【課題】主軸ヘッドの上下動に対して生じるバランスシリンダの圧力変化を、高速かつ高精度に安定化させることができる主軸装置およびこれを備えた工作機械を提供。
【解決手段】主軸ヘッド４３の重量を支える付勢力を発生するバランスシリンダ４４と、バランスシリンダを制御する圧力レギュレータ７０とを備える。圧力レギュレータは、空気供給源からの空気の等温化圧力容器への流入流量を規制し、該容器内の圧力を一定に保持する。サーボ弁を操作する圧力制御手段は、圧力計によって検出された圧力をフィードバック制御する圧力制御系をメインループとし、その内側に、流量計で計測された流入流量をフィードバック制御する流入流量制御系を構成するとともに、この流入流量と圧力微分計で計測された等温化圧力容器内の圧力微分値とに基づいて、等温化圧力容器から流出する空気の流出流量を推定し、推定した流出流量を流入流量制御系にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】長時間運転停止した後の起動時にも、短時間で負圧ポケット内を所定の負圧にできる、スライドテーブル装置を提供する。
【解決手段】テーブル３の負圧ポケット３ａ、３ｂは吸引流路３ｃ、吸引管路５によりエジェクタ６の吸引口６ａに接続している。エジェクタ６の噴出口６ｂには供給管路８が接続し、供給管路８にはポンプ７が接続している。エジェクタ６の排出口６ｃには排出管路９ａが接続しており、排出管路９ａには弁制御装置１２により開閉動作を行う電磁開閉弁１０が接続し、電磁開閉弁１０には排出管路９ｂが接続し、回収タンク１１へ連通している。テーブル起動時にポンプを起動すると同時に電磁開閉弁１０を閉動作し、負圧ポケット３ａ、３ｂに潤滑油が充満した後に電磁開閉弁１０を開動作する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受を含む軸受構造、及び静圧軸受へのオイルの供給構造を簡略化することができて、装置全体を小型に構成することができる静圧軸受を用いた移動案内装置を提供する。
【解決手段】案内体１２上に静圧ポケット１４Ａ，１４Ｂを介して移動体１３を支持するとともに、駆動手段により移動体１３を移動させるように構成する。駆動手段としてリニアモータ１５を用いる。リニアモータ１５の固定子１５ａと移動子１５ｂとの間の吸引力あるいは反発力を静圧ポケット１４Ａの部分における案内体１２と移動体１３との接近方向への力として作用させる。 （もっと読む）

【課題】直線運動移動体の水平精度と耐久性を失わないように金属または合金のハニカムコアに保護強化板を簡単に強固に取り付けること。
【解決手段】サドル１は、ハニカムコア１０と上下の保護強化板２０とでなる。ハニカムコア１０は、複数の同長のハニカムセル１０Ａで形成される。ハニカムセル１０Ａは、鋼鉄よりも比重が小さい金属または合金でなる。保護強化板２０は、炭素繊維強化プラスチックでなる。保護強化板２０は、ボルト３０でハニカムコア１０に固定される。ハニカムコア１０に跨って締結補助板８が設けられる。ボルト３０は、一端が締結補助板８の下面に接触し他端がナット４０の座面４０Ａに接触してボルト３０の軸３０Ｂを包囲するように配設されボルト３０の締付力以上の強度を有する複数の同長のスペース管５０を介在させてナット４０に螺合される。 （もっと読む）

【課題】カスタマイズ性を高め、且つ安定してシャフトモータを冷却することができるステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｙ軸移動体４と、Ｘ軸固定子５１及びＸ軸可動子５２を有しＸ軸移動体６を駆動するためのＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸固定子３１及びＹ軸可動子３２を有しＹ軸移動体４を駆動するためのＹ軸シャフトモータ３と、Ｘ軸可動子５２及びＹ軸可動子３２における外周面の一又は複数の領域に対して選択的に着脱可能な冷却ジャケット８Ａ，９Ａと、チューブｔとを備えている。これにより、周囲に配置された部品が干渉しない領域に選択的に冷却ジャケット８Ａ，９Ａを着脱することができる。さらに、Ｘ軸シャフトモータ５及びＹ軸シャフトモータ３の発熱量に合わせて冷却ジャケット８Ａ，９Ａを取り付ける領域を適宜選択し、冷却量を調整することができる。 （もっと読む）

