沿うように配設され、そして上記の固定支持板２２の開口２２ａの領域内に球体２７が移動することのないよう、球体保持板２４と滑動補助板２６（もしくは固定支持板２２）とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３４が設けられていることが好ましい。
【００３７】
図３に示す構成では、球体保持板２４と滑動補助板２６とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３４は、一方の板（滑動補助板）２６に形成された突起３５と、他方の板（球体保持板）２４に設けられた凹部（切り欠き）３７とから構成されている。
【００３８】
次に、本発明の支持ユニットの球体保持板の滑動可能範囲について、上記支持ユニット２１を代表例として説明する。なお、下記の図４〜図７において、支持ユニット２１の滑動支持板２５、滑動制限軸２８、および固定支持板２２の背面側（図２にて下側）の部品は記入していない。
【００３９】
図４は、図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が右側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【００４０】
図４に示すように、球体保持板２３が右側の方向（Ｘ軸方向）に移動した場合、球体保持板２３の孔部３６と固定支持板２２の突起３５とが互いに接触して係合するため、この球体保持板２３が更に右側の方向に移動することはない。従って、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することがなく、開口２２ａの内部に落下することもない。
【００４１】
図５は、図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が上側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【００４２】
図５に示すように、球体保持板２３が上側の方向（Ｙ軸方向）に移動した場合もまた、球体保持板２３の孔部３６と固定支持板２２の突起３５とが互いに接触して係合するため、この球体保持板２３が更に上側の方向に移動することはない。従って、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することがなく、開口２２ａの内部に落下することもない。
【００４３】
図６は、図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が左斜め上側の方向に移動した状態で示す拡大図である。
【００４４】
図６に示すように、球体保持板２３が左斜め上側の方向に移動した場合もまた、球体保持板２３の孔部３６と固定支持板２２の突起３５とが互いに接触して係合するため、この球体保持板２３が更に左斜め上側の方向に移動することはない。従って、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することがなく、開口２２ａの内部に落下することもない。
【００４５】
図７は、図１にて基台１１の左下に配置されている支持ユニット２１を、球体保持板２３が回転移動した状態で示す拡大図である。
【００４６】
図７に示すように、球体保持板２３が回転移動（滑動）した場合もまた、球体保持板２３の孔部３６と固定支持板２２の突起３５とが互いに接触して係合するため、この球体保持板２３が更に回転移動することはない。従って、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することがなく、開口２２ａの内部に落下することもない。
【００４７】
このように、支持ユニット２１では、固定支持板２２の開口２２ａと球体保持板２３の開口２３ａとがそれぞれ細長い形状（長方形もしくは長円形）に設定されている場合であっても、球体保持板２３に保持されている球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することができないようにされている。
【００４８】
なお、球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３は、詳細に説明すると、球体２７が固定支持板２２と滑動支持板（図２：２５）との対向面のそれぞれに接触した状態が維持されるよう、球体保持板２３の滑動可能範囲を制限する機能を有している。すなわち、図４〜図７に示すように、球体保持板２３の滑動可能範囲が制限された際に、球体２７が固定支持板２２の外周縁よりも外周側に移動することもなく、滑動支持板（図２：２５）の外周縁よりも外周側に移動することもないようにされている。
【００４９】
球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３を構成する固定支持板２２の突起３５の形成位置や形状、そして球体保持板２３の孔部３６の形成位置や形状は、例えば、コンピュータ援用設計システム（CAD：computer-aided design)上にて球体保持板を滑動させ、その滑動可能範囲を確認することによって簡単に設定することができる。
【００５０】
一方、支持ユニット２１では、前記のように球体保持板２３の開口２３ａを通る滑動制限軸２８により、球体保持板２３の滑動可能範囲、すなわち球体２７の転動可能範囲がある程度の範囲内に制限されるが、仮に球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が備えられていない場合には、球体保持板２３に保持された球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動することを防止することはできない。
