静圧軸受を用いた移動案内装置
【課題】静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供する。
【解決手段】案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３を支持するとともに、駆動手段により移動体１３を移動させるように構成する。駆動手段としてリニアモータ１５を用いる。リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力を静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用させる。
【解決手段】案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３を支持するとともに、駆動手段により移動体１３を移動させるように構成する。駆動手段としてリニアモータ１５を用いる。リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力を静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば工作機械において加工テーブルを移動案内する場合に適用される静圧軸受を用いた移動案内装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の静圧軸受を用いた移動案内装置としては、例えば特許文献１に開示されるような構成が提案されている。この従来構成においては、一軸線に沿って延びる断面ほぼ四角形状のスライド軸上に、断面ほぼ四角枠状のスライダが静圧軸受を介して非接触状態で移動可能に支持されている。スライド軸の両側面とスライダの両側内面との間には、スライダを移動させるためのコイル及びマグネットよりなる一対のリニアモータが設けられている。前記静圧軸受は、スライド軸の上下両外面とスライダの上下両内面との間、及びリニアモータの上下位置におけるスライド軸の両側面とスライダの両側内面との間にそれぞれ設けられている。そして、リニアモータにより、スライダがスライド軸に沿って軸線方向に移動されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６３−２８３８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、この従来構成においては、前記のようにスライド軸とスライダとの間の上下及び左右両側の各対向面間にそれぞれ静圧軸受が設けられている。このため、静圧軸受を用いた軸受構造が複雑になるとともに、及び静圧軸受へのオイルの供給構造も煩雑になって、装置全体が大型化するという問題があった。
【０００５】
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイル等の潤滑流体の供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、この発明は、案内体上に静圧軸受を介して移動体を支持するとともに、駆動手段により前記移動体を移動させるようにした移動案内装置において、前記駆動手段としてリニアモータを用い、そのリニアモータの固定子と移動子との間の吸引力あるいは反発力を前記静圧軸受の部分における案内体と移動体との接近方向への力として作用させたことを特徴としている。
【０００７】
従って、この発明の移動案内装置において、リニアモータの固定子と移動子との間の吸引力が、静圧軸受部分における案内体と移動体との接近方向への力として作用するように構成した場合には、リニアモータの設置位置と反対側における案内体と移動体との間の静圧軸受を省略することかできる。また、固定子と移動子との間の反発力が静圧軸受部分における案内体と移動体との接近方向への力として作用するように構成した場合には、リニアモータの設置位置側における案内体と移動体との間の静圧軸受を省略することかできる。よって、静圧軸受を含む軸受構造、及びその静圧軸受への潤滑流体の供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように、この発明によれば、静圧軸受への潤滑流体の供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態の静圧軸受を用いた移動案内装置を示す断面図。
【図２】第２実施形態の静圧軸受を用いた移動案内装置を示す断面図。
【図３】第３実施形態の静圧軸受を用いた移動案内装置を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下に、この発明を工作機械の加工テーブルの移動案内装置に具体化した第１実施形態を、図１に従って説明する。
【００１１】
図１に示すように、機台１１上には断面ほぼ四角形状の案内体１２が、一軸線に沿って図示紙面と直行する方向へ延びるように配置されている。案内体１２上には加工テーブルを構成する移動体１３が、その下面の凹部１３ａにおいて複数の静圧軸受のポケット１４Ａ，１４Ｂから溢出される油膜を介して非接触状態で移動可能に支持されている。案内体１２の上面と移動体１３の下面との間には、移動体を移動させるための駆動手段としてのリニアモータ１５が配置されている。このリニアモータ１５は、案内体１２側に設けられたコイルよりなる固定子１５ａと、移動体１３側に設けられたマグネットよりなる移動子１５ｂとから構成されている。
【００１２】
前記複数の静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂのうちで一対の静圧ポケット１４Ａは、リニアモータ１５の両側において、案内体１２の上面と移動体１３の下面との間に配置されている。また、残りの一対の静圧ポケット１４Ｂは、案内体１２の両側外面と移動体１３の両側内面との間に配置されている。そして、前記リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力が、静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成されている。これにより、リニアモータ１５の設置位置と反対側において、案内体１２の下面と移動体１３との間に静圧軸受を設けることが省略されている。