【課題】安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供すること。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｘ軸固定子５１、及びＸ軸可動子５２を有するＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸移動体４と、Ｙ軸固定子、及びＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータ３とを備え、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａが第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように連結されている。これにより、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長が他端部５１ｂ側で解放される。 （もっと読む）

【課題】移動可能なキャリッジとリニアガイドを備えた装置を提供する。
【解決手段】装置は、移動可能なキャリッジと、該キャリッジを案内するためのリニアガイドであって、第１滑り面を形成する第１案内経路部と、第２滑り面を形成する第２案内経路部とからなる。第１滑り面を形成するために、キャリッジは、少なくとも１つのポケットを有し、このポケットが、第１案内経路部に沿って滑ることができ、キャリッジに作用する軽減力を作り出すために潤滑剤がポケットに圧力下で保持されている。第２案内経路部は、キャリッジに作用する摩擦力を生じる島状面を有し、軽減力を作り出すために少なくとも１つのポケットに圧力媒体が保持される時に、第１滑り面が第２滑り面の荷重を軽減するように配置される。 （もっと読む）

【課題】 省エネルギーとした、例えば超大形ワーク用の工作機械を提供する。
【解決手段】 円形のワークＷをこのワークＷの中心軸が鉛直方向を向く状態で支持するワーク支持体４を設ける。このワーク支持体４の軸心Ｏを中心とする円周軌道に沿って走行する周回走行体本体１４を設ける。この周回走行体本体１４に径方向に進退自在に径方向進退部材１５を設け、この径方向進退部材１５に工具１７を直接または間接的に取付ける。周回走行体本体１４と共に走行する工具１７により、ワーク支持体４に支持されたワークＷを切削または研削加工する。 （もっと読む）

【課題】リニアモータの出荷又はメンテナンス等を行う際は、長尺固定子を磁気的中立位置に精密に保持することができ、案内機構が不要な状態にある場合、長尺固定子に対して挾持部材を非接触状態にして不要な摩擦を低減することができるリニアモータを提供する。
【解決手段】長尺固定子４と、長尺固定子４の長手方向へ相対移動可能に挿通された筒状可動子３とを有するリニアモータに、筒状可動子３の内面から突出し、長尺固定子４を挾持する複数の挾持部材３０を備え、複数の挾持部材３０夫々は、筒状可動子３の内面から突出したシャフト３０２と、シャフト３０２の回動によって、長尺固定子４に対して接離するよう、シャフト３０２の中心線から偏心させてシャフト３０２の端部に固定された円柱部材３０１とを備える。 （もっと読む）

【課題】長ストローク化、小型化及び振動を抑制することが可能な半導体製造装置用のＸＹステージを提供する。
【解決手段】Ｘ軸リニアモータとＹ軸リニアモータとを有し、Ｘ軸リニアモータ及びＹ軸リニアモータは、移動部としての３相のコイルからなるコイル部及び固定部としてのヨーク部を有し、ヨーク部は、長手方向の中心線に対してその上部及び下部に開口部が設けられており、上部の開口部の上面及び下部の開口部の下面には複数の永久磁石の表面がＮ極、Ｓ極となるように交互に配列され、ヨーク上部の開口部の永久磁石と垂直方向におけるヨーク部下部の開口部の永久磁石は、同じ極となるように配列され、中心付近のヨークに３相のコイルが挿入された構成を成し、ヨーク部をコイル部と同一軸方向に移動可能なヨーク部ガイドを介してベース上に固定し、コイル部の移動時の反力を吸収するように構成し、移動テーブルの下部にＸ軸リニアモータを配する。 （もっと読む）

