【課題】負荷変動に強く、かつ搭載装置の小型・軽量化を可能とする静圧気体軸受構造を提供する。
【解決手段】エアベアリング１は、相手部材を引き寄せる磁力を発生する磁力発生部１１と、磁力発生部１１の周囲に配置され、相手部材に向けて圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部１２と、磁力発生部１１および圧縮空気供給部１２が取り付けられるベースプレート１３と、エアベアリング１の傾きを調整自在に保持するボールジョイント１４と、を備えている。磁力発生部１１は、円柱状に形成されたネオジム磁石等の永久磁石である。圧縮空気供給部１２は、貫通孔１２３が中央に形成された円板状部材であり、この貫通孔１２３に磁力発生部１１が嵌入されている。圧縮空気供給部１２の一方の端面１２１は、貫通孔１２３に嵌入された磁力発生部１１の一方の端面１１１とともに、相手部材の表面と非接触で対面する支持面１０を構成している。 （もっと読む）

【課題】静圧気体軸受の軸受案内面の精度が不十分であったとしても、移動テーブルの変形が生じにくく移動テーブルを安定姿勢で移動させることができる移動テーブル装置及び露光装置並びにエアパッドを提供する。
【解決手段】ＸＹテーブル装置は、軸受案内面２ａを有するベース２と、ベース２上を直線移動する移動テーブル１と、気体を噴出する噴出口１０ｂが形成された気体軸受面１０ａを備え軸受案内面２ａと気体軸受面１０ａとの間に静圧気体軸受を構成可能なエアパッド６と、を備える。エアパッド６は、気体軸受面１０ａを備える軸受部１０と、気体軸受面１０ａの垂直方向に進退可能に軸受部１０を保持するハウジング部１１と、を備える。さらにエアパッド６は、軸受部１０を気体軸受面１０ａの垂直方向に進退させて、移動テーブル１とベース２との間の垂直方向距離を一定に保つコイルバネ２０を備える。 （もっと読む）

【課題】 テーブル移動時のピッチングが極めて小さい静圧水軸受直動案内装置の提供。
【解決手段】 テーブル３１底面の前後側の少なくとも一方にガイドウエイ２に設けたコイル２４に対向して磁気バランサー３００を非磁性体支持板を介して付属させた静圧水軸受直動案内装置１。 （もっと読む）

【課題】反発力と吸引力で、電磁石を用いて強磁性体の磁気浮上を可能とする。
【解決手段】２個以上の電磁石３を、サークル状に極を同じに揃えて配置し、位置センサー２と各電磁石の磁力を制御装置４でコントロールする事で、強磁性体１の磁気浮上を可能とした。 （もっと読む）

【課題】静圧軸受に加わる外乱負荷に対し、静圧ポケットの圧力低下を抑制することで、軸受剛性の維持に必要な厚さの流体膜が形成されるようにし、安定した軸受剛性を得ることができる静圧流体軸受装置を提供する。
【解決手段】軸受面に設けられた静圧ポケット１１と、静圧ポケット１１に加圧流体を供給する流体供給手段Ｐと、流体供給手段Ｐから静圧ポケット１１に至る流体の通路を形成する流体供給流路１３と、流体供給流路１３の途中に設けられた供給側絞り手段４０と、静圧ポケット１１からドレン２３に至る流体の通路を形成する流体排出流路１５と、流体排出流路１５の途中に設けられた排出側絞り手段６０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】軸受本体を大型化する場合や、矩形板状以外の様々な形状の軸受本体を用いる場合であっても軸受本体を容易に加工することができる空気軸受の提供。
【解決手段】空気軸受２は、軸受本体３を備え、軸受本体３は、軸受面４１を有する矩形板状に形成される板状部材４と、軸受面４１の裏面４２に取り付けられる矩形板状の蓋部材５とを備える。軸受面４１には、空気を排気するための複数の排気孔が軸受面４１の四辺に沿って形成される。軸受面４１の裏面４２には、溝部４２１が裏面４２の四辺に沿って形成される。各排気孔は、溝部４２１に連通し、蓋部材５にて溝部４２１を覆うことで排気用流路を構成する。 （もっと読む）