【００５１】
以下では、図８及び図９を参照しながら、上記のような球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段を備えていない支持ユニット、すなわち本発明に包含されない支持ユニットの球体保持板の滑動可能範囲について説明する。なお、図８及び図９において、支持ユニット１２１の滑動支持板、および固定支持板２２の背面側の部品は記入していない。
【００５２】
図８は、球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が備えられていない、すなわち本発明に包含されない支持ユニット１２１を球体保持板２３が回転移動した状態で示す図である。
【００５３】
図８に示すように、上記の球体保持板２３の回転移動により、球体保持板２３に保持された複数の球体のうち、合計で４個の球体２７が固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動する。
【００５４】
図９は、図８の支持ユニット１２１を、滑動制限軸２８が固定支持板２２及び球体保持板２３の各々の開口２２ａ、２３ａの隅部に移動して、かつ球体保持板２３が滑動制限軸２８を中心に回転移動した状態で示す図である。
【００５５】
図９に示すように、上記の滑動制限軸２８の移動と球体保持板２３の回転移動とにより、球体保持板２３に保持された複数の球体のうちの更に多くの数の球体２７が、固定支持板２２の開口２２ａの領域内に移動したり、固定支持板２２の外周縁よりも外周側に移動したりする。
【００５６】
このように、球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段を備えていない、すなわち本発明に包含されない支持ユニット１２１では、例えば、上記の図８及び図９に示すような球体保持板２３の回転移動（滑動）により、固定支持板２２及び滑動支持板（図示していない）の対向面に挟まれている球体の数が少なくなる。従って、このような支持ユニット１２１の複数によりテーブル板を支持して滑動テーブルを構成すると、例えば、上記の図８及び図９に示すように球体保持板２３が回転移動した際に滑動テーブルの耐荷重性が低下する。
【００５７】
本発明の滑動テーブルのテーブル板の駆動方法は、公知の滑動テーブル、例えば、前記の特許文献１の滑動テーブルの場合と同様である。以下では、図１の滑動テーブル１０のテーブル板１３の駆動方法について、図１、図１０及び図１１に示す駆動装置６０ａ〜６０ｃを用いる場合を代表例として説明を行なう。
【００５８】
図１０は、図１に示す駆動装置６０ａの近傍の部位の拡大図であり、そして図１１は、図１０の駆動装置６０ａの近傍の部位を図の下側から見た図である。
【００５９】
テーブル板１３には、例えば、合計で三台の駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃが接続されている。駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃの構成は互いに同一である。
【００６０】
駆動装置６０ａは、滑動テーブル１０の基台１１の側面に固定された補助台１２の上に設置されている。
【００６１】
駆動装置６０ａは、回転駆動装置（代表例、ステッピングモータ）６１、そして回転駆動装置６１の回転軸６１ａにカップリング６２を介して接続されたねじ軸６３ａと、ねじ軸６３ａの周囲に嵌め合わされたナット６３ｂとからなる送りねじ６３を備えている。
【００６２】
送りねじ６３のねじ軸６３ａは、補助台１２に設置された回転軸受６４ａ、６４ｂにより回転可能に支持されている。一方、送りねじ６３のナット６３ｂには、二本のロッド６５が接続されている。各々のロッド６５は、補助台１２に設置された直動軸受６６により、その長さ方向に滑動可能に支持されている。
【００６３】
二本のロッド６５の先端には、一対の回転軸受６７を介して軸体６８が回転可能に支持されている。軸体６８には、レール６９ａとスライダ６９ｂとからなるリニアガイド６９が揺動可能に支持されている。リニアガイド６９のレール６９ａは接続部材７１を介してテーブル板１３に固定されている。
【００６４】
回転駆動装置６１の回転軸６１ａを送りねじ６３のねじ軸６３ａと共に回転させ、ねじ軸６３ａに嵌め合わされたナット６３ｂをＸ軸方向（図にて右側の方向）に移動させることにより、ナット６３ｂにロッド６５を介して接続された接続部材７１をＸ軸方向に移動させることができる。その一方で、回転駆動装置６１の回転軸６１ａを前記の回転の向きとは逆向きに回転させることにより、接続部材７１をＸ軸方向とは逆向きの方向（図にて左側の方向）に移動させることができる。
【００６５】
そして、図１に示す駆動装置６０ａ、６０ｂの各々の接続部材７１をＸ軸方向に互いに等しい距離にて移動させることにより、テーブル板１３をＸ軸方向に滑動させることができる。この際に、駆動装置６０ｃの接続部材７１に固定されているリニアガイド６９のレール６９ａがスライダ６９ｂに支持された状態にてＸ軸方向に滑動する。このため、駆動装置６０ｃがテーブル板１３のＸ軸方向への移動を妨げることはない。
【００６６】
また、駆動装置６０ｃの接続部材７１をＹ軸方向に移動させることにより、テーブル板１３をＹ軸方向に滑動させることができる。この際に、駆動装置６０ａ、６０ｂの各々の接続部材７１に固定されているリニアガイド６９のレール６９ａがスライダ６９ｂに支持された状態にてＹ軸方向に滑動する。このため、駆動装置６０ａ、６０ｂがテーブル板１３のＹ軸方向への移動を妨げることはない。
