【課題】被加工物の曲面に対して、高精度に加工を行うことができる工作機械を提供する。
【解決手段】平坦な平面Ｗａと湾曲した曲面Ｗｂとを有するワークＷを、平面Ｗａが水平に配置された状態で固定して、曲面Ｗｂに対して孔開け加工を行う工作機械であって、曲面Ｗｂに対して孔開け加工を行う工具Ｔ１を回転可能に装着する下加工ヘッド２５と、下加工ヘッド２５を工具Ｔ１の軸方向に移動させる下サドル２４と、平面Ｗａに対して、曲面Ｗｂの曲率に応じて設定された傾斜角度αで傾いて設けられ、下サドル２４を傾斜角度αの傾斜方向に移動可能に支持する下クロスレール２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】基台部の回転とは独立して、ワーク固定部を回転させることができるのはもちろんのこと、その回転駆動源の基台部への内蔵を可能とする旋回テーブル装置および工作機械を提供する。
【解決手段】電気配線１２１は、Ｅ軸用ロータリジョイント１５１の周囲に、遊びを有するように巻回されている。Ｅ軸用ロータリジョイント１５１の周囲では、ケーブルベア１３１内に挿入されていることが好適である。ケーブルベア１３１の一端部は、Ｅ軸回転部１０１の旋回部１０１Ｂに固定され、ケーブルベア１３１の他端部は、固定部１０２に固定されている。装置本体１００の基台部のＥ軸回りの回転時、Ｅ軸用ロータリジョイント１５１がケーブルベア１３１に対してガイド機能を発揮することができるから、基台部内での電気配線１２１の絡み合いを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】構造が比較的簡単で小型化・低価格が図れ、つなぎ目の位置にスライダが斜め衝突した場合でも本来の衝撃緩衝機能が得られる衝撃緩衝機構を備えた平面モータを実現すること。
【解決手段】水平面に形成されたプラテン上にＸ，Ｙまたはその合成方向に高精度で高速に移動できるように位置制御されるスライダが設けられ、前記プラテンの外周に前記スライダの移動領域を画定するように複数の衝撃緩衝機構が設けられた平面モータにおいて、前記衝撃緩衝機構は、緩衝材としてエラストマー材料を用いることを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめるための移動手段を覆う蛇腹機構を設けることなく、移動手段に切断屑および切削水が付着することを防止することができる切削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルを備えたチャックテーブル機構と、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめる切削送り手段とを具備する切削装置であって、チャックテーブル機構はチャックテーブルを支持する支持テーブルと、支持テーブルの片側を片持ちで支持する移動基台とを具備し、切削送り手段は移動基台を切削送り方向に移動可能に案内する案内手段と、移動基台を該案内手段に沿って移動せしめる移動手段とを具備しており、支持テーブルの下側に案内手段に沿って配置され切削屑および切削水を受け入れる受け入れ開口を有する切削屑収容容器を備えている。 （もっと読む）

【課題】加工力フローに対して剛性が向上したタイプの工作機械のキャリッジ装置を提供する。
【解決手段】複式スライドと同様に調整可能な工作機械用のキャリッジ装置は、装置が消費する加工力に対する剛性が向上している。すなわち、本発明によれば、力の方向に向かって傾斜する第１の軌道に沿ってマシンベース（４）に対して調整することができ、加工力を与えられた第２のキャリッジは力の方向に直交する第２の軌道に沿って第１のキャリッジ（１）で調整される。 （もっと読む）

【課題】 位置決め精度の向上を図り、機構が簡単かつ小型であるとともに、磁化を避ける環境下でも使用できるようにする。
【解決手段】 一の方向に移動自在な第１の移動体と、前記第１の移動体に伴って一の方向へ移動するとともに、前記一の方向と異なる他の方向へ移動自在な第２の移動体と、を備えたステージにおいて、
前記第１の移動体に当接させて、この移動体を前記一の方向へ移動させる第１の超音波モータと、前記第２の移動体に当接させて、この移動体を前記他の方向へ移動させる第２の超音波モータと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】移送時には占有スペースが小さくなるよう変形することができ、復元も容易であるガントリー型作業装置の提供。
【解決手段】ベースユニットは、第１の方向に並設される二つの架台と、第１の方向と直交する第２の方向に配設され、その下端部が回転手段を介して二つの架台に接続されるガントリーフレームと、ガントリーフレームに配設され、ワークに対し作業を行う作業部を備え、ワークテーブルユニットは、ベースユニットの有する二つの架台の間に設置され、ワークを保持するワークテーブルと、それを支持するテーブル架台を備え、作業部とワークの相対位置関係を変化させることにより、ワークに所望の作業を行うことができ、非作業時においては、ワークテーブルユニットをベースユニットから分離すること、並びに、ガントリーフレームを回動させながら二つの架台の間隔を狭めることができることを特徴とするガントリー型作業装置。 （もっと読む）

