【課題】スライダの走行安定性が高強く、小型・軽量なエアスライド装置の構造を提供する。
【解決手段】エアスライド装置１は、スライダ案内面２１１、２１２が磁性体で形成されたレール２と、レール２の長手方向Ｘにレール２のスライダ案内面２１１、２１２上を非接触で移動するスライダ３と、を備えている。スライダ３は、Ｌ字型に組み合わされたスライドプレート３１と、スライドプレート３１およびレール２の間に介在するようにスライドプレート３１に取り付けられた第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂと、を備えている。第一、第二のエアベアリング４Ａ、４Ｂは、磁力を発生する磁力発生部４１と、磁力発生部４１の周囲に配置され、圧縮空気を吐出する圧縮空気供給部４２と、を備えている。圧縮空気供給部４２の端面４２１は、磁力発生部４１の端面４１１とともに、レール２のスライダ案内面２１１、２１２と非接触で対面する支持面４０を構成している。 （もっと読む）

【課題】板ばねを用いた可変絞りの構成部材の加工精度が低くても、剛性のばらつきが小さく所望の剛性を容易に得られる可変絞り形静圧軸受を提供する。
【解決手段】流体供給室３２ａと、中央部に突起部３１ｂを備えた流体貯留室３１ａと、流体供給室３２ａと流体貯留室３１ａの間を仕切る板ばね３３により構成される可変絞り３により、静圧軸受のポケット２ａに供給される流体の流量を絞る。ポケット２ａから流体を排出する経路として、ポケット２ａとベース１０の間隔ｔ_１以外に、ポケット２ａの側面から流体を排出するための固定絞り２ｃを備える。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧空気軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】案内方向に延在するガイド部材４と、ガイド部材に沿って案内方向に移動する可動体５と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部１３ａ〜１３ｈと、を備えた静圧気体軸受直線案内装置である。ガイド部材は、長尺方向が案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材４ａ，４ａと、一対の側板ガイド部材の案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、案内方向に沿って延在する底板ガイド部材４ｂとを備えた横断面コ字状の部材である。


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【課題】ガイドレールの軽量化、生産効率の向上、低コスト化を図ると共に、当該ガイドレールに沿って可動体を移動させて位置決めする際において、負荷を非接触で安定してかつ効率良く支持することを可能にする静圧気体軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】一方向に沿って形成された凹部６ｇが同一向きに整列するようにレール構造体６Ｓ,６Ｔを相互に組み合わせたガイドレール２には、一方向に沿って延出した第１及び第２のガイド面６ｃ,６ｂが直交配置され、可動体４は、第１のガイド面６ｃに対向する第１の軸受パッド４ａと、第２のガイド面６ｂに対向する第２の軸受パッド４ｂとを備え、各軸受パッド４ａ、４ｂに設けられた気体噴出部８から可動体４とガイドレール２との間に加圧気体を噴射して導入することで、可動体４は、ガイドレール２に沿って非接触で移動可能となる。 （もっと読む）

【課題】 流体供給部や排気溝等を高い位置精度で設けることができ、可動体をより安定して移動させることができる案内装置を提供する。
【解決手段】 案内装置は、第１表面を有する固定体と、第１表面に対向する第２表面を有する可動体とを備える。可動体は、第１表面および第２表面の間に形成される隙間に供給された流体を介して第１表面に沿って第１方向に移動可能である。第１表面および第２表面の一方は、可動体の移動方向に平行な中心軸の周りに外向きに設けられた外向き面であるとともに、隙間に前記流体を供給する流体供給部と該流体供給部を環状に取り囲んで前記流体を回収する回収溝とが設けられている。第１表面および第２表面の他方は、移動可能な範囲で流体供給部および回収溝を覆う内向き面である。 （もっと読む）

【課題】高速移動可能、かつ移動ストロークの広い静圧気体軸受直線案内装置に適する気体配管の構造を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の静圧気体軸受直線案内装置は、駆動源と直動案内部と気体により直動案内部に浮上して移動可能な移動体とを有する直動案内アクチュエータと、一端が移動体に回転自在に固定され、他端が直動案内アクチュエータ外に回転自在に固定される、マジックハンド構造の支持機構と、支持機構に屈曲可能に固定され、移動体に気体を供給するチューブと、を備えることが特徴とするものである。これにより、気体供給チューブは移動体の直線運動に合わせて回転・伸縮運動をすることができ、高速移動による配管の破損や撓みなどを防止できる。 （もっと読む）

