【課題】自励振動を起こすことなく、安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供することにある。
【解決手段】静圧気体軸受１は、熱可塑性合成樹脂、又はこの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、又はアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に接着剤により接着一体化されている熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供する。
【解決手段】案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３を支持するとともに、駆動手段により移動体１３を移動させるように構成する。駆動手段としてリニアモータ１５を用いる。リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力を静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用させる。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第１表面を有する固定体と、第１表面に対向する第２表面を有する可動体とを備える。可動体は、第１表面および第２表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第１表面に沿って第１方向に移動可能である。第１表面および第２表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第１表面および第２表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 （もっと読む）

【課題】 ステージの高さを抑え、かつ安定した位置決精度を保証できるようにする。
【解決手段】 互いに対向するガイド溝１１を持つ一対のガイドレール１０をＸ軸方向に設ける。一対のガイドレール１０の間に平板状のＸ軸スライダ２０を設けて、ガイド溝１１に沿ってＸ軸方向の移動が許容され、Ｙ軸方向の動きが規制されるようにする。Ｘ軸スライダ２０を囲むように略コ字型のＹ軸スライダ３０を装着する。Ｘ軸スライダ２０に対してＸ軸方向の動きが規制されてＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に移動するとそれに伴ってＸ軸方向に移動し、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向の動きが許容されて、Ｘ軸スライダ２０に対してＹ軸方向に移動できるようにする。一対のガイドレールのガイド溝１１とＸ軸スライダ２０との間、及びＸ軸スライダ２０とＹ軸スライダ３０との間にガスを供給して、そのガス圧によってＸ軸スライダ２０及びＹ軸スライダ３０を支持する静圧ガス軸受４０、５０をそれぞれ設ける。 （もっと読む）

【課題】可動マグネット型リニアモータの小型、軽量化により、高速かつ高精度な切削加工を可能にした工具送り装置を提供する。
【解決手段】支持ベース体２１と、支持ベース体に対して相対移動可能な可動体２２と、可動体の先端部に取付けられた工具１５と、可動体を支持ベース体に対して高速で相対移動させる可動マグネット型リニアモータ２４と、可動体の位置を検出する位置検出手段２５とを備え、可動マグネット型リニアモータは、可動体に配設されたマグネット構成体４２と、支持ベース体に配設されたコイル４１とを備え、マグネット構成体は、可動体の移動方向に間隔を有して配設された第１および第２の主マグネット５１、５２と、これら第１および第２の主マグネットの可動体の移動方向の両側に配設された第１および第２の補助マグネット５３、５４と、第１および第２の主マグネットの間に配設された第３の補助マグネット５５とからなる。 （もっと読む）

【課題】静止安定性を有する位置決め装置。
【解決手段】スライド装置１００は、ガイドレール１０６と、前記ガイドレール１０６に沿って移動するスライダ１０８と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により浮かせて支持する浮遊支持状態と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により圧接させて支持する圧接支持状態とに切り替え可能なエアベアリング１１０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定性の低下を抑制し、不測の挙動を抑制できる流体軸受を提供する。
【解決手段】流体軸受は、第１部材の第１面に形成された第１凹部と、第１凹部の内側に形成された第２凹部と、第２凹部の内側に配置された流体吹出口とを備える。 （もっと読む）

【課題】流体軸受け面の圧力分布を任意に調整し、浮上時の変形を抑制することを可能としたスライダーを実現する。
【解決手段】底面よりステージに向かって流体を噴出させて形成される流体軸受けを介して前記ステージ上を浮上して移動するスライダーにおいて、前記底面に形成された複数個の流体抜け穴と、前記流体抜け穴から流出する流体量を個別に調整する流体調整手段と、
を備える。 （もっと読む）

