【課題】位置決めを高精度に実行することができる位置決め装置の設計方法、位置決め装置の製造方法、位置決め装置、及び露光装置を提供する。
【解決手段】第１方向に移動可能なＸステージ１００と、結合部により該Ｘステージ１００に結合され、該Ｘステージ１００に対して第２方向に移動可能なＹステージ２００と、Ｘステージ１００を第１方向に移動させるモータ（不図示）と、を備える位置決め装置において、モータ（不図示）がＸステージ１００を移動させる力と、第１方向における該Ｙステージ２００の位置と、の関係を表す伝達関数に基づく、剛体モードと、１次共振と、２次共振と、の関係に基づいて、位置決め装置のＸステージ１００及びＹステージ２００の少なくとも一方の作製上の諸元が定められる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法を提供することを課題としている。
【解決手段】仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ソフトウェア的振動制御部と機構的反力相殺部とを共に利用して移動体のＸ軸駆動時に発生される反力による振動をより完全に減衰させることができ、これにより、高精密度の移送装置実現が可能になる。
【解決手段】ソフトウェア（以下、‘Ｓ／Ｗ’ともいう）振動制御方式と機構的反力相殺方式とを共に使用し、加速システムで発生される振動を、より完全に減衰させることができる反力相殺装置、それの質量体設定方法、それを用いた反力相殺方法及びそれを備えたディスペンサーを提供 （もっと読む）

【課題】基板テーブルと、この基板テーブルに対して基板を装荷および除荷するために移動可能であるエジェクタ素子との間の、リソグラフィ装置における基板の最適テイクオーバー高さを較正するための較正方法を提供する。
【解決手段】基板テーブルおよびエジェクタ素子のうちの１つの上に基板をクランプすること、基板が基板テーブルによって支持される除荷状態と、基板がエジェクタ素子によって少なくとも部分的に支持される装荷状態との間で、エジェクタ素子を移動すること、基板テーブルとエジェクタ素子との間で基板の重さが少なくとも部分的にテイクオーバーされる瞬間のエジェクタ素子の基準高さを求めること、求めた基準高さからエジェクタ素子についての最適テイクオーバー高さを求めることを含む方法。 （もっと読む）

【課題】駆動機構の搬送量誤差と原点センサーの位置検出誤差を個別に加味した制御動作を実行する搬送制御装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送制御装置は、往復移動体を駆動する駆動機構と、原点センサー５と、駆動機構２の駆動量を検出する駆動量検出手段と、往復移動体が静止状態から移動状態に移行した時点を光学的に検知する移動検知手段とを具え、原点センサー５が第１出力状態から第２出力状態となるまで往復移動体を一方向に移動させた後、原点センサー５が第２出力状態から第１出力状態となるまで往復移動体を逆方向に移動させ、原点センサー５が第２出力状態となった後に往復移動体が静止状態から移動状態へ移行するまでの第１の駆動量と、往復移動体が移動状態へ移行した後に原点センサーが第１出力状態となるまでの第２の駆動量とを取得する。 （もっと読む）

【課題】特定のエリアでは高い位置決め精度を確保しつつ、全体として比較的安価な位置決め装置を提供する。
【解決手段】 位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の位置を検出するレゾルバ３０ａ〜３０ｃ（以下レゾルバ３０とする。）と、
プラテン１０の特定のエリアＡにおけるスライダ１の位置をレゾルバ３０よりも高い精度で検出するレーザ干渉計２０ａ，２０ｂ（以下レーザ干渉計２０とする。）と、
スライダ１の位置に応じてレゾルバ３０またはレーザ干渉計２０のいずれかの位置検出装置を選択する切替スイッチ１００ｃと、
位置指令値および切替スイッチ１００ｃで選択された位置検出装置で検出される位置検出値に基づいてスライダ１の位置制御を実行する位置制御部１０２と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２のスライダ１の進行方向側に隣接して配置されたレゾルバ２ａ，２ｂと、
このレゾルバ２ａ，２ｂの出力に基づいてレゾルバ２の出力を補正する補正部と、
この補正部からの出力に基づいてスライダ１の位置を算出する位置算出部と、
を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体製造分野で用いられるＳＥＭの試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を簡易な構造で可能とするステージ装置の提供。
【解決手段】ステージ装置は、ベースに支持されて移動するテーブルを備えるとともに、そのテーブルに組付けられる制動機構１７ｘを備えている。制動機構１７ｘは、押圧作動力を発生させる押圧アクチェータ４１、ベースに設けられた制動面１９ｘを押圧作動力に応じた押圧力で押圧する押圧部材４３、および押圧部材に押圧作動力を伝達する動力伝達部材４２を有し、押圧部材は、押圧力を制動面の法線Ｐに対し傾けて作用させるようにされ、それにより押圧力から法線方向の分力として制動力５２を得るとともに、制動面内の分力として推力５３を得るようにされ、そして推力により、当該推力に応じた移動距離についてテーブルに移動を生じさせることで高精度な位置決めをなさせるとともに、制動力によりテーブルの停止状態を安定化させるようにされている。 （もっと読む）

