【課題】芯出し時間が短く、構造が簡単で、防塵設計が容易なテーブル上ワークの自動調芯部を有する回転テーブル装置および自動調芯方法を提供する。
【解決手段】ベース２１ａに回転自在にテーブル２が配設され、前記テーブル２上に載置されるワーク中心を、前記テーブル２の回転中心に合わせて自動調芯する回転テーブル装置２１であって、自動調芯する回転テーブル装置２１は、前記ベース２１ａに遠い側からＡテーブル２ａ、Ｂテーブル２ｂ、Ｃテーブル２ｃの順に積層され、Ｂテーブル２ｂ上に配設され、Ａテーブル２ａをＹ軸方向へ移動自在の第１移動機構１５と、Ｃテーブル２ｃ上に配設され、Ｂテーブル２ｂをＸ軸方向へ移動自在の第２移動機構１６と、Ａテーブル２ａを一方向へ移動する第１駆動手段と、Ｂテーブル２ｂを他方向へ移動する第２駆動手段と、Ｃテーブル２ｃを回転駆動する回転駆動手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】小型かつ構造が簡易でありながら、送りネジを回転させた際には、可動ステージを容易かつ安定的にスライドさせることができる一方で、送りネジの回転を止めた際には、可動ステージのバックラッシュを効果的に抑制できるステージ機構およびその製造方法を提供する。
【解決手段】固定ステージと、当該固定ステージの表面に沿ってスライドする可動ステージと、を含むステージ機構およびその製造方法であって、固定ステージが、送りネジと、連結部材を介して可動ステージに連結されるとともに送りネジのネジ溝に沿って回転移動するナット部材と、を備え、ナット部材が、ナット部材の表面に挿入孔を有するとともに、ナット部材のネジ孔方向において挿入孔の両側に形成されたダブルナット構造を有し、かつ、挿入孔に対して、バックラッシュ吸収部材が挿入してある。 （もっと読む）

【課題】主軸ヘッドの上下動に対して生じるバランスシリンダの圧力変化を、高速かつ高精度に安定化させることができる主軸装置およびこれを備えた工作機械を提供。
【解決手段】主軸ヘッド４３の重量を支える付勢力を発生するバランスシリンダ４４と、バランスシリンダを制御する圧力レギュレータ７０とを備える。圧力レギュレータは、空気供給源からの空気の等温化圧力容器への流入流量を規制し、該容器内の圧力を一定に保持する。サーボ弁を操作する圧力制御手段は、圧力計によって検出された圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流量計で計測された流入流量をフィードバック制御する流入流量制御系を構成するとともに、この流入流量と圧力微分計で計測された等温化圧力容器内の圧力微分値とに基づいて、等温化圧力容器から流出する空気の流出流量を推定し、推定した流出流量を流入流量制御系にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】強力で十分なブレーキ力が得られるブレーキ機構を備えたロータリテーブル装置を提供する。
【解決手段】ブレーキ機構１４は、回転テーブル１１に同軸に形成されたスリーブ４１の内周面および外周面と、回転テーブル１１を回転自在に支持する固定部材１２に設けられ、外側油圧室４４を画成する外側固定部５４と、固定部材１２に設けられ、外側固定部５４より径方向内側に配置されて、内側油圧室４５を画成する内側固定部５５とを備える。外側固定部５４は、外側油圧室４４の膨張により径方向に弾性変形して、回転テーブル１１に形成されたスリーブ４１の外周面を押圧し、内側固定部５５は、内側油圧室４５の膨張により径方向に弾性変形して、回転テーブル１１に形成されたスリーブ４１の内周面を押圧する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸搬送機構の両端側に駆動力を作用させることができ、部品点数を少なくすることができるＸＹステージ機構を提供する。
【解決手段】移動テーブル２０を互いに直交する２方向に移動させるＸＹステージ機構であって、前記２方向のうち何れか一方の方向に沿って延在し、互いに平行に並べて設けた２つのラックギア３０と、２つのラックギアの間に前記２方向のうち他方の方向に沿って延在して設けられ、かつ外周面に移動テーブルと係合する螺子溝を形成した棒状の部材であって、自身の中心軸回りに回転する場合に、移動テーブルの前記他方の方向に沿って移動させる送り部材４０と、送り部材と平行に設けた棒状の部材であって、各々のラックギアと噛合うピニオンギア５２，５３を有して成り、自身の中心軸回りに回転する場合に、送り部材と一体的に前記一方の方向に沿って移動して移動テーブルを前記一方の方向に沿って移動させるガイド部材５０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】長時間運転停止した後の起動時にも、短時間で負圧ポケット内を所定の負圧にできる、スライドテーブル装置を提供する。
【解決手段】テーブル３の負圧ポケット３ａ、３ｂは吸引流路３ｃ、吸引管路５によりエジェクタ６の吸引口６ａに接続している。エジェクタ６の噴出口６ｂには供給管路８が接続し、供給管路８にはポンプ７が接続している。エジェクタ６の排出口６ｃには排出管路９ａが接続しており、排出管路９ａには弁制御装置１２により開閉動作を行う電磁開閉弁１０が接続し、電磁開閉弁１０には排出管路９ｂが接続し、回収タンク１１へ連通している。テーブル起動時にポンプを起動すると同時に電磁開閉弁１０を閉動作し、負圧ポケット３ａ、３ｂに潤滑油が充満した後に電磁開閉弁１０を開動作する。 （もっと読む）