【００１３】
前記リニアモータ１５の固定子１５ａと一対の静圧ポケット１４Ａとの間において、案内体１２の上面には一対のオイル排出溝１６が形成されている。そして、静圧ポケット１４Ａから溢出するオイルがこのオイル排出溝１６を通して排出される。これにより、リニアモータ１５側へのオイルの浸入が抑制されるようになっている。
【００１４】
以上のように構成された実施形態の工作機械は以下のように作用する。
すなわち、工作機械の作動時には、潤滑オイルが図示しない油圧供給源から静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂに供給されて、案内体１２と移動体１３との間に油膜が形成される。そして、リニアモータ１５の作動にともない、固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力により、前記油膜が充分な薄さに形成される。従って、移動体１３が静圧を介して低負荷で支持されて、スムーズかつ高精度で移動されるとともに、油膜が極めて薄く形成されることから、移動体１３の位置精度を適切に確保できる。
【００１５】
従って、この実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１） この移動案内装置においては、案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３が支持されるとともに、駆動手段としてのリニアモータ１５により移動体１３が移動されるようになっている。そして、リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力が、静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成されている。
【００１６】
このため、リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力が、静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成した場合には、リニアモータ１５の設置位置と反対側における案内体１２と移動体１３との間の静圧軸受を省略することかできる。また、固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の反発力が静圧軸受の部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成した場合には、リニアモータ１５の設置位置側における案内体１２と移動体１３との間の静圧軸受を省略することかできる。よって、静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを含む軸受構造、及びその静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂへのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に。
【００１７】
なお、図１の静圧ポケット１４Ａと反対向きの静圧ポケットを設けることにより、リニアモータ１５の吸引力を利用しないことも考えられる。しかし、このようにすれば、静圧ポケットの数が増えるとともに、その静圧ポケットの周囲に油膜を形成する部分が必要になり、構造が複雑になるとともに、大型化する。
【００１８】
（２） この移動案内装置においては、油膜が極めて薄く形成されることから、移動体１３の位置精度を適切に確保でき、ワークに対する高精度加工が可能になる。
（３） この移動案内装置においては、リニアモータ１５の固定子１５ａと静圧ポケット１４Ａとの間にはオイル排出溝１６が形成され、静圧ポケット１４Ａから溢出するオイルがこのオイル排出溝１６を通して排出される。従って、リニアモータ１５側へのオイルの浸入が抑制され、リニアモータ１５の機能に問題が生じることが抑制される。
【００１９】
（第２実施形態）
次に、この発明を具体化した静圧軸受を用いた移動案内装置の第２実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００２０】
この第２実施形態においては、図２に示すように、機台１１上に断面ほぼ逆Ｌ字状をなす一対の案内体１２が間隔をおいて延長配置されている。移動体１３の下面には、各案内体１２に係合可能な断面ほぼ逆Ｌ字状をなす一対の溝部１３ｂが形成されている。各案内体１２の上下両面と移動体１３における各溝部１３ｂの対向内面との間には、静圧ポケット１４Ａが配置されている。一方の案内体１２の側面と移動体１３における一方の溝部１３ｂの内側面との間には、静圧ポケット１４Ｂが配置されている。
【００２１】
前記静圧ポケット１４Ｂと反対側において、他方の案内体１２の側面と移動体１３における他方の溝部１３ｂの内側面との間には、固定子１５ａ及び移動子１５ｂよりなるリニアモータ１５が配置されている。そして、このリニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の反発力が、静圧ポケット１４Ｂの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成されている。これにより、リニアモータ１５の設置位置側において、案内体１２の側面と移動体１３の溝部１３ｂの内面との間に静圧軸受を設けるのが省略されている。
【００２２】