【課題】
可動テーブルの重量を増加させることなく、ステージ停止時における十分な制動力を発生するブレーキ機構を有するステージ装置を構成する。
【解決手段】
ステージ機構１は、Ｘベース１２０の上に固定されるＸ方向の案内機構としてのＸガイド１２１と、これに拘束されてＸ方向に移動可能なＸテーブル１２２と、これに可動部を固定されたＸアクチュエータ１２３と、Ｘベース１２０の上に固定されたＸテーブル１２２の制動機構であるＸブレーキ１２４などから構成される。制御装置２は、ステージ停止時にＸブレーキ１２４をＸテーブル１２２の下面に押し付けて制動力を発生させ、ステージ停止後にはＸアクチュエータをサーボ制御をオフにする位置決め制御を行う。 （もっと読む）

【課題】ステージにかかる偏荷重による位置ずれを補正できるステージの昇降装置を実現する。
【解決手段】ステージをＺ軸方向に移動させる昇降機構と、位置指令値に基づいてステージをＸ軸方向及びＹ軸方向に位置決めする位置決め部とを有するステージの昇降装置において、ステージに加わる偏荷重の大きさと、この偏荷重がステージに加わることによって生じたステージのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置ずれ量とを対応させた補正テーブルを格納し、この補正テーブルは補正テーブル用メモリと、荷重センサと、ステージのＸ軸方向及びＹ軸方向の位置を検出する位置センサと、位置指令値に基づいて偏荷重が加わっているステージの位置を求め、位置に応じた補正テーブルを選択し、荷重センサの検出荷重から位置ずれ量を読み出すずれ量算出手段と、このずれ量算出手段で読み出した位置ずれ量で補正した位置指令値と、荷重による位置ずれを補正する位置制御部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】バーミラーの形状、スライダの走り、スライダのヨーイング角の情報を、高精度に識別して測定可能な機能を備えるＸＹステージを実現する。
【解決手段】プラテン上をＸ軸方向及びＹ軸方向に位置制御されるスライダと、前記スライダの一辺近傍に配置されたバーミラーと、このバーミラーに光を当てて距離を計測するレーザ干渉計とを具備するＸＹステージにおいて、
前記バーミラーに沿って等間隔に固定配置された３個の距離計と、
前記スライダを所定距離づつｎ回（ｎ≧２）平行移動させるスライダ移動手段と、
前記スライダの初期位置及び所定距離の移動毎に、前記距離計の測定値に基づいて前記バーミラーの形状、前記スライダの走り、前記スライダのヨーイング角の少なく共いずれかを演算するバーミラー形状演算装置と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の二次元型テーブル微小角度駆動機構は、検出した傾斜角に誤差が含まれており、二軸テーブルの利用において精度が低下している。
【解決手段】本発明による二次元型テーブル微小角度駆動機構は、補正手段５３は、Ｘ軸に沿う傾斜角とＹ軸に沿う傾斜角とを軸とした二次元座標系の各設定点の中から、指定傾斜角５２ａを囲む設定点を抽出するとともに、この前記指定傾斜角５２ａを囲む前記設定点の前記補正用誤差データ５５ａに基づいて、前記指定傾斜角５２ａにおける補正量ΔＸ，ΔＹを求め、傾斜角検出手段５４により検出された傾斜角５４ａを、補正量ΔＸ，ΔＹを用いて補正する。 （もっと読む）

【課題】一の水平方向に移動可能な第１のテーブル上にて支持された第２のテーブルの振動を制振する。
【解決手段】装置１は、Ｘ方向に移動可能なＸＹ軸テーブル２と、ＸＹ軸テーブル２上にて支持部３で支持されたＺ軸テーブル４と、Ｘ方向に互いに離れて配置されＺ軸テーブル４のＺ方向速度を検出する一対のスケール１０ａ，１０ｂと、Ｘ方向に互いに離れて配置されＺ軸テーブル４を鉛直方向に駆動する一対のモータ１１ａ，１１ｂと、検出されたＺ方向速度に基づいてモータ１１ａ，１１ｂの駆動を制御するコントローラ１２と、を備え、スケール１０ａ，１０ｂでＺ方向速度を検出することでＺ軸テーブル４のピッチング振動挙動を求め、モータ１１ａ，１１ｂを駆動し、ピッチング振動が相殺されるようにＺ軸テーブル４をピッチング方向Ｐに回転する。 （もっと読む）

