ＸＹテーブルの制御方法およびＸＹテーブル
【課題】本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法を提供することを課題としている。
【解決手段】仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有する。
【解決手段】仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セットテーブルを移動して、所定の位置に位置決めするＸＹテーブルの制御方法およびＸＹテーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のＸＹテーブルとして、セットテーブルと、セットテーブルをＸ軸方向に移動させるとＸ軸移動手段と、セットテーブルをＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段と、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。各移動手段は、送りネジとこれを駆動するモーターとによって、ガイドレール上のセットテーブルを移動する構成を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２８６３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このようなＸＹテーブルでは、各移動手段の機械精度上の問題で、目標座標点と、当該目標座標点による移動動作によって実際に移動した座標点（以下、実移動座標点）と、に誤差が生じてしまい、精度良く位置決めを行うことができないという問題がある。これに対し、移動後に実移動座標点を取得し、目標座標点との誤差分だけ、再度セットテーブルを移動させて（第２の移動動作）、位置を調整する方法がある。かかる際、第２の移動動作によって、再度誤差が生じるため、当該誤差が許容範囲に納まるまで繰り返し移動動作を行ってセットテーブルの位置を調整する。
しかしながら、このような制御方法では、１度目の移動動作の後、実移動座標を取得し、且つ再度移動動作を行う必要があり、また状況によっては、複数回の実移動座標の取得および移動動作を行う必要があるため、位置決め動作が煩雑となってしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法およびＸＹテーブルを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のＸＹテーブルの制御方法は、ワークをセットするセットテーブルと、セットテーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸移動手段と、セットテーブルをＹ軸方向に移動するＹ軸移動手段と、を備えたＸＹテーブルの制御方法であって、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブルの各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動手段およびＹ軸移動手段に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明のＸＹテーブルは、ワークをセットするセットテーブルと、セットテーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸移動部と、セットテーブルをＹ軸方向に移動するＹ軸移動部と、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブルの各実移動座標点を有する実座標データを取得し、記憶する実座標記憶部と、Ｘ軸移動部およびＹ軸移動部を制御する制御部と、を備え、制御部は、実座標記憶部に記憶された実座標データに基づいて、Ｘ軸移動部およびＹ軸移動部に対する移動指令における目標座標点を補正することを特徴とする。
【０００８】
これらの構成によれば、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点とした際の各実移動座標点を取得し、予め取得した当該各目標座標点に対する各実移動座標に基づいて、移動指令における目標座標点を補正することにより、再現性のある機械精度上の誤差を加味した移動動作（移動工程）を行うことができるため、移動後の実移動座標の取得および第２の移動動作を行う必要がない。ゆえに、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができる。
【０００９】
上記のＸＹテーブルの制御方法において、実座標データは、セットテーブルを、Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第１の実座標データと、Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第２の実座標データと、Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第３の実座標データと、Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第４の実座標データと、を有していることが好ましい。
【００１０】
各種移動手段では、例えば、動力伝達系のバックラッシュや寸法公差の影響で移動方向に依存する精度誤差を生じてしまう。
上記構成によれば、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の各移動方向に対する４組の実移動データを有し、そのうち、移動方向に対応する情報に基づいて、補正を行うことにより、移動方向に依存した精度誤差の影響も加味した移動動作（移動工程）を行うことができる。
【００１１】
この場合、取得した実座標データを補間する補間工程を、更に備えることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、実座標データを補間することにより、荒い間隔の実座標データから、細かい間隔の実座標データを取得することができる。ゆえに、高度な実座標データを、容易に取得することができる。
【００１３】
