【課題】軸受の交換を容易にできるようにする。
【解決手段】ハウジング２と、ハウジング２に収納され、スラストディスク３ａを備えた主軸３と、主軸３のラジアル方向の支持を非接触で行うラジアル軸受部３０Ａ、及び、スラストディスク３ａのスラスト方向の支持を非接触で行うスラスト軸受部３０Ｂを一体的に備えたラジアル・スラスト軸受３０と、スラスト軸受部３０Ｂを主軸３の軸方向に貫通し、ラジアル・スラスト軸受３０とハウジング２とを固定する固定ボルト５０と、主軸３に設けられた回転子４ａ、及び、ハウジング２の内周側に回転子４ａと対向して設けられた固定子４ｂを有するモータ４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造でエアスピンドルの回転体を冷却できるようにする。
【解決手段】回転体であるハウジング２の内周面の、固定軸１の突出部１ａと対向する位置に凹部２１を形成する。突出部１ａの両側に静圧気体軸受３を配置する。突出部１ａの軸方向中央位置に、凹部２１と排気路１３を連通する連通路１４を設ける。凹部２１と静圧気体軸受３との間に気体導入隙間５を形成する。ラジアル軸受面３１を通った気体は、積極的に気体導入隙間５から凹部２１に入り、凹部２１に溜まった気体で回転するハウジング２が冷却される。 （もっと読む）

【課題】温度上昇に伴って回転体が膨張して軸方向に伸びた場合でも、静圧気体軸受による良好な軸受性能が発揮できるエアスピンドルを提供する。
【解決手段】固定軸１はラジアル方向への突出部１ａと、突出部１ａを挟んだ両側の軸受部１ｂを有する。１対の静圧気体軸受３を、軸受部１ｂに外嵌し、Ｏリング５により軸方向で移動可能に取り付ける。これにより、静圧気体軸受３は、ハウジング２の内周面と対向するラジアル軸受面３１と、端部材４および突出部１ａの端面と対向するアキシアル軸受面３２を有する。 （もっと読む）

【課題】隙間調整機構などの装置を設けることなく、ダイアフラムと弁座との隙間を所定の隙間に設定できるダイアフラム式可変絞り装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】第1開口部２１が形成された第1ハウジング１１と、第1開口部２１と対向するように第２開口部２２が形成された第２ハウジング１２と、第1開口部２１の周縁部に形成された第1挟持部３２と、第２開口部２２の周縁部に形成された第２挟持部３３と、第1開口部２１と第２開口部２２との間に設けられ、第1挟持部２１と第２挟持部２２により周縁が挟持されたダイアフラム１３と、第１開口部２１に連通する流体導入路４１と、第1開口部２１に設けられた弁座４５と、ダイアフラム１３との弁座４５との隙間４３に応じた流体を排出する流体供給通路と、を備え、第１ハウジング１１の第1挟持部３２と弁座４５は別体となっており、第1挟持部３２は弁座４５に取り付け又は取り外しが可能とした。 （もっと読む）

【課題】周囲の磁性体の影響を受けない可動部の平衡位置を保つ機構を備えた直線駆動装置を提供すること。
【解決手段】チャンバー１３とチャンバー１４のそれぞれにエアタンク１５，１６を取り付ける。エアタンク１５はチャンバー１３と連通管１７により連通しており、エアタンク１６はチャンバー１４と連通管１８により連通している。エアタンク１５には圧力調整装置１９、エアタンク１６には圧力調整装置２０が接続されており、エアタンク内の圧力を調整できるようになっている。エアタンク１５，１６とチャンバー１３，１４とは連通管１７，１８によって連通していることから、チャンバー１３内の圧力とチャンバー１４内の圧力とをそれぞれ圧力調整装置１９，２０によって調整できる。チャンバー１３，１４には軸受面７から排気エアが流入することによって、カウンタスライド３を平衡位置に保持できる。 （もっと読む）

【課題】外部の真空発生機と接続することなく、排出される軸受用気体を回収する機構を備えた静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】静圧気体軸受スピンドルは、内部に形成された排気通路７を有し、かつ排気通路７が開口した外周面を有する円筒形状の回転軸１と、回転軸１を支持するための軸受用気体が供給される軸受隙間５をはさんで、回転軸１の外周面を取り囲む固定部２と、回転軸１の外周面のうち排気通路７の開口した部分を覆うように回転軸１に取り付けられた排気リング６とを備えている。排気リング６と回転軸１の外周面との間には排気通路７に通じる排気回収路２０が形成されている。排気回収路２０は、軸受隙間５の開口部２２と向かい合う位置に開口部２１を有している。 （もっと読む）