従って、この第２実施形態においても、前記第１実施形態における（１）及び（２）に記載の効果とほぼ同様の効果を得ることができる。
（第３実施形態）
次に、この発明を具体化した静圧軸受を用いた移動案内装置の第３実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００２３】
この第３実施形態においては、図３に示すように、機台１１上に円筒状の第１案内体１２Ａと円柱状の第２案内体１２Ｂとが同心上に配置されている。第１案内体１２Ａ上において第２案内体１２Ｂには、回転テーブルを構成する円板状の移動体１３が下面のボス部１３ｃにおいて軸線の周りで回転可能に嵌挿支持されている。第１案内体１２Ａの上面と移動体１３の下面との間には、静圧ポケット１４Ａが円環状に配置されている。第２案内体１２Ｂの外周面と移動体１３のボス部１３ｃの内周面との間には、円環状の静圧ポケット１４Ｂが配置されている。
【００２４】
前記静圧ポケット１４Ａの内側において、第１案内体１２Ａの上面と移動体１３の下面との間には、固定子１５ａ及び移動子１５ｂよりなるリニアモータ１５が円環状に配置されている。そして、このリニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力が、静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成されている。これにより、リニアモータ１５の設置位置と反対側において、第１案内体１２Ａの下面と移動体１３との間に静圧軸受を設けるのが省略されている。
【００２５】
従って、この第３実施形態においても、前記第１実施形態における（１）に記載の効果とほぼ同様の効果を得ることができる。
（変更例）
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
【００２６】
・ 前記各実施形態において、案内体１２，１２Ａ，１２Ｂ及び移動体１３の形状構成を任意に変更すること。
・ 前記各実施形態の構成を、工作機械の加工用テーブルとは異なった移動体の移動案内装置に適用すること。
【００２７】
・ 潤滑を付与する媒体として、オイルに代えてエアを用いること。
【符号の説明】
【００２８】
１２…案内体、１２Ａ…第１案内体、１２Ｂ…第２案内体、１３…移動体、１４Ａ，１４Ｂ…静圧軸受、１５…駆動手段としてのリニアモータ、１５ａ…固定子、１５ｂ…移動子。
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えば工作機械において加工テーブルを移動案内する場合に適用される静圧軸受を用いた移動案内装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の静圧軸受を用いた移動案内装置としては、例えば特許文献１に開示されるような構成が提案されている。この従来構成においては、一軸線に沿って延びる断面ほぼ四角形状のスライド軸上に、断面ほぼ四角枠状のスライダが静圧軸受を介して非接触状態で移動可能に支持されている。スライド軸の両側面とスライダの両側内面との間には、スライダを移動させるためのコイル及びマグネットよりなる一対のリニアモータが設けられている。前記静圧軸受は、スライド軸の上下両外面とスライダの上下両内面との間、及びリニアモータの上下位置におけるスライド軸の両側面とスライダの両側内面との間にそれぞれ設けられている。そして、リニアモータにより、スライダがスライド軸に沿って軸線方向に移動されるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開昭６３−２８３８３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、この従来構成においては、前記のようにスライド軸とスライダとの間の上下及び左右両側の各対向面間にそれぞれ静圧軸受が設けられている。このため、静圧軸受を用いた軸受構造が複雑になるとともに、及び静圧軸受へのオイルの供給構造も煩雑になって、装置全体が大型化するという問題があった。
【０００５】
この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイル等の潤滑流体の供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、この発明は、案内体上に静圧軸受を介して移動体を支持するとともに、駆動手段により前記移動体を移動させるようにした移動案内装置において、前記駆動手段としてリニアモータを用い、そのリニアモータの固定子と移動子との間の吸引力あるいは反発力を前記静圧軸受の部分における案内体と移動体との接近方向への力として作用させたことを特徴としている。
【０００７】
従って、この発明の移動案内装置において、リニアモータの固定子と移動子との間の吸引力が、静圧軸受部分における案内体と移動体との接近方向への力として作用するように構成した場合には、リニアモータの設置位置と反対側における案内体と移動体との間の静圧軸受を省略することかできる。また、固定子と移動子との間の反発力が静圧軸受部分における案内体と移動体との接近方向への力として作用するように構成した場合には、リニアモータの設置位置側における案内体と移動体との間の静圧軸受を省略することかできる。よって、静圧軸受を含む軸受構造、及びその静圧軸受への潤滑流体の供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる。
【発明の効果】
【０００８】
以上のように、この発明によれば、静圧軸受への潤滑流体の供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができるという効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
【図１】第１実施形態の静圧軸受を用いた移動案内装置を示す断面図。