【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置１を、１個の正・逆回転可能なモータ１００と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ６００を保持するＸ軸方向キャリッジ４００Ｘ及びＸ軸方向キャリッジ４００Ｘと、モータ１００の回転力をＸ軸方向キャリッジ４００ＸをＸ軸方向に移動させる経路に伝達するか、Ｙ軸方向キャリッジ４００ＹをＹ軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ６００の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ１００の回転軸の回転運動をＸ軸方向キャリッジ４００Ｘの直線往復運動又はＹ軸方向キャリッジ４００Ｙの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、Ｘ軸方向キャリッジ案内手段及びＹ軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ６００の移動目標に応じてモータ１００の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 （もっと読む）

【課題】１軸方向に移動自在なサドルに１軸方向と直交する方向に移動するテーブルを搭載した工作機械において、テーブルに発生するヨーイングを補正する。
【解決手段】サドル３上にＹ軸方向に所定間隔をあけてＸ軸方向に移動する一対のリニアモータ７を配置するとともに、Ｙ軸方向と平行となるようにＹ軸ガイド８を取り付ける。テーブル４をＹ軸ガイド８に、Ｘ軸方向には固定的に、テーブル４を通るＺ軸回りには所定量回動可能に連結する。テーブル４のＸ軸方向の両端部分のＹ軸方向における位置を検出し、この検出位置に基づいて各リニアモータ７の位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供する。
【解決手段】案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３を支持するとともに、駆動手段により移動体１３を移動させるように構成する。駆動手段としてリニアモータ１５を用いる。リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力を静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用させる。 （もっと読む）

【課題】ロータリジョイントの外周面に取り付けられたシール部材のねじれ変形を防止することができるロータリテーブル装置を提供する。
【解決手段】ロータリテーブル装置１０はディストリビュータ１４およびセンターシャフト１５を含むロータリジョイントとシール部材１６を備える。センターシャフト１５は、回転テーブル１１の表面１１ｆ側から貫通孔１３ｈに挿入されて回転テーブル表面１１ｆの近傍に配置され、外周面がシール部材１６と接触する筒状の回転テーブル側センターシャフト１５１と、回転テーブル１１の裏面側から貫通孔１３ｈに挿入されて回転テーブル表面１１ｆから離隔して配置される筒状のフレーム側センターシャフト１５２からなる。ディストリビュータ１４の先端領域は回転テーブル１１の裏面側からフレーム側センターシャフト１５２と回転テーブル側センターシャフト１５１に順次挿入されディストリビュータ１４の根元部はフレーム１２に固定される。 （もっと読む）

【課題】円弧形状のワークを加工するに際して、その加工時間を短縮する。また、従来の五面加工機では加工できなかった大きさのワークを加工する。
【解決手段】五面加工機１０は、ベースに対して鉛直方向に立設された一対のコラム１２，１２と、一対のコラムの鉛直方向であるＷ軸について昇降可能とされたクロスレール１１と、クロスレールの水平方向であるＹ軸について移動可能とされた主軸ヘッド１４と、主軸ヘッドの鉛直方向であるＺ軸について位置制御されるラム１５と、ラムの端部に設置される旋回ヘッド１６と、一対のコラムに挟まれた領域であってクロスレールの懸架された方向と直交したＸ軸方向に沿って往復移動可能に設けられる加工テーブル３０とを備えている。そして、この五面加工機１０は、加工テーブル３０の上面に対して、回転駆動可能であり、かつ、被加工物を載置可能な回転テーブル３２を備えている。 （もっと読む）

【課題】配線配管が可動体と固定体とに固定される場合において、配線配管の中間部分が固定体に接触して擦れが生じないようにする。
【解決手段】ウェーハを保持するチャックテーブルがテーブルベース４に支持され、テーブルベース４が移動可能な加工装置に搭載される可動配線配管接続装置１００において、複数の配線配管が並列に接着された帯状のフラット配線配管８の一端が可動部４０に固定され、他端が固定基台４に固定され、フラット配線配管８がＵ字形状に湾曲してケーブル格納エリア７に格納され、２個以上の垂直ローラ１１０がケーブル格納エリア７に配設されて構成されたガイド手段１１がフラット配線配管８の外周側をガイドし、水平ローラ１２０がケーブル格納エリアに２個以上配設されたサポート手段１２がフラット配線配管８の下側を支え、フラット配線配管８の湾曲部分の外周側に配設された摩擦抑制手段１０が摩擦抵抗を抑制する。 （もっと読む）

