ステージ装置
【課題】安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供すること。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｘ軸固定子５１、及びＸ軸可動子５２を有するＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸移動体４と、Ｙ軸固定子、及びＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータ３とを備え、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａが第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように連結されている。これにより、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長が他端部５１ｂ側で解放される。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｘ軸固定子５１、及びＸ軸可動子５２を有するＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸移動体４と、Ｙ軸固定子、及びＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータ３とを備え、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａが第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように連結されている。これにより、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長が他端部５１ｂ側で解放される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のステージ装置としては、例えば下記特許文献１に記載されているように、定盤上をＸ軸方向に移動するＸ軸移動体と、Ｘ軸方向に沿った軸状のＸ軸固定子及びＸ軸移動体に設けられたＸ軸可動子を有するＸ軸シャフトモータと、定盤上をＹ軸方向に移動するＹ軸移動体と、Ｙ軸方向に沿った軸状のＹ軸固定子及びＹ軸移動体に設けられたＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータとを備えたものが知られている。このステージ装置では、Ｘ軸固定子がＹ軸移動体に固定されており、Ｙ軸移動体がＸ軸固定子と共に定盤上を移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１０１４２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、上記のようなステージ装置では、Ｘ軸移動体の駆動でＸ軸シャフトモータに発生する熱によりＸ軸固定子が熱膨張してＸ軸方向に伸び、このＸ軸固定子の伸びによりＹ軸固定子に反りや歪が生じるおそれがある。そのため、上記のようなステージ装置では、場合によっては、Ｙ軸移動体の移動の精度が低下し、Ｙ軸移動体を安定して移動させることが困難となるおそれがある。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るステージ装置は、定盤上をＸ軸方向に移動するＸ軸移動体と、Ｘ軸方向に沿った軸状のＸ軸固定子、及びＸ軸移動体に設けられたＸ軸可動子を有し、Ｘ軸移動体をＸ軸方向に駆動するためのＸ軸シャフトモータと、定盤上をＸ軸固定子と共にＹ軸方向に移動するＹ軸移動体と、Ｙ軸方向に沿った軸状のＹ軸固定子、及びＹ軸移動体に設けられたＹ軸可動子を有し、Ｙ軸移動体をＹ軸方向に駆動するためのＹ軸シャフトモータとを備え、Ｘ軸固定子の一端部は、Ｙ軸移動体に固定され、Ｘ軸固定子の他端部は、Ｘ軸固定子のＸ軸方向の伸長を許容するようにＹ軸移動体に連結されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明では、Ｘ軸固定子の一端部がＹ軸移動体に固定され、Ｘ軸固定子の他端部が当該Ｘ軸固定子のＸ軸方向の伸長を許容するようにＹ軸移動体に連結されている。このため、Ｘ軸移動体の駆動に伴いＸ軸固定子が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子の伸長を他端部側で解放することができる。従って、熱膨張によらず、安定してＹ軸移動体を移動させることができる。
【０００８】
また、Ｘ軸固定子の他端部は、当該他端部をＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束する連結部材によってＹ軸移動体に連結されており、Ｘ軸方向においてＸ軸固定子の他端部とＹ軸移動体との間には、隙間が設けられていることが好ましい。この場合、Ｘ軸固定子の伸長を解放し安定してＹ軸移動体を移動させるという上記作用効果を、好適に発揮させることができる。
【０００９】
このとき、連結部材は、Ｘ軸固定子の他端部を把持する把持部材と、把持部材のＸ軸方向の移動をガイドするガイド部材と、Ｙ軸移動体に固定されガイド部材を保持する保持部材とを有する構成にすることができる。
【００１０】
また、Ｙ軸移動体のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドを備え、Ｙ軸ガイドは、Ｙ軸移動体においてＸ軸固定子の他端部が連結された側に設けられていることが好ましい。この場合、Ｙ軸ガイドによってＹ軸移動体のＹ軸方向の移動をガイドすることが可能となる。これに加え、Ｘ軸固定子の他端部がＸ軸方向に解放されていることから、Ｘ軸移動体の駆動によりＸ軸固定子に加わる反力がＹ軸ガイドに伝播しにくくなるため、一層安定してＹ軸移動体を移動させることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大斜視図である。
【図３】図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大平面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ本発明のステージ装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また、「上」「下」の語は、図面の上下方向に対応するものであり便宜的なものである。
【００１４】
