【課題】カスタマイズ性を高め、且つ安定してシャフトモータを冷却することができるステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｙ軸移動体４と、Ｘ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２を有しＸ軸移動体６を駆動するためのＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２を有しＹ軸移動体４を駆動するためのＹ軸シャフトモータ３と、Ｘ軸可動子５２及びＹ軸可動子３２における外周面の一又は複数の領域に対して選択的に着脱可能な冷却ジャケット８Ａ，９Ａと、チューブｔとを備えている。これにより、周囲に配置された部品が干渉しない領域に選択的に冷却ジャケット８Ａ，９Ａを着脱することができる。さらに、Ｘ軸シャフトモータ５及びＹ軸シャフトモータ３の発熱量に合わせて冷却ジャケット８Ａ，９Ａを取り付ける領域を適宜選択し、冷却量を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供すること。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｘ軸固定子５１、及びＸ軸可動子５２を有するＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸移動体４と、Ｙ軸固定子、及びＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータ３とを備え、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａが第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように連結されている。これにより、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長が他端部５１ｂ側で解放される。 （もっと読む）

【課題】比較的軽量で、加速度を受けても変形が少ない搬送部材を提供する。
【解決手段】対象物を搬送するための搬送用部材であって、前記対象物が載置される一方主面１２Ａを備える、セラミックスを主成分とする板状部１２と、該板状部１２の他方主面に接合された、前記板状部１２と略同一のヤング率を有する肋材部１４と、前記板状部１２の前記他方主面１２Ｂと前記肋材部１４とを接合する接合層とを有しており、該接合層の厚さをＴ、前記接合層のヤング率をＹ１、前記板状部１２および前記肋材部１４のヤング率をＹ２としたとき、Ｙ１≦Ｙ２であり、下記式（１）で表すαが、０＜α≦１．１６を満たすことを特徴とする搬送用部材を提供する。
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【課題】プラテン上を２次元移動するスライダの位置を制御するＸＹステージにおいて、光軸調整に高い精度が要求される反射型センサを用いることなく、スライダの接触・衝突を防止できるようにする。
【解決手段】プラテン上の平面を２次元移動するスライダの位置を制御するＸＹステージであって、スライダに、他物体が前記平面上の所定の基準距離内に存在していることを検出する超音波センサが配置され、超音波センサが、基準距離内に他物体が存在していることを検出すると、超音波センサが配置されているスライダの移動を停止させる制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】浮揚手段から噴出される空気が、スライダ部上方のセンサに悪影響を及ぼすことを抑制し、装置全体の性能低下を低減する。
【解決手段】この位置決め装置には、対象物が載置されるスライダ部と、スライダ部を水平移動させるためのプラテンと、スライダ部をプラテンから浮揚させる浮揚手段と、浮揚手段により浮揚したスライダ部を水平移動させる平面モータと、浮揚手段に空気を供給する空気供給部と、空気供給部から供給された空気を冷却する冷却部と、浮揚手段から噴出された空気の温度を検出する温度センサと、温度センサの検出結果に基づき冷却部を制御する温度制御部とを備えている。温度制御部は、浮揚手段から噴出する空気の温度が、温度センサの検出結果よりも低くなるように、冷却部を制御する。 （もっと読む）

【課題】ソフトウェア的振動制御部と機構的反力相殺部とを共に利用して移動体のＸ軸駆動時に発生される反力による振動をより完全に減衰させることができ、これにより、高精密度の移送装置実現が可能になる。
【解決手段】ソフトウェア（以下、‘Ｓ／Ｗ’ともいう）振動制御方式と機構的反力相殺方式とを共に使用し、加速システムで発生される振動を、より完全に減衰させることができる反力相殺装置、それの質量体設定方法、それを用いた反力相殺方法及びそれを備えたディスペンサーを提供 （もっと読む）