この場合、補正した移動指令における目標座標点に基づいて、Ｘ軸移動手段およびＹ軸移動手段により、セットテーブルを移動する移動工程と、移動後のセットテーブルの実移動座標点を検出する実座標検出工程と、検出した実移動座標点に基づいて、Ｘ軸移動手段およびＹ軸移動手段により、セットテーブルの調整移動する調整移動工程と、を更に有することが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、補正した目標座標点での移動動作を行った後、移動後の実移動座標点を検出して、これに基づいて、セットテーブルを調整移動することにより、１度目の移動動作によって、所定の位置決め精度が得られなかった場合にも対応することができる。なお、１回の実座標検出工程および調整移動工程によって、所定の位置決め精度が得られなかった場合には、これらを繰り返し実施する構成であっても良い。
【００１５】
上記のＸＹテーブルにおいて、実座標記憶部は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸スケールを用い、実移動座標点のＸ座標を検出するＸ軸実座標検出部と、Ｙ軸方向に延在するＹ軸スケールを用い、実移動座標点のＹ座標を検出するＹ軸実座標検出部と、を備えることが好ましい。
【００１６】
この場合、Ｘ軸スケールおよびＹ軸スケールは、それぞれガラススケールで構成されていることが好ましい。
【００１７】
これらの構成によれば、容易に且つ精度良く実移動座標点を取得することができる。なお、各スケールを固定とし、その目盛りの読取手段をセットテーブルに付随して移動させて検出する構成であっても良いし、読取手段を固定とし、各スケールをセットテーブルに付随して移動させて検出する構成であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態に係るＸＹテーブルの３面図である。
【図２】ＸＹテーブルの制御ブロック図である。
【図３】位置合せ動作を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係るＸＹテーブルの制御方法を適用したＸＹテーブルについて説明する。ＸＹテーブルは、ワークをＸＹ方向に移動させて、所定の位置に位置決めするものである。また、このＸＹテーブルは、予め実座標データを取得しておき、これに基づいて移動指令を補正することで、ワークの位置決めを容易に且つ精度良く行うことができる。
【００２０】
図１に示すように、ＸＹテーブル１は、ワークＷをセットするセットテーブル２と、セットテーブル２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（Ｘ軸移動手段およびＸ軸移動部）３と、セットテーブル２およびＸ軸移動機構３を搭載する中間テーブル４と、中間テーブル４をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構（Ｙ軸移動手段およびＹ軸移動部）５と、中間テーブル４およびＹ軸移動機構５を搭載する機台６と、これら構成装置を制御する制御装置（制御部）９（図２参照）と、を備えている。Ｘ軸移動機構３は、セットテーブル２（ワークＷ）をＸ軸方向に移動し、一方、Ｙ軸移動機構５は、中間テーブル４を介して、セットテーブル２（ワークＷ）をＹ軸方向に移動する。これらによって、セットテーブル２（ワークＷ）をＸＹ平面内で移動し、所定の位置に位置決めする。また、ＸＹテーブル１は、中間テーブル４に搭載されると共にセットテーブル２のＸ軸方向の位置を検出するＸ軸位置検出機構（Ｘ軸実座標検出部）７と、機台６に搭載されると共に中間テーブル４のＹ軸方向の位置を介して、セットテーブル２の位置を検出するＹ軸位置検出機構（Ｘ軸実座標検出部）８と、を備えている。
【００２１】
Ｘ軸移動機構３は、中間テーブル４に上面に設けられた一対のＸ軸リニアレール１１と、セットテーブル２の下面に設けられ、一対のＸ軸リニアレール１１に対応する一対のＸ軸スライダー１２と、セットテーブル２のＸ軸方向側方部（図中左側）に設けられ、セットテーブル２をＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動機構１３と、を備えている。すなわち、セットテーブル２は、一対のＸ軸リニアレール１１および一対のＸ軸スライダー１２によって、中間テーブル４に対しＸ軸方向にスライド自在に支持されると共に、Ｘ軸駆動機構１３による駆動によって、Ｘ軸方向に移動する。
【００２２】
Ｘ軸駆動機構１３は、Ｘ軸モーター１４と、Ｘ軸モーター１４に連動するＸ軸ボールネジ１５と、Ｘ軸ボールネジ１５を螺合した一対のＸ軸ボールナット１６と、一対のＸ軸ボールナット１６とセットテーブル２側端部とを連結する一対のＸ軸連結部材１７と、を備えている。Ｘ軸モーター１４を駆動すると、Ｘ軸ボールネジ１５、一対のＸ軸ボールナット１６および一対のＸ軸連結部材１７を介して、セットテーブル２がＸ軸方向に駆動する。なお、Ｘ軸モーター１４には、エンコーダーが搭載されており、エンコーダー信号を出入力して、セットテーブル２の移動を実施する。なお、後述する目標座標点は、エンコーダー信号に変換されて、Ｘ軸モーター１４に入力される。
【００２３】
Ｙ軸移動機構５は、機台６に上面に設けられた一対のＹ軸リニアレール２１と、中間テーブル４の下面に設けられ、一対のＹ軸リニアレール２１に対応する一対のＹ軸スライダー２２と、中間テーブル４のＹ軸方向側方部（図中下側）に設けられ、中間テーブル４をＸ軸方向に駆動するＹ軸駆動機構２３と、を備えている。すなわち、中間テーブル４は、一対のＹ軸リニアレール２１および一対のＹ軸スライダー２２によって、機台６に対し、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されると共に、Ｙ軸駆動機構２３による駆動によって、Ｙ軸方向に移動する。なお、Ｙ軸モーター２４には、エンコーダーが搭載されており、エンコーダー信号を出入力して、セットテーブル２の移動を実施する。なお、後述する目標座標点は、エンコーダー信号に変換されて、Ｙ軸モーター２４に入力される。
【００２４】
Ｙ軸駆動機構２３は、Ｙ軸モーター２４と、Ｙ軸モーター２４に連動するＹ軸ボールネジ２５と、Ｙ軸ボールネジ２５を螺合した一対のＹ軸ボールナット２６と、一対のＹ軸ボールナット２６と中間テーブル４側端部とを連結する一対のＹ軸連結部材２７と、を備えている。Ｙ軸モーター２４を駆動すると、Ｙ軸ボールネジ２５、一対のＹ軸ボールナット２６および一対のＹ軸連結部材２７を介して、中間テーブル４がＸ軸方向に駆動する。
【００２５】
Ｘ軸位置検出機構７は、セットテーブル２のＸ軸方向側方部（図中右側）に配設され、Ｘ軸方向に延在するＸ軸リニアスケール（Ｘ軸スケール）３１と、中間テーブル４に搭載され、Ｘ軸リニアスケール３１の目盛りを読み取るＸ軸スケール読取装置３２と、を備えている。Ｘ軸リニアスケール３１は、ガラススケールにより構成されている。Ｘ軸位置検出機構７は、着脱自在に形成されており、後述する実座標取得工程後に、取り外して、別装置に兼用しても良い。なお、Ｘ軸スケール読取装置３２によって、後述する実移動座標点のＸ座標が検出される。