【課題】搬送ビームでの搬送ストロークが足りない分を補充搬送手段で補うようにした移送システムを実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、一対のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて吸着盤上に載置された加工対象となるワークに対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、一対のＸ軸リニアモータに沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材と搬送スライダ部材間に橋渡しされた搬送ブリッジ部材と搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの下面を支持しＸ軸方向に伸びたアーム部材とを備えワークを支持してＸ軸方向に移動しステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段と、アーム部材の搬送ストロークを補充してワークを搬送する補充搬送手段とを具備したことを特徴とする位置決めステージである。 （もっと読む）

【課題】同様の機能性を有するがより安価に構築される工作機械を提供すること。
【解決手段】それぞれ第１の機能支持ユニット１及び第２の機能支持ユニット１１の移動性を画定する少なくとも２つの移動軸２、１０を有する工作機械において、第１の機能支持ユニット１だけが、その独自のサーボ駆動を提供され、一方、第２の機能支持ユニット５は、係合状態と分離状態との間で切り替え可能であるカプラ・ユニット１３を通して第１の機能支持ユニット１の移動によって駆動される。 （もっと読む）

【課題】中ぐり加工時には主軸を高速回転させることができ、ホーニング加工時には高速な往復動作をさせることのできる複合工作機械を提供する。
【解決手段】複合工作機械１０の主軸駆動部１１は、主軸３２を駆動する。主軸３２の先端には、中ぐり加工用のバイト１００と、研削用の荒用砥石１０２及び仕上げ用砥石１０４とを備えるツールヘッド３０が設けられている。主軸駆動部１１は、主軸３２が挿通可能とされ、且つ、回転自在に支承した第１支持ユニット３４及び第２支持ユニット３６と、第１支持ユニット３４及び第２支持ユニット３６を主軸３２の軸方向に移動させるリニアモータ５８及びコラムスライド機構３８と、主軸３２を回転させる主軸モータ４４とを有する。 （もっと読む）

【課題】 簡単でコンパクトな構造により、高い位置精度を維持しつつ、大きな駆動力を供給可能で、応答速度が速く、制御が容易で、静止部から可動部に対する制御用信号線の配線などの疲労の少ない、信頼性の高いＸＹテーブルを提供する。
【解決手段】 テーブル２上の複数箇所において、テーブルを支える複数のテーブルスライダー５、６と、これらのテーブルスライダー５、６をそれぞれ摺動可能に保持する複数のテーブルホルダー３、４と、これらのテーブルホルダー３、４の少なくとも一端に装着されるスライダー７、８、９、１０と、これらのスライダーを摺動可能に保持するスライダーレール１１、１２と、少なくとも一つのスライダーに対して、スライダーレールの摺動方向に駆動力を付与可能な駆動部と上記のうち可動な部分の一部を結合する制止部３１、３４と、駆動部の動作を制御する制御部と、以上の構成要素を保持するベース９００と、を備えたＸＹテーブル。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置決めを可能とする位置決め装置を提供する。
【解決手段】ボルト１９およびアクチュエータ２１と中間テーブル９とを絶縁ブッシュ２０＿１，２０＿２によって電気的に絶縁し、アクチュエータ２１とメインテーブル１２の金属ブロック２３とを絶縁板２４によって電気的に絶縁したため、電気的なノイズが装置本体に伝播するのを抑制することができる。また、Ｘ軸に対して対称な位置に配置された２つの変位検出センサ３０＿１，３０＿２がそれぞれ中間テーブル９とメインテーブル１０との間の距離の変位を検出するため、中間テーブルとメインテーブルとの間の距離を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 スライダが脱調した時の復調に対するずれ角に対して改善を施すと共に、作業の効率化をはかった平面モータ装置を提供する。
【解決手段】 ＸＹステージと、このＸＹステージ上を移動するスライダと、このスライダのＸＹ方向への移動を制御する制御手段とを備えた平面モータ装置において、前記スライダはＸ，Ｙ方向の少なくともひとつの方向に２系統で推力を発生させる推力発生手段を有し、正常時には前記２系統推力が同方向に駆動され、脱調時には一方の推力を逆方向に駆動するように構成し、ＸＹステージ上に２個のスライダを設けた。 （もっと読む）