図１は、本発明の第１実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。図１に示すように、本実施形態に係るステージ装置１Ａは、例えば、半導体を検査するための半導体検査装置や、半導体を露光するための半導体露光装置等に使用されるものである。このステージ装置１Ａは、定盤２、Ｙ軸シャフトモータ３，３、Ｙ軸移動体４、Ｘ軸シャフトモータ５，５、Ｘ軸移動体６及びテーブル部７を備えている。なお、「Ｘ軸方向」とは定盤２の上面２ａに平行な任意の一方向であり、「Ｙ軸方向」とは上面２ａに平行且つＸ軸方向と垂直な方向である。
【００１５】
定盤２は直方体状の石材から成り、その上面２ａは平面加工が施されることにより平面度が高められている。また、定盤２におけるＹ軸方向に延在する側面のうち、後述のＹ軸ヨーエアベアリング４３から空気が噴射される側面２ｂについても、平面加工が施されて平面度が高められている。
【００１６】
Ｙ軸シャフトモータ３，３は、Ｙ軸移動体４を駆動させるためのものであり、それぞれＹ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２を有している。
【００１７】
Ｙ軸固定子３１は、その内部に複数の磁石を有しており、これら複数の磁石の同極同士が接合されて軸状を成している。このＹ軸固定子３１は、定盤２の上面２ａ上でＹ軸方向に沿って延在している。一対のＹ軸固定子３１，３１は、定盤２の上面２ａにおけるＸ軸方向両端部に並設されている。図１において紙面右上（以下、「一方」という）のＹ軸固定子３１は、その両端部が定盤２の上面２ａから上方に向けて突出した柱３３，３３によって固定されている。図１において紙面左下（以下、「他方」という）のＹ軸固定子３１は、その両端部が定盤２の側面２ｂから上方に向けて突出した柱３４，３４によって固定されている。
【００１８】
Ｙ軸可動子３２は、Ｙ軸固定子３１に沿って可動するものであり、Ｙ軸固定子３１に外挿されている。このＹ軸可動子３２は、内部にＹ軸固定子３１を取り囲むコイルを有しており、このコイルに電流を流すことで駆動される。
【００１９】
Ｙ軸移動体４は、第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂを有している。第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂは、それぞれブロック状を成している。第１Ｙ軸移動体４ａは一方のＹ軸可動子３２に取り付けられており、第２Ｙ軸移動体４ｂは他方のＹ軸可動子３２に取り付けられている。これら第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂは、後述のＸ軸固定子５１，５１によって互いに連結されている。そして、Ｙ軸移動体４は、各Ｙ軸可動子３２を駆動することで定盤２の上面２ａ上をＹ軸方向に移動する。
【００２０】
また、第２Ｙ軸移動体４ｂには、Ｙ軸移動体４のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイド４１が取り付けられている。このＹ軸ガイド４１は、側板４２と、Ｙ軸ヨーエアベアリング４３，４３とを有している。
【００２１】
側板４２は、Ｙ軸ヨーエアベアリング４３、４３を支持するための部材であり、直方体状を成している。この側板４２は、その上部が第２Ｙ軸移動体４ｂの下部に取り付けられており、定盤２の側面２ｂと対向する面４２ａを有している。
【００２２】
Ｙ軸ヨーエアベアリング４３，４３は、空気を噴射する気体静圧軸受として機能するものであり、側板４２の面４２ａにＹ軸方向に互いに離間して取り付けられている。そして、Ｙ軸ヨーエアベアリング４３，４３が定盤２の側面２ｂに向けて空気を噴射することで、Ｙ軸移動体４の移動がガイドされる。
【００２３】
また、第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂの間には、Ｘ軸移動体６のＸ軸方向の移動をガイドするためのガイドレール４４が連結されている。このガイドレール４４は、Ｘ軸方向に延在しており、上方が開口したコ字状の断面を成している。ガイドレール４４の一側面４４ａには、Ｘ軸移動体６のＸ軸方向の位置を検知するためのものとして、Ｘ軸方向に延在するリニアスケール４５が取り付けられている。このリニアスケール４５の測定基準は、当該リニアスケール４５の他方側の端部、すなわちＹ軸ガイド４１が設けられている側の端部に設定されている。
【００２４】
Ｘ軸シャフトモータ５，５は、Ｘ軸移動体６を駆動させるためのものであり、それぞれＸ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２を有している。Ｘ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２は、それぞれＹ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２と同様な構成とされている。Ｘ軸固定子５１は、第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂの間に連結されてＸ軸方向に沿って延在している。一対のＸ軸固定子５１，５１は、Ｙ軸方向に離間して配置されている。Ｘ軸可動子５２は、Ｘ軸固定子５１に外挿されており、Ｘ軸固定子５１に沿って可動する。
【００２５】
Ｘ軸移動体６は、定盤２の上面２ａ上をＸ軸方向に移動するものであり、第１Ｘ軸移動体６ａ及び第２Ｘ軸移動体６ｂを有している。第１Ｘ軸移動体６ａ及び第２Ｘ軸移動体６ｂは、それぞれ直方体状を成しており、それぞれＸ軸可動子５２，５２に取り付けられている。第１Ｘ軸移動体６ａ及び第２Ｘ軸移動体６ｂは、テーブル部７によって互いに連結されている。そして、Ｘ軸移動体６は、各Ｘ軸可動子５２を駆動することで定盤２の上面２ａ上をＸ軸方向に移動する。
【００２６】
テーブル部７は半導体等を設置するためのものであり、半導体等が設置される円盤状の部材を有している。
【００２７】
なお、ステージ装置１Ａでは、Ｘ軸移動体６を鉛直方向に支持するためのリフトエアベアリング１００が、第１Ｘ軸移動体６ａの下部に１つ、第２Ｘ軸移動体６ｂの下部に２つ取り付けられている。また、Ｙ軸移動体４を鉛直方向に支持するためのリフトエアベアリング２００が、第１Ｙ軸移動体４ａの下部に１つ、第２Ｙ軸移動体４ｂの下部に２つ取り付けられている。
【００２８】
次に、Ｘ軸固定子５１とＹ軸移動体４との連結部分について詳細に説明する。
【００２９】
Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａは、固定部材８によって第１Ｙ軸移動体４ａに固定されている。固定部材８は、上部固定部材８ａと下部固定部材８ｂとを有している。
【００３０】
上部固定部材８ａは直方体状の部材であり、その下面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ１が設けられている。下部固定部材８ｂは、直方体状の部材の下部に突起を設けて成る部材であり、その上面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ２が設けられている。