エアベアリングアセンブリは、その中を通る複数の空気供給・真空ラインを有する上部、下部、および上部と下部との間に配置され、それらを間隔の置かれた関係に維持する複数のスペーサを備え、空気供給・真空孔の密度が、基板のためのエアベアリングを提供するのに十分に高いが、下部に対して上部の実質的に均一な平面度を維持するように、（ｉ）十分な数のスペーサが用いられる、および（ｉｉ）スペーサが十分に近接するように近くに配置される、ことのうちの少なくとも１つが成立するように十分に低い。
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ガイドレール（２）の上に静圧で支えられたガイドキャリッジ（１）を有し、ガイドレール（２）が異形レールガイドの縦軸に沿って伸びる中心面（３）及び中心面（３）の両方の縦側に配置された２つの上側支持面（５）を有し、上側支持面（５）が中心面（３）に対して斜めに設けられ、各上側支持面（５）の下側に、上側支持面（５）及び中心面（３）に対して斜めに下側支持面（６）が設けられ、異形レールガイドの横断面で見て中心面（３）と平行な第１の仮想直線（Ｇ１）、上側支持面（５）に平行な第２の仮想直線（Ｇ２）及び下側支持面（６）に平行な第３の仮想直線（Ｇ３）が三角形を成し、この三角形の第１及び第２の直線（Ｇ１、Ｇ２）の間に角アルファ（α）が、第１及び第３の直線（Ｇ１、Ｇ３）の間に角ガンマ（γ）が形成され、角アルファ（α）が１０°〜４５°の値、角ガンマ（γ）が２０°〜５５°の値を有する静圧異形レールガイド。
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【課題】 スライドテーブルとガイドレールとの間のクリアランスを狭めたエアスライドおよびその組立方法を提供する。
【解決手段】 上板部２１と下板部２２ａ，２２ｂと側板部２３ａ，２３ｂからなるスライドテーブル１１を、ガイド部２５を有するガイドレール１２に対して一定のクリアランスで取り付けたエアスライド１０は、上板部２１と下板部２２ａと側板部２３ａを連結して略コの字型とし、側板部２３ａを下にしてその凹みにガイド部２５を挿入し、次いで上板部２１に下板部２２ｂと側板部２３ｂを微少可動に仮固定し、続いて側板部２３ｂに圧電アクチュエータ５１を備えた間隙調整用治具５０を取り付け、圧電アクチュエータ５１を３〜１０μｍ伸張させて下板部２２ｂと側板部２３ｂを上板部２１に対して強固に固定し、その後、圧電アクチュエータ５１の駆動を解除して間隙調整用治具５０を取り外して、組み立てる。 （もっと読む）

【課題】 加工性およびガスシール性を向上させた気体軸受構造と、該構造を備えたスターリング機関およびスターリング冷却庫とを提供する。
【解決手段】 気体軸受構造は、シリンダ内で往復運動するピストン１４を支持する気体軸受構造であって、ピストン１４の外周面１４１にピストン１４の周方向に沿って断続的に形成された溝部の底面１４３Ａからピストン１４の内部空間１４７に達する噴出孔１４４を通じて内部空間１４７からシリンダの内周面に向かってガスを噴出する「ガス噴出機構」を備え、ピストン１４の周方向において、溝部の底面１４３Ａがピストン１４の外周面１４１に達するように該溝部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 設計通りの荷重支持力を発揮させると共に、ダンピング効果が得られ、加工コストを抑えることのできる案内装置を提供する。
【解決手段】 支持体１１に形成された案内面１２と、案内面１２と対向するように移動体１３に形成された滑動面１４とを有し、滑動面１４に形成され、その内部に内側ランド部１８を備えた静圧ポケット１７に、開口部１９を介して圧油を供給することで案内面１２と滑動面１４とを無接触状態とすると共に、支持体１１により移動体１３を案内支持する案内装置１０に、開口部１９から放射状に延びる溝１５ｂを備えさせる。 （もっと読む）

【課題】熱膨張による影響を受けることなく常に、可動体を安定して滑らかに移動させることが可能な案内装置を提供する。
【解決手段】基台２に延設された複数のガイド部材6,7と、これらガイド部材にそれぞれ１つずつ設けられるとともに、各ガイド部材に沿って移動する空気軸受と、空気軸受によって支持及び位置決めされる可動体４とを備え、複数のガイド部材の中の１つに設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受８と可動体を水平方向に位置決めする水平方向空気軸受10a,10bとから構成され、その他のガイド部材に設けられた空気軸受は、可動体を垂直方向に支持する垂直方向空気軸受のみで構成されている。 （もっと読む）