【課題】半導体製造分野で用いられるＳＥＭの試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を簡易な構造で可能とするステージ装置の提供。
【解決手段】ステージ装置は、ベースに支持されて移動するテーブルを備えるとともに、そのテーブルに組付けられる制動機構１７ｘを備えている。制動機構１７ｘは、押圧作動力を発生させる押圧アクチェータ４１、ベースに設けられた制動面１９ｘを押圧作動力に応じた押圧力で押圧する押圧部材４３、および押圧部材に押圧作動力を伝達する動力伝達部材４２を有し、押圧部材は、押圧力を制動面の法線Ｐに対し傾けて作用させるようにされ、それにより押圧力から法線方向の分力として制動力５２を得るとともに、制動面内の分力として推力５３を得るようにされ、そして推力により、当該推力に応じた移動距離についてテーブルに移動を生じさせることで高精度な位置決めをなさせるとともに、制動力によりテーブルの停止状態を安定化させるようにされている。 （もっと読む）

【課題】可動プレートのＸＹ並進方向の可動範囲から独立してθ方向の可動範囲を制限することを可能とする位置決め装置を提供する。
【解決手段】ＸＹθステージ１は、可動プレート３に載置される半導体ウエハＷのＸＹθ方向の位置決めを行う装置であり、前記可動プレート３を、ＸＹθ方向に駆動するアクチュエータ４１ｘ，４３ｘ，４１ｙ〜４４ｙと、θ方向の可動範囲を制限する回転制限部２０と、を備えている。前記回転制限部２０は、前記可動プレート３に対するＸ方向の並進移動とＹ方向の並進移動とが許容され、かつθ方向の回転移動が規制されるように前記可動プレート３にリンクされた円筒部材２５と、前記基台フレーム５に対して固定され、前記円筒部材２５の内壁面との間に間隙をもって円筒部材２５に挿通された丸棒部材２７と、を有している。 （もっと読む）

【課題】
可動テーブルの重量を増加させることなく、ステージ停止時における十分な制動力を発生するブレーキ機構を有するステージ装置を構成する。
【解決手段】
ステージ機構１は、Ｘベース１２０の上に固定されるＸ方向の案内機構としてのＸガイド１２１と、これに拘束されてＸ方向に移動可能なＸテーブル１２２と、これに可動部を固定されたＸアクチュエータ１２３と、Ｘベース１２０の上に固定されたＸテーブル１２２の制動機構であるＸブレーキ１２４などから構成される。制御装置２は、ステージ停止時にＸブレーキ１２４をＸテーブル１２２の下面に押し付けて制動力を発生させ、ステージ停止後にはＸアクチュエータをサーボ制御をオフにする位置決め制御を行う。 （もっと読む）