【課題】構造が非常に簡便でありながらも、工作物を立体加工することができる３Ｄ可変型加工システムを提供する。
【解決手段】本発明の３Ｄ可変型加工システムは、地面から離隔して配置される支持フレーム１０と、支持フレーム１０に回動可能に設けられる円形の回動フレーム２０，３０と、回動フレーム２０，３０の円周上でスライド可能に設けられるスライド部材４０，５０と、スライド部材４０，５０に垂直に設けられ、回動フレーム２０，３０に沿って旋回できるように設けられる主軸６０とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】ステージの移動方向の剛性を向上させる。
【解決手段】位置決めステージにおいて、ステージ１の移動方向の位置検出点とステージ１が振動して姿勢変化したときにステージ１の位置が変動しない節の位置を合わせる。この位置を合わせるために、ステージ１の重量分布を調整するための第１の錘１１及び第２の錘１２を有している。そして、ステージ１の伝達特性の振動モードが０ｄＢに近づくように第１の錘１１及び第２の錘１２の調整量を決定する。 （もっと読む）

【課題】定盤の振動を抑制すると共に、ステージ装置を小型化する。
【解決手段】機構５０では、フレーム２１でシャフト部１２ｘが架台２に連結固定されると共に、ガイド２２でシャフト部１２ｘが定盤４に対してＸ軸方向に相対移動可能とされ、定盤４とＸ軸シャフト部１２ｘとの間でＸ軸反力が逃がされる。よって、Ｘ軸反力がシャフト部１２ｘに加わると、このＸ軸反力は定盤４に伝達されることなく架台２に伝達される。また、Ｙ軸及びＺ軸方向におけるシャフト部１２ｘと定盤４との相対移動がガイド２２で規制されることから、これらの位置関係が保持される。さらに、シャフト部１２ｘが逃げ機構２４を介して架台２に連結固定されることから、例えば架台２に加わる外力でシャフト部１２ｘがズレることが抑制される。よって、シャフト部１２ｘとコイル部１３ｘとの間隔を大きくすることなくこれらの接触を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】工作機械の精密送り装置を提供すする。
【解決手段】
リニアモータを利用した案内面への与圧付与手段を備えた。また、重力の作用する軸については、立設するコラム１４の左右にV−Vガイド１０を設け、コロ軸受１９ａ １９ｂを介して、Ｖ溝転がり案内面１８ａ、１８ｂに沿って、凸状摺動面１６ａ １６ｂを摺動するように構成し、中央に主軸を備えたYステージ１６を昇降自在に案内するように構成した工作機械の精密送り装置であって、リニアモータの磁力による吸引力により、コラム１４の左右に設けたＶ溝転がり案内面１８ａ １８ｂ側に、Yステージ１６の左右に設けた凸状摺動面１６ａ、１６ｂを押し付けるよう、Yステージ１６側に予圧付与する予圧付与手段を具備した。 （もっと読む）

【課題】電源遮断時に主軸ヘッドの落下を防止するリニア駆動式工作機械のブレーキ装置として電源遮断時にガススプリングのシリンダ部材を制動するように構成したバランサ装置を提供する。
【解決手段】リニア駆動式工作機械のバランサ装置５は、主軸ヘッドの自重の一部をキャンセルするように主軸ヘッドに固定されたシリンダ部材を有するガススプリングを有し、このバランサ装置に、電源遮断時に主軸ヘッド２の落下を防止するブレーキ装置２５を設け、ブレーキ装置は、コラム３に固定されてシリンダ部材２１に外嵌されたケース部材と、このケース部材に支持され且つシリンダ部材に外嵌されたコレット部材と、ケース部材に装備され、電源遮断時にコレット部材を径縮小状態に圧縮してシリンダ部材を制動するブレーキ状態に切換えると共に電源非遮断時にコレット部材を径拡大状態に開放してブレーキ状態を解除する駆動手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】Ｙ軸移動体のヨーイング角度を所望に制御し、且つＸ軸移動体の走り精度を高める。
【解決手段】ＸＹステージ装置１は、定盤２上でＸ軸方向移動するＸ軸移動体３、定盤上でＹ軸方向移動すると共にＸ軸移動体３のＸ軸方向移動をガイドするＹ軸移動体４、Ｙ軸移動体４をＹ軸方向駆動するシャフトモータ１４Ａ，１４Ｂ、Ｙ軸移動体４のヨーイング角度を検出するリニアスケール１６Ａ，１６Ｂ、を備えている。ＸＹステージ装置１では、シャフトモータ１４Ａ，１４Ｂの駆動がヨーイング角度に基づきコントローラ１７によって制御されるため、ヨーイング角度に応じてシャフトモータ１４Ａ，１４Ｂのそれぞれを適宜制御できる。また、転がりガイド１１でＹ軸移動体４のＸ軸方向一端部が支持され、リフトエアパッド１２でＹ軸移動体４のＸ軸方向他端部が支持されるため、Ｙ軸移動体４がＸ軸方向に完全拘束されない。 （もっと読む）