【００３１】
そして、固定部材８は、下部固定部材８ｂの突起を第１Ｙ軸移動体４ａに固定すると共に、上部固定部材８ａの下面と下部固定部材８ｂの上面とを互いに対向させ、切欠きｎ１，ｎ２内にＸ軸固定子５１の一端部５１ａを挿入し、上部固定部材８ａ及び下部固定部材８ｂをボルトで締め付けることで、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａと第１Ｙ軸移動体４ａとを全固定している。すなわち、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａは、その軸線方向、径方向及び軸線回り回転方向のいずれの方向についても、第１Ｙ軸移動体４ａに対して固定されている。
【００３２】
図２は、図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部（他端部）を示す拡大斜視図である。図２に示すように、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂは、連結部材９Ａによって第２Ｙ軸移動体４ｂに連結されている。連結部材９Ａは、把持部材９１、ガイド部材９２，９２及び保持部材９３を有している。
【００３３】
把持部材９１は、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂを把持するためのものであり、上部把持部材９１ａ及び下部把持部材９１ｂを有している。上部把持部材９１ａは直方体状の部材であり、その下面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ３が設けられている。下部把持部材９１ｂは直方体状の部材であり、その上面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ４が設けられている。また、この下部把持部材９１ｂの下面には、ガイド部材９２，９２を取り付けるためのものとして、Ｙ軸方向両端部を所定深さ除去するようにして段差ｓ，ｓが形成されている。
【００３４】
そして、把持部材９１は、上部把持部材９１ａの下面と下部把持部材９１ｂの上面とを互いに対向させ、切欠きｎ３，ｎ４内にＸ軸固定子５１の他端部５１ｂを挿入し、上部把持部材９１ａ及び下部把持部材９１ｂをボルトで締め付けることで、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂを把持することが可能となっている。
【００３５】
ガイド部材９２，９２は、把持部材９１のＸ軸方向の移動をガイドするためのものであり、それぞれ下部把持部材９１ｂの下面に設けられた段差ｓ，ｓに固定され取り付けられている。このガイド部材９２は直方体状を成し、その下面にはＸ軸方向のみに転がる複数の円筒ころ９２ａが取り付けられている。
【００３６】
保持部材９３は、第２Ｙ軸移動体４ｂに固定されガイド部材９２，９２を保持するためのものである。この保持部材９３は、平板９３ａとＬ字状のブラケット９３ｂとを有している。平板９３ａはブラケット９３ｂの上面に固定されており、ブラケット９３ｂの側面は第２Ｙ軸移動体４ｂの側面に固定されている。平板９３ａの上面には、円筒ころ９２ａを転動させるためのものとして、Ｘ軸方向に延在する溝９３ｃが設けられている。そして、連結部材９Ａは、平板９３ａの上面に円筒ころ９２ａが溝９３ｃに沿って転がるようにガイド部材９２を設置することで、把持部材９１の移動がガイドされるようになっている。つまり、連結部材９Ａは、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂをＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束し、Ｘ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するようにＸ軸固定子５１の他端部５１ｂを第２Ｙ軸移動体４ｂに連結している。
【００３７】
図３は、図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部（他端部）を示す拡大平面図である。図３に示すように、Ｘ軸方向において、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂの端面と、第２Ｙ軸移動体４ｂとの間には、隙間ｄが設けられている。これにより、Ｘ軸固定子５１がＸ軸方向に伸長し把持部材９１にＸ軸方向の力が作用した場合に、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂと第２Ｙ軸移動体４ｂとが干渉しないようになっており、把持部材９１がＸ軸方向に移動することが可能となっている。
【００３８】
このようなステージ装置１Ａでは、Ｙ軸可動子３２，３２を駆動することで、Ｙ軸移動体４が定盤２の上面２ａ上をＸ軸固定子５１，５１、ひいてはＸ軸移動体６と共にＹ軸方向に移動し、これによりテーブル部７のＹ軸方向の位置が調整される。また、Ｘ軸可動子５２，５２を駆動することで、Ｘ軸移動体６が定盤２の上面２ａ上をＸ軸方向に移動し、これによりテーブル部７のＸ軸方向の位置が調整される。
【００３９】
以上、本実施形態に係るステージ装置１Ａでは、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａは第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂは第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように固定されている。このため、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸シャフトモータ５，５に発生した熱によりＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長を他端部５１ｂ側で解放することができ、Ｘ軸固定子５１の伸びによりＹ軸固定子３１に反りや歪が生じることが抑制される。従って、熱膨張によらず、安定してＹ軸移動体４を移動させることができる。
【００４０】
また、本実施形態に係るステージ装置１Ａでは、上述したように、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂをＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束する連結部材９ＡによってＸ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂに連結されている。また、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂと第２Ｙ軸移動体４ｂとの間には、Ｘ軸方向の隙間ｄが設けられている。このため、Ｘ軸固定子５１の伸長を解放して安定してＹ軸移動体４を移動させるという上記作用効果を簡易な構成で好適に発揮させることができる。