【課題】流体軸受けにおける作動流体の利用効率を向上させる。
【解決手段】第一部材および第一部材の表面に沿って移動する第二部材の間隙３０１に気体を供給する圧送部３４０と、間隙３０１から気体を圧送部３４０に帰還させる帰還部３９４とを備える。上記帰還部３９４は、圧送部３４０から間隙３０１に供給された気体が、間隙３０１から外部に向かって流れる過程で、間隙３０１から気体を帰還させてもよい。上記圧送部３４０および上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて、第二部材と共に移動してもよい。上記圧送部３４０は、加圧された気体を収容したタンクを含んでもよい。上記帰還部３９４は、第二部材に搭載されて第二部材と共に移動しつつ、第一部材および第二部材の間から漏れ出す気体を吸引して回収する回収部を更に有してもよい。 （もっと読む）

【課題】案内面の損傷を低減させるステージ装置を提供する。
【解決手段】
本発明のステージ装置は、ステージ部４と、ステージ部４の移動を案内する案内面を含む静圧軸受ガイド５と、ステージ部４に保持され且つ案内面に向けて気体を噴出するエアパッド２と、ステージ部４に保持され且つ案内面に対向した永久磁石３とを有するステージ装置であって、 静圧軸受ガイド５は、磁性体を含み且つ永久磁石３に対向した突出部を含む金属部７と、金属部７の硬度より高い硬度を有し、金属部７を被覆し、且つ案内面を有するセラミック部６とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、運動案内装置における移動体の移動抵抗をより小さくしまたは、より安定させることができる技術を提供する。
【解決手段】移動ブロック１と、移動ブロック１を多数のボール５介して往復移動可能に支持する軌道レール３と、を備えた運動案内装置であって、互いに離間した２部材を有するとともに該２部材の間に非接触力である吸引力または反発力を発生させる非接触力発生手段をさらに備える。接触力発生手段における２部材のうち一方は、移動ブロック１に設けられた永久磁石６であり、非接触力発生手段の２部材のうち他方は、軌道レール３に設けられた磁性体部７である。永久磁石６と磁性体部７とは、軌道レール３に対する移動ブロック１の進行方向に対して平行な平面で互いに対向して配置される。 （もっと読む）

【課題】高い応答性を有する可変自成絞りにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供する。
【解決手段】軸受面の一部に、可撓性を持つ可撓部材７による可撓性軸受面１を有し、前記可撓部材に、自成絞りを形成する給気孔３を設け、可変自成絞りとして作用させる。軸受隙間Ｃｒ内の気体の圧力変化を、ダイレクトに可撓性軸受面１に伝えることができ、また、可動物体を持たないために、高い応答性を有する可変自成絞りを実現できる。これにより、広い周波数領域にわたり高剛性化を実現した静圧気体軸受を提供できる。 （もっと読む）

【課題】支持する被支持体の質量の変化に応じて静圧を制御することにより、被支持体の質量に関わらず安定に支持する静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】静圧軸受パッド１１０において、第１の給気溝５１および第２の給気溝５２とは互いに独立しており、互いに不連続となっている。軸受面２１に供給するための加圧気体は、第１の給気溝５１については加圧気体供給部としての第１の給気管４１から、そして第２の給気溝５２については加圧気体供給部としての第２の給気管４２から、互いに独立に供給される。 （もっと読む）

【課題】 補足的な重りを必要としない高度に予圧された静圧気体装置であって、単純な設計によって、特に電子ビームリソグラフィー用に予圧が設けられ、電子ビーム上にいかなる負の影響も与えない、静圧気体軸受装置をもたらすことである。
【解決手段】 提案した、特に真空環境内において基部構造体上の装置を動かすための静圧気体軸受装置は、荷重負担区域と吸引領域を有する軸受本体を備えて構成される少なくとも一つの静圧軸受要素を有している。少なくとも一つの電極を有する静電予圧ユニットは少なくとも一つの静圧気体軸受要素と関連付けられ、且つ、静圧軸受要素の軸受本体の垂直面方向に力要素が生じるように電圧が加えられ得る、静圧気体軸受装置によって解決される。 （もっと読む）

【課題】 溶射セラミックスで形成されたステージはセラミックス層の気孔やマイクロクラックによってエアがリークしてステージの剛性が確保できないため、ステージの制御性能が低下していた。
【解決手段】 ガイド面がセラミックス溶射されたガイドおよびステージを有し、前記ガイドと前記ステージとの間のギャップをエアによる圧力と予圧マグネットによる吸引力とによって制御しながら前記ガイド面に沿って前記ステージを移動させる位置決め装置であって、前記ガイド面は、封孔処理された後に研磨されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】安定性の低下を抑制し、不測の挙動を抑制できる流体軸受を提供する。
【解決手段】流体軸受は、第１部材の第１面に形成された第１凹部と、第１凹部の内側に形成された第２凹部と、第２凹部の内側に配置された流体吹出口とを備える。 （もっと読む）