【図２】第２実施形態の静圧軸受を用いた移動案内装置を示す断面図。
【図３】第３実施形態の静圧軸受を用いた移動案内装置を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（第１実施形態）
以下に、この発明を工作機械の加工テーブルの移動案内装置に具体化した第１実施形態を、図１に従って説明する。
【００１１】
図１に示すように、機台１１上には断面ほぼ四角形状の案内体１２が、一軸線に沿って図示紙面と直行する方向へ延びるように配置されている。案内体１２上には加工テーブルを構成する移動体１３が、その下面の凹部１３ａにおいて複数の静圧軸受のポケット１４Ａ，１４Ｂから溢出される油膜を介して非接触状態で移動可能に支持されている。案内体１２の上面と移動体１３の下面との間には、移動体を移動させるための駆動手段としてのリニアモータ１５が配置されている。このリニアモータ１５は、案内体１２側に設けられたコイルよりなる固定子１５ａと、移動体１３側に設けられたマグネットよりなる移動子１５ｂとから構成されている。
【００１２】
前記複数の静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂのうちで一対の静圧ポケット１４Ａは、リニアモータ１５の両側において、案内体１２の上面と移動体１３の下面との間に配置されている。また、残りの一対の静圧ポケット１４Ｂは、案内体１２の両側外面と移動体１３の両側内面との間に配置されている。そして、前記リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力が、静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成されている。これにより、リニアモータ１５の設置位置と反対側において、案内体１２の下面と移動体１３との間に静圧軸受を設けることが省略されている。
【００１３】
前記リニアモータ１５の固定子１５ａと一対の静圧ポケット１４Ａとの間において、案内体１２の上面には一対のオイル排出溝１６が形成されている。そして、静圧ポケット１４Ａから溢出するオイルがこのオイル排出溝１６を通して排出される。これにより、リニアモータ１５側へのオイルの浸入が抑制されるようになっている。
【００１４】
以上のように構成された実施形態の工作機械は以下のように作用する。
すなわち、工作機械の作動時には、潤滑オイルが図示しない油圧供給源から静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂに供給されて、案内体１２と移動体１３との間に油膜が形成される。そして、リニアモータ１５の作動にともない、固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力により、前記油膜が充分な薄さに形成される。従って、移動体１３が静圧を介して低負荷で支持されて、スムーズかつ高精度で移動されるとともに、油膜が極めて薄く形成されることから、移動体１３の位置精度を適切に確保できる。
【００１５】
従って、この実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１） この移動案内装置においては、案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３が支持されるとともに、駆動手段としてのリニアモータ１５により移動体１３が移動されるようになっている。そして、リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力が、静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成されている。
【００１６】
このため、リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力が、静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成した場合には、リニアモータ１５の設置位置と反対側における案内体１２と移動体１３との間の静圧軸受を省略することかできる。また、固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の反発力が静圧軸受の部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成した場合には、リニアモータ１５の設置位置側における案内体１２と移動体１３との間の静圧軸受を省略することかできる。よって、静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを含む軸受構造、及びその静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂへのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に。
【００１７】
なお、図１の静圧ポケット１４Ａと反対向きの静圧ポケットを設けることにより、リニアモータ１５の吸引力を利用しないことも考えられる。しかし、このようにすれば、静圧ポケットの数が増えるとともに、その静圧ポケットの周囲に油膜を形成する部分が必要になり、構造が複雑になるとともに、大型化する。
【００１８】
（２） この移動案内装置においては、油膜が極めて薄く形成されることから、移動体１３の位置精度を適切に確保でき、ワークに対する高精度加工が可能になる。
（３） この移動案内装置においては、リニアモータ１５の固定子１５ａと静圧ポケット１４Ａとの間にはオイル排出溝１６が形成され、静圧ポケット１４Ａから溢出するオイルがこのオイル排出溝１６を通して排出される。従って、リニアモータ１５側へのオイルの浸入が抑制され、リニアモータ１５の機能に問題が生じることが抑制される。
【００１９】
（第２実施形態）