【００４１】
また、本実施形態に係るステージ装置１Ａは、上述したように、Ｙ軸移動体４のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイド４１を備えている。このため、Ｙ軸ガイド４１によってＹ軸移動体４のＹ軸方向の移動をガイドすることが可能となる。
【００４２】
ここで、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂはＸ軸方向に解放されていることから、Ｘ軸移動体６の駆動によりＸ軸固定子５１に加わる反力は、例えば、一端部５１ａから第１Ｙ軸移動体６ａに伝播し、さらにガイドレール４４及び第２Ｙ軸移動体４ｂを介して、Ｙ軸ガイド４１に伝播する。このように、本実施形態に係るステージ装置１Ａでは、第２Ｙ軸移動体４ｂにＹ軸ガイド４１を設けている、すなわちＹ軸移動体４においてＸ軸固定子５１の他端部５１ｂが連結された側にＹ軸ガイド４１を設けているため、第１Ｙ軸移動体４ａにＹ軸ガイド４１を設ける、すなわちＸ軸固定子５１の一端部５１ａが固定された側にＹ軸ガイド４１を設ける場合に比して、Ｘ軸移動体６の駆動による反力のＹ軸ガイド４１への伝播経路が長くなっており、当該反力がＹ軸ガイド４１に伝播しにくくなっている。従って、Ｙ軸ガイド４１によるＹ軸移動体４の移動のガイドが好適に行われ、一層安定してＹ軸移動体４を移動させることができる。
【００４３】
また、Ｘ軸移動体６の駆動による反力がＹ軸ガイド４１に伝播しにくくなっているため、本実施形態のように、リニアスケール４５の測定基準を当該リニアスケール４５の他方側の端部、すなわちＹ軸ガイド４１が設けられている側（Ｙ軸移動体６においてＸ軸固定子５１の他端部５１ｂが連結された側）の端部に設定すると、当該測定基準が上記反力によってずれることが抑制される。従って、Ｘ軸移動体６のＸ軸方向の位置を正確に検知することができる。
【００４４】
次に、本発明の第２実施形態に係るステージ装置について説明する。
【００４５】
図４は、本発明の第２実施形態に係るステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大平面図である。図４に示すように、本実施形態に係るステージ装置１Ｂが第１実施形態に係るステージ装置１Ａと異なる点は、連結部材９Ａ（図３参照）に代えて連結部材９Ｂを備えている点である。この連結部材９Ｂは、上記把持部材９１、板ばね９４，９４及び板ばね保持部材９５，９５を有している。
【００４６】
板ばね９４は、Ｘ軸方向がたわみ方向となるように構成され、Ｘ軸方向に弾性力を有している。この板ばね９４のＹ軸方向の一端部は把持部材９１に固定されている。一方、他端部は板ばね保持部材９５に固定されている。
【００４７】
板ばね保持部材９５は、板ばね９４を保持するものであり、直方体状を成している。この板ばね保持部材９５は、第２Ｙ軸移動体４ｂの側面に固定されている。
【００４８】
ステージ装置１Ｂでは、Ｘ軸固定子５１がＸ軸方向に伸長し把持部材９１にＸ軸方向の力が作用した場合に、板ばね９４が他の部品よりも先にＸ軸方向に弾性変形して把持部材９１のＸ軸方向の移動をガイドし、これにより、Ｘ軸固定子５１の伸長を解放させる。
【００４９】
このようなステージ装置１Ｂが、第１実施形態に係るステージ装置１Ａと同様な効果を奏することは言うまでもない。
【００５０】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第１実施形態に係るステージ装置１Ａでは、ガイド部材９２として、円筒ころ９２ａを有する転がりガイドが用いられているが、これに代えて、滑りガイドや静圧ガイド等が用いられても良い。
【００５１】
また、上記実施形態では、下部把持部材９１ｂを直に第２Ｙ軸移動体４ｂに固定すると共に、ボルトによる上部把持部材９１ａと下部把持部材９１ｂとの締め付けを緩くして、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂがＸ軸方向に十分滑るように調整することで、Ｘ軸固定子５１の伸長を解放するように構成しても良い。要は、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが、Ｘ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するようにＹ軸移動体４に連結されていれば良い。
【００５２】
また、上記実施形態においては、一対のＸ軸シャフトモータ５，５によってＸ軸移動体６を駆動しているが、１つ又は３つ以上のシャフトモータでＸ軸移動体６を駆動しても良い。また、上記実施形態においては、一対のＹ軸シャフトモータ３，３によってＹ軸移動体４を駆動しているが、１つ又は３つ以上のシャフトモータでＹ軸移動体４を駆動しても良い。１つのシャフトモータでＹ軸移動体４を駆動する場合には、例えば、第１Ｙ軸移動体４ａをＸ軸方向について拘束し且つＹ軸方向に非拘束とするガイドレール等を設ければ良い。
【符号の説明】
【００５３】
１Ａ，１Ｂ…ステージ装置、２…定盤、３，３…Ｙ軸シャフトモータ、４…Ｙ軸移動体、５，５…Ｘ軸シャフトモータ、６…Ｘ軸移動体、９…連結部材、４１…Ｙ軸ガイド、９１…把持部材、９２…ガイド部材、９３…保持部材。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のステージ装置としては、例えば下記特許文献１に記載されているように、定盤上をＸ軸方向に移動するＸ軸移動体と、Ｘ軸方向に沿った軸状のＸ軸固定子及びＸ軸移動体に設けられたＸ軸可動子を有するＸ軸シャフトモータと、定盤上をＹ軸方向に移動するＹ軸移動体と、Ｙ軸方向に沿った軸状のＹ軸固定子及びＹ軸移動体に設けられたＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータとを備えたものが知られている。このステージ装置では、Ｘ軸固定子がＹ軸移動体に固定されており、Ｙ軸移動体がＸ軸固定子と共に定盤上を移動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００９−１０１４２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、上記のようなステージ装置では、Ｘ軸移動体の駆動でＸ軸シャフトモータに発生する熱によりＸ軸固定子が熱膨張してＸ軸方向に伸び、このＸ軸固定子の伸びによりＹ軸固定子に反りや歪が生じるおそれがある。そのため、上記のようなステージ装置では、場合によっては、Ｙ軸移動体の移動の精度が低下し、Ｙ軸移動体を安定して移動させることが困難となるおそれがある。
