【課題】長時間運転停止した後の起動時にも、短時間で負圧ポケット内を所定の負圧にできる、スライドテーブル装置を提供する。
【解決手段】テーブル３の負圧ポケット３ａ、３ｂは吸引流路３ｃ、吸引管路５によりエジェクタ６の吸引口６ａに接続している。エジェクタ６の噴出口６ｂには供給管路８が接続し、供給管路８にはポンプ７が接続している。エジェクタ６の排出口６ｃには排出管路９ａが接続しており、排出管路９ａには弁制御装置１２により開閉動作を行う電磁開閉弁１０が接続し、電磁開閉弁１０には排出管路９ｂが接続し、回収タンク１１へ連通している。テーブル起動時にポンプを起動すると同時に電磁開閉弁１０を閉動作し、負圧ポケット３ａ、３ｂに潤滑油が充満した後に電磁開閉弁１０を開動作する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供する。
【解決手段】案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３を支持するとともに、駆動手段により移動体１３を移動させるように構成する。駆動手段としてリニアモータ１５を用いる。リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力を静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用させる。 （もっと読む）

【課題】取付面の位置の変化を抑制することができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、設置面ＰＳに固定される静圧気体軸受スピンドルであって、端面に取付面１ａを有する回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間１０をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲むハウジング２と、ハウジング２の軸線ＡＸ方向に互いに離れて配置され、ハウジング２を設置面ＰＳに固定するための第１の固定台３および第２の固定台４とを備えている。取付面１ａに対して第１の固定台３より離れた位置に配置された第２の固定台４が軸線ＡＸ方向に直線的に案内可能な直線案内機構５を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】直線運動移動体の水平精度と耐久性を失わないように金属または合金のハニカムコアに保護強化板を簡単に強固に取り付けること。
【解決手段】サドル１は、ハニカムコア１０と上下の保護強化板２０とでなる。ハニカムコア１０は、複数の同長のハニカムセル１０Ａで形成される。ハニカムセル１０Ａは、鋼鉄よりも比重が小さい金属または合金でなる。保護強化板２０は、炭素繊維強化プラスチックでなる。保護強化板２０は、ボルト３０でハニカムコア１０に固定される。ハニカムコア１０に跨って締結補助板８が設けられる。ボルト３０は、一端が締結補助板８の下面に接触し他端がナット４０の座面４０Ａに接触してボルト３０の軸３０Ｂを包囲するように配設されボルト３０の締付力以上の強度を有する複数の同長のスペース管５０を介在させてナット４０に螺合される。 （もっと読む）

【課題】安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供すること。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｘ軸固定子５１、及びＸ軸可動子５２を有するＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸移動体４と、Ｙ軸固定子、及びＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータ３とを備え、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａが第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように連結されている。これにより、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長が他端部５１ｂ側で解放される。 （もっと読む）

【課題】移動可能なキャリッジとリニアガイドを備えた装置を提供する。
【解決手段】装置は、移動可能なキャリッジと、該キャリッジを案内するためのリニアガイドであって、第１滑り面を形成する第１案内経路部と、第２滑り面を形成する第２案内経路部とからなる。第１滑り面を形成するために、キャリッジは、少なくとも１つのポケットを有し、このポケットが、第１案内経路部に沿って滑ることができ、キャリッジに作用する軽減力を作り出すために潤滑剤がポケットに圧力下で保持されている。第２案内経路部は、キャリッジに作用する摩擦力を生じる島状面を有し、軽減力を作り出すために少なくとも１つのポケットに圧力媒体が保持される時に、第１滑り面が第２滑り面の荷重を軽減するように配置される。 （もっと読む）

【課題】偏荷重によりテーブル本体が傾斜して静圧ポケットのランド部と接触するのを防止可能な回転テーブルを提供する。
【解決手段】回転テーブル１は、回転体１１，回転軸１２及び円筒部材１３からなるテーブル本体１０と、円筒部材１３が挿入される支持穴２２、支持穴２２の内周面に開口した環状の第１凹部２２ａ、及び回転体１１側の端面たる一端面に開口した環状の第２凹部２３ａを有する円筒状の支持部材２１と、各凹部２２ａ，２３ａ内に圧油を供給する圧油供給装置３０と、回転軸１２を軸中心に回転させる回転駆動機構３５とを備える。支持部材２１の一端面は、内周側の高さが高く、外周側の高さが低い段付き形状に形成されて、高さの高い内周側に第２凹部２３ａが形成され、高さの低い外周側には、環状の摺動板２５が回転体１１の裏面から間隔を隔てるように且つ回転軸１２が傾斜したときに回転体１１と当接可能に設けられる。 （もっと読む）