【課題】Ｚ軸方向とＺ軸回りθ方向とにテーブルを駆動する場合において、より大きな荷重をテーブルに負荷でき且つテーブルの位置決め制御の制御性を高める。
【解決手段】ステージ装置１は、Ｚ軸方向を軸線Ｇ方向として配置され軸線Ｇ回りに回転可能な回転軸５と、回転軸５上に配置され軸線Ｇ回りに回転可能な回転リング６と、回転軸５及び回転リング６のそれぞれを軸線Ｇ回りに回転駆動するアクチュエータ７と、を備え、Ｚ軸方向に傾斜しながら軸線Ｇ回りに螺旋状に延在するスパイラル面Ｓを介して回転軸５及び回転リング６が互いに接触している。スパイラル面Ｓで回転運動が並進運動に変換されるため、接触面積を増大させてテーブル４の支持剛性を高めることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ステージにかかる偏荷重による位置ずれを補正できるステージの昇降装置を実現する。
【解決手段】ステージをＺ軸方向に移動させる昇降機構と、位置指令値に基づいてステージをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置決めする位置決め部とを有するステージの昇降装置において、ステージに加わる偏荷重の大きさと、この偏荷重がステージに加わることによって生じたステージのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれ量とを対応させた補正テーブルを格納し、この補正テーブルは補正テーブル用メモリと、荷重センサと、ステージのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置を検出する位置センサと、位置指令値に基づいて偏荷重が加わっているステージの位置を求め、位置に応じた補正テーブルを選択し、荷重センサの検出荷重から位置ずれ量を読み出すずれ量算出手段と、このずれ量算出手段で読み出した位置ずれ量で補正した位置指令値と、荷重による位置ずれを補正する位置制御部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】一の水平方向に移動可能な第１のテーブル上にて支持された第２のテーブルの振動を制振する。
【解決手段】装置１は、Ｘ方向に移動可能なＸＹ軸テーブル２と、ＸＹ軸テーブル２上にて支持部３で支持されたＺ軸テーブル４と、Ｘ方向に互いに離れて配置されＺ軸テーブル４のＺ方向速度を検出する一対のスケール１０ａ，１０ｂと、Ｘ方向に互いに離れて配置されＺ軸テーブル４を鉛直方向に駆動する一対のモータ１１ａ，１１ｂと、検出されたＺ方向速度に基づいてモータ１１ａ，１１ｂの駆動を制御するコントローラ１２と、を備え、スケール１０ａ，１０ｂでＺ方向速度を検出することでＺ軸テーブル４のピッチング振動挙動を求め、モータ１１ａ，１１ｂを駆動し、ピッチング振動が相殺されるようにＺ軸テーブル４をピッチング方向Ｐに回転する。 （もっと読む）

【課題】試料移動ステージをスライドさせて生じるスライドの変形が試料テーブルに伝達されることを防止する試料移動ステージに関する。
【解決手段】ベースフレームに取り付けられ第１のガイドブロックに沿って移動する第１のスライド、および前記第１のスライドに取り付けられかつ第２のガイドブロックに沿って移動する第２のスライドが相互横断方向に取り付けられる可動部と、前記第２のスライドに形成されたひずみメカニズムモジュール５０を仲介して取り付けられた試料テーブルによって試料を移動させる。前記ひずみメカニズム５０は、上下方向に沿って一定間隔で上記第２のスライドの上面を規則的に貫通する多数の緩衝孔５３と、前記緩衝孔５３の中心に当たるように切断され、かつ上記試料テーブルが取り付けられるブリッジ部５６および取付部５２の変形空間を提供する多数の変形ライン５４とからなり、スライドによる変形が試料テーブルに伝達されない。 （もっと読む）

【課題】低姿勢・低重心を実現することができるステージ装置、及びこれを備える半導体検査装置を提供する。
【解決手段】
ステージ装置１は、開口部３ａを有する定盤３と、該定盤３の開口部３ａに設けられるＹ軸シャフトモータ５と、該Ｙ軸シャフトモータ５と平行に設けられる２つのＹ軸ガイドレール１２Ａと、該Ｙ軸ガイドレール１２Ａに案内されながらＹ軸シャフトモータ５の駆動により定盤３に対して可動であり、凹部４ｂを有するＹ軸ステージ４と、該Ｙ軸ステージ４の側部に設けられるＸ軸シャフトモータ６と、該Ｘ軸シャフトモータ６と平行に設けられる２つのＸ軸ガイドレール１５Ａと、該Ｘ軸ガイドレール１５Ａに案内されながらＸ軸シャフトモータ６の駆動によりＹ軸ステージ４に対して可動に設けられたＸ軸ステージ７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルのオーダの精密度が要求される鉛直方向超精密位置決め装置に対応し得る重力補償機構を提供する。
【解決手段】重力補償機構は真空シリンダ作動器１０と、真空ポンプ１４とを具備する。真空シリンダ作動器は、真空ポンプ１４と連通させられた真空シリンダ１０Ａと、この真空シリンダの一端面側に設けられた非接触シールリング１０Ｂと、この非接触シールリングに挿通させられたピストン１０Ｃとから成り、ピストンに鉛直方向下向きに及ぼされる荷重が真空ポンプの作動により補償させられる。 （もっと読む）