【００２６】
Ｙ軸位置検出機構８は、中間テーブル４のＹ軸方向側方部（図中上側）に配設され、Ｙ軸方向に延在するＹ軸リニアスケール（Ｙ軸スケール）３３と、機台６に搭載され、Ｙ軸リニアスケール３３の目盛りを読み取るＹ軸スケール読取装置３４と、を備えている。Ｙ軸リニアスケール３３は、ガラススケールにより構成されている。Ｙ軸位置検出機構８は、着脱自在に形成されており、後述する実座標取得工程後に、取り外して、別装置に兼用しても良い。なお、Ｙ軸スケール読取装置３４によって、後述する実移動座標点のＹ座標が検出される。
【００２７】
図２に示すように、制御装置９は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４１と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４２と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４３と、ハードディスク（ＨＤＤ：Hard disk drive）４４と、を有している。ＣＰＵ４１は、ＸＹテーブル１を制御する中央処理装置である。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１が各種制御を行うための制御プログラムを記憶しており、ＲＡＭ４３は、ワークエリアとして利用される。また、ハードディスク４４は、各種データおよび各種プログラムを書換可能に記憶している。制御装置９は、ＲＯＭ４２やハードディスク４４に記憶されたプログラムに従い、ＣＰＵ４１が各種演算処理を行うことで、各種動作を実行する。また、制御装置９は、外部装置からの移動指令を受け、ＸＹテーブル１を駆動する。なお、この移動指令には、目標座標点（以下、指令座標点）が含まれている。また、請求項にいう実座標記録部は、Ｘ軸位置検出機構７、Ｙ軸位置検出機構８およびハードディスク４４により、構成されている。
【００２８】
ここで図３を参照して、ＸＹテーブル１による位置決め動作について説明する。位置決め動作は、制御装置９による制御下において行われるものであり、移動指令の補正に用いる実座標データを取得し、記憶する実座標取得工程（Ｓ１）と、移動指令を受けてセットテーブル２（ワークＷ）を移動する実位置決め工程（Ｓ３〜Ｓ５）と、により行われる。
【００２９】
実座標取得工程（Ｓ１）では、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得し、記憶する。具体的には、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５による上記各点を目標座標点とした移動と、Ｘ軸位置検出機構７およびＹ軸位置検出機構８による移動後のセットテーブル２の座標点（実移動座標点）の検出と、を繰り返すことで、仮想マトリクスにおける各目標座標点に対する各実移動座標点から成る実座標データを取得し、上記のハードディスク４４に記憶する。なお、実座標データとして、ＸＹ方向１ｍｍピッチの実移動座標点を取得し、記憶する。また、実座標データとして、セットテーブル２を、Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第１の実座標データと、Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第２の実座標データと、Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第３の実座標データと、Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第４の実座標データと取得し、記憶する。
【００３０】
実位置決め工程は、制御装置９による移動指令の受信に起因して（Ｓ２：Ｙｓｅ）、実行されるものであり、実位置決め工程では、実座標データを補間する補間工程（Ｓ３）と、補間データに基づいて移動指令を補正する座標補正工程（Ｓ４）と、補正した移動指令に基づいてセットテーブル２を移動する移動工程（Ｓ５）と、を実行する。
【００３１】
補間工程（Ｓ３）では、ＸＹ座標それぞれにおいて、指令座標点近傍の実座標データを、補間する補間データを生成する。例えば、実座標データから、指令座標点を囲う４つの目標座標点と、これらに対応する実移動座標点とを抽出する。次に、４つの目標座標点から、Ｙ座標が同値の２点を用い、目標座標点のＸ座標に対する実移動座標点のＸ座標の一次関数を生成する。これをＸ座標の補間データとする。一方、４つの目標座標点から、Ｘ座標が同値の２点を用い、目標座標点のＹ座標に対する実移動座標点のＹ座標の一次関数を生成する。これをＹ座標の補間データとする。なお、４つの目標座標点において、Ｙ座標が同値の２点の組、およびＸ座標が同値の２点の組はそれぞれ２組ずつ得られるが、その同値となるＹ座標が指令座標点のＹ座標に近いもの、その同値となるＸ座標が指令座標点のＸ座標に近いものを選択する。また、ここでは、実座標データを用いる際、第１の実座標データ、第２の実座標データ、第３の実座標データおよび第４の実座標データのうち、移動指令によるＸＹ方向の移動方向が対応するものを用いて、補間データを生成する。
【００３２】
座標補正工程（Ｓ４）では、生成した各補間データを用いて、指令座標点を補正する。具体的には指令座標点のＸ座標の補正では、Ｘ座標の補間データから、指令座標点のＸ座標を目標座標点のＸ座標とした際の、これに対応する実移動座標点のＸ座標を求める。次に、指令座標点のＸ座標と、求めた実移動座標点のＸ座標との差分を、指令座標点のＸ座標に加減算する。これによって、指令座標点のＸ座標の補正が実施される。一方、指令座標点のＹ座標の補正では、Ｙ座標の補間データから、指令座標点のＹ座標を目標座標点のＹ座標とした際の、これに対応する実移動座標点のＹ座標を求める。次に、指令座標点のＹ座標と、求めた実移動座標点のＹ座標との差分を、指令座標点のＹ座標に加減算する。これによって、Ｙ座標の補正が実施される。なお、ここでは、指令座標点の座標（Ｘ座標もしくはＹ座標）を目標座標点の座標とした際の、これに対応する実移動座標点の座標を用いて補正を行ったが、補間データから、指令座標点の座標を実移動座標点とした際の、これに対応する目標座標点の座標を求めると共に、求めた目標座標点の座標をそのまま、指令座標点の座標に置換することで、補正を実施する構成であっても良い。
【００３３】