【課題】支持する被支持体の質量の変化に応じて静圧を制御することにより、被支持体の質量に関わらず安定に支持する静圧軸受パッドを提供する。
【解決手段】静圧軸受パッド１１０において、第１の給気溝５１および第２の給気溝５２とは互いに独立しており、互いに不連続となっている。軸受面２１に供給するための加圧気体は、第１の給気溝５１については加圧気体供給部としての第１の給気管４１から、そして第２の給気溝５２については加圧気体供給部としての第２の給気管４２から、互いに独立に供給される。 （もっと読む）

【課題】回転軸の回転精度を良好に保つことが可能な気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】気体軸受スピンドルは、回転軸１と、スリーブ３、４と、ハウジング２とを備える。スリーブ３は、回転軸１の側面の少なくとも一部と隙間を介して対向するように配置される。ハウジング２は、開口部を有し、当該開口部の内部にスリーブ３、４および回転軸１を保持する。回転軸１では、ハウジング２の開口部側の端部に形成された開口に連通する空洞部としての空洞１ｂが形成される。回転軸１の側面に、回転軸１の側面を周回する円周溝１ａが形成されている。回転軸１では、円周溝１ａと空洞１ｂとを繋ぐ連通孔１ｃが形成されている。スリーブ３、４およびハウジング２には、円周溝１ａに液体や気体などの冷却媒体を供給する供給路２ｂが形成されている。 （もっと読む）

静圧型空気軸受は、第一の軸受面（２８）と、第一の軸受面（２８）に対面するように並置された第二の軸受面（３２）と、第一と第二の軸受面（２８）、（３２）の一方に設けられた少なくとも１つの流体供給口（３８）とを備える。前記流体供給口（３８）に入る、および／またはそこから出る圧縮性流体の流量を制限するための供給口絞り（４０）と、少なくとも１つの陥凹部（３４）が、第一と第二の軸受面（２８、３２）の一方に設けられ、１つ又は各々の前記陥凹部（３４）は、１つ又は各々の前記流体供給口（３８）と流体連通する。また、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）と流体連通し、圧縮性流体が軸受から出るときの流量を制限する少なくとも１つの排出口絞り（３５）も設けられ、少なくとも１つの突出部（４２）が、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の少なくとも一部を画定する表面上に設けられている。１つの、または各々の突出部（４２）は、前記少なくとも１つの陥凹部（３４）の中に完全に収容される。
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【課題】 静圧流体軸受を容易に製造できると同時に高精度に構成可能な新規構造を実現する。
【解決手段】本発明の静圧流体軸受の軸受体２００は、第１凹凸端部２１１を一体に有する第１軸受部材２１０と、第１凹凸端部に対して軸線方向に嵌合可能に構成された第２凹凸端部２２１を一体に有する第２軸受部材２２０とを具備し、第１軸受部材と第２軸受部材が軸線方向に第１凹凸端部と第２凹凸端部とが組み合わされる態様で軸線方向に嵌合し、第１軸受側部分２１１ｔと第２軸受側部分２２１ｔの少なくとも一方には半径方向に伸び軸受隙間Ｇに連通する複数の凹溝２２１ｇが放射状に形成され、第１軸受側部分と第２軸受側部分とが突き合わされることで凹溝により絞りＰが軸線周りに複数分散して構成される。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２、１３に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６〜２９を介して回転自在に支持され、スピンドル１４が電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２、１３には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６〜２９を介して排気口３６から排出するエア通路３０〜３３が形成され、多孔質空気軸受２６、２７は、ラジアル軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９は、スラスト軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９とハウジング１３には、軸受隙間を流れるエアや多孔質空気軸受２８、２９を通過したエアを導入して軸受外部に導くエア排出路５２、５３と、エア排出路５２、５３を通過するエアの流量を調整する絞り５４、５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６、２８を介して回転自在に支持され、スピンドル１４がフランジ１８を介して電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６、２８を介して排気口３６から排出するエア通路３０、３２が形成され、多孔質空気軸受２６、２８は、ラジアル軸受とスラスト軸受とが一体化されて構成され、多孔質空気軸受２６、２８には、多孔質空気軸受２６、２８のスラスト受面２６ｂ、２８ｂを流れるエアを導入して軸受外部に導くエア排出路５４、５６と、エア排出路５４、５６を通過するエアの流量を調整する絞り５８、６０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】エアの圧縮性に起因するエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が多孔質空気軸受２６〜２９を介して回転自在に支持され、スピンドル１４が電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、ハウジング１２には、給気口３４から導入したエアを多孔質空気軸受２６〜２９を介して排気口３６から排出するエア通路３０〜３３が形成され、多孔質空気軸受２６、２７は、ラジアル軸受として構成され、多孔質空気軸受２８、２９は、スラスト軸受として構成され、スピンドル１２のフランジ１６、には、軸受隙間を流れるエアや多孔質空気軸受２８、２９を通過したエアを導入して軸受外部に導くエア排出路５２と、エア排出路５２を通過するエアの流量を調整する絞り５４、５５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】使用条件によらずエアハンマーの発生を確実に抑制すること。
【解決手段】ハウジング１２に、スピンドル１４が空気軸受１６、１８を介して回転自在に支持され、スピンドル１４がフランジ２２を介して電動モータ３８のモータ回転軸４４に連結され、モータ回転軸４４の軸方向端部にはゴムリング５４を介して制振リング５２が装着され、スピンドル１４の振動に伴うエアハンマーが制振リング５２によって吸収される。 （もっと読む）

