【課題】主軸ヘッドの上下動に対して生じるバランスシリンダの圧力変化を、高速かつ高精度に安定化させることができる主軸装置およびこれを備えた工作機械を提供。
【解決手段】主軸ヘッド４３の重量を支える付勢力を発生するバランスシリンダ４４と、バランスシリンダを制御する圧力レギュレータ７０とを備える。圧力レギュレータは、空気供給源からの空気の等温化圧力容器への流入流量を規制し、該容器内の圧力を一定に保持する。サーボ弁を操作する圧力制御手段は、圧力計によって検出された圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流量計で計測された流入流量をフィードバック制御する流入流量制御系を構成するとともに、この流入流量と圧力微分計で計測された等温化圧力容器内の圧力微分値とに基づいて、等温化圧力容器から流出する空気の流出流量を推定し、推定した流出流量を流入流量制御系にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸搬送機構の両端側に駆動力を作用させることができ、部品点数を少なくすることができるＸＹステージ機構を提供する。
【解決手段】移動テーブル２０を互いに直交する２方向に移動させるＸＹステージ機構であって、前記２方向のうち何れか一方の方向に沿って延在し、互いに平行に並べて設けた２つのラックギア３０と、２つのラックギアの間に前記２方向のうち他方の方向に沿って延在して設けられ、かつ外周面に移動テーブルと係合する螺子溝を形成した棒状の部材であって、自身の中心軸回りに回転する場合に、移動テーブルの前記他方の方向に沿って移動させる送り部材４０と、送り部材と平行に設けた棒状の部材であって、各々のラックギアと噛合うピニオンギア５２，５３を有して成り、自身の中心軸回りに回転する場合に、送り部材と一体的に前記一方の方向に沿って移動して移動テーブルを前記一方の方向に沿って移動させるガイド部材５０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置１を、１個の正・逆回転可能なモータ１００と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ６００を保持するＸ軸方向キャリッジ４００Ｘ及びＸ軸方向キャリッジ４００Ｘと、モータ１００の回転力をＸ軸方向キャリッジ４００ＸをＸ軸方向に移動させる経路に伝達するか、Ｙ軸方向キャリッジ４００ＹをＹ軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ６００の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ１００の回転軸の回転運動をＸ軸方向キャリッジ４００Ｘの直線往復運動又はＹ軸方向キャリッジ４００Ｙの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、Ｘ軸方向キャリッジ案内手段及びＹ軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ６００の移動目標に応じてモータ１００の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 （もっと読む）

【課題】１軸方向に移動自在なサドルに１軸方向と直交する方向に移動するテーブルを搭載した工作機械において、テーブルに発生するヨーイングを補正する。
【解決手段】サドル３上にＹ軸方向に所定間隔をあけてＸ軸方向に移動する一対のリニアモータ７を配置するとともに、Ｙ軸方向と平行となるようにＹ軸ガイド８を取り付ける。テーブル４をＹ軸ガイド８に、Ｘ軸方向には固定的に、テーブル４を通るＺ軸回りには所定量回動可能に連結する。テーブル４のＸ軸方向の両端部分のＹ軸方向における位置を検出し、この検出位置に基づいて各リニアモータ７の位置を制御する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造及び改善された機械強度を有する工作機械を提供する。
【解決手段】垂直な１つの前壁３とこれに対して直角に配設された２つの側壁２，２’とを有する支柱１を有する１つの機械フレームと、前壁３に配設された１つの工作物保持装置８と、工具１４，１４’を有する少なくとも１つの工具ホルダ１０とを有し、前壁３が、仮想平面Ｅ内に位置する、軸状の工作物７を加工するための工作機械において、垂直ガイド５と工作物保持装置８が、仮想平面Ｅの向かい合う両側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】直動２軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第１の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第１のレールと、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第２のレールと、前記一対の第１のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第１のレール間を連結する第１の連結ユニットと、前記一対の第２のレール間の幅方向にのみ弾性変形可能な弾性部材によって前記一対の第２のレール間を連結する第２の連結ユニットとからなる平行ずれ吸収機構を備え、各方向における直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 （もっと読む）

【課題】直動２軸搬送ユニットにおいて、スライドガイドや送り機構等の複数の直動要素間の平行ずれを一括で吸収し、滑らかな動作を可能とする。
【解決手段】第１の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第１のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第１のスライドブロックと、前記第１のレールと前記第１のスライドブロックを相対的に移動させる第１の送り機構と、前記第１の方向と直交する第２の方向に沿って互いに平行に設けられた一対の第２のレール及びそれに摺動可能に取り付けられた複数の第２のスライドブロックと、前記第２のレールと前記第２のスライドブロックを相対的に移動させる第２の送り機構と、前記第１の送り機構及び前記第２の送り機構に対して取り付けた振れ取り機構とを備え、前記第１の位置決め手段及び前記第２の位置決め手段の各直動要素間の平行ずれを一括で吸収する。 （もっと読む）

【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】重心位置が低く、高剛性のステージ装置を提供する。
【解決手段】
第一の可動部材１３を一の平面内で所望の方向に移動させることができるように構成されたステージ装置１０であって、第一の可動部材１３に設けられた第二の駆動部と、第二の駆動部に設けられた第二の可動部材１５とを有し、第二の駆動部は、第一の動力伝達部３２と、第一の動力伝達部３２を移動させることができる動力部３１と、第一の動力伝達部３２の移動に伴って前記一の平面に対して垂直な方向に移動する第二の動力伝達部３３とを有し、第一の駆動部と動力部３１は、台座１１と第一の可動部材１３との間に配置され、動力部３１は第一の可動部材１３に固定され、第二の動力伝達部３３は第二の可動部材１５に固定され、動力部３１は第一、第二の動力伝達部３２、３３を介して第二の可動部材１５を前記一の平面に対して垂直な方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】加工装置Ａの小型化及び低コスト化を図れる構造を実現する。
【解決手段】主軸１２を円筒状の支持部材３０の内部に支持固定する。支持部材３０は、移動部材２３ｘに軸受部３３によりｚ軸方向の変位自在に支持される。また、支持部材３０の外周面は、案内面３０ａとして軸受部３３の複数のコロ５１と当接する。ｚ軸駆動部２０ｚの送りねじ２２ｚが回転すると、ナット部３１と共に支持部材３０がｚ軸方向に移動する。この際、支持部材３０は、案内面３０ａが移動部材２３ｘに固定された軸受部３３の複数のコロ５１と当接し、複数のコロ５１が従動回転することにより、ｚ軸方向に案内されつつ円滑に移動する。これにより、主軸１２の支持構造の部品点数を少なくしたりして、加工装置Ａの小型化及び低コスト化を図れる。 （もっと読む）