【０００５】
本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るステージ装置は、定盤上をＸ軸方向に移動するＸ軸移動体と、Ｘ軸方向に沿った軸状のＸ軸固定子、及びＸ軸移動体に設けられたＸ軸可動子を有し、Ｘ軸移動体をＸ軸方向に駆動するためのＸ軸シャフトモータと、定盤上をＸ軸固定子と共にＹ軸方向に移動するＹ軸移動体と、Ｙ軸方向に沿った軸状のＹ軸固定子、及びＹ軸移動体に設けられたＹ軸可動子を有し、Ｙ軸移動体をＹ軸方向に駆動するためのＹ軸シャフトモータとを備え、Ｘ軸固定子の一端部は、Ｙ軸移動体に固定され、Ｘ軸固定子の他端部は、Ｘ軸固定子のＸ軸方向の伸長を許容するようにＹ軸移動体に連結されていることを特徴とする。
【０００７】
本発明では、Ｘ軸固定子の一端部がＹ軸移動体に固定され、Ｘ軸固定子の他端部が当該Ｘ軸固定子のＸ軸方向の伸長を許容するようにＹ軸移動体に連結されている。このため、Ｘ軸移動体の駆動に伴いＸ軸固定子が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子の伸長を他端部側で解放することができる。従って、熱膨張によらず、安定してＹ軸移動体を移動させることができる。
【０００８】
また、Ｘ軸固定子の他端部は、当該他端部をＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束する連結部材によってＹ軸移動体に連結されており、Ｘ軸方向においてＸ軸固定子の他端部とＹ軸移動体との間には、隙間が設けられていることが好ましい。この場合、Ｘ軸固定子の伸長を解放し安定してＹ軸移動体を移動させるという上記作用効果を、好適に発揮させることができる。
【０００９】
このとき、連結部材は、Ｘ軸固定子の他端部を把持する把持部材と、把持部材のＸ軸方向の移動をガイドするガイド部材と、Ｙ軸移動体に固定されガイド部材を保持する保持部材とを有する構成にすることができる。
【００１０】
また、Ｙ軸移動体のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドを備え、Ｙ軸ガイドは、Ｙ軸移動体においてＸ軸固定子の他端部が連結された側に設けられていることが好ましい。この場合、Ｙ軸ガイドによってＹ軸移動体のＹ軸方向の移動をガイドすることが可能となる。これに加え、Ｘ軸固定子の他端部がＸ軸方向に解放されていることから、Ｘ軸移動体の駆動によりＸ軸固定子に加わる反力がＹ軸ガイドに伝播しにくくなるため、一層安定してＹ軸移動体を移動させることができる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大斜視図である。
【図３】図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大平面図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ本発明のステージ装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。また、「上」「下」の語は、図面の上下方向に対応するものであり便宜的なものである。
【００１４】
図１は、本発明の第１実施形態に係るステージ装置を示す斜視図である。図１に示すように、本実施形態に係るステージ装置１Ａは、例えば、半導体を検査するための半導体検査装置や、半導体を露光するための半導体露光装置等に使用されるものである。このステージ装置１Ａは、定盤２、Ｙ軸シャフトモータ３，３、Ｙ軸移動体４、Ｘ軸シャフトモータ５，５、Ｘ軸移動体６及びテーブル部７を備えている。なお、「Ｘ軸方向」とは定盤２の上面２ａに平行な任意の一方向であり、「Ｙ軸方向」とは上面２ａに平行且つＸ軸方向と垂直な方向である。
【００１５】
定盤２は直方体状の石材から成り、その上面２ａは平面加工が施されることにより平面度が高められている。また、定盤２におけるＹ軸方向に延在する側面のうち、後述のＹ軸ヨーエアベアリング４３から空気が噴射される側面２ｂについても、平面加工が施されて平面度が高められている。
【００１６】
Ｙ軸シャフトモータ３，３は、Ｙ軸移動体４を駆動させるためのものであり、それぞれＹ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２を有している。
【００１７】
Ｙ軸固定子３１は、その内部に複数の磁石を有しており、これら複数の磁石の同極同士が接合されて軸状を成している。このＹ軸固定子３１は、定盤２の上面２ａ上でＹ軸方向に沿って延在している。一対のＹ軸固定子３１，３１は、定盤２の上面２ａにおけるＸ軸方向両端部に並設されている。図１において紙面右上（以下、「一方」という）のＹ軸固定子３１は、その両端部が定盤２の上面２ａから上方に向けて突出した柱３３，３３によって固定されている。図１において紙面左下（以下、「他方」という）のＹ軸固定子３１は、その両端部が定盤２の側面２ｂから上方に向けて突出した柱３４，３４によって固定されている。
【００１８】
Ｙ軸可動子３２は、Ｙ軸固定子３１に沿って可動するものであり、Ｙ軸固定子３１に外挿されている。このＹ軸可動子３２は、内部にＹ軸固定子３１を取り囲むコイルを有しており、このコイルに電流を流すことで駆動される。
【００１９】
Ｙ軸移動体４は、第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂを有している。第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂは、それぞれブロック状を成している。第１Ｙ軸移動体４ａは一方のＹ軸可動子３２に取り付けられており、第２Ｙ軸移動体４ｂは他方のＹ軸可動子３２に取り付けられている。これら第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂは、後述のＸ軸固定子５１，５１によって互いに連結されている。そして、Ｙ軸移動体４は、各Ｙ軸可動子３２を駆動することで定盤２の上面２ａ上をＹ軸方向に移動する。
【００２０】
また、第２Ｙ軸移動体４ｂには、Ｙ軸移動体４のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイド４１が取り付けられている。このＹ軸ガイド４１は、側板４２と、Ｙ軸ヨーエアベアリング４３，４３とを有している。
【００２１】
側板４２は、Ｙ軸ヨーエアベアリング４３、４３を支持するための部材であり、直方体状を成している。この側板４２は、その上部が第２Ｙ軸移動体４ｂの下部に取り付けられており、定盤２の側面２ｂと対向する面４２ａを有している。
【００２２】
