【課題】長尺であっても軸受が中央部に位置したときに、当該軸受と無端ベルトとの干渉が発生することを低減するアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ１と、従動プーリ２と、両プーリ１，２の間に掛け渡された無端ベルト３と、ガイドレール４と、無端ベルト３に接続されガイドレール４に沿って直線移動する軸受５とを備える。従動プーリ２の径は、駆動プーリ１の径よりも大きく設定される。 （もっと読む）

【課題】可動物体３２の傾きを防止して、ポケット２ａの圧力に対応する所定の絞り比に確実に設定可能な可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞って静圧軸受ポケット２ａに流入させる可変絞り３を、流体供給室３ａと流体排出室３ｂの間を可動物体３２で仕切る。流体排出室３ｂの端面の中央部にポケット２ａに連通する流出口３１ｂを備え、その外周に流体貯留溝３１ｃと第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅを配置した構造とする。可動物体３２の端面３２ｅの第１排出溝３１ｄと第２排出溝３１ｅの間に対向する部位に窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を備える。流体供給室３ａと流体貯留溝３１ｃの間を連通する流路３２ｄと、流体供給室３ａと窪み３２ａ_１、３２ａ_２、３２ａ_３を連通し固定絞り３２ｂを持つ流路３２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置を提供すること。
【解決手段】静圧気体軸受１は、好ましくは、ポリアセタール樹脂（ＰＯＭ）、ポリアミド樹脂（ＰＡ）、ポリフェニレンサルファイド樹脂（ＰＰＳ）などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を３０〜５０質量％含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体２と、軸受基体２に環状シール部材３を介して締結部材４により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体５とを具備している。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で動作の確実な２段絞りを構成できる板ばねを用いた可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体の流量を絞ってポケットに流入させる可変絞りを、流体供給室３１ａと突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａの間を突起部３１ｂと所定の隙間を隔てて正対する板ばね３３で仕切り、突起部３１ｂに開口３１ｃを有しポケット２ａに連通する流路を備える構造の可変絞り形静圧軸受において、板ばね３３の突起部３１ｂに対向しない部位に、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を連結する固定絞り３３ａを備える。 （もっと読む）

【課題】自励振動を起こすことがなく、大量生産が可能で安価な静圧気体軸受及びその製造方法を提供すること
【解決手段】基部４、該基部４の一方の面５から一体的に突設されている環状突出部６、一端７では該環状突出部６の突出端面８で開口している一方、他端９では基部４の外周面１０で開口すると共に環状突出部６及び基部４に設けられた給気通路１１を備えた合成樹脂製の軸受基体２と、基部４の一方の面５に対面している一方の面４１に形成されていると共に軸受基体２の環状突出部６を受容した環状凹所４２、他方の面４３で開口した環状凹溝４４及び一端４５では環状凹溝４４に連通していると共に他端４６では環状凹所４２に開口した自成絞りとしての複数個の空気吹出孔４７を有した合成樹脂製の軸受体３とを具備している。 （もっと読む）

【課題】取付面の位置の変化を抑制することができる静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、設置面ＰＳに固定される静圧気体軸受スピンドルであって、端面に取付面１ａを有する回転軸１と、回転軸１を回転可能に支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間１０をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲むハウジング２と、ハウジング２の軸線ＡＸ方向に互いに離れて配置され、ハウジング２を設置面ＰＳに固定するための第１の固定台３および第２の固定台４とを備えている。取付面１ａに対して第１の固定台３より離れた位置に配置された第２の固定台４が軸線ＡＸ方向に直線的に案内可能な直線案内機構５を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】可動体を浮上させる圧縮空気をガイドレールから噴出させることで、可動体をチューブレス構造とした静圧気体軸受直線案内装置の提供。
【解決手段】基台に固定されるガイドレール２、ガイドレール２の延出方向に沿って往復移動可能な可動体４(垂直方向受板４２、水平方向受板４４)、圧縮空気を噴出して可動体４をガイドレール２に対して浮上させて非接触に支持する静圧気体軸受部(多孔質部材)６、磁気吸引力により可動体４をガイドレール２に引き寄せる吸引部８(磁気吸引部材８ａ、永久磁石８ｂ)を備え、静圧気体軸受部６からの圧縮空気による可動体４のガイドレール２に対する浮上力と、可動体４をガイドレール２へ引き寄せる吸引部８からの磁気吸引力とを調整してバランスを図り、可動体４をガイドレール２に対して浮上させつつ、往復移動させるべく、静圧気体軸受部６をガイドレール２に配し、可動体４へ向けて圧縮空気を噴出させる。 （もっと読む）

