【課題】移動体の摺動面の潤滑油の入替りを促進し、潤滑油の温度上昇を防止できるようにすること。
【解決手段】支持体の案内面１２に摺動部材１４の摺動面１０を接触させながら案内する移動体の案内装置において、摺動面１０に開口する潤滑油帰還路２８と、潤滑油帰還通路２８にそれぞれ連通すると、潤滑油供給通路２４と潤滑油排出通路２６とを移動体に設け、移動体の移動に伴い摺動面１０と潤滑油帰還通路２８との間で潤滑油を帰還させながら、潤滑油供給通路２４を介して潤滑油源から摺動面１０へ潤滑油を供給し、潤滑油排出通路２６を介して摺動面１０から外部へ潤滑油を排出するようにした。 （もっと読む）

【課題】加工中の熱変形量を簡単な構成及び制御でもって効果的に抑えることができる工作機械を提供すること。
【解決手段】主軸構造体４を支持するための第１ベッド部と、工具取付構造体８を支持するための第２ベッド部と、これらベッド部とを接続する第３ベッド部とを備え、第３ベッド部が接続パイプフレーム構造により構成された工作機械。工具取付構造体８の一端部は、接続パイプフレーム構造の上接続フレーム５６の一端側における一対の第１上連結ブロック６８，７０間に支持され、主軸構造体４の一端部は、この上接続フレーム５６の他端側における一対の第２上連結ブロック７２，７４間に支持されている。一対の第１上連結ブロック６８，７０には熱変形補正手段８６が設けられ、熱変形補正手段８６は、一対の第１上連結ブロック６８，７０の温度差に基づいてこの熱変形を補正する。 （もっと読む）

【課題】取付面の位置の変化を抑制することができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、設置面ＰＳに固定される静圧気体軸受スピンドルであって、端面に取付面１ａを有する回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間１０をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲むハウジング２と、ハウジング２の軸線ＡＸ方向に互いに離れて配置され、ハウジング２を設置面ＰＳに固定するための第１の固定台３および第２の固定台４とを備えている。取付面１ａに対して第１の固定台３より離れた位置に配置された第２の固定台４が軸線ＡＸ方向に直線的に案内可能な直線案内機構５を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】安定してＹ軸移動体を移動させることができるステージ装置を提供すること。
【解決手段】ステージ装置１Ａは、Ｘ軸移動体６と、Ｘ軸固定子５１、及びＸ軸可動子５２を有するＸ軸シャフトモータ５と、Ｙ軸移動体４と、Ｙ軸固定子、及びＹ軸可動子を有するＹ軸シャフトモータ３とを備え、Ｘ軸固定子５１の一端部５１ａが第１Ｙ軸移動体４ａに固定され、Ｘ軸固定子５１の他端部５１ｂが第２Ｙ軸移動体４ｂにＸ軸固定子５１のＸ軸方向の伸長を許容するように連結されている。これにより、Ｘ軸移動体６の駆動に伴いＸ軸固定子５１が熱膨張した場合に、Ｘ軸固定子５１の伸長が他端部５１ｂ側で解放される。 （もっと読む）

【課題】ランニングコスト及びイニシャルコストを抑えつつ、コラムの各部分の熱膨張差によるコラムの傾きを抑える。
【解決手段】上下のそれぞれの端が開口し、工具ヘッドを間接的に支持する四角筒状のコラム１０を備えている。コラム１０は、四角筒状のコラム本体母材１２と、コラム本体母材１２の外面に塗工された外部塗膜１８と、コラム本体母材１２の内面に塗工された内部塗膜１９とを有している。内部塗膜１９の最外層は、黒体塗料で形成され、その熱放射率は、外部塗膜１８の最外層の熱放射率よりも高い。 （もっと読む）

【課題】ランニングコスト及びイニシャルコストを抑えつつ、コラムの各部分の熱膨張差によるコラムの傾きを抑える。
【解決手段】上下のそれぞれの端が開口し、工具ヘッドを間接的に支持する筒状のコラム１０と、コラム１０の下方開口２３の縁と設置面Ｆとの間に配置され、コラム１０を持ち上げて支持する複数の脚３１と、コラム１０の下方開口２２から雰囲気空気をコラム内に取り入れ、上方開口１３から雰囲気空気を排気させるファンユニット４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハを高精度に研削可能な研削装置を提供することである。
【解決手段】 ウエーハを保持する回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削手段と、該チャックテーブルを該チャックテーブルに対してウエーハを搬入及び搬出する搬入・搬出領域と該研削手段でウエーハを研削する研削領域との間で移動するチャックテーブル移動機構と、該チャックテーブル、該研削手段及び該チャックテーブル移動機構を電気的に制御する発熱部品を含む電気制御回路と、外装ハウジングとを備えた研削装置において、該電気制御回路を収納した電装ボックスを、該チャックテーブル、該研削手段及び該チャックテーブル移動機構から所定距離離間した該外装ハウジングの上部又は側方に配設したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機械本体、スケール、ワーク等の各温度を制御することにより高い加工精度が安定的に得られる精密加工機械を提供する。
【解決手段】主ベッド部２、副ベッド部３、コラム４等のブロック体に設けられた油静圧摺動面９、１０、１１に供給される静圧油の温度を調節するに際し、それぞれのブロック体の測定点２０、３０、４０で、ブロック体の室温の環境下に置かれた部分の温度を測定し、その温度を基に調節するようにした。 （もっと読む）