Ｙ軸ヨーエアベアリング４３，４３は、空気を噴射する気体静圧軸受として機能するものであり、側板４２の面４２ａにＹ軸方向に互いに離間して取り付けられている。そして、Ｙ軸ヨーエアベアリング４３，４３が定盤２の側面２ｂに向けて空気を噴射することで、Ｙ軸移動体４の移動がガイドされる。
【００２３】
また、第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂの間には、Ｘ軸移動体６のＸ軸方向の移動をガイドするためのガイドレール４４が連結されている。このガイドレール４４は、Ｘ軸方向に延在しており、上方が開口したコ字状の断面を成している。ガイドレール４４の一側面４４ａには、Ｘ軸移動体６のＸ軸方向の位置を検知するためのものとして、Ｘ軸方向に延在するリニアスケール４５が取り付けられている。このリニアスケール４５の測定基準は、当該リニアスケール４５の他方側の端部、すなわちＹ軸ガイド４１が設けられている側の端部に設定されている。
【００２４】
Ｘ軸シャフトモータ５，５は、Ｘ軸移動体６を駆動させるためのものであり、それぞれＸ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２を有している。Ｘ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２は、それぞれＹ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２と同様な構成とされている。Ｘ軸固定子５１は、第１Ｙ軸移動体４ａ及び第２Ｙ軸移動体４ｂの間に連結されてＸ軸方向に沿って延在している。一対のＸ軸固定子５１，５１は、Ｙ軸方向に離間して配置されている。Ｘ軸可動子５２は、Ｘ軸固定子５１に外挿されており、Ｘ軸固定子５１に沿って可動する。
【００２５】
Ｘ軸移動体６は、定盤２の上面２ａ上をＸ軸方向に移動するものであり、第１Ｘ軸移動体６ａ及び第２Ｘ軸移動体６ｂを有している。第１Ｘ軸移動体６ａ及び第２Ｘ軸移動体６ｂは、それぞれ直方体状を成しており、それぞれＸ軸可動子５２，５２に取り付けられている。第１Ｘ軸移動体６ａ及び第２Ｘ軸移動体６ｂは、テーブル部７によって互いに連結されている。そして、Ｘ軸移動体６は、各Ｘ軸可動子５２を駆動することで定盤２の上面２ａ上をＸ軸方向に移動する。
【００２６】
テーブル部７は半導体等を設置するためのものであり、半導体等が設置される円盤状の部材を有している。
【００２７】
なお、ステージ装置１Ａでは、Ｘ軸移動体６を鉛直方向に支持するためのリフトエアベアリング１００が、第１Ｘ軸移動体６ａの下部に１つ、第２Ｘ軸移動体６ｂの下部に２つ取り付けられている。また、Ｙ軸移動体４を鉛直方向に支持するためのリフトエアベアリング２００が、第１Ｙ軸移動体４ａの下部に１つ、第２Ｙ軸移動体４ｂの下部に２つ取り付けられている。
【００２８】
次に、Ｘ軸固定子５１とＹ軸移動体４との連結部分について詳細に説明する。
【００２９】
Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａは、固定部材８によって第１Ｙ軸移動体４ａに固定されている。固定部材８は、上部固定部材８ａと下部固定部材８ｂとを有している。
【００３０】
上部固定部材８ａは直方体状の部材であり、その下面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ１が設けられている。下部固定部材８ｂは、直方体状の部材の下部に突起を設けて成る部材であり、その上面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ２が設けられている。
【００３１】
そして、固定部材８は、下部固定部材８ｂの突起を第１Ｙ軸移動体４ａに固定すると共に、上部固定部材８ａの下面と下部固定部材８ｂの上面とを互いに対向させ、切欠きｎ１，ｎ２内にＸ軸固定子５１の一端部５１ａを挿入し、上部固定部材８ａ及び下部固定部材８ｂをボルトで締め付けることで、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａと第１Ｙ軸移動体４ａとを全固定している。すなわち、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａは、その軸線方向、径方向及び軸線回り回転方向のいずれの方向についても、第１Ｙ軸移動体４ａに対して固定されている。
【００３２】
図２は、図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部（他端部）を示す拡大斜視図である。図２に示すように、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂは、連結部材９Ａによって第２Ｙ軸移動体４ｂに連結されている。連結部材９Ａは、把持部材９１、ガイド部材９２，９２及び保持部材９３を有している。
【００３３】
把持部材９１は、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂを把持するためのものであり、上部把持部材９１ａ及び下部把持部材９１ｂを有している。上部把持部材９１ａは直方体状の部材であり、その下面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ３が設けられている。下部把持部材９１ｂは直方体状の部材であり、その上面にはＸ軸固定子５１の半径と同程度の曲率半径を有する半円状の切欠きｎ４が設けられている。また、この下部把持部材９１ｂの下面には、ガイド部材９２，９２を取り付けるためのものとして、Ｙ軸方向両端部を所定深さ除去するようにして段差ｓ，ｓが形成されている。
【００３４】
そして、把持部材９１は、上部把持部材９１ａの下面と下部把持部材９１ｂの上面とを互いに対向させ、切欠きｎ３，ｎ４内にＸ軸固定子５１の他端部５１ｂを挿入し、上部把持部材９１ａ及び下部把持部材９１ｂをボルトで締め付けることで、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂを把持することが可能となっている。
【００３５】
ガイド部材９２，９２は、把持部材９１のＸ軸方向の移動をガイドするためのものであり、それぞれ下部把持部材９１ｂの下面に設けられた段差ｓ，ｓに固定され取り付けられている。このガイド部材９２は直方体状を成し、その下面にはＸ軸方向のみに転がる複数の円筒ころ９２ａが取り付けられている。
【００３６】