【００６７】
更にまた、駆動装置６０ａの接続部材７１をＸ軸方向とは逆向きに、駆動装置６０ｂの接続部材７１をＸ軸方向に、互いに等しい距離にて移動させることにより、テーブル板１３を図に記入したθ方向に回転移動（滑動）させることができる。この際に、駆動装置６０ａ、６０ｂ、６０ｃの各々の接続部材７１に固定されているリニアガイド６９が、テーブル板１３の回転移動の角度に応じて、リニアガイド６９とロッド６５との間に備えられた軸体（図１１：６８）を中心として傾斜移動する。
【００６８】
滑動テーブル１０は、各支持ユニット２１の滑動支持板２５が滑動制限軸２８と共に固定支持板２２の開口２２ａの長さ方向（概ねテーブル板１３の回転方向）に沿って長距離にて移動することができるため、テーブル板１３の直線方向への移動可能距離に対するテーブル板１３の回転可能角度が大きい。従って、テーブル板１３のサイズが大きい場合であっても、テーブル板１３を大きな角度で回転移動させることができる。
【００６９】
本発明の滑動テーブル（滑動制限軸を有する滑動支持板を備えるもの）において、支持ユニットの数は２〜８個の範囲にあることが好ましく、３個又は４個であることが更に好ましく、４個であることが特に好ましい。
【００７０】
支持ユニットの数が４個である場合には、図１及び図３に示すように、支持ユニット２１の固定支持板２２の形状が矩形（例、正方形）とされていて、この固定支持板２２の長方形（もしくは長円形）の開口２２ａが、その長い径の方向（長さ方向）が固定支持板２２の対角線に沿うように配設されていることが好ましい。
【００７１】
これにより、固定支持板２２のサイズ（すなわち支持ユニット２１のサイズ）が同じであれば、開口２２ａの長さを長くすることができるため、滑動支持板２５を滑動制限軸２８と共に開口２２ａに沿って長距離にて移動させることが可能になる。
【００７２】
本発明の滑動テーブルにおいては、テーブル板の中心点の下側を、上記の支持ユニットとは別の支持ユニットで更に支持することもできる。
【００７３】
テーブル板の中心点の下側を支持する支持ユニットとしては、例えば、上記支持ユニット２１と同一の構成を有する支持ユニットを用いることもできるし、上記支持ユニット２１とは異なる構成を有する支持ユニット（例えば、固定支持板の開口や球体保持板の開口の形状が円形であるもの）を用いることもできる。
【００７４】
また、図３に示すように、球体保持板２３と固定支持板２２（あるいは滑動支持板２５）とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が２個（あるいは３個以上）備えられていることが好ましい。これにより、球体保持板２３の滑動（特に回転移動）の範囲を制限することが容易になる。
【００７５】
上記の２個の球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３は、球体保持板２３の開口２３ａの幅方向の両外側の位置にそれぞれ設けられていることが更に好ましい。これにより、固定支持板２２と球体保持板２３の双方に備えられた開口２２ａ、２３ａの長さを長くすることができる。
【００７６】
同様に、球体保持板２４と滑動補助板２６（あるいは固定支持板２２）とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３４が２個（あるいは３個以上）備えられていることが好ましく、上記の２個の球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３４が、球体保持板２４の開口２４ａの幅方向の両外側の位置にそれぞれ設けられていることが更に好ましい。
【００７７】
図１２は、本発明の滑動テーブル（滑動制限軸２８を有する滑動支持板２５を備えるもの）の別の構成例を示す断面図である。
【００７８】
図１２の滑動テーブル２０の構成は、支持ユニット３１の固定支持板２２と基台１１ａとの固定が、基台１１ａに滑動補助板２６が接触することのないよう、スペーサ３８を介してなされていること以外は、図２に示す滑動テーブル１０の構成と同様である。
【００７９】
支持ユニット３１を用いる場合、基台１１ａに滑動補助板２６を収容する開口を形成する必要はない。
【００８０】
図１３は、本発明の滑動テーブル（支柱４８を有する固定支持板４２を備えるもの）の構成例を示す断面図であり、そして図１４は、図１３に示す支持ユニット４１の分解斜視図である。図１３の滑動テーブル３０の構成は、支持ユニット４１の構成が異なること以外は図１２の滑動テーブル２０の構成と同様である。
【００８１】
滑動テーブ３０が備える支持ユニット４１は、基台１１ａに固定された支柱４８を中央部の下側に有する固定支持板４２と、固定支持板４２の上面に複数の球体２７が保持された上側球体保持板４３を介して滑動可能に配設された滑動支持板４５と、滑動支持板４５の周縁から下方に延びる接続部４７に固定されていて、固定支持板４２の下面に複数の球体２７が保持された中央に開口４４ａを備える下側球体保持板４４を介して接触下に配設された中央に開口４６ａを備える滑動補助板４６とを備えている。
【００８２】