次に、この発明を具体化した静圧軸受を用いた移動案内装置の第２実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００２０】
この第２実施形態においては、図２に示すように、機台１１上に断面ほぼ逆Ｌ字状をなす一対の案内体１２が間隔をおいて延長配置されている。移動体１３の下面には、各案内体１２に係合可能な断面ほぼ逆Ｌ字状をなす一対の溝部１３ｂが形成されている。各案内体１２の上下両面と移動体１３における各溝部１３ｂの対向内面との間には、静圧ポケット１４Ａが配置されている。一方の案内体１２の側面と移動体１３における一方の溝部１３ｂの内側面との間には、静圧ポケット１４Ｂが配置されている。
【００２１】
前記静圧ポケット１４Ｂと反対側において、他方の案内体１２の側面と移動体１３における他方の溝部１３ｂの内側面との間には、固定子１５ａ及び移動子１５ｂよりなるリニアモータ１５が配置されている。そして、このリニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の反発力が、静圧ポケット１４Ｂの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成されている。これにより、リニアモータ１５の設置位置側において、案内体１２の側面と移動体１３の溝部１３ｂの内面との間に静圧軸受を設けるのが省略されている。
【００２２】
従って、この第２実施形態においても、前記第１実施形態における（１）及び（２）に記載の効果とほぼ同様の効果を得ることができる。
（第３実施形態）
次に、この発明を具体化した静圧軸受を用いた移動案内装置の第３実施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。
【００２３】
この第３実施形態においては、図３に示すように、機台１１上に円筒状の第１案内体１２Ａと円柱状の第２案内体１２Ｂとが同心上に配置されている。第１案内体１２Ａ上において第２案内体１２Ｂには、回転テーブルを構成する円板状の移動体１３が下面のボス部１３ｃにおいて軸線の周りで回転可能に嵌挿支持されている。第１案内体１２Ａの上面と移動体１３の下面との間には、静圧ポケット１４Ａが円環状に配置されている。第２案内体１２Ｂの外周面と移動体１３のボス部１３ｃの内周面との間には、円環状の静圧ポケット１４Ｂが配置されている。
【００２４】
前記静圧ポケット１４Ａの内側において、第１案内体１２Ａの上面と移動体１３の下面との間には、固定子１５ａ及び移動子１５ｂよりなるリニアモータ１５が円環状に配置されている。そして、このリニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力が、静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用するように構成されている。これにより、リニアモータ１５の設置位置と反対側において、第１案内体１２Ａの下面と移動体１３との間に静圧軸受を設けるのが省略されている。
【００２５】
従って、この第３実施形態においても、前記第１実施形態における（１）に記載の効果とほぼ同様の効果を得ることができる。
（変更例）
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。
【００２６】
・ 前記各実施形態において、案内体１２，１２Ａ，１２Ｂ及び移動体１３の形状構成を任意に変更すること。
・ 前記各実施形態の構成を、工作機械の加工用テーブルとは異なった移動体の移動案内装置に適用すること。
【００２７】
・ 潤滑を付与する媒体として、オイルに代えてエアを用いること。
【符号の説明】
【００２８】
１２…案内体、１２Ａ…第１案内体、１２Ｂ…第２案内体、１３…移動体、１４Ａ，１４Ｂ…静圧軸受、１５…駆動手段としてのリニアモータ、１５ａ…固定子、１５ｂ…移動子。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
案内体上に静圧軸受を介して移動体を支持するとともに、駆動手段により前記移動体を移動させるようにした移動案内装置において、
前記駆動手段としてリニアモータを用い、そのリニアモータの固定子と移動子との間の吸引力あるいは反発力を前記静圧軸受の部分における案内体と移動体との接近方向への力として作用させたことを特徴とする静圧軸受を用いた移動案内装置。
【請求項１】
案内体上に静圧軸受を介して移動体を支持するとともに、駆動手段により前記移動体を移動させるようにした移動案内装置において、
前記駆動手段としてリニアモータを用い、そのリニアモータの固定子と移動子との間の吸引力あるいは反発力を前記静圧軸受の部分における案内体と移動体との接近方向への力として作用させたことを特徴とする静圧軸受を用いた移動案内装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１３−５０１５４（Ｐ２０１３−５０１５４Ａ）
【公開日】平成２５年３月１４日（２０１３．３．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１８７８１９（Ｐ２０１１−１８７８１９）
【出願日】平成２３年８月３０日（２０１１．８．３０）
【出願人】（０００１５０６０４）株式会社ナガセインテグレックス (35)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年３月１４日（２０１３．３．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年８月３０日（２０１１．８．３０）
【出願人】（０００１５０６０４）株式会社ナガセインテグレックス (35)
【Ｆターム（参考）】
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