保持部材９３は、第２Ｙ軸移動体４ｂに固定されガイド部材９２，９２を保持するためのものである。この保持部材９３は、平板９３ａとＬ字状のブラケット９３ｂとを有している。平板９３ａはブラケット９３ｂの上面に固定されており、ブラケット９３ｂの側面は第２Ｙ軸移動体４ｂの側面に固定されている。平板９３ａの上面には、円筒ころ９２ａを転動させるためのものとして、Ｘ軸方向に延在する溝９３ｃが設けられている。そして、連結部材９Ａは、平板９３ａの上面に円筒ころ９２ａが溝９３ｃに沿って転がるようにガイド部材９２を設置することで、把持部材９１の移動がガイドされるようになっている。つまり、連結部材９Ａは、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂをＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束し、Ｘ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するようにＸ軸固定子５１の他端部５１ｂを第２Ｙ軸移動体４ｂに連結している。
【００３７】
図３は、図１に示すステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部（他端部）を示す拡大平面図である。図３に示すように、Ｘ軸方向において、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂの端面と、第２Ｙ軸移動体４ｂとの間には、隙間ｄが設けられている。これにより、Ｘ軸固定子５１がＸ軸方向に伸長し把持部材９１にＸ軸方向の力が作用した場合に、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂと第２Ｙ軸移動体４ｂとが干渉しないようになっており、把持部材９１がＸ軸方向に移動することが可能となっている。
【００３８】
このようなステージ装置１Ａでは、Ｙ軸可動子３２，３２を駆動することで、Ｙ軸移動体４が定盤２の上面２ａ上をＸ軸固定子５１，５１、ひいてはＸ軸移動体６と共にＹ軸方向に移動し、これによりテーブル部７のＹ軸方向の位置が調整される。また、Ｘ軸可動子５２，５２を駆動することで、Ｘ軸移動体６が定盤２の上面２ａ上をＸ軸方向に移動し、これによりテーブル部７のＸ軸方向の位置が調整される。
【００３９】
以上、本実施形態に係るステージ装置１Ａでは、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａは第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂは第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように固定されている。このため、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸シャフトモータ５，５に発生した熱によりＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長を他端部５１ｂ側で解放することができ、Ｘ軸固定子５１の伸びによりＹ軸固定子３１に反りや歪が生じることが抑制される。従って、熱膨張によらず、安定してＹ軸移動体４を移動させることができる。
【００４０】
また、本実施形態に係るステージ装置１Ａでは、上述したように、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂをＸ軸方向に非拘束で且つＸ軸方向以外の方向に拘束する連結部材９ＡによってＸ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂに連結されている。また、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂと第２Ｙ軸移動体４ｂとの間には、Ｘ軸方向の隙間ｄが設けられている。このため、Ｘ軸固定子５１の伸長を解放して安定してＹ軸移動体４を移動させるという上記作用効果を簡易な構成で好適に発揮させることができる。
【００４１】
また、本実施形態に係るステージ装置１Ａは、上述したように、Ｙ軸移動体４のＹ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイド４１を備えている。このため、Ｙ軸ガイド４１によってＹ軸移動体４のＹ軸方向の移動をガイドすることが可能となる。
【００４２】
ここで、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂはＸ軸方向に解放されていることから、Ｘ軸移動体６の駆動によりＸ軸固定子５１に加わる反力は、例えば、一端部５１ａから第１Ｙ軸移動体６ａに伝播し、さらにガイドレール４４及び第２Ｙ軸移動体４ｂを介して、Ｙ軸ガイド４１に伝播する。このように、本実施形態に係るステージ装置１Ａでは、第２Ｙ軸移動体４ｂにＹ軸ガイド４１を設けている、すなわちＹ軸移動体４においてＸ軸固定子５１の他端部５１ｂが連結された側にＹ軸ガイド４１を設けているため、第１Ｙ軸移動体４ａにＹ軸ガイド４１を設ける、すなわちＸ軸固定子５１の一端部５１ａが固定された側にＹ軸ガイド４１を設ける場合に比して、Ｘ軸移動体６の駆動による反力のＹ軸ガイド４１への伝播経路が長くなっており、当該反力がＹ軸ガイド４１に伝播しにくくなっている。従って、Ｙ軸ガイド４１によるＹ軸移動体４の移動のガイドが好適に行われ、一層安定してＹ軸移動体４を移動させることができる。
【００４３】
また、Ｘ軸移動体６の駆動による反力がＹ軸ガイド４１に伝播しにくくなっているため、本実施形態のように、リニアスケール４５の測定基準を当該リニアスケール４５の他方側の端部、すなわちＹ軸ガイド４１が設けられている側（Ｙ軸移動体６においてＸ軸固定子５１の他端部５１ｂが連結された側）の端部に設定すると、当該測定基準が上記反力によってずれることが抑制される。従って、Ｘ軸移動体６のＸ軸方向の位置を正確に検知することができる。
【００４４】
次に、本発明の第２実施形態に係るステージ装置について説明する。
【００４５】
図４は、本発明の第２実施形態に係るステージ装置におけるＸ軸固定子の解放側の端部を示す拡大平面図である。図４に示すように、本実施形態に係るステージ装置１Ｂが第１実施形態に係るステージ装置１Ａと異なる点は、連結部材９Ａ（図３参照）に代えて連結部材９Ｂを備えている点である。この連結部材９Ｂは、上記把持部材９１、板ばね９４，９４及び板ばね保持部材９５，９５を有している。
【００４６】
板ばね９４は、Ｘ軸方向がたわみ方向となるように構成され、Ｘ軸方向に弾性力を有している。この板ばね９４のＹ軸方向の一端部は把持部材９１に固定されている。一方、他端部は板ばね保持部材９５に固定されている。
【００４７】
板ばね保持部材９５は、板ばね９４を保持するものであり、直方体状を成している。この板ばね保持部材９５は、第２Ｙ軸移動体４ｂの側面に固定されている。
【００４８】
ステージ装置１Ｂでは、Ｘ軸固定子５１がＸ軸方向に伸長し把持部材９１にＸ軸方向の力が作用した場合に、板ばね９４が他の部品よりも先にＸ軸方向に弾性変形して把持部材９１のＸ軸方向の移動をガイドし、これにより、Ｘ軸固定子５１の伸長を解放させる。
【００４９】
このようなステージ装置１Ｂが、第１実施形態に係るステージ装置１Ａと同様な効果を奏することは言うまでもない。