移動工程（Ｓ５）では、補正した移動指令に基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５を駆動する。すなわち、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５により、補正した指令座標点を目標座標点として、セットテーブル２を移動する。
【００３４】
以上のような構成によれば、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点とした際の各実移動座標点を取得し、予め取得した当該各目標座標点に対する各実移動座標に基づいて、移動指令における目標座標点を補正することにより、再現性のある機械精度上の誤差を加味した移動動作（移動工程）を行うことができるため、移動後の実移動座標の取得および第２の移動動作を行う必要がない。ゆえに、セットテーブル２の位置決めを精度良く且つ容易に行うことができる。
【００３５】
また、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の各移動方向に対する４組の実移動データを有し、そのうち、移動方向に対応する情報に基づいて、補正を行うことにより、移動方向に依存した精度誤差の影響も加味した移動動作（移動工程）を行うことができる。
【００３６】
さらに、実座標データを補間することにより、荒い間隔の実座標データから、細かい間隔の実座標データを取得することができる。ゆえに、高度な実座標データを、容易に取得することができる。なお、本実施形態では、移動指令を受けた後に、指令座標点近傍の実座標データを補間する構成であったが、実座標データ取得直後に、実座標データ全体を補間するものであっても良い。
【００３７】
またさらに、ガラススケールを有するＸ軸位置検出機構７およびＹ軸位置検出機構８を用いることにより、容易に且つ精度良く実移動座標点を取得することができる。
【００３８】
なお、本実施形態においては、１回の移動動作（移動工程）により位置合せを行ったが、移動工程の後に、Ｘ軸位置検出機構７およびＹ軸位置検出機構８によって、移動後のセットテーブル２の実移動座標点を検出する実座標検出工程と、検出した実移動座標点に基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５により、セットテーブル２の調整移動する調整移動工程と、を更に有する構成であっても良い。かかる場合、１度目の移動動作によって、所定の位置決め精度が得られなかった場合にも対応することができる。なお、１回の実座標検出工程および調整移動工程によって、所定の位置決め精度が得られなかった場合には、これらを繰り返し実施する構成であっても良い。
【符号の説明】
【００３９】
１：ＸＹテーブル、 ２：セットテーブル、 ３：Ｘ軸移動機構、 ５：Ｙ軸移動機構、 ７：Ｘ軸位置検出機構、 ８：Ｙ軸位置検出機構、 ９：制御装置、 ３１：Ｘ軸リニアスケール、 ３３：Ｙ軸リニアスケール、 ４４：ハードディスク、 Ｗ：ワーク
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セットテーブルを移動して、所定の位置に位置決めするＸＹテーブルの制御方法およびＸＹテーブルに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のＸＹテーブルとして、セットテーブルと、セットテーブルをＸ軸方向に移動させるとＸ軸移動手段と、セットテーブルをＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段と、を備えたものが知られている（特許文献１参照）。各移動手段は、送りネジとこれを駆動するモーターとによって、ガイドレール上のセットテーブルを移動する構成を有している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開平１１−２８６３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このようなＸＹテーブルでは、各移動手段の機械精度上の問題で、目標座標点と、当該目標座標点による移動動作によって実際に移動した座標点（以下、実移動座標点）と、に誤差が生じてしまい、精度良く位置決めを行うことができないという問題がある。これに対し、移動後に実移動座標点を取得し、目標座標点との誤差分だけ、再度セットテーブルを移動させて（第２の移動動作）、位置を調整する方法がある。かかる際、第２の移動動作によって、再度誤差が生じるため、当該誤差が許容範囲に納まるまで繰り返し移動動作を行ってセットテーブルの位置を調整する。
しかしながら、このような制御方法では、１度目の移動動作の後、実移動座標を取得し、且つ再度移動動作を行う必要があり、また状況によっては、複数回の実移動座標の取得および移動動作を行う必要があるため、位置決め動作が煩雑となってしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができるＸＹテーブルの制御方法およびＸＹテーブルを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のＸＹテーブルの制御方法は、ワークをセットするセットテーブルと、セットテーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸移動手段と、セットテーブルをＹ軸方向に移動するＹ軸移動手段と、を備えたＸＹテーブルの制御方法であって、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブルの各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、取得した実座標データに基づいて、Ｘ軸移動手段およびＹ軸移動手段に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】
本発明のＸＹテーブルは、ワークをセットするセットテーブルと、セットテーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸移動部と、セットテーブルをＹ軸方向に移動するＹ軸移動部と、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブルの各実移動座標点を有する実座標データを取得し、記憶する実座標記憶部と、Ｘ軸移動部およびＹ軸移動部を制御する制御部と、を備え、制御部は、実座標記憶部に記憶された実座標データに基づいて、Ｘ軸移動部およびＹ軸移動部に対する移動指令における目標座標点を補正することを特徴とする。