【課題】ケーブルに生じる力が外部の構造に伝わりにくい若しくは伝わらない構造の直線駆動装置を提供すること。
【解決手段】可動部であるスライド１０、可動部であるカウンタスライド１２、および固定部であるガイド１４を有し、スライド１０とカウンタスライド１２はガイド１４に対して軸受を有し同一直線上を移動可能に構成し、スライド１０の駆動力をカウンタスライド１２とスライド１０の間で発生させる駆動手段を備え、スライド１０を駆動する駆動力の反作用をカウンタスライド１２が受ける構造とした直線駆動装置３００において、スライドに接続されたケーブル３０が、カウンタスライド１２の中継部分３４においてクランプまたは中継されており、カウンタスライド１２の重量がスライド１０の重量より重いことを特徴とする直線駆動装置。 （もっと読む）

【課題】比較的長寸の加工物の平面を高精度に加工でき、熱伝達性も低く、熱変位による平面度の狂いもなく、組立性のよい分離長尺テーブルを有する加工装置を提供する。
【解決手段】平面研削盤１００は、ベース台２上に載置されてフレキシブルな連結具７を介して連結された分離テーブル１Ａ，１Ｂからなる長尺のテーブル１を移動させるリニアモータ４等からなる移動機構部と、砥石５Ｂを移動及び回転支持する装置本体５Ａよりなる加工手段である砥石台５と、ドレッサ６等とからなり、熱伝達や熱変位は連結具７の存在により分離構造となっているため低減される。また、分離構造のため組立性も良い。 （もっと読む）

【課題】推力が大きく、機器の大きさに関する設計の自由度が高いリニアモータ及びリニア移動ステージ装置を提供する。
【解決手段】リニアモータ１は、２つの磁石列３と、２つのコイル列５とを有する。２つの磁石列３は、磁化方向が駆動方向（Ｘ軸方向）に直交するように、且つ、磁極の向きが交互に逆転するように、駆動方向に配列された複数の磁石１１をそれぞれ有し、同種の磁極を対向させるように磁化方向（Ｙ軸方向）において対向配置されている。２つのコイル列５は、２つの磁石列３の間において、磁石列３に開口１３ｃを向けて駆動方向に配列された複数のコイル１３をそれぞれ有し、磁化方向において対向配置されて互いに固定されている。 （もっと読む）

【課題】バーミラーを用いることなく、干渉計の測長光路を減圧して位置決め精度を向上させることで、ステージ外部の減圧が困難な加工装置等への適用及び装置の小型化を可能にする。
【解決手段】位置決め装置の固定部であるベース１は、Ｙガイド面２を有し、Ｙ凹空間部６、シール部７、Ｙ軸受８を有するＹスライダ３は、Ｙガイド面２に沿って移動する。Ｘ凹空間部９、シール部１０、Ｘ軸受１１を有するＸスライダ５は、Ｙスライダ３上をＸガイド面４に沿って移動する。干渉計２５ａ及びミラー２７ａ、２７ｂは、Ｘスライダ５のＸ凹空間部９に配置され、干渉計２５ｂ及びミラー２７ｃ、２７ｄは、Ｙスライダ３のＹ凹空間部６に配置される。各凹空間部６，９は、それぞれ排気ホース１５、１６によって減圧される。 （もっと読む）