そして、この滑動テーブル３０は、上記の支持ユニット４１の下側球体保持板４４と滑動補助板４６の双方に備えられた開口４４ａ、４６ａが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の滑動補助板４６の開口４６ａの領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板４４と滑動補助板４６とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４が設けられていることに主な特徴がある。
【００８３】
このように、各支持ユニット４１の下側球体保持板４４と滑動補助板４６の双方に備えられた開口４４ａ、４６ａが、共に一方の径が長い長方形（もしくは長円形）をなし、その長い径の方向が共にテーブル板１３の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設されていると、各支持ユニット４１の滑動支持板４５は滑動補助板４６と共に開口４６ａの長さ方向（概ねテーブル板の回転方向）に沿って長距離にて移動することができる。従って、本発明の滑動テーブル３０もまた、従来の滑動テーブルと比較して、テーブル板１３の直線方向への移動可能距離に対するテーブル板１３の回転可能角度が大きい。
【００８４】
また、下側球体保持板４４の開口４４ａと滑動補助板４６の開口４６ａが、共に一方の径が長い長方形（もしくは長円形）の形状とされ、これらの開口４４ａ、４６ａの面積が大きくなった場合であっても、下側球体保持板４４と滑動補助板４６（もしくは固定支持板４２）とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４を介して、下側球体保持板４４と滑動補助板４６（もしくは固定支持板４２）とが互いに係合するため、下側球体保持板４４の滑動可能範囲は、球体２７が滑動補助板４６の開口４６ａの領域内に移動することのない範囲に制限される。従って、滑動テーブル３０は十分な耐荷重性（特に、テーブル板１３に上向きに付与される荷重に対する耐荷重性）を示す。
【００８５】
図１４に示すように、下側球体保持板４４と滑動補助板４６とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４は、一方の板（滑動補助板）４６に形成された突起３５と、他方の板（下側球体保持板）４４に設けられた凹部（切り欠き）３７とから構成することができる。
【００８６】
下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段は、下側球体保持板に形成された突起と、滑動補助板に設けられた凹部とから構成することもできる。
【００８７】
支持ユニット４１の上側球体保持板４３が保持する球体２７が、固定支持板４２と滑動支持板４５との対向面のそれぞれに接触した状態が維持されるよう、上側球体保持板４３と固定支持板４２（あるいは滑動支持板４５）とのそれぞれに、互いに係合して上側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５３が設けられていることが好ましい。
【００８８】
図１４に示すように、上側球体保持板４３と固定支持板４２とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５３は、一方の板（固定支持板）４２に形成された突起３５と、他方の板（上側球体保持板）４３に設けられた孔部３６とから構成することができる。
【００８９】
支持ユニット４１では、例えば、滑動支持板４５と滑動補助板４６との周縁部を接続部４７を介して隙間無く接続することにより、固定支持板４２と滑動支持板４５もしくは滑動補助板４６との間に塵や埃が侵入することを抑制することができる。
【００９０】
本発明の滑動テーブル（支柱を有する固定支持板を備えるもの）においてもまた、支持ユニットの数は、２〜８個の範囲にあることが好ましく、３個又は４個であることが更に好ましく、４個であることが特に好ましい。
【００９１】
支持ユニットの数が４個である場合には、図１４に示すように、支持ユニット４１の滑動補助板４６の形状が矩形（例、正方形）とされていて、この滑動補助板４６の長方形（もしくは長円形）の開口４６ａが、その長い径の方向（長さ方向）が滑動補助板４６の対角線に沿うように配設されていることが好ましい。
【００９２】
これにより、滑動補助板４６のサイズ（すなわち支持ユニット４１のサイズ）が同じであれば、開口４６ａの長さを長くすることができるため、滑動支持板４５を滑動補助板４６と共に開口４６ａに沿って長距離にて移動させることが可能になる。
【００９３】
また、図１４に示すように、下側球体保持板４４と滑動補助板４６（あるいは固定支持板４２）とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４が２個（あるいは３個以上）備えられていることが好ましい。これにより、下側球体保持板４４の滑動（特に回転移動）の範囲を制限することが容易になる。
【００９４】
上記の２個の下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５４は、下側球体保持板４４の開口４４ａの幅方向の両外側の位置にそれぞれ設けられていることが更に好ましい。これにより、下側球体保持板４４と滑動補助板４６の双方に備えられた開口４４ａ、４６ａの長さを長くすることができる。
【００９５】
同様に、上側球体保持板４３と固定支持板４２（あるいは滑動支持板４５）とのそれぞれに、互いに係合して上側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段５３が２個（あるいは３個以上）備えられていることが好ましい。
【符号の説明】
【００９６】
１０、２０、３０ 滑動テーブル
１１、１１ａ 基台