【課題】エアースライド装置の軽量化を目的とする。
【解決手段】ガイドレール１２と、このガイドレール１２の上面部１２１と対向するパッド取付面１４１を有する可動体１４と、この可動体１４の前記パッド取付面１４１に埋設された複数の静圧気体軸受パッド１６とを備え、前記ガイドレール１２の上面部１２１に向けて前記静圧気体軸受パッド１６の気体噴出面１６１から噴出する気体により前記可動体１４をスライド可能に支持するエアースライド装置１０において、前記ガイドレール１２と前記可動体１４の少なくともどちらか一方の少なくとも一部を、炭素繊維プリプレグの積層体からなる炭素繊維強化プラスチック（ＣＦＲＰ）で形成したことを特徴とするエアースライド装置１０。 （もっと読む）

【課題】加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス、通気溝などを構成することにより、振動の発生を防止できる高精度な静圧軸受装置および静圧軸受装置を備えたステージを実現する。
【解決手段】静圧軸受装置において、加圧気体の通気経路の全領域で層流状態が維持されるように、オリフィス１４、通気溝１１及び排気溝１２の形状などの構成を設計したものであり、通気溝１１の幅方向の断面形状が摺動面１０ａから離れる方向に凸の曲線を形成し、また、通気溝１１を、オリフィス１４を囲み環状に形成された環状溝１１ｂと、オリフィス１４を中心に環状溝１１ｂに向かって放射状に延設され、環状溝１１ｂとオリフィス１４とを連通する複数の分配溝１１ａとから、移動体の移動方向に対して対称となるように形成する。 （もっと読む）

【課題】案内面の損傷を低減させるステージ装置を提供する。
【解決手段】
本発明のステージ装置は、ステージ部４と、ステージ部４の移動を案内する案内面を含む静圧軸受ガイド５と、ステージ部４に保持され且つ案内面に向けて気体を噴出するエアパッド２と、ステージ部４に保持され且つ案内面に対向した永久磁石３とを有するステージ装置であって、 静圧軸受ガイド５は、磁性体を含み且つ永久磁石３に対向した突出部を含む金属部７と、金属部７の硬度より高い硬度を有し、金属部７を被覆し、且つ案内面を有するセラミック部６とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、運動案内装置における移動体の移動抵抗をより小さくしまたは、より安定させることができる技術を提供する。
【解決手段】移動ブロック１と、移動ブロック１を多数のボール５介して往復移動可能に支持する軌道レール３と、を備えた運動案内装置であって、互いに離間した２部材を有するとともに該２部材の間に非接触力である吸引力または反発力を発生させる非接触力発生手段をさらに備える。接触力発生手段における２部材のうち一方は、移動ブロック１に設けられた永久磁石６であり、非接触力発生手段の２部材のうち他方は、軌道レール３に設けられた磁性体部７である。永久磁石６と磁性体部７とは、軌道レール３に対する移動ブロック１の進行方向に対して平行な平面で互いに対向して配置される。 （もっと読む）

【課題】周囲の磁性体の影響を受けない可動部の平衡位置を保つ機構を備えた直線駆動装置を提供すること。
【解決手段】チャンバー１３とチャンバー１４のそれぞれにエアタンク１５，１６を取り付ける。エアタンク１５はチャンバー１３と連通管１７により連通しており、エアタンク１６はチャンバー１４と連通管１８により連通している。エアタンク１５には圧力調整装置１９、エアタンク１６には圧力調整装置２０が接続されており、エアタンク内の圧力を調整できるようになっている。エアタンク１５，１６とチャンバー１３，１４とは連通管１７，１８によって連通していることから、チャンバー１３内の圧力とチャンバー１４内の圧力とをそれぞれ圧力調整装置１９，２０によって調整できる。チャンバー１３，１４には軸受面７から排気エアが流入することによって、カウンタスライド３を平衡位置に保持できる。 （もっと読む）

【課題】迅速でスムーズな加減速により高速度化を実現できる、直線案内軸受装置などに用いられると好適なアクチュエータを提供する。
【解決手段】モータ１０８の動力に加えて、補助動力手段としてのリニアモータ１５０が加速時には主軸受１２０の加速を支援するように電磁力を発生し、或いは減速時には主軸受１２０の減速を支援するように電磁力を発生し、これにより大容量のモータ１０８を用いることなく、迅速な加速又は減速を実現している。又、定荷重ばね３５３の弾性力を用いて、ストロークに関わらず一定のアシスト力を発生し、低コストでモータ１０８の駆動力を支援できる。 （もっと読む）