【課題】密度が銅又は鋼の約１／３であり、粒子径は約０．１ｍｍ程度であるアルミニウム粉又はアルミニウムを主成分とする合金粉末を出発原料とし、通気性が高く、接着剤などの使用によりバックメタルへの接合が可能である軽量エアベアリング用多孔質焼結体を安価に製造できる方法を提供する。
【解決手段】平均直径が０．０５〜０．７ｍｍであり、９９．５％以上の純度を持つアルミニウム粉末又はシリコンを１〜１５質量％含有するアルミニウムシリコン合金粉末に、同径の水素化チタン粉末をアルミニウム１に対して０．０５〜０．２（質量比）となるように添加及び混合し、この混合粉末を黒鉛型に充填して加圧力２．５〜５ＭＰａで加圧成形し、さらにこれを真空中、焼結温度５００〜６５０°Ｃで焼結することを特徴とするアルミニウム又はアルミニウムシリコン合金を主成分とするエアベアリング２用多孔質焼結体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】流体軸受け面の圧力分布を任意に調整し、浮上時の変形を抑制することを可能としたスライダーを実現する。
【解決手段】底面よりステージに向かって流体を噴出させて形成される流体軸受けを介して前記ステージ上を浮上して移動するスライダーにおいて、前記底面に形成された複数個の流体抜け穴と、前記流体抜け穴から流出する流体量を個別に調整する流体調整手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】（１）スライダ−ステージ間の圧力分布を制御することができるスライダ、（２）スライダの浮上量や姿勢を制御することができるスライダ、（３）気体軸受けの剛性を制御することができるスライダを実現する。
【解決手段】ステージ側の面に設けられた複数の気体噴出穴から気体を噴出し、前記ステージ上で浮上するスライダにおいて、前記気体噴出穴の面積を、設けられた位置によって変化させたことを特徴とするスライダ。 （もっと読む）

【課題】パーティクルが装置周辺に飛散することを防止することができる静圧軸受を提供する。
【解決手段】滑走面２ａ上を浮上するために噴出面１１ａから滑走面２ａに対して空気Ａ１を噴出し、ステージ２の表面に形成されている微細な孔部に入り込んだパーティクルＰ又はステージ表面上に付着したパーティクルＰに空気Ａ１が吹き付けられた場合であっても、吹き付けられた空気Ａ１の一部である空気Ａ２を、噴出部１１の外周側に配置された吸引面１２ａで、パーティクルPごと吸引して回収する。また、吸引面１２ａを、噴出面１１ａの下端より後退して配置して、パーティクルＰの吸引と空気の噴出とをバランスさせ易く、これによって、静圧軸受１０を滑走面２ａ上で浮上させ非接触で滑走させながら、ステージ装置１周辺へ飛散するパーティクルＰを確実に捕捉する。 （もっと読む）

【課題】磁石による吸引力を利用する静圧案内装置において、軸受面積を広く確保することである。
【解決手段】静圧案内装置１０は、案内台１２と、移動台２０と、移動台２０に取り付けられた浮上量センサ３８と、制御部８０とを含む。移動台２０は、ヨーク３０と電磁石３２を含む磁気吸引部が埋めこまれる内側部と、内側部の側面と上面とを覆っている外殻部を有する。内側部は、ヨークと電磁石３２とを収納した後で、その周囲等の隙間空間が適当な強度を有する材料で充填され、外殻部と一体化され、移動面２２が一体として平坦化される。移動台２０の周囲には囲み溝２６が設けられ、ここに供給された加圧流体が案内台１２に向けて噴出する。 （もっと読む）

【課題】軸受剛性及び負荷容量が大きく、自励振動の発生を効果的に抑制することのできる多孔質静圧気体軸受を提供すること。
【解決手段】多孔質静圧気体軸受２０は、円盤状の裏金本体部２１と、裏金本体部２１の一方の円形の面２２の外周縁に立設された円形の環状立壁部２３と、環状立壁部２３と同心状であって環状立壁部２３に囲まれて裏金本体部２１の一方の面２２に立設された円形の環状突出部２４とを一体的に備えたステンレス鋼からなる裏金２５を具備しており、環状立壁部２３の環状内壁面２６に囲まれた円形の凹部２７は、環状立壁部２３の環状内壁面２６及び環状突出部２４の環状外壁面２８に囲まれた円環状の外側凹部２９と環状突出部２４の環状内壁面３０に囲まれた円形の内側凹部３１とに二分されて当該外側凹部２９と内側凹部３１とを含んでいる。 （もっと読む）