【課題】振動に対して抗力を発現して固定すると共に、熱変位などの静的な変化を吸収しつつ固定することができる工作機械の直動案内装置を提供することにある。
【解決手段】直線状に延在し、摺動面を有する左案内レールと、左案内レールの摺動面に対して摺動可能な摺動体４１を備え、左案内レールに沿って移動可能なハウジング４２とを具備し、ハウジング４２が、摺動体４１を左案内レールの摺動面に対して進退させる進退装置を有し、この進退装置が、ハウジング４２内に設けられた油圧シリンダ４４と、油圧シリンダ４４に収装されその先端部に摺動体４１が設けられたピストンロッド４５と、油圧シリンダ４４への油圧が流通する油圧通路７０と、油圧通路４６に設けられ、前記油圧の流量を絞る油圧絞り機構９０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな設置作業を必要とすることなく、コラムの熱変形を抑制することができる工作機械のコラム熱変形抑制構造を提供する。
【解決手段】工具Ｔを着脱可能に装着する主軸１６を回転可能に支持するサドル１５と、サドル１５を摺動可能に支持する摺動面１３ａを有するコラム１３と、コラム１３の摺動面１３ａを覆うように設けられ、サドル１５の摺動に伴って伸縮するテレスコカバー１７，１８と、テレスコカバー１７，１８内に外気を供給する送風機３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】長尺テーブルのための平面度の高精度保持や組立性の困難や熱変位の防止等を図るため長尺テーブルを分離して連結する構造とし、以上の問題点を解決する長尺分離テーブルを提供する。
【解決手段】長尺テーブル１００は隙間１を介してテーブル１００Ａとテーブル１００Ｂに分離され、その間にはフレキシブルの連結具２により連結される。この場合移動機構部３００はテーブル１００Ａに取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】比較的長寸の加工物の平面を高精度に加工でき、熱伝達性も低く、熱変位による平面度の狂いもなく、組立性のよい分離長尺テーブルを有する加工装置を提供する。
【解決手段】平面研削盤１００は、ベース台２上に載置されてフレキシブルな連結具７を介して連結された分離テーブル１Ａ，１Ｂからなる長尺のテーブル１を移動させるリニアモータ４等からなる移動機構部と、砥石５Ｂを移動及び回転支持する装置本体５Ａよりなる加工手段である砥石台５と、ドレッサ６等とからなり、熱伝達や熱変位は連結具７の存在により分離構造となっているため低減される。また、分離構造のため組立性も良い。 （もっと読む）

【課題】高剛性人工石材により工作機械用部材を製造する製造方法及びその方法で製造された工作機械用部材を提供する。
【解決手段】粉末状又はペレット状の高剛性石材を用意する材料用意ステップと、金型を設置する金型設置ステップと、工作機械用部材の構造に応じて、溝の範囲内に間隔をおいて設置される複数の鋼製ブラケットと、該鋼製ブラケットに張設される複数の強化ネットとを含む強化部材及び嵌入部材を設置する組立部材設置ステップと、用意された粉末状又はペレット状の高剛性石材を撹拌混合すると共に、順次樹脂及び固化剤を添加し、充分且つ均一に撹拌混合する材料撹拌混合ステップと、均一に撹拌された材料を金型の溝に注入し、固化成型する注入・固化成型ステップと、人工石材製本体からなる工作機械用部材を前記金型から取り出す脱型ステップと、人工石材製本体に対して表面処理や細部の構造加工を行う仕上げ工程ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 制御ボックスの熱変位によるワークの加工精度の低下を防止することができ、安価に製作可能な工作機械を提供すること。
【解決手段】 工作機械は、固定金具１０を、コラム２の上部に制御ボックス８の上部を固定する上部固定金具１１と、コラム２の下部に制御ボックス８の下部を固定する下部固定金具１５に夫々分割して構成し、制御ボックス８の上方への熱変位に伴って、コラム２ に対して上部固定金具１１の上方へのスライド移動を許すスライド機構２８であって、上部固定金具１１に形成された上下方向に細長い小判孔１３ａと、この小判孔１３ａに遊嵌状に内嵌装着されたカラー２７と、このカラー２７に挿通され且つ上部固定金具１１をコラム２に固定するボルト２６とを有するスライド機構２８を設けた。 （もっと読む）