【課題】 作業の効率化を図るためにスライダを同一プラテン上に２個設けると共に、スライダが暴走した場合の破損の防止を図った平面モータ装置を提供する。
【解決手段】 ＸＹステージと、このＸＹステージ上を移動するスライダと、このスライダのＸＹ方向への移動を制御する制御手段とを備えた平面モータ装置において、前記ＸＹステージ上に２個のスライダを設けるとともに、前記２個のスライダの衝突防止手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】 より簡易な構成で、メインテーブルを平面上の任意の位置に正確に移動させることができるテーブル装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】 ベッド部２で平行に配置された第１テーブル３及び第２テーブル４は、リニアモータ１５，１６に具備された可動部１９〜２２の駆動に応じて、ガイドレール１３，１４に沿って縦方向（Ｙ方向）へ各々移動する。その上方に配置されたメインテーブル５は、第１テーブル３及び第２テーブル４の各々の面に形成されたメインガイドレール３３，４３に連結されている。リニアエンコーダ６１〜６４により取得された現在位置に基づいて、各可動部１９〜２２を駆動すべき推力が算出される。第１テーブル３及び第２テーブル４がその推力に基づいて移動されるのに応じて、メインテーブル５が平面上の目的位置に移動される。 （もっと読む）

【課題】 移動テーブルを確実に支持するとともに、全体を比較的コンパクトにすることができるテーブル支持機構を提供すること。
【解決手段】 一側面に設けられた第１支持面１０及びこの一側面と反対側に設けられた第２支持面１２を有するベース体２と、第１支持面１０に第１支持機構１８を介して移動自在に支持された第１移動部材４と、第２支持面１２に第２支持機構２０を介して移動自在に支持された第２移動部材６と、一側部側が第３支持機構３２を介して第１移動部材４に、他側部側が第４支持機構３４を介して第２移動部材６に移動自在に支持された移動テーブル８と、を備えたテーブル支持機構。第１及び第２支持機構１８，２０はベース体２に対して所定方向に延び、第３支持機構３２は所定方向に対して所定角度傾斜して延び、第４支持機構は所定方向に対して垂直方向に延びている。 （もっと読む）

【課題】
ベース上で少数の駆動源により正確に対象の位置調整をするとともに回転中心を自由に設定する。
【解決手段】
ベース１８１上に固定された第１，第２Ｘ方向案内部材１１１，１１３に、Ｘ方向移動可能となるように設けられた第１，第２Ｘ方向移動部材１１２，１１４と、第１，第２Ｘ方向移動部材１１２，１１４に固定された第１，第２Ｙ方向案内部材１２１，１２３に、Ｙ方向移動可能となるように設けられた第１，第２Ｙ方向移動部材１２２，１２４と、第１，第２Ｘ方向移動部材１１２１１４をＸ方向移動させる第１，第２Ｘ方向駆動装置１３１，１３２と、第１Ｙ方向移動部材１２２をＹ方向移動させるＹ方向駆動装置１３３とを備え、第１Ｙ方向移動部材１２２，第２Ｙ方向移動部材１２３には、テーブル１９１を軸支する第１，第２軸支部１４１，１４２が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高精度にブレードの位置と切断ラインを一致させ、高品位な半導体装置を短い時間、且つ、比較的低コストで製造することを可能とし、製造の高速化及び効率化を達成する半導体装置の製造装置を提供する。
【解決手段】 ブレードが装着されたスピンドルは、第１のＸ軸キャリッジ３２４Ａと第２のＸ軸キャリッジ３２４Ｂにそれぞれ個別に搭載される。第１のＸ軸キャリッジ３２４Ａは、第１のＸ軸モータ３２８Ａで回転駆動される第１のＸ軸ボールネジ３２７Ａと移動可能に係合し、第２のＸ軸キャリッジ３２４Ｂは、第２のＸ軸モータ３２８Ｂで回転駆動される第２のＸ軸ボールネジ３２７Ｂと移動可能に係合する。そしてＸ軸ボールネジ３２７Ａ、３２７Ｂは、Ｘ軸モータ３２８Ａ、３２８Ｂからそれぞれ同一方向に延在する。また第１のＸ軸キャリッジ３２４Ａ又は第２のＸ軸キャリッジ３２４Ｂはワーク切断位置を検出する検出部２５０を有する。 （もっと読む）