【課題】高精度な位置制御を行うことが可能なステージ装置の設計方法、ステージ装置の製造方法、露光装置の製造方法、およびステージ装置を提供する。
【解決手段】ＸステージとＸステージ上を移動するＹステージとを含む力学系の伝達関数を求め、求めた伝達関数の零点の実部が負の値となるように、Ｙステージの質量またはＹステージの重心まわりの慣性モーメントを決定する。 （もっと読む）

【課題】高精度位置決めを迅速かつ安定して行なえるようにする。
【解決手段】 ボールねじ軸（リード１ｍｍ）を利用した全域回転駆動型でかつテーブルを最小１ｎｍずつ移動可能で、３つの光学格子（明・暗線が２μｍ）を用い信号分割数を２０００として１ｎｍ／１パルスの移動変位量検出信号を生成でき、オープンループ制御による高速回転とクローズドループ制御による中速回転および低速回転をこの順序で切換えて位置決めでき、低速回転中にインポジション範囲内であることを確認して迅速停止可能に形成されている。 （もっと読む）

【課題】加減速時のスライダの加速度を大きくすることができる粗微動装置を実現する。
【解決手段】粗動スライダと微動スライダを有し、位置司令部からの位置指令値に基づいてそれぞれのスライダを位置制御する粗微動装置において、前記微動スライダが使用すべき位置指令値を複数の位置指令値の中から選択する切り替え手段を備える。 （もっと読む）

【課題】推力発生時におけるスライダの傾きを防止できる平面モータを提供する。
【解決手段】コアＣＸ１−１，ＣＸ１−２，ＣＸ２−１，ＣＸ２−２によりスライダ３にＸ方向への推力が与えられている場合には、コアＣＹ１−１，ＣＹ１−２，ＣＹ２−１，ＣＹ２−２によりスライダ３にＺ軸方向（垂直方向）への推力が与えられることでトルクが打ち消される。コアＣＹ１−１，ＣＹ１−２，ＣＹ２−１，ＣＹ２−２によりスライダ３にＹ方向への推力が与えられている場合には、コアＣＸ１−１，ＣＸ１−２，ＣＸ２−１，ＣＸ２−２によりスライダ３にＺ軸方向（垂直方向）への推力が与えられることでトルクが打ち消される。 （もっと読む）

【課題】被調整面の角度調整を行う角度調整装置において、応答性が良く、演算が簡単で回路構成を簡単にして安価に構成することができるようにする。
【解決手段】入力信号に応答して作動し、被調整面１０に力を印加する３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃと、被調整面１０の変位を検出する３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃと、を備えており、３つの変位検出装置１４Ａ、１４Ｂ、１４Ｃは、３つのアクチュエータ１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃのうちの１つのアクチュエータが作動したときに、２つの変位検出装置はその力の印加に対する打撃中心軸上に配置され、残りの１つの変位検出装置のみが該打撃中心軸上以外の位置に配置される関係となるように、それぞれ配置される。 （もっと読む）

【課題】 連続配置された２個のプラテン夫々に適正な補正信号を切り替えて出力すると共に、プラテン接続部近傍の補正信号を適正値に計算して出力可能なＸＹステージを実現する。
【解決手段】 互いに一辺を接して同一面に連続配置された第１のプラテン及び第２のプラテンと、
これらプラテン上でＸ軸モータ及びＹ軸モータへ供給する交流信号によりＸ軸方向又はＹ軸方向に移動制御されるスライダと、
前記スライダが前記第１のプラテン上にあるときに前記交流信号の転流位相角に基づいて算出される第１の補正信号により前記スライダに発生するコギング推力に起因するリップル又は推力リップルを抑制する第１のリップル抑制手段と、
前記スライダが前記第２のプラテン上にあるときに前記交流信号の転流位相角に基づいて算出される第２の補正信号により前記スライダに発生するコギング推力に起因するリップル又は推力リップルを抑制する第２のリップル抑制手段と、
を備える。 （もっと読む）

【課題】高速で走査を行っても振動の発生の少ない小型で軽量な駆動ステージと、該駆動ステージを有し、高速に鮮明な像を取得できるＳＰＭや、高速に情報の記録再生を行っても振動によるエラーの生じにくい情報記録再生装置や、高速に加工を行っても精度の低下しない加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】支持体と、前記支持体に支持された少なくとも２つ以上の複数の可動部と、前記複数の可動部を駆動する１つ以上のアクチュエータからなる駆動ステージにおいて、
前記アクチュエータの駆動時に、前記複数のそれぞれの可動部の生じる慣性力が互いに相殺する方向に駆動するように構成する。 （もっと読む）