エアベアリングアセンブリは、その中を通る複数の空気供給・真空ラインを有する上部、下部、および上部と下部との間に配置され、それらを間隔の置かれた関係に維持する複数のスペーサを備え、空気供給・真空孔の密度が、基板のためのエアベアリングを提供するのに十分に高いが、下部に対して上部の実質的に均一な平面度を維持するように、（ｉ）十分な数のスペーサが用いられる、および（ｉｉ）スペーサが十分に近接するように近くに配置される、ことのうちの少なくとも１つが成立するように十分に低い。
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第２の部品（２２）に対して回転可能な第１の部品（２４）を備える回転式の気体軸受（２０）が記述される。第１の部品（２４）は、サポート部材（２６）およびサポート部材（２６）に取り付けられた第１の部分（３０）および第２の部分（３２）を備える。第１の部分（３０）は、第１の軸受表面（３４）を備え、第２の部分（３２）は、第２の軸受表面（３６）を備える。第１の部分（３０）および第２の部分（３２）は、ねじ込み接続によりサポート部材（２６）に取り付けられる。第２の部品（２２）は、相補的な軸受表面（３８、４０）を備える。第１および／または第２の部分（３０、３２）をサポート部材（２６）に固定するために、エポキシ樹脂を使用可能である。また、軸受を通る気体流を測定することにより軸受作動ギャップを決定する方法が記述される 。
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【課題】 加工液などの軸受すき間およびシールすき間への侵入を抑制するとともに、排気手段への加工液などの吸入をも抑制した静圧気体軸受スピンドルを提供する。
【解決手段】 静圧気体軸受スピンドル１は、両端面に開口を有する貫通路１２が形成された中空の回転軸１０と、回転軸１０の側面１０Ｃおよび一方の端面１０Ａを取り囲むハウジング２０とを備えている。ハウジング２０には、回転軸１０の一方の端面１０Ａが露出する排気室１３が形成されている。ハウジング２０には、一端において排気室１３に排気室側開口を有し、他端においてハウジング２０の外壁に外壁側開口を有する排気路１４が形成されている。排気路１４は、排気室１３の内部を減圧するための排気手段に連結されている。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬送に際してワークの浮上量の変動を好適に抑制することのできる非接触支持装置を提供する。
【解決手段】非接触支持装置１は、検査ステージ２及び浮上ステージ４を備え、これらの上方において略水平に搬送されるワークＷを非接触にて支持する。検査ステージ２には、加圧エアを噴出する浮上パッド３０と、周辺のエアを吸引する吸引パッド４０とがそれぞれ複数個配置されている。これら吸引パッド４０と浮上パッド３０とは、ワークＷの搬送方向に沿って５列ずつ互いに平行に配置されている。 （もっと読む）

【課題】
安価でありながら、積載物をロック可能に位置決めできる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂがベースプレート１２ｇに着座していることを検出する検出装置Ｓが設けられているので、かかる検出装置Ｓからの信号により、基盤１０に対してテーブル１３がロックされたか否かを精度良く判別することができる。 （もっと読む）

【課題】
コンパクトでありながら、重量物を微動回転できる位置決めテーブル装置を提供する。
【解決手段】
テーブル１３が受ける比較的小さい半径方向力は、容量が低い接触式のアンギュラコンタクト玉軸受１４，１４で支持することができ、従って軸受のサイズを小さくできるため、位置決めテーブル装置の軽量化・コンパクト化を図れる。一方、テーブル１３が受ける比較的大きい軸線方向力は、非接触式の静圧軸受１２で支持することができる。なお、テーブル１３を微小回転させた後、電磁弁１２ｃを制御して、３つの静圧軸受１２の静圧パッド１２ｂへの空気の供給を遮断し、静圧パッド１２ｄをベースプレート１２ｇに着座させることで、静圧パッド１２ｄとベースプレート１２ｇとの間に作用する摩擦力によって、テーブル１３は基盤１０に対して相対移動不能に保持されることとなる。 （もっと読む）