【課題】 高分解能ステージと、低分解能ステージとを交換する手間を無くし、小型、軽量な位置決めステージと、この位置決めステージに使用される積層型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 積層型圧電素子１００と、該積層型圧電素子に通電することによって前記積層型圧電素子に変位を発生させる電気回路１３０とを備えた積層型圧電アクチュエータ２００において、前記積層型圧電素子１００が電気的に絶縁された複数の小積層型圧電素子１１０，１２０に分割され、電気回路１３０が切替手段１４０を有し、該切替手段１４０により、前記複数個の小積層型圧電素子の全てに通電する場合と、一部に通電する場合とに切替可能とした。 （もっと読む）

【課題】小形・軽量化でき、搭載物の変形や位置決め誤差を生じることが無いアライメントステージを提供する。
【解決手段】テーブル１０とベース１００間に配置された推力を発生する少なくとも１つアクチュエータ１５０Ａと、前記テーブル１０上に載置された搭載物４を直線Ｘ方向、直線Ｙ方向、回転θ方向に移動させる支持機構１２１，１２２，１２３を備えたアライメントステージ１において、
前記アクチュエータ１５０Ａは、Ｘ方向とＹ方向の２方向に推力を発生する平面モータ１６０と前記支持機構１２１，１２２，１２３により構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】基台下の構造について設計の自由度を高めつつ大型化を抑制することを可能とするステージ装置を提供する。
【解決手段】基台１０と、基台１０上で一軸方向に移動可能に設けられるガントリ部３０とを備えたステージ装置１であって、基台１０の側方に張り出すように設けられ、一軸方向に沿って延び、ガントリ部３０の移動を案内するガイドレール４０が設置される張り出し片５２と、基台１０の側方であって張り出し片５２の下方に設けられ、ガントリ部３０の移動に追従して変形し、ガントリ部３０を制御するケーブルをまとめて配線するケーブルキャリア６０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】角度調整テーブル装置のテーブルの回転角度と駆動側の直線駆動量の関係を最適化して、該関係が線形的に変化する角度調整テーブル装置を提供する。
【解決手段】ベース１上に回転自在に設けたテーブル４を所定の回転方向に位置決めする位置決め機構を備えたテーブル装置において、位置決め機構は、テーブルの回転半径方向と直交して延出した直線駆動手段７と、直線駆動手段による直線運動を円運動に変換しテーブルに伝達する連結部とを具備し、連結部は、直線駆動手段に固定されるブラケット１１に第１の連結点１２ａで旋回可能に連結された第１の直線案内１４ａと、円運動するテーブル４と第２の連結点１２ｂで旋回可能に連結された第２の直線案内１４ｂと、第１及び第２の直線案内に摺動可能に架け渡され、直線駆動手段と反対側を旋回中心とする連結アーム２０を有し、直線駆動手段による直線駆動によってテーブルが所定の回転方向に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】ステージの変形や変位を抑制しつつ、高精度に傾斜できるステージ装置を提供する。
【解決手段】支持部材１７が傾斜すると、その方向（連結部１７ｃの幅方向即ちステージ２１の面に垂直な方向）の連結部１７ｃの剛性は比較的高いので、それに応じて支持部１７ｂも傾斜する。また相対変位部１７ａと支持部１７ｂとを連結する連結部１７ｃは、その面に垂直な方向即ちステージ２１の面に沿った方向の剛性が低く、また隣接する相対変位部１７ａ、１７ａはばね板１７ｄにより連結されているので、固定された相対変位部１７ａに対して、ステージ２１の面に沿った方向に変形しやすくなっており、図４の二点鎖線で誇張して示すように、変位した相対変位部１７ａにおけるステージ２１の面に沿った方向の変位を許容し、ストレスを解放するようにしている。 （もっと読む）