【課題】構造が非常に簡便でありながらも、工作物を立体加工することができる３Ｄ可変型加工システムを提供する。
【解決手段】本発明の３Ｄ可変型加工システムは、地面から離隔して配置される支持フレーム１０と、支持フレーム１０に回動可能に設けられる円形の回動フレーム２０，３０と、回動フレーム２０，３０の円周上でスライド可能に設けられるスライド部材４０，５０と、スライド部材４０，５０に垂直に設けられ、回動フレーム２０，３０に沿って旋回できるように設けられる主軸６０とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】ワークを移動させる力を低減することができ、かつ、微妙な芯出し制御が可能な自動芯出し装置および自動芯出し方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 自動芯出し装置１は、テーブルクランプ４によって、ワークＷを固定される可動テーブル３を基準テーブル２に対して固定された状態と固定していない状態とを切り換える。芯出しを行うときには、可動テーブル３を基準テーブル２と固定していない状態にして、エアの圧力によって可動テーブル３を浮上させ、その状態で、水平移動機構７によって、測定された芯ずれの分だけ所定の方向Ａに水平移動させることにより芯出しを行う。 （もっと読む）

【課題】高精度で円滑に移動することを向上させた静圧案内装置を提供することにある。
【解決手段】直線状に延在するガイドレール１２ａ，１２ｂを備えるベッド１１と、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂに沿って移動可能なコラムベッド１３とを具備し、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂと対向するコラムベッド１３の摺動部１３ｃ，１３ｄに当該コラムベッド１３の移動方向に沿って複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６を設け、複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６の内のコラムベッド１３の移動方向にて両端部以外の静圧ポケット３１〜３６を両端部の静圧ポケット２５〜２８よりも小さくした。 （もっと読む）

【課題】多様な回転工具のビビリ振動の発生を抑制できる工作機械の主軸装置を提供する。
【解決手段】減衰付与手段５，１３４にて付与する減衰力を回転工具Ｔの種類等に基づいて制御して後側転がり軸受１３３の減衰性を変更しているので、固有振動が異なる各種回転工具に対して最適な減衰性を与えることができ、多様な回転工具のビビリ振動の発生を抑制することができる。よって、単位時間当たりの切削量を大きくして生産性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と静圧軸受け４、５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのリセス体積を増減する体積増減手段７、８と、を備え、変位センサ９、１０により検出された変位を抑制するように、体積増減手段７、８によりリセス体積を増減することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】高速変動する外乱負荷による移動体の精度低下の抑制が可能な流体保持装置（静圧軸受け、静圧案内）を提供する。
【解決手段】流体保持装置において、主軸３と軸受け４，５の外乱力による相対変位を計測する変位センサ９、１０と、静圧ポケットのランド部の圧油を供給・吸引するランド圧油供給吸引手段７、８と、を備え、外乱力による軸受け４，５と主軸３の相対変位を抑制するようにランド部へ圧油を供給またはランド部の圧油を吸引することで、外乱力による流体保持装置の精度低下を抑制する。 （もっと読む）

【課題】ステージの移動方向の剛性を向上させる。
【解決手段】位置決めステージにおいて、ステージ１の移動方向の位置検出点とステージ１が振動して姿勢変化したときにステージ１の位置が変動しない節の位置を合わせる。この位置を合わせるために、ステージ１の重量分布を調整するための第１の錘１１及び第２の錘１２を有している。そして、ステージ１の伝達特性の振動モードが０ｄＢに近づくように第１の錘１１及び第２の錘１２の調整量を決定する。 （もっと読む）

【課題】機械本体、スケール、ワーク等の各温度を制御することにより高い加工精度が安定的に得られる精密加工機械を提供する。
【解決手段】主ベッド部２、副ベッド部３、コラム４等のブロック体に設けられた油静圧摺動面９、１０、１１に供給される静圧油の温度を調節するに際し、それぞれのブロック体の測定点２０、３０、４０で、ブロック体の室温の環境下に置かれた部分の温度を測定し、その温度を基に調節するようにした。 （もっと読む）