【課題】加工点に対して主要構造部分が完全に対称構造で、熱変位に起因する誤差を最小にした５軸制御の超精密工作機械を提供する。
【解決手段】ベース１の上面には、Ｘ軸スライダ３を挟んでＸ軸方向の両側に、一対のＹ軸案内部材４１、４１が固定され、Ｙ軸スライダ４、４をＸ軸に直交する水平なＹ軸方向に移動可能に案内する。Ｙ軸リニアモータ４２、４２、Ｙ軸案内部材４１、４１が、Ｙ軸スライダ４、４の質量の中心に配置されているため、振動や位置決め誤差を最小にして、Ｙ軸スライダ４をＹ軸方向に駆動することができる。 （もっと読む）

【課題】Ｚ軸方向へ移動する指令が出された時に、砥石がワークの中心軸方向に常に移動することを可能とする研削盤および研削方法を提供する。
【解決手段】ベッド１０を基準として主軸台２０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位Ｌ１を常時監視する第一変位監視手段７１、６１、６２と、ベッド１０を基準として心押台３０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位Ｌ２を常時監視する第二変位監視手段７２、６１、６２と、主軸台２０の相対変位Ｌ１および心押台３０の相対変位Ｌ２に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対するワーク軸の傾きθ１を算出する傾き算出手段６３と、ワーク軸の傾きθ１に基づいてワークＷのテーパ誤差を補正する補正手段６４とを備える。 （もっと読む）

【課題】
コイル部材の発熱がリニアガイドに与える影響を排除し、かかるリニアガイドによって支承されたテーブルプレートの移動精度及び位置決め精度を十分に確保することが可能なリニアモータテーブルを提供する。
【解決手段】
第一のプレートと、この第一のプレートに対して往復運動自在に配置される第二のプレートと、前記第一のプレート上に間隔をおいて平行に配設された一対の軌道部材と、これら軌道部材の配設間隔よりも大きな間隔で前記第二のプレートに配設されると共に、多数の転動体を介して前記軌道部材の側面に組みつけられた一乃至複数組の移動部材と、前記第一のプレートに搭載されたマグネット部材と、前記第二のプレートに搭載されると共に前記マグネット部材と対向してリニアモータを構成するコイル部材とから構成した。 （もっと読む）

【課題】簡単に熱変位を抑制する。
【解決手段】工作機械本体６の外表面に所定の深さの窪み部３０を多列多行に亘って、間隔をあけて規則的に一体的に設け、前記工作機械本体６を設置した環境下で発生する空気流の速度、或いは、前記工作機械本体の駆動によって発生する空気流の速度を上記窪み部３０で減じ、前記工作機械本体６の外表面を断熱可能とした。 （もっと読む）

本発明は、縦軸に沿って位置決めユニットを位置決めする位置決めシステムに関する。位置決めシステムは、前記軸に平行に直線的に案内される運動を可能にする直線案内装置を備え、位置決めユニットは、前記案内装置に適切に作業するように接続される。さらに、位置決めシステムはモータを備え、モータは、前記直線案内装置に適切に作業するように接続された動作モータ部材、及び前記軸に平行に延在する細長い静止モータ部材を備える。動作モータ部材は、前記軸に平行な運動を提供するために静止モータ部材に沿って動作するような構成である。さらに、位置決めシステムは、前記動作モータ部材を位置決めユニットに適切に作業するように接続する力伝達装置をさらに備える。力伝達装置は、前記位置決めユニットと前記動作モータの間に係合を提供するように配置構成される。係合は、直線力を瞬時に伝達するために前記軸に平行な方向で剛性であり、前記軸に平行な前記方向以外の方向では弾性であって、それによりモータの熱膨張から生じる力の位置決めユニットへの伝達が減少するか、又は解消される。 （もっと読む）

【課題】持体の少なくとも１つの案内路が公知の支持体の案内路と比べて高められた精密さを有している形式のものを製造することである。
【解決手段】前記モジュール（２，３，４，５）の領域を該モジュール（２，３，４，５）と横方向ウェブ（６）との接合後に切削加工することにより、少なくとも１つの案内路（７，９）を形成するようにし、さらに少なくとも１つの案内路が、複数のモジュール（２，３，４，５）の長さにわたって延びている少なくとも１つの成形体（８，１０）により形成されているようにした。 （もっと読む）