【課題】 可動体の位置補正機能をより向上させた静圧スライダを提供する。
【解決手段】
静圧スライダ（１）は、固定体（２）と可動体（３）とを備え、可動体（３）は、該可動体（３）と固定体（２）との間の隙間（４）に供給される流体を介して固定体（２）に沿って相対移動可能である。固定体（２）および可動体（３）の一方は、隙間（４）に供給される流体が通過する貫通孔（５）を有する。貫通孔（５）の少なくとも一部は、隙間（４）における流体の圧力に応じて径が変化する。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】静圧ポケットと、静圧ポケットに加圧流体を供給する流体供給手段と、流体供給手段から静圧ポケットに至る流体流路１３と、流体流路１３の途中に設けられ、ダイアフラム４３と、弁座４５と、ダイアフラム４３と弁座４５に囲われ、加圧流体が充填される絞り空間部４４ｂを有し、ダイアフラム４３の変形により、ダイアフラム４３と弁座４５との間の絞りの開度Ｄと、絞り空間部４４ｂの体積が変動する可変絞り４０と、静圧ポケットの圧力検出手段と、ダイアフラム４３を変形させるダイアフラム変形手段５０と、検知された圧力に応じて、ダイアフラム変形を作動させることにより、絞りの開度Ｄと絞り空間部４４ｂの体積の変動を制御する制御手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、而も安価で、又絞り特性の設定が容易な絞り弁を提供する。
【解決手段】流路途中に設けられる絞り弁１であって、該絞り弁はコマ収納部５が形成された弁本体２と、前記コマ収納部に収納される複数の絞りコマ８，９を有し、該コマが該コマの軸心上に穿設された毛細管路１４を有する。 （もっと読む）

【課題】空気圧リニアガイドによる並列スライダ装置において、二つのスライダを機械的に連結した場合に、スライダの連結部分の機械的剛性とエアスライド機構のエア軸受剛性とが互いに影響を及ぼしあって平行度の再現性が低下することを排除し、高精度な平行度再現性を保証すること。
【解決手段】第１の空気圧リニアガイド４８と第２の空気圧リニアガイド５４とでエアギャップの大きさや供給空気圧を相違させることにより、スライダ支持剛性（エア軸受剛性）に差を生じさせ、エアギャップ変化による真直誤差の吸収が、エア軸受剛性が低い側において安定して行われるようにする。 （もっと読む）

【課題】電磁石ターゲットを挟むように電磁石および永久磁石を設けた構成において、支持する浮上体の重量が変化した場合にも、所望の磁気軸受特性を維持することが可能な磁気軸受装置を提供する。
【解決手段】このスラスト磁気軸受装置１００（磁気軸受装置）は、浮上体１１０に取り付けられ、磁性材からなる電磁石ターゲット１と、上側磁極部２１と励磁コイル２２とを含み、電磁石ターゲット１に対向するように配置され、電磁石ターゲット１を磁気吸引力により支持するスラスト電磁石２と、電磁石ターゲット１のスラスト電磁石２とは反対側の部分に対向するように配置され、電磁石ターゲット１を磁気吸引力により吸引する永久磁石３１を含むスラスト磁極３とを備え、電磁石ターゲット１とスラスト磁極３との距離を調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】高精度で円滑に移動することを向上させた静圧案内装置を提供することにある。
【解決手段】直線状に延在するガイドレール１２ａ，１２ｂを備えるベッド１１と、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂに沿って移動可能なコラムベッド１３とを具備し、ベッド１１のガイドレール１２ａ，１２ｂと対向するコラムベッド１３の摺動部１３ｃ，１３ｄに当該コラムベッド１３の移動方向に沿って複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６を設け、複数の静圧ポケット２５〜２８，３１〜３６の内のコラムベッド１３の移動方向にて両端部以外の静圧ポケット３１〜３６を両端部の静圧ポケット２５〜２８よりも小さくした。 （もっと読む）

【課題】主軸受が高速で移動し且つ急激に加速又は減速される場合でも、主軸受に搭載された搭載物に微振動が伝達しにくいアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータは、駆動プーリ１と、従動プーリ２と、両プーリ１，２の間に掛け渡された無端ベルト３と、ガイドレール４と、無端ベルト３に接続されガイドレール４に沿って直線移動する主軸受５と、カウンタガイドレール６と、無端ベルト３に接続されカウンタガイドレールに沿って直線移動するカウンタ軸受７と、を備える。主軸受５は、軸方向に並んだ３個の軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃが連結部材８により連結されてなる。これら軸受部材５Ａ，５Ｂ，５Ｃのうち軸受部材５Ｂは、無端ベルト３に接続されるベルト接続用軸受部材であり、軸受部材５Ａ，５Ｃは、搭載物を搭載する搭載物用軸受部材である。連結部材８は、軸方向には変形せず軸方向以外の方向には変形可能である。 （もっと読む）