１２ 補助台
１３ テーブル板
１３ａ テーブル板の中心点
１３ｂ 円弧
１３ｃ 接線
２１、３１ 支持ユニット
２２ 固定支持板
２２ａ 開口
２３、２４ 球体保持板
２３ａ、２４ａ 開口
２５ 滑動支持板
２６ 滑動補助板
２７ 球体
２８ 滑動制限軸
３３ 球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段
３４ 球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段
３５ 突起
３６ 孔部
３７ 凹部
３８ スペーサ
４１ 支持ユニット
４２ 固定支持板
４３ 上側球体保持板
４４ 下側球体保持板
４４ａ 開口
４５ 滑動支持板
４６ 滑動補助板
４６ａ 開口
４７ 接続部
４８ 支柱
５３ 上側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段
５４ 下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段
６０ａ、６０ｂ、６０ｃ 駆動装置
６１ 回転駆動装置
６１ａ 回転軸
６２ カップリング
６３ 送りねじ
６３ａ ねじ軸
６３ｂ ナット
６４ａ、６４ｂ 回転軸受
６５ ロッド
６６ 直動軸受
６７ 回転軸受
６８ 軸体
６９ リニアガイド
６９ａ レール
６９ｂ スライダ
７１ 接続部材
１２１ 支持ユニット
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台の上にテーブル板を該テーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数の支持ユニットを介して滑動可能に支持してなり、該支持ユニットが、基台に固定された中央に開口を備える固定支持板と、該固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸を有する滑動支持板とを含む支持ユニットである滑動テーブルであって、
上記の固定支持板と球体保持板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の固定支持板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。
【請求項２】
球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部からなる請求項１に記載の滑動テーブル。
【請求項３】
基台に固定される中央に開口を備える固定支持板と、該固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸を有する滑動支持板とを含む支持ユニットであって、
上記の固定支持板と球体保持板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、そして上記の固定支持板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする支持ユニット。
【請求項４】
球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部からなる請求項３に記載の支持ユニット。
【請求項５】
基台の上にテーブル板を該テーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数の支持ユニットを介して滑動可能に支持してなり、該支持ユニットが、基台に固定された支柱を中央部の下側に有する固定支持板と、該固定支持板の上面に複数の球体が保持された上側球体保持板を介して滑動可能に配設された滑動支持板と、該滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、該固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口を備える下側球体保持板を介して接触下に配設された中央に開口を備える滑動補助板とを含む支持ユニットである滑動テーブルであって、
上記の下側球体保持板と滑動補助板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の滑動補助板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。
【請求項６】
下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部からなる請求項５に記載の滑動テーブル。
【請求項７】
基台に固定される支柱を中央部の下側に有する固定支持板と、該固定支持板の上面に複数の球体が保持された上側球体保持板を介して滑動可能に配設された滑動支持板と、該滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、該固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口を備える下側球体保持板を介して接触下に配設された中央に開口を備える滑動補助板とを含む支持ユニットであって、
上記の下側球体保持板と滑動補助板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、そして上記の滑動補助板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする支持ユニット。
【請求項８】