【課題】簡素な制御により、迅速でスムーズな加減速により高速度化を実現できる、直線案内軸受装置などに用いられると好適なアクチュエータを提供する。
【解決手段】第１駆動モータ１０９を目標速度に追従する速度制御とし，第２駆動モータ１１０は、第１駆動モータ１０９の実際の速度に追従するような速度制御を行うことにより，相互の動作が干渉しない形で２つの駆動モータ１０９，１１０をともにフィードバック制御することが可能となる。さらに第２駆動モータ１１０の速度制御において、第１駆動モータ１０９の指令値をフィードフォワードとして加えることで，制御による位相遅れを少なくしている。これにより制御の応答性，減衰性が向上するという利点がある。 （もっと読む）

【課題】搬送部品の汚染を防止し、加工作業や組立作業を容易にし、製造コストの低減化を図る。
【解決手段】駆動用エアによりシリンダ１１の内部を移動体１２が往復動するエアスライド装置１０であって、シリンダ１１と移動体１２の間に所定の隙間を確保するようにベアリング部２８が周方向に沿って複数形成されており、各ベアリング部２８にエアベアリング用エアを供給することにより移動体１２がシリンダ１１の内面に非接触状態でシリンダ１１の内部を往復動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】長尺な部材や横断面サイズが大きくなっても自重たわみを改善することができるガイド部材を備え、製造コストの低減化を図ることができる静圧空気軸受直線案内装置を提供する。
【解決手段】案内方向に延在するガイド部材４と、ガイド部材に沿って案内方向に移動する可動体５と、この可動体を気体によって支持・案内する空気軸受部１３ａ〜１３ｈと、を備えた静圧気体軸受直線案内装置である。ガイド部材は、長尺方向が案内方向に平行に延在する一対の側板ガイド部材４ａ，４ａと、一対の側板ガイド部材の案内方向に直交する短尺方向の一端に結合し、案内方向に沿って延在する底板ガイド部材４ｂとを備えた横断面コ字状の部材である。 （もっと読む）

【課題】スライダ中心とコイル中心とが不一致であっても、空気軸受とガイドレールの間の軸受隙間を均一に修正し、高速性、高い剛性を得られるようにしたエアーテーブル装置を提供する。
【解決手段】スライダーの走行方向の一側面に吸引力発生手段３４を配置し、吸引力発生手段３４に吸引力を発生させることにより、スライダー２０の滑動面と各空気軸受２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂ，２８ａ，２８ｂとの間の軸受間隔の不均一を修正する。 （もっと読む）

【課題】可動マグネット型リニアモータの小型、軽量化により、高速かつ高精度な切削加工を可能にした工具送り装置を提供する。
【解決手段】支持ベース体２１と、支持ベース体に対して相対移動可能な可動体２２と、可動体の先端部に取付けられた工具１５と、可動体を支持ベース体に対して高速で相対移動させる可動マグネット型リニアモータ２４と、可動体の位置を検出する位置検出手段２５とを備え、可動マグネット型リニアモータは、可動体に配設されたマグネット構成体４２と、支持ベース体に配設されたコイル４１とを備え、マグネット構成体は、可動体の移動方向に間隔を有して配設された第１および第２の主マグネット５１、５２と、これら第１および第２の主マグネットの可動体の移動方向の両側に配設された第１および第２の補助マグネット５３、５４と、第１および第２の主マグネットの間に配設された第３の補助マグネット５５とからなる。 （もっと読む）

【課題】静止安定性を有する位置決め装置。
【解決手段】スライド装置１００は、ガイドレール１０６と、前記ガイドレール１０６に沿って移動するスライダ１０８と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により浮かせて支持する浮遊支持状態と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により圧接させて支持する圧接支持状態とに切り替え可能なエアベアリング１１０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールに対してスライダを着座させる際の姿勢制御を有効に行える案内装置を提供する。
【解決手段】第１の支持面１３ａの凹部１３ｄと第２の支持面１３ｂの凹部１３ｆとが、独立して流体の供給を中止可能な配管系即ち第１通路１３ｈ、第２通路１３ｉを介して、圧縮空気源Ａ，Ｂに接続されているので、例えばバルブＶ２を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第２の支持面１３ｂと第２の案内面１２ｂとの隙間を維持しつつ、第１の支持面１３ａが第１の案内面１２ａに着座することができ、或いはバルブＶ３を閉鎖して空気の供給を中断した場合、第１の支持面１３ａと第１の案内面１２ａとの隙間を維持しつつ、第２の支持面１３ｂが第２の案内面１２ｂに着座することができ、これによりスライダ１３を静止した際に、これに連結されたテーブル等に載置されたワークを精度良く位置決めすることができ、加工精度や検査精度を向上させることができる。 （もっと読む）