【０００８】
これらの構成によれば、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点とした際の各実移動座標点を取得し、予め取得した当該各目標座標点に対する各実移動座標に基づいて、移動指令における目標座標点を補正することにより、再現性のある機械精度上の誤差を加味した移動動作（移動工程）を行うことができるため、移動後の実移動座標の取得および第２の移動動作を行う必要がない。ゆえに、セットテーブルの位置決めを精度良く且つ容易に行うことができる。
【０００９】
上記のＸＹテーブルの制御方法において、実座標データは、セットテーブルを、Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第１の実座標データと、Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第２の実座標データと、Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第３の実座標データと、Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第４の実座標データと、を有していることが好ましい。
【００１０】
各種移動手段では、例えば、動力伝達系のバックラッシュや寸法公差の影響で移動方向に依存する精度誤差を生じてしまう。
上記構成によれば、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の各移動方向に対する４組の実移動データを有し、そのうち、移動方向に対応する情報に基づいて、補正を行うことにより、移動方向に依存した精度誤差の影響も加味した移動動作（移動工程）を行うことができる。
【００１１】
この場合、取得した実座標データを補間する補間工程を、更に備えることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、実座標データを補間することにより、荒い間隔の実座標データから、細かい間隔の実座標データを取得することができる。ゆえに、高度な実座標データを、容易に取得することができる。
【００１３】
この場合、補正した移動指令における目標座標点に基づいて、Ｘ軸移動手段およびＹ軸移動手段により、セットテーブルを移動する移動工程と、移動後のセットテーブルの実移動座標点を検出する実座標検出工程と、検出した実移動座標点に基づいて、Ｘ軸移動手段およびＹ軸移動手段により、セットテーブルの調整移動する調整移動工程と、を更に有することが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、補正した目標座標点での移動動作を行った後、移動後の実移動座標点を検出して、これに基づいて、セットテーブルを調整移動することにより、１度目の移動動作によって、所定の位置決め精度が得られなかった場合にも対応することができる。なお、１回の実座標検出工程および調整移動工程によって、所定の位置決め精度が得られなかった場合には、これらを繰り返し実施する構成であっても良い。
【００１５】
上記のＸＹテーブルにおいて、実座標記憶部は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸スケールを用い、実移動座標点のＸ座標を検出するＸ軸実座標検出部と、Ｙ軸方向に延在するＹ軸スケールを用い、実移動座標点のＹ座標を検出するＹ軸実座標検出部と、を備えることが好ましい。
【００１６】
この場合、Ｘ軸スケールおよびＹ軸スケールは、それぞれガラススケールで構成されていることが好ましい。
【００１７】
これらの構成によれば、容易に且つ精度良く実移動座標点を取得することができる。なお、各スケールを固定とし、その目盛りの読取手段をセットテーブルに付随して移動させて検出する構成であっても良いし、読取手段を固定とし、各スケールをセットテーブルに付随して移動させて検出する構成であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】実施形態に係るＸＹテーブルの３面図である。
【図２】ＸＹテーブルの制御ブロック図である。
【図３】位置合せ動作を示したフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係るＸＹテーブルの制御方法を適用したＸＹテーブルについて説明する。ＸＹテーブルは、ワークをＸＹ方向に移動させて、所定の位置に位置決めするものである。また、このＸＹテーブルは、予め実座標データを取得しておき、これに基づいて移動指令を補正することで、ワークの位置決めを容易に且つ精度良く行うことができる。
【００２０】
図１に示すように、ＸＹテーブル１は、ワークＷをセットするセットテーブル２と、セットテーブル２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（Ｘ軸移動手段およびＸ軸移動部）３と、セットテーブル２およびＸ軸移動機構３を搭載する中間テーブル４と、中間テーブル４をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構（Ｙ軸移動手段およびＹ軸移動部）５と、中間テーブル４およびＹ軸移動機構５を搭載する機台６と、これら構成装置を制御する制御装置（制御部）９（図２参照）と、を備えている。Ｘ軸移動機構３は、セットテーブル２（ワークＷ）をＸ軸方向に移動し、一方、Ｙ軸移動機構５は、中間テーブル４を介して、セットテーブル２（ワークＷ）をＹ軸方向に移動する。これらによって、セットテーブル２（ワークＷ）をＸＹ平面内で移動し、所定の位置に位置決めする。また、ＸＹテーブル１は、中間テーブル４に搭載されると共にセットテーブル２のＸ軸方向の位置を検出するＸ軸位置検出機構（Ｘ軸実座標検出部）７と、機台６に搭載されると共に中間テーブル４のＹ軸方向の位置を介して、セットテーブル２の位置を検出するＹ軸位置検出機構（Ｘ軸実座標検出部）８と、を備えている。
【００２１】
Ｘ軸移動機構３は、中間テーブル４に上面に設けられた一対のＸ軸リニアレール１１と、セットテーブル２の下面に設けられ、一対のＸ軸リニアレール１１に対応する一対のＸ軸スライダー１２と、セットテーブル２のＸ軸方向側方部（図中左側）に設けられ、セットテーブル２をＸ軸方向に駆動するＸ軸駆動機構１３と、を備えている。すなわち、セットテーブル２は、一対のＸ軸リニアレール１１および一対のＸ軸スライダー１２によって、中間テーブル４に対しＸ軸方向にスライド自在に支持されると共に、Ｘ軸駆動機構１３による駆動によって、Ｘ軸方向に移動する。
【００２２】