下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部からなる請求項７に記載の支持ユニット。
【請求項１】
基台の上にテーブル板を該テーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数の支持ユニットを介して滑動可能に支持してなり、該支持ユニットが、基台に固定された中央に開口を備える固定支持板と、該固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸を有する滑動支持板とを含む支持ユニットである滑動テーブルであって、
上記の固定支持板と球体保持板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の固定支持板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。
【請求項２】
球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部からなる請求項１に記載の滑動テーブル。
【請求項３】
基台に固定される中央に開口を備える固定支持板と、該固定支持板の上面に複数の球体が保持された中央に開口を備える球体保持板を介して滑動可能に配設され、中央部の下側に固定支持板の開口の内部に延びる滑動制限軸を有する滑動支持板とを含む支持ユニットであって、
上記の固定支持板と球体保持板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、そして上記の固定支持板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする支持ユニット。
【請求項４】
球体保持板と固定支持板もしくは滑動支持板とのそれぞれに設けられた球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部からなる請求項３に記載の支持ユニット。
【請求項５】
基台の上にテーブル板を該テーブル板の周縁に沿って互いに間隔をあけて配設された複数の支持ユニットを介して滑動可能に支持してなり、該支持ユニットが、基台に固定された支柱を中央部の下側に有する固定支持板と、該固定支持板の上面に複数の球体が保持された上側球体保持板を介して滑動可能に配設された滑動支持板と、該滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、該固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口を備える下側球体保持板を介して接触下に配設された中央に開口を備える滑動補助板とを含む支持ユニットである滑動テーブルであって、
上記の下側球体保持板と滑動補助板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線に沿うように配設され、そして上記の滑動補助板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。
【請求項６】
下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部からなる請求項５に記載の滑動テーブル。
【請求項７】
基台に固定される支柱を中央部の下側に有する固定支持板と、該固定支持板の上面に複数の球体が保持された上側球体保持板を介して滑動可能に配設された滑動支持板と、該滑動支持板の周縁から下方に延びる接続部に固定されていて、該固定支持板の下面に複数の球体が保持された中央に開口を備える下側球体保持板を介して接触下に配設された中央に開口を備える滑動補助板とを含む支持ユニットであって、
上記の下側球体保持板と滑動補助板の双方に備えられた開口が、共に一方の径が長い長方形もしくは長円形をなし、そして上記の滑動補助板の開口の領域内に球体が移動することのないよう、下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに、互いに係合して下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が設けられていることを特徴とする支持ユニット。
【請求項８】
下側球体保持板と固定支持板もしくは滑動補助板とのそれぞれに設けられた下側球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段が、一方の板に形成された突起と他方の板に設けられた凹部もしくは孔部からなる請求項７に記載の支持ユニット。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１２−２０９２９８（Ｐ２０１２−２０９２９８Ａ）
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−７１５８８（Ｐ２０１１−７１５８８）
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（３９４０００４９３）ヒーハイスト精工株式会社 (76)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月２５日（２０１２．１０．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月２９日（２０１１．３．２９）
【出願人】（３９４０００４９３）ヒーハイスト精工株式会社 (76)
【Ｆターム（参考）】
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