【課題】直接駆動モータを備えるロータリテーブル装置において、電力供給が途絶えても、回転テーブルの惰性回転を速やかに停止させる。
【解決手段】直接駆動モータ１４と、回転テーブル１１の回転を許容ないし規制するブレーキ機構１５とを備えるロータリテーブル装置１０において、ブレーキ機構１５は、動作部３６，３７の作動により制動部材３１を進動させて被制動部材３０に押し付ける第１ブレーキ状態と、動作部３６，３７の作動により制動部材３１を退動させて被制動部材３０から離隔するブレーキ解放状態と、動作部３６，３７の非作動中に付勢手段３３により制動部材３１を被制動部材３０に当接させる第２ブレーキ状態との３状態のうち、いずれか１状態を選択できることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】直方体（長手方向の長さはＬ）の底面以外の５面に対する加工を行う場合でも、２Ｌ長もの作業空間を必要とせず、加工装置をコンパクト化できる技術を提供することである。
【解決手段】ワーク台と、前記ワーク台上の被加工物を加工する加工用工具が取り付けられる取付部とを具備し、前記ワーク台は、Ｘ−Ｙ−Ｚ三次元直交座標系における（Ｘ，Ｙ）面に平行な水平面内において回動可能に、かつ、Ｙ軸方向に沿って移動可能に構成されてなり、前記取付部は、前記Ｘ−Ｙ−Ｚ三次元直交座標系における（Ｙ，Ｚ）面に平行な垂直面内において回動可能に、かつ、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に沿って移動可能に構成されてなる。 （もっと読む）

【課題】設備のコンパクト化を図ることができるとともに、工程の短縮化およびサイクルタイムの短縮化を図ることができる加工方法および工作設備を提供する。
【解決手段】加工ヘッド１１０は、第１工具部１１１および第２工具部１１２を有する。ワーク支持装置１２０は、ワークＷが固定される固定面１２２Ａを有する。第１回動軸Ｒ１回りに固定面１２２Ａを回転させることにより、ワークＷを加工するための工具部として第１工具部１１１あるいは第２工具部１１２を選択する。この場合、第２回動軸Ｒ２が工具軸方向Ｐと平行にならないように設定する。また、第２回動軸Ｒ２回りに固定面１２２Ａを回転させることにより、工具部により加工する部位として、第１バンク２１０の上面２１１あるいは第２バンク２２０の上面２２１を選択する。ワークＷの複数部位への２種類の加工を１つの加工ヘッド１１０で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】直動２軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第１の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第１のレールと、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第２のレールと、前記一対の第１のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第１のレール間を連結する第１の連結ユニットと、前記一対の第２のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第２のレール間を連結する第２の連結ユニットとからなる平行ずれ吸収機構を備え、各方向における直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 （もっと読む）

【課題】直動２軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第１の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第１のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第１のスライドブロックと、前記第１のレールと前記第１のスライドブロックを相対的に移動させる第１の送り機構と、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第２のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第２のスライドブロックと、前記第２のレールと前記第２のスライドブロックを相対的に移動させる第２の送り機構と、前記第１の送り機構及び前記第２の送り機構に対して取り付けた振れ取り機構とを備え、前記第１の位置決め手段及び前記第２の位置決め手段の各直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 （もっと読む）

【課題】揺動体の揺動に際して揺動体の加速度を調節することができる揺動体の揺動制御装置を提供する。
【解決手段】制御部２２は、回転軸線Ｘ１回りに規定される揺動体１３の揺動にあたって、少なくとも１つの角度位置で、駆動モータ１５に作用する重力による負荷トルクＱを取得する。制御部２２は、負荷トルクＱが駆動モータ１５の加減速を妨げる方向に作用する場合であるか、又は加減速を助ける方向に作用する場合であるかを考慮して、設定最大加速度を算出する。算出された設定最大加速度以下の加速度が加速時又は減速時の揺動体１３の加速度として設定される。こうして制御部２２は、揺動体１３の加速時及び減速時の少なくともいずれかにおいて、負荷トルクＱに応じて揺動体１３の加速度を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】各軸間における傾き誤差を常に精度良く同定することができる幾何誤差同定装置を提供する。
【解決手段】直角度誤差を同定するにあたって直角を形成する２軸平面において直角度誤差の影響が最も大きく現れる±４５ｄｅｇのポイント（若しくは許容範囲内にある計測ポイント）での計測を必ず実行するようにした。したがって、直角度誤差の同定精度が極めて高い。また、直角度誤差の同定精度が高いが故に、直角度誤差の影響が大きいＣ軸やＡ軸に固有の幾何誤差の同定精度も向上することができる。 （もっと読む）