【課題】移動部材を予め定められた方向に精度よく移動させることが可能な直進駆動装置およびそれを備えた拡大観察装置を提供する。
【解決手段】ｘ方向駆動機構５１０の可動部５１７は、連結板５３を介してガイド部５３１上の摺動部材５４１，５４３に連結される。載置板５１は、ガイド部５３１上の摺動部材５４２およびガイド部５３２上の摺動部材５４４，５４５に固定され、ガイド部５３１上の摺動部材５４１，５４３に固定されない。摺動部材５４１〜５４５は、ガイド部５３１，５３２に沿ってｘ方向に摺動可能に設けられる。連結板５３の固定部５３ｃに設けられた突起部５３ｘが、載置板５１の下面に固定された金属板の貫通孔内に挿入される。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸搬送機構の両端側に駆動力を作用させることができ、部品点数を少なくすることができるＸＹステージ機構を提供する。
【解決手段】移動テーブル２０を互いに直交する２方向に移動させるＸＹステージ機構であって、前記２方向のうち何れか一方の方向に沿って延在し、互いに平行に並べて設けた２つのラックギア３０と、２つのラックギアの間に前記２方向のうち他方の方向に沿って延在して設けられ、かつ外周面に移動テーブルと係合する螺子溝を形成した棒状の部材であって、自身の中心軸回りに回転する場合に、移動テーブルの前記他方の方向に沿って移動させる送り部材４０と、送り部材と平行に設けた棒状の部材であって、各々のラックギアと噛合うピニオンギア５２，５３を有して成り、自身の中心軸回りに回転する場合に、送り部材と一体的に前記一方の方向に沿って移動して移動テーブルを前記一方の方向に沿って移動させるガイド部材５０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】直動２軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第１の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第１のレールと、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第２のレールと、前記一対の第１のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第１のレール間を連結する第１の連結ユニットと、前記一対の第２のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第２のレール間を連結する第２の連結ユニットとからなる平行ずれ吸収機構を備え、各方向における直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 （もっと読む）

【課題】直動２軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第１の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第１のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第１のスライドブロックと、前記第１のレールと前記第１のスライドブロックを相対的に移動させる第１の送り機構と、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第２のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第２のスライドブロックと、前記第２のレールと前記第２のスライドブロックを相対的に移動させる第２の送り機構と、前記第１の送り機構及び前記第２の送り機構に対して取り付けた振れ取り機構とを備え、前記第１の位置決め手段及び前記第２の位置決め手段の各直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 （もっと読む）

【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】信頼性を損なうことなく薄型化を達成可能なステージ装置を提案すること。
【解決手段】ＸＹステージ装置１は、板金製のベース板２の上にＸ軸方向にスライドする板金製のＸ軸ステージ板３が搭載され、この上にＹ軸方向にスライドするＹ軸ステージ板４が搭載された構造となっている。金属製の薄板材料を用いて精密板金加工により薄型のＸ軸ステージ板３、Ｙ軸ステージ板４を製造し、その周囲四辺の部分を裏面側および表面側に２回曲げることで、板金製のＸ軸ステージ板３、Ｙ軸ステージ板４に強度および精度をもたせるようにしている。信頼性を損なうことなく、板金製の部品を用いてＸＹステージ装置の薄型化を達成できる。 （もっと読む）

【課題】従来のステージ装置では、ワークに対する処理精度を維持することが困難である。
【解決手段】ワークＷを支持するワークテーブル２５と、ワークテーブル２５の移動を案内する第１ガイド部８１と、第１ガイド部８１につなぎ合わされており、ワークテーブル２５の移動経路を延長する第２ガイド部８２と、つなぎ合わされた第１ガイド部８１と第２ガイド部８２との間の精度を監視する監視装置８７と、を有する、ことを特徴とするステージ装置。 （もっと読む）

【課題】真空容器内に設置する駆動用モータ、潤滑油や樹脂製ベルトなどから発生するアウトガスによって真空度が悪化するため分析精度が低下する。またピニオンとラック間のバックラッシュによって位置決め精度が悪化し、ピニオンやベルトの使用によりテーブル移動の分解能が低下する。
【解決手段】Ｙ軸方向に移動可能なスプライン軸受１４を使用することにより、Ｙモータ２とともにＸモータ７を真空容器３０の外に設置することができる。また、直交する２軸間のトルクおよび回転運動の伝達機構として、ラック＆ピニオンの代わりに、非接触でバックラッシュのない磁気カップリング２４を使用することにより、位置決め精度が改良される。さらにラック＆ピニオンやベルトに代えてＸ送りねじ１０を使用することにより分解能が改善される。 （もっと読む）