【課題】 移動体の円滑な動作および位置決め精度を低下させることなく、ベース側から移動体側に油圧を供給することを可能とする。
【解決手段】 ベース３から、該ベース３に直線移動可能に支持された移動体４に対して流体を供給する流体供給機構１であって、ベース３または移動体４のいずれか一方に固定され、移動体４の移動方向に沿って配置された中空ロッド６と、ベース３または移動体４のいずれか他方に固定された流体室７とを備え、該流体室７の対向する一対の壁面１０に、径方向に隙間をあけて中空ロッド６を貫通させるロッド挿通孔１０ａが設けられ、中空ロッド６に、該中空ロッド６内部とその周囲の流体室７内部とを連絡する貫通孔８が設けられ、ベース３に固定された、中空ロッド６の内部空間６ｂまたは流体室７のいずれかに、流体供給配管９が接続されている流体供給機構１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 垂直軸上で直線駆動される可動部の重量負荷を補償するバランス構造の簡素化とコスト低減。
【解決手段】 枡形形状等の可動部５０は開口部を下方に向け、同開口部に固定部４０を挿入した状態で、固定部４０と可動部５０の間の隙間４３を利用した空気軸受で上下方向に移動可能に支持される。可動部５０の内部には加圧された空気を保持するエアバランス室４１が形成される。圧力調整された加圧空気は外部から固定部４０の内部の配管を経て吹き出し口から隙間４３に供給された後、エアバランス室４１へ流れ込む。この流れにより、エアバランス室４１の加圧空気はシールされる。加圧空気の排気は、排気穴４１ａから配管４２、６１、流量調整装置６０を経て外部に排気される。 （もっと読む）

【課題】 安価な製造コストで、かつ簡単に芯高調整が行える工作機械を提供することを目的とする。
【解決手段】 ベース３と、ベース３に支持されるテーブル５と、テーブル５を推進するリニアモータ７とを備え、ベース３が、その上部両側に、外側に向かって突出しかつ推進方向に沿って水平に延びる突起部１５と、突起部１５の下方に平行間隔を空けて配置された案内面２１とを備え、テーブル５が、両突起部１５の上面を覆う上面部２７と、上面部２７の両側部に配置され突起部１５の外側端部を覆う側面部２９と、側面部２９の下端から内側に向かって突出し、側溝２３内に嵌合する嵌合部３１とを備え、突起部１５の上面と上面部２７の下面との間に、突起部１５の下面と嵌合部３１の上面との間に、および嵌合部３１の下面と案内面２１の上面との間に設けられた静圧パッド３７，３７，３９と、各静圧パッドに油を供給する油圧ポンプ４３とを備える工作機械を提供する。 （もっと読む）

【課題】
支持面の面精度に関わらず、高い剛性で支持可能な静圧軸受を提供する。
【解決手段】
ガイドレール２の支持面が局所的に傾いていたとしても、それに応じて軸受部３ｂが傾くことにより、軸受部３ｂと支持面との間隙を全体的に均一に近づけるようにし、それにより軸受部３ｂと支持面との間に吐出される空気の圧力の不均衡を是正し、高い剛性でガイドレール２に対してスライダ３を支持できる。 （もっと読む）

【課題】
プロセス室に外部から異物が侵入することを抑制できる位置決め装置の停止方法及び位置決め装置を提供する。
【解決手段】
メンテナンス時などにおいては、まず、プロセス室Ｐの排気を停止し、不図示の導入口からプロセス室Ｐ内に窒素ガスなどの不活性ガスを導入して、１０００Ｐａ（所定の内圧）程度まで圧力を増大させる。その後、バルブＶ０を閉止する。プロセス室Ｐが所定の内圧に達する前は、第１の差動排気シールの差圧室１５１を排気することで、外部の異物がプロセス室Ｐ内に侵入することを抑制できる。但し、プロセス室Ｐが所定の内圧に達した後は、第１の差動排気シール１５１の差圧室１５１の排気を中断しても、外部の異物がプロセス室Ｐ内に侵入する恐れは低く、それによりメンテナンス終了後においてプロセス室Ｐ内で行われる加工を適切なものとできる。 （もっと読む）