Ｘ軸駆動機構１３は、Ｘ軸モーター１４と、Ｘ軸モーター１４に連動するＸ軸ボールネジ１５と、Ｘ軸ボールネジ１５を螺合した一対のＸ軸ボールナット１６と、一対のＸ軸ボールナット１６とセットテーブル２側端部とを連結する一対のＸ軸連結部材１７と、を備えている。Ｘ軸モーター１４を駆動すると、Ｘ軸ボールネジ１５、一対のＸ軸ボールナット１６および一対のＸ軸連結部材１７を介して、セットテーブル２がＸ軸方向に駆動する。なお、Ｘ軸モーター１４には、エンコーダーが搭載されており、エンコーダー信号を出入力して、セットテーブル２の移動を実施する。なお、後述する目標座標点は、エンコーダー信号に変換されて、Ｘ軸モーター１４に入力される。
【００２３】
Ｙ軸移動機構５は、機台６に上面に設けられた一対のＹ軸リニアレール２１と、中間テーブル４の下面に設けられ、一対のＹ軸リニアレール２１に対応する一対のＹ軸スライダー２２と、中間テーブル４のＹ軸方向側方部（図中下側）に設けられ、中間テーブル４をＸ軸方向に駆動するＹ軸駆動機構２３と、を備えている。すなわち、中間テーブル４は、一対のＹ軸リニアレール２１および一対のＹ軸スライダー２２によって、機台６に対し、Ｙ軸方向にスライド自在に支持されると共に、Ｙ軸駆動機構２３による駆動によって、Ｙ軸方向に移動する。なお、Ｙ軸モーター２４には、エンコーダーが搭載されており、エンコーダー信号を出入力して、セットテーブル２の移動を実施する。なお、後述する目標座標点は、エンコーダー信号に変換されて、Ｙ軸モーター２４に入力される。
【００２４】
Ｙ軸駆動機構２３は、Ｙ軸モーター２４と、Ｙ軸モーター２４に連動するＹ軸ボールネジ２５と、Ｙ軸ボールネジ２５を螺合した一対のＹ軸ボールナット２６と、一対のＹ軸ボールナット２６と中間テーブル４側端部とを連結する一対のＹ軸連結部材２７と、を備えている。Ｙ軸モーター２４を駆動すると、Ｙ軸ボールネジ２５、一対のＹ軸ボールナット２６および一対のＹ軸連結部材２７を介して、中間テーブル４がＸ軸方向に駆動する。
【００２５】
Ｘ軸位置検出機構７は、セットテーブル２のＸ軸方向側方部（図中右側）に配設され、Ｘ軸方向に延在するＸ軸リニアスケール（Ｘ軸スケール）３１と、中間テーブル４に搭載され、Ｘ軸リニアスケール３１の目盛りを読み取るＸ軸スケール読取装置３２と、を備えている。Ｘ軸リニアスケール３１は、ガラススケールにより構成されている。Ｘ軸位置検出機構７は、着脱自在に形成されており、後述する実座標取得工程後に、取り外して、別装置に兼用しても良い。なお、Ｘ軸スケール読取装置３２によって、後述する実移動座標点のＸ座標が検出される。
【００２６】
Ｙ軸位置検出機構８は、中間テーブル４のＹ軸方向側方部（図中上側）に配設され、Ｙ軸方向に延在するＹ軸リニアスケール（Ｙ軸スケール）３３と、機台６に搭載され、Ｙ軸リニアスケール３３の目盛りを読み取るＹ軸スケール読取装置３４と、を備えている。Ｙ軸リニアスケール３３は、ガラススケールにより構成されている。Ｙ軸位置検出機構８は、着脱自在に形成されており、後述する実座標取得工程後に、取り外して、別装置に兼用しても良い。なお、Ｙ軸スケール読取装置３４によって、後述する実移動座標点のＹ座標が検出される。
【００２７】
図２に示すように、制御装置９は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）４１と、ＲＯＭ（Read Only Memory）４２と、ＲＡＭ（Random Access Memory）４３と、ハードディスク（ＨＤＤ：Hard disk drive）４４と、を有している。ＣＰＵ４１は、ＸＹテーブル１を制御する中央処理装置である。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１が各種制御を行うための制御プログラムを記憶しており、ＲＡＭ４３は、ワークエリアとして利用される。また、ハードディスク４４は、各種データおよび各種プログラムを書換可能に記憶している。制御装置９は、ＲＯＭ４２やハードディスク４４に記憶されたプログラムに従い、ＣＰＵ４１が各種演算処理を行うことで、各種動作を実行する。また、制御装置９は、外部装置からの移動指令を受け、ＸＹテーブル１を駆動する。なお、この移動指令には、目標座標点（以下、指令座標点）が含まれている。また、請求項にいう実座標記録部は、Ｘ軸位置検出機構７、Ｙ軸位置検出機構８およびハードディスク４４により、構成されている。
【００２８】
ここで図３を参照して、ＸＹテーブル１による位置決め動作について説明する。位置決め動作は、制御装置９による制御下において行われるものであり、移動指令の補正に用いる実座標データを取得し、記憶する実座標取得工程（Ｓ１）と、移動指令を受けてセットテーブル２（ワークＷ）を移動する実位置決め工程（Ｓ３〜Ｓ５）と、により行われる。
【００２９】
実座標取得工程（Ｓ１）では、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、セットテーブル２の各実移動座標点を有する実座標データを取得し、記憶する。具体的には、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５による上記各点を目標座標点とした移動と、Ｘ軸位置検出機構７およびＹ軸位置検出機構８による移動後のセットテーブル２の座標点（実移動座標点）の検出と、を繰り返すことで、仮想マトリクスにおける各目標座標点に対する各実移動座標点から成る実座標データを取得し、上記のハードディスク４４に記憶する。なお、実座標データとして、ＸＹ方向１ｍｍピッチの実移動座標点を取得し、記憶する。また、実座標データとして、セットテーブル２を、Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第１の実座標データと、Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第２の実座標データと、Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第３の実座標データと、Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第４の実座標データと取得し、記憶する。
【００３０】
実位置決め工程は、制御装置９による移動指令の受信に起因して（Ｓ２：Ｙｓｅ）、実行されるものであり、実位置決め工程では、実座標データを補間する補間工程（Ｓ３）と、補間データに基づいて移動指令を補正する座標補正工程（Ｓ４）と、補正した移動指令に基づいてセットテーブル２を移動する移動工程（Ｓ５）と、を実行する。
【００３１】