【００５０】
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、第１実施形態に係るステージ装置１Ａでは、ガイド部材９２として、円筒ころ９２ａを有する転がりガイドが用いられているが、これに代えて、滑りガイドや静圧ガイド等が用いられても良い。
【００５１】
また、上記実施形態では、下部把持部材９１ｂを直に第２Ｙ軸移動体４ｂに固定すると共に、ボルトによる上部把持部材９１ａと下部把持部材９１ｂとの締め付けを緩くして、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂがＸ軸方向に十分滑るように調整することで、Ｘ軸固定子５１の伸長を解放するように構成しても良い。要は、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが、Ｘ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するようにＹ軸移動体４に連結されていれば良い。
【００５２】
また、上記実施形態においては、一対のＸ軸シャフトモータ５，５によってＸ軸移動体６を駆動しているが、１つ又は３つ以上のシャフトモータでＸ軸移動体６を駆動しても良い。また、上記実施形態においては、一対のＹ軸シャフトモータ３，３によってＹ軸移動体４を駆動しているが、１つ又は３つ以上のシャフトモータでＹ軸移動体４を駆動しても良い。１つのシャフトモータでＹ軸移動体４を駆動する場合には、例えば、第１Ｙ軸移動体４ａをＸ軸方向について拘束し且つＹ軸方向に非拘束とするガイドレール等を設ければ良い。
【符号の説明】
【００５３】
１Ａ，１Ｂ…ステージ装置、２…定盤、３，３…Ｙ軸シャフトモータ、４…Ｙ軸移動体、５，５…Ｘ軸シャフトモータ、６…Ｘ軸移動体、９…連結部材、４１…Ｙ軸ガイド、９１…把持部材、９２…ガイド部材、９３…保持部材。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定盤上をＸ軸方向に移動するＸ軸移動体と、
前記Ｘ軸方向に沿った軸状のＸ軸固定子、及び前記Ｘ軸移動体に設けられたＸ軸可動子を有し、前記Ｘ軸移動体を前記Ｘ軸方向に駆動するためのＸ軸シャフトモータと、
前記定盤上を前記Ｘ軸固定子と共にＹ軸方向に移動するＹ軸移動体と、
前記Ｙ軸方向に沿った軸状のＹ軸固定子、及び前記Ｙ軸移動体に設けられたＹ軸可動子を有し、前記Ｙ軸移動体を前記Ｙ軸方向に駆動するためのＹ軸シャフトモータと、を備え、
前記Ｘ軸固定子の一端部は、前記Ｙ軸移動体に固定され、
前記Ｘ軸固定子の他端部は、前記Ｘ軸固定子の前記Ｘ軸方向の伸長を許容するように前記Ｙ軸移動体に連結されていること、
を特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記Ｘ軸固定子の前記他端部は、当該他端部を前記Ｘ軸方向に非拘束で且つ前記Ｘ軸方向以外の方向に拘束する連結部材によって前記Ｙ軸移動体に連結されており、
前記Ｘ軸方向において前記Ｘ軸固定子の前記他端部と前記Ｙ軸移動体との間には、隙間が設けられていること、
を特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
前記連結部材は、
前記Ｘ軸固定子の前記他端部を把持する把持部材と、
前記把持部材の前記Ｘ軸方向の移動をガイドするガイド部材と、
前記Ｙ軸移動体に固定され前記ガイド部材を保持する保持部材と、
を有することを特徴とする請求項２に記載のステージ装置。
【請求項４】
前記Ｙ軸移動体の前記Ｙ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドを備え、
前記Ｙ軸ガイドは、前記Ｙ軸移動体において前記Ｘ軸固定子の前記他端部が連結された側に設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のステージ装置。
【請求項１】
定盤上をＸ軸方向に移動するＸ軸移動体と、
前記Ｘ軸方向に沿った軸状のＸ軸固定子、及び前記Ｘ軸移動体に設けられたＸ軸可動子を有し、前記Ｘ軸移動体を前記Ｘ軸方向に駆動するためのＸ軸シャフトモータと、
前記定盤上を前記Ｘ軸固定子と共にＹ軸方向に移動するＹ軸移動体と、
前記Ｙ軸方向に沿った軸状のＹ軸固定子、及び前記Ｙ軸移動体に設けられたＹ軸可動子を有し、前記Ｙ軸移動体を前記Ｙ軸方向に駆動するためのＹ軸シャフトモータと、を備え、
前記Ｘ軸固定子の一端部は、前記Ｙ軸移動体に固定され、
前記Ｘ軸固定子の他端部は、前記Ｘ軸固定子の前記Ｘ軸方向の伸長を許容するように前記Ｙ軸移動体に連結されていること、
を特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記Ｘ軸固定子の前記他端部は、当該他端部を前記Ｘ軸方向に非拘束で且つ前記Ｘ軸方向以外の方向に拘束する連結部材によって前記Ｙ軸移動体に連結されており、
前記Ｘ軸方向において前記Ｘ軸固定子の前記他端部と前記Ｙ軸移動体との間には、隙間が設けられていること、
を特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
前記連結部材は、
前記Ｘ軸固定子の前記他端部を把持する把持部材と、
前記把持部材の前記Ｘ軸方向の移動をガイドするガイド部材と、
前記Ｙ軸移動体に固定され前記ガイド部材を保持する保持部材と、
を有することを特徴とする請求項２に記載のステージ装置。
【請求項４】
前記Ｙ軸移動体の前記Ｙ軸方向の移動をガイドするＹ軸ガイドを備え、
前記Ｙ軸ガイドは、前記Ｙ軸移動体において前記Ｘ軸固定子の前記他端部が連結された側に設けられていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のステージ装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１２−１６０６６３（Ｐ２０１２−１６０６６３Ａ）
【公開日】平成２４年８月２３日（２０１２．８．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２１０２７（Ｐ２０１１−２１０２７）
【出願日】平成２３年２月２日（２０１１．２．２）
【出願人】（０００００２１０７）住友重機械工業株式会社 (2,241)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年８月２３日（２０１２．８．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年２月２日（２０１１．２．２）
【出願人】（０００００２１０７）住友重機械工業株式会社 (2,241)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]