【課題】送りネジ式手動ステージ用の簡易で機能的なストッパ機能を有し、小型の手動ステージでありながら摺動の精度が高く、摺動部品の任意の位置でハンドルの回転を簡易に固定できる送りネジ式手動ステージを提供する。
【解決手段】ハンドル４の回転操作部６と、環状のクランプ部材９と、クランプ部材９の内側の雌ネジ孔１２ａと係合する雄ネジ部１１と、第１第１ブロック５ａに係止して雄ネジ棒７のハンドル方向への移動を拘束する係止部１３とを備え、クランプ部材９の雌ネジ孔１２ａが雄ネジ部１１から離間するようにハンドル４の回転操作部６を回転させ、クランプ部材９を第１第１ブロック５ａに圧着させて雄ネジ棒７の回転を拘束し、摺動部品２を固定部品３に対して任意の位置で固定させる。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の回転可能角度が大きく、そして十分な耐荷重性を示す滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台１１の上にテーブル板１３を複数の支持ユニット２１を介して滑動可能に支持してなり、支持ユニット２１が、基台に固定された中央に開口２２ａを備える固定支持板２２と、固定支持板の上面に複数の球体２７が保持された中央に開口２３ａを備える球体保持板２３を介して滑動可能に配設され、上記固定支持板の開口２２ａの内部に延びる滑動制限軸２８を持つ滑動支持板２５とを含み、そして上記開口２２ａ、２３ａが、共に一方の径が長い長方形をなし、その長い径の方向が共にテーブル板の中心点を中心とする円弧の接線１３ｃに沿うように配設され、そして上記開口２２ａの領域内に球体２７が移動しないよう、球体保持板２３と固定支持板２２とのそれぞれに、互いに係合して球体保持板の滑動可能範囲を制限する手段３３が設けられていることを特徴とする滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】雌ネジ筒と雄ネジ棒とが係合する摺動機構にこじれや応力集中が発生することなく、摺動部品を固定部品に対して高精度に摺動させ、ハンドルの使い勝手の良い送りネジ式アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】送りネジ式アリ溝ステージ１は、連結されたハンドル４の心棒１７及び雄ネジ棒７は、固定部品３の端部に固定されたブロック５を貫通することにより回転自在に支持される第１支持手段１８と、雌ネジ筒８に取り付けられた凸部１１が、摺動部品２の雌ネジ筒８側において凸部１１に対向する位置に設けられた凹部１２に対して凸部１１と凹部１２との間隙に緩衝材１６が充填されて着脱自在の状態で収納される第２支持手段１９と、により支持されて動作する。 （もっと読む）

【課題】載物台の粗動および微動の切換時に測定対象物が位置ずれを起こすことがなく、載物台の移動が滑らかな載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】載物台および固定部材のいずれか一方に回転可能かつ載物台の移動方向に対して平行に支持された送り軸２１と、この送り軸２１を回転させる微動送りハンドルと、載物台および固定部材のいずれか他方に回転可能かつ送り軸２１と回転軸線が交差するように設けられた複数のころ７４とを有する摩擦移動機構と、ころ７４を送り軸２１に対して当接および離脱させる切換手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】ステージの送り方式（微動⇔粗動）を切り換えるときの操作性を向上させたステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置１は、移動機構３０が運動変換機構を用いて送り軸１５の回転を受けて送り軸１５上を移動する微動状態と、移動機構３０の運動変換機能を解除して移動機構３０が送り軸１５の回転によらず送り軸１５上を自由に移動する粗動状態とを切り換える切換機構５０を備え、切換機構５０は、外部から作用させた送り軸１５に沿った方向の力を用いて微動状態と粗動状態とを切り換えるように構成される。 （もっと読む）

【課題】テーブル板の支持ユニットのサイズが比較的に小さく、そしてテーブル板を大きな角度で回転移動させることができる滑動テーブルを提供すること。
【解決手段】基台１１の上に支持装置を介して滑動可能に支持されたテーブル板１３を備え、そして上記支持装置が、基台に固定された中央に開口部を備える支持板２２と、その上下の各表面に複数個の球体２３を介して接触配置され且つ互いに上記開口部を通る支柱を介して接合された上側可動板２４及び下側可動板と、複数個の球体２３を保持する球体保持板４７とを有する、テーブル板の下面中央に配置された主支持ユニット２１、および基台に固定された支持板４２と、支持板の上面に複数個の球体４３を介して接触配置された可動板４４と、複数個の球体４３を保持する球体保持板４７と、球体保持板の移動距離を制限する手段４８とを有する、主支持ユニット２１の周囲に配置された複数個の副支持ユニット４１からなる滑動テーブル。 （もっと読む）