【課題】Ｙ軸移動体のヨーイング角度を所望に制御し、且つＸ軸移動体の走り精度を高める。
【解決手段】ＸＹステージ装置１は、定盤２上でＸ軸方向移動するＸ軸移動体３、定盤上でＹ軸方向移動すると共にＸ軸移動体３のＸ軸方向移動をガイドするＹ軸移動体４、Ｙ軸移動体４をＹ軸方向駆動するシャフトモータ１４Ａ，１４Ｂ、Ｙ軸移動体４のヨーイング角度を検出するリニアスケール１６Ａ，１６Ｂ、を備えている。ＸＹステージ装置１では、シャフトモータ１４Ａ，１４Ｂの駆動がヨーイング角度に基づきコントローラ１７によって制御されるため、ヨーイング角度に応じてシャフトモータ１４Ａ，１４Ｂのそれぞれを適宜制御できる。また、転がりガイド１１でＹ軸移動体４のＸ軸方向一端部が支持され、リフトエアパッド１２でＹ軸移動体４のＸ軸方向他端部が支持されるため、Ｙ軸移動体４がＸ軸方向に完全拘束されない。 （もっと読む）

【課題】一層の小型化が可能なステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置１は、定盤２上を移動するＹ軸移動体４と、Ｙ軸移動体４を駆動するＹ軸シャフトモータ１４Ａ，１４Ｂと、Ｙ軸移動体を定盤２上で支持する転がりガイド１１及びＹ軸リフトエアパッド１２と、を備えている。Ｙ軸シャフトモータ１４Ａ，１４Ｂは、定盤２の盤面２ａと間に空間Ａ１，Ａ２が形成されるように定盤２にそれぞれ固定されたＹ軸シャフト部２１Ａ，２１Ｂと、Ｙ軸移動体４にそれぞれ固定されたＹ軸コイル部２２Ａ，２２Ｂと、を有している。このステージ装置１においては、かかる空間Ａ１，Ａ２に、転がりガイド１１及びＹ軸リフトエアパッド１２の少なくとも一部が入り込んでいることから、Ｙ軸シャフトモータ１４Ａ，１４Ｂを備えたことによる空間構成が好適なものとなり、フットプリントを小さくすることができる。 （もっと読む）

【課題】ケーブルに生じる力が外部の構造に伝わりにくい若しくは伝わらない構造の直線駆動装置を提供すること。
【解決手段】可動部であるスライド１０、可動部であるカウンタスライド１２、および固定部であるガイド１４を有し、スライド１０とカウンタスライド１２はガイド１４に対して軸受を有し同一直線上を移動可能に構成し、スライド１０の駆動力をカウンタスライド１２とスライド１０の間で発生させる駆動手段を備え、スライド１０を駆動する駆動力の反作用をカウンタスライド１２が受ける構造とした直線駆動装置３００において、スライドに接続されたケーブル３０が、カウンタスライド１２の中継部分３４においてクランプまたは中継されており、カウンタスライド１２の重量がスライド１０の重量より重いことを特徴とする直線駆動装置。 （もっと読む）

【課題】摩擦要素を用いることなくテーブルの移動抵抗をより滑らかに変動させることが可能な移動テーブルを提供する。
【解決手段】基台２０と、基台２０に設けられた案内面と、案内面に沿う方向である案内方向に、移動可能あるいは旋回可能に構成されたテーブル３０と、テーブル３０を案内方向に移動あるいは旋回させるテーブル駆動手段４０と、を備えた移動テーブル１０において、テーブル３０を移動あるいは旋回させる際に発生する抵抗である移動抵抗の大きさを、テーブル３０を案内面に接触させることなく変更可能な移動抵抗可変手段（２１、２２、３１、３２）を備えている。 （もっと読む）

【課題】干渉計の測長光路を減圧して位置決め精度を向上させるともに、装置の小型化を促進し、ステージ外部の減圧が困難な加工装置等への適用を可能にする。
【解決手段】位置決め装置の固定部１は、Ｙガイド面２を有し、Ｙ凹空間部６、Ｘ−Ｙ連通流路１３、排気口１２、シール部７、軸受８を有するＹスライダ３は、Ｙガイド面２に沿って移動する。Ｘ凹空間部９、シール部１０、軸受１１を有するＸスライダ５は、Ｙスライダ３上をＸガイド面４に沿って移動する。干渉計１５及びミラー１７ａ、１７ｂは、排気口１４、Ｙ凹空間部６、Ｘ−Ｙ連通流路１３、排気口１２を通じて減圧されるＸ凹空間部９に配置される。 （もっと読む）