補間工程（Ｓ３）では、ＸＹ座標それぞれにおいて、指令座標点近傍の実座標データを、補間する補間データを生成する。例えば、実座標データから、指令座標点を囲う４つの目標座標点と、これらに対応する実移動座標点とを抽出する。次に、４つの目標座標点から、Ｙ座標が同値の２点を用い、目標座標点のＸ座標に対する実移動座標点のＸ座標の一次関数を生成する。これをＸ座標の補間データとする。一方、４つの目標座標点から、Ｘ座標が同値の２点を用い、目標座標点のＹ座標に対する実移動座標点のＹ座標の一次関数を生成する。これをＹ座標の補間データとする。なお、４つの目標座標点において、Ｙ座標が同値の２点の組、およびＸ座標が同値の２点の組はそれぞれ２組ずつ得られるが、その同値となるＹ座標が指令座標点のＹ座標に近いもの、その同値となるＸ座標が指令座標点のＸ座標に近いものを選択する。また、ここでは、実座標データを用いる際、第１の実座標データ、第２の実座標データ、第３の実座標データおよび第４の実座標データのうち、移動指令によるＸＹ方向の移動方向が対応するものを用いて、補間データを生成する。
【００３２】
座標補正工程（Ｓ４）では、生成した各補間データを用いて、指令座標点を補正する。具体的には指令座標点のＸ座標の補正では、Ｘ座標の補間データから、指令座標点のＸ座標を目標座標点のＸ座標とした際の、これに対応する実移動座標点のＸ座標を求める。次に、指令座標点のＸ座標と、求めた実移動座標点のＸ座標との差分を、指令座標点のＸ座標に加減算する。これによって、指令座標点のＸ座標の補正が実施される。一方、指令座標点のＹ座標の補正では、Ｙ座標の補間データから、指令座標点のＹ座標を目標座標点のＹ座標とした際の、これに対応する実移動座標点のＹ座標を求める。次に、指令座標点のＹ座標と、求めた実移動座標点のＹ座標との差分を、指令座標点のＹ座標に加減算する。これによって、Ｙ座標の補正が実施される。なお、ここでは、指令座標点の座標（Ｘ座標もしくはＹ座標）を目標座標点の座標とした際の、これに対応する実移動座標点の座標を用いて補正を行ったが、補間データから、指令座標点の座標を実移動座標点とした際の、これに対応する目標座標点の座標を求めると共に、求めた目標座標点の座標をそのまま、指令座標点の座標に置換することで、補正を実施する構成であっても良い。
【００３３】
移動工程（Ｓ５）では、補正した移動指令に基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５を駆動する。すなわち、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５により、補正した指令座標点を目標座標点として、セットテーブル２を移動する。
【００３４】
以上のような構成によれば、仮想マトリクスにおける各点を目標座標点とした際の各実移動座標点を取得し、予め取得した当該各目標座標点に対する各実移動座標に基づいて、移動指令における目標座標点を補正することにより、再現性のある機械精度上の誤差を加味した移動動作（移動工程）を行うことができるため、移動後の実移動座標の取得および第２の移動動作を行う必要がない。ゆえに、セットテーブル２の位置決めを精度良く且つ容易に行うことができる。
【００３５】
また、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の各移動方向に対する４組の実移動データを有し、そのうち、移動方向に対応する情報に基づいて、補正を行うことにより、移動方向に依存した精度誤差の影響も加味した移動動作（移動工程）を行うことができる。
【００３６】
さらに、実座標データを補間することにより、荒い間隔の実座標データから、細かい間隔の実座標データを取得することができる。ゆえに、高度な実座標データを、容易に取得することができる。なお、本実施形態では、移動指令を受けた後に、指令座標点近傍の実座標データを補間する構成であったが、実座標データ取得直後に、実座標データ全体を補間するものであっても良い。
【００３７】
またさらに、ガラススケールを有するＸ軸位置検出機構７およびＹ軸位置検出機構８を用いることにより、容易に且つ精度良く実移動座標点を取得することができる。
【００３８】
なお、本実施形態においては、１回の移動動作（移動工程）により位置合せを行ったが、移動工程の後に、Ｘ軸位置検出機構７およびＹ軸位置検出機構８によって、移動後のセットテーブル２の実移動座標点を検出する実座標検出工程と、検出した実移動座標点に基づいて、Ｘ軸移動機構３およびＹ軸移動機構５により、セットテーブル２の調整移動する調整移動工程と、を更に有する構成であっても良い。かかる場合、１度目の移動動作によって、所定の位置決め精度が得られなかった場合にも対応することができる。なお、１回の実座標検出工程および調整移動工程によって、所定の位置決め精度が得られなかった場合には、これらを繰り返し実施する構成であっても良い。
【符号の説明】
【００３９】
１：ＸＹテーブル、 ２：セットテーブル、 ３：Ｘ軸移動機構、 ５：Ｙ軸移動機構、 ７：Ｘ軸位置検出機構、 ８：Ｙ軸位置検出機構、 ９：制御装置、 ３１：Ｘ軸リニアスケール、 ３３：Ｙ軸リニアスケール、 ４４：ハードディスク、 Ｗ：ワーク
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークをセットするセットテーブルと、
前記セットテーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸移動手段と、
前記セットテーブルをＹ軸方向に移動するＹ軸移動手段と、を備えたＸＹテーブルの制御方法であって、
仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、前記セットテーブルの各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、
取得した前記実座標データに基づいて、前記Ｘ軸移動手段および前記Ｙ軸移動手段に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有することを特徴とするＸＹテーブルの制御方法。
【請求項２】
前記実座標データは、前記セットテーブルを、
Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第１の実座標データと、
Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第２の実座標データと、
Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第３の実座標データと、
Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第４の実座標データと、を有していることを特徴とする請求項１に記載のＸＹテーブルの制御方法。
【請求項３】
取得した前記実座標データを補間する補間工程を、更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のＸＹテーブルの制御方法。
【請求項４】
補正した前記移動指令における目標座標点に基づいて、前記Ｘ軸移動手段および前記Ｙ軸移動手段により、前記セットテーブルを移動する移動工程と、
移動後の前記セットテーブルの実移動座標点を検出する実座標検出工程と、
検出した前記実移動座標点に基づいて、前記Ｘ軸移動手段および前記Ｙ軸移動手段により、前記セットテーブルを調整移動する調整移動工程と、を更に有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のＸＹテーブルの制御方法。
【請求項５】
ワークをセットするセットテーブルと、
前記セットテーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸移動部と、
前記セットテーブルをＹ軸方向に移動するＹ軸移動部と、
仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、前記セットテーブルの各実移動座標点を有する実座標データを取得し、記憶する実座標記憶部と、
前記Ｘ軸移動部および前記Ｙ軸移動部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記実座標記憶部に記憶された実座標データに基づいて、前記Ｘ軸移動部および前記Ｙ軸移動部に対する移動指令における目標座標点を補正することを特徴とするＸＹテーブル。
【請求項６】
前記実座標記憶部は、
Ｘ軸方向に延在するＸ軸スケールを用い、前記実移動座標点のＸ座標を検出するＸ軸実座標検出部と、
Ｙ軸方向に延在するＹ軸スケールを用い、前記実移動座標点のＹ座標を検出するＹ軸実座標検出部と、を備えたことを特徴とする請求項５に記載のＸＹテーブル。
【請求項７】
前記Ｘ軸スケールおよび前記Ｙ軸スケールは、それぞれガラススケールで構成されていることを特徴とする請求項６に記載のＸＹテーブル。
【請求項１】
ワークをセットするセットテーブルと、
前記セットテーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸移動手段と、
前記セットテーブルをＹ軸方向に移動するＹ軸移動手段と、を備えたＸＹテーブルの制御方法であって、
仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、前記セットテーブルの各実移動座標点を有する実座標データを取得する実座標取得工程と、
取得した前記実座標データに基づいて、前記Ｘ軸移動手段および前記Ｙ軸移動手段に対する移動指令における目標座標点を補正する座標補正工程と、を有することを特徴とするＸＹテーブルの制御方法。
【請求項２】
前記実座標データは、前記セットテーブルを、
Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第１の実座標データと、
Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向正方向に移動させて取得した第２の実座標データと、
Ｘ軸方向正方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第３の実座標データと、
Ｘ軸方向負方向およびＹ軸方向負方向に移動させて取得した第４の実座標データと、を有していることを特徴とする請求項１に記載のＸＹテーブルの制御方法。
【請求項３】
取得した前記実座標データを補間する補間工程を、更に備えたことを特徴とする請求項１または２に記載のＸＹテーブルの制御方法。
【請求項４】
補正した前記移動指令における目標座標点に基づいて、前記Ｘ軸移動手段および前記Ｙ軸移動手段により、前記セットテーブルを移動する移動工程と、
移動後の前記セットテーブルの実移動座標点を検出する実座標検出工程と、
検出した前記実移動座標点に基づいて、前記Ｘ軸移動手段および前記Ｙ軸移動手段により、前記セットテーブルを調整移動する調整移動工程と、を更に有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のＸＹテーブルの制御方法。
【請求項５】
ワークをセットするセットテーブルと、
前記セットテーブルをＸ軸方向に移動するＸ軸移動部と、
前記セットテーブルをＹ軸方向に移動するＹ軸移動部と、
仮想マトリクスにおける各点を目標座標点として移動させて、前記セットテーブルの各実移動座標点を有する実座標データを取得し、記憶する実座標記憶部と、
前記Ｘ軸移動部および前記Ｙ軸移動部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記実座標記憶部に記憶された実座標データに基づいて、前記Ｘ軸移動部および前記Ｙ軸移動部に対する移動指令における目標座標点を補正することを特徴とするＸＹテーブル。
【請求項６】
前記実座標記憶部は、
Ｘ軸方向に延在するＸ軸スケールを用い、前記実移動座標点のＸ座標を検出するＸ軸実座標検出部と、
Ｙ軸方向に延在するＹ軸スケールを用い、前記実移動座標点のＹ座標を検出するＹ軸実座標検出部と、を備えたことを特徴とする請求項５に記載のＸＹテーブル。
【請求項７】
前記Ｘ軸スケールおよび前記Ｙ軸スケールは、それぞれガラススケールで構成されていることを特徴とする請求項６に記載のＸＹテーブル。
【図１】
【図２】
【図３】
【図２】
【図３】
【公開番号】特開２０１１−５９８４８（Ｐ２０１１−５９８４８Ａ）
【公開日】平成２３年３月２４日（２０１１．３．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２０６７９１（Ｐ２００９−２０６７９１）
【出願日】平成２１年９月８日（２００９．９．８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年３月２４日（２０１１．３．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年９月８日（２００９．９．８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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