【課題】回転軸と推進構造部との接触圧力について制約がなくステージの大型化に対応可能であり、さらに粗動移動時においてステージあるいは推進構造部と他の構成部材との衝突を回避することができる載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】物体を載置する載物台と、回動によって前記載物台を駆動する駆動軸と、前記駆動軸を加圧保持して前記駆動軸の回動を前記載物台の駆動に変換する変換部と、前記変換部の前記駆動軸に対する加圧保持および加圧解除を行うアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備えたことを特徴とする載物台用送り機構。 （もっと読む）

【課題】 上面に試料が載置される設置テーブルを秒単位角度の傾斜姿勢となるように、精度高く制御し、且つ装置全体の大きさを極力抑えることができるようにすることにある。
【解決手段】 固定ベース体１０に対し、上面に試料が載置される設置テーブル２０を揺動自在に組み付ける位置決めステージであって、固定ベース体１０に、ボールネジ３１を設置テーブル２０の揺動軸に直交する方向に沿って貫通架設すると共に、ボールネジ３１に前進後退動自在且つ回動不能にナット体３４を螺合組み付けし、弾性変形自在なプレート状の連結体４０の一端をナット体３４に固定すると共に他端を設置テーブル２０に固定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】組み立てが容易で、荷重が付与された際にもテーブル板を正確な位置に維持することができる位置決めテーブルを提供すること。
【解決手段】基台の上方に下記条件を満足する三以上の支持ユニットを介してテーブル板を支持する位置決めテーブル：(１)各々の支持ユニットは、基台表面にスライド可能に設置された昇降装置、および昇降装置とテーブル板とを接続する接続具からなる；(２)昇降装置は、基台表面に沿って延びるレール２４、レールに支持された第一のスライド部材２１及び第二のスライド部材２２、第二のスライド部材の上方に傾斜配置された第一のリニアガイド３１を介して支持され、第一のスライド部材の側面に第二のリニアガイド３２を介して昇降可能に接続された昇降部材２３、および各スライド部材を上記レール上でスライドさせて保持する駆動手段２５からなる；(３)接続具は、球面軸受３４と球面軸受を保持する第三のリニアガイド３３とからなる。 （もっと読む）

【課題】モータの発熱による位置決め精度の低下をより効果的に抑制することができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】ベース２上に設けられたモータ３と、モータ３によって回転されるねじ軸４と、複数のボールを介してねじ軸４に連結され、ねじ軸の回転によってベース２上を移動可能なステージ５と、を備える位置決め装置１において、モータケースに取り付けられ、装置１全体の温度を略均一にすべくモータ３の温度を調節可能な伝熱素子を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】全体形状がコンパクトな構成であり、各種の機能を選択して追加することが可能な多機能円盤アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】多機能円盤アリ溝ステージ１は、締結具により土台に固定され、一方向に摺動する第１送りねじ式アリ溝ステージ２と、第１送りねじ式アリ溝ステージ２に対して交差する方向に摺動する第２送りねじ式アリ溝ステージ３と、精密機器が取付けられる回転摺動ステージ４と、を備え、第１送りねじ式アリ溝ステージ２、第２送りねじ式アリ溝ステージ３、及び回転摺動ステージ４は、それぞれ円盤状の外形を有して上下方向に積層される。 （もっと読む）

【課題】送りネジ式アリ溝ステージの性能を向上させ、送りネジ式アリ溝ステージに複数の機能を容易追加して使い勝手を改善した多機能送りネジ式アリ溝ステージを提供する。
【解決手段】多機能送りネジ式アリ溝ステージ１は、両端部にハンドル８との連結部を有する雄ネジ棒７と、固定部品２の両側にそれぞれ設けられ、雄ネジ棒７を回転自在に保持する第１支持台９及び第２支持台１０と、連結部を介して雄ネジ棒７と着脱自在に連結して雄ネジ棒７を回転させるハンドル８と、を備え、摺動部品３は、固定部品２と接続する雌ネジ筒が移動して第１支持台９及び第２支持台１０に当接するまで移動する。 （もっと読む）