【課題】定盤上の塵を簡単な構造で容易に除去する。
【解決手段】重量キャンセル装置４０のベース４１ａの下面に取り付けられたベースパッド１００では、軸受面１０６ａから定盤１２に向けて噴出する加圧空気が、コアンダ効果により軸受面１０６ａに連続して形成された傾斜面１０７に沿って流れる。この際、定盤１２上の塵Ｄがベルヌーイ効果により加圧気体に引きつけられ、その加圧気体とともに、定盤１２から離れる方向に案内される。加圧気体は、フィルタ部材１２６で濾過されてベースパッド１００外に排気される。ベースパッド１００は、特別な吸引装置などを用いることなく、定盤上１２の塵Ｄを吸引できるので構造が簡単である。 （もっと読む）

【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受２は、軸受本体３を備え、軸受本体３は、軸受面４１を有する矩形板状に形成される板状部材４と、軸受面４１の裏面４２に取り付けられる矩形板状の蓋部材５とを備える。軸受面４１には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面４１の四辺に沿って形成される。軸受面４１の裏面４２には、溝部４２１が裏面４２の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部４２１に連通し、蓋部材５にて溝部４２１を覆うことで排気用流路を構成する。 （もっと読む）

【課題】可変絞り手段を有する静圧流体軸受装置において、絞り開度を増減させた際に発生する流体の流出層の厚さ（２部材の間隔）の変動を適切に抑制し、加工精度をより向上させることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受ポケットと、流体を圧送する流体供給手段と、流体流路と、絞り量を変更可能な可変絞り手段と、を備え、絞り量を直接的または間接的に検出可能な絞り量検出手段と、可変絞り手段５６Ｖから軸受ポケット５６Ｐまでの経路における、可変絞り手段５６Ｖまたは流体流路５６Ｈまたは軸受ポケット５６Ｐの少なくとも一部に設けられて流体が充填されている部分の体積を増減可能な体積可変手段５６Ｅと、絞り量検出手段にて検出した絞り量に応じた体積変化量を算出するとともに、算出した体積変化量を相殺するように体積可変手段５６Ｅの体積を増減させる制御手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】制御手段が停止した場合のテーブルの惰性進行をバネの反力により抑制し、テーブルに過度の負荷が発生したエマージェンシーにおいてのみ静圧軸受けを接地させる２段構えのフェールセーフ機構を実現できるようにする。
【解決手段】本体ベース１と、本体ベース１上で静圧軸受け３，４により空気浮上され、リニアモータによりＹ方向に移動し、保持した基盤等を所定の位置まで搬送する位置決めテーブル機構５を備えた基盤搬送装置において、本体ベース１上に設置され、伸縮動作により突出し、テーブル機構５と接触してＹ方向への進行を抑制するよう構成されたリーフスプリング１０と、リーフスプリング１０が一定量以上変位したときに押下されるリミットスイッチ１１と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】主軸装置と工作物とを相対移動させて工作物を加工する工作機械における、衝突時の損傷防止機能を提供する。
【解決手段】主軸２を保持する軸受け４を外輪ケース５により保持し、外輪ケース５は、衝突時の軸方向負荷が所定の値を超えたに場合に、転がり軸受け４主軸２と共に後方へ移動する。衝突検知センサ３により衝突を検知すると、所定時間内に主軸送りモータを停止させる。外輪ケース５の後退ストロークは、衝突開始から主軸送りモータが停止までに要する時間より衝突時の外輪ケース５の後退時間が長くなるように、設定されている。このことにより、主軸２と工作物１１の衝突時に所定の値以上の力が転がり軸受け４に負荷されないので転がり軸受け４を損傷することなく工作機械を停止できる。 （もっと読む）

【課題】案内面の損傷を低減させるステージ装置を提供する。
【解決手段】
本発明のステージ装置は、ステージ部４と、ステージ部４の移動を案内する案内面を含む静圧軸受ガイド５と、ステージ部４に保持され且つ案内面に向けて気体を噴出するエアパッド２と、ステージ部４に保持され且つ案内面に対向した永久磁石３とを有するステージ装置であって、 静圧軸受ガイド５は、磁性体を含み且つ永久磁石３に対向した突出部を含む金属部７と、金属部７の硬度より高い硬度を有し、金属部７を被覆し、且つ案内面を有するセラミック部６とを含む。 （もっと読む）