【課題】マスタ軸を駆動するマスタ軸モータとスレーブ軸を駆動するスレーブ軸モータとを正確に同期制御することができる、小型で低価格のモータ制御装置を実現する。
【解決手段】マスタ軸を駆動するマスタ軸モータ１４とスレーブ軸を駆動するスレーブ軸モータ５４とを同期制御するモータ制御装置１は、マスタ軸の位置データと所定一定周期の基準信号とを出力するマスタ軸位置検出器１１と、マスタ軸位置検出器１１が出力した位置データと基準信号とを受信するマスタ軸受信回路１３と、マスタ軸受信回路１３が受信した位置データと基準信号を受信した時点の位置データとの差分を、マスタ軸差分として算出するマスタ軸演算回路１３と、マスタ軸差分をマスタ軸モータ１４の動作と同期を取るための信号として用いてスレーブ軸モータ５４の動作を制御するスレーブ軸モータ制御部５５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】伝達遅れを抑え且つ分岐回路無しで、一つのマスタ軸に対して一つまたは複数のスレーブ軸を同期させる。
【解決手段】ギア加工機の制御装置（１）は、工具軸コントローラ（２２）とワーク軸コントローラ（１２）との間を直接的に接続して通信するバス（５１）を具備し、工具軸位置検出センサ（２５）により検出された工具軸（４０）の位置はバスを通じてワーク軸コントローラに供給され、上位コントローラ（１０）は所定の同期比と、ねじれ動作を加えるための重畳指令とをワーク軸コントローラに供給するようになっており、ワーク軸コントローラは、バスを通じて供給された工具軸の位置に同期比を乗算して作成された値と重畳指令とを加算して、ワーク軸（３０）の移動指令を作成するようにした。 （もっと読む）

【課題】高速且つ高精度に駆動対象を目標位置に停止可能とする。
【解決手段】モータ制御ユニットは、モータに入力可能な電流上限値を推定し、この上限値に対応する駆動電流でモータを駆動する第一制御処理（Ｓ１４０，Ｓ１５０）を実行する。また、第二制御処理（Ｓ２１０，Ｓ２２０）では、電流上限値よりも小さい偽の電流上限値を、電流上限値の算出式に用いる係数を切り替えることで算出し、その偽の電流上限値に対応する駆動電流でモータを駆動する。そして、第三制御処理（Ｓ３００）では、第二制御処理終了時の駆動対象の位置Ｐ及び速度Ｖに基づき、定速区間及び減速区間の目標プロファイルを設定し、駆動対象の位置及び速度が、目標プロファイルが示す位置及び速度を追従するように、モータに対する電流指令値を調整する。これによって第三制御処理の初期に電流指令値が電流上限値を超えないようにモータ制御を実行し、駆動対象を目標位置に停止させる。 （もっと読む）

【課題】 サーボモータに同期して稼動する外部装置に対して作動を指示するトリガ信号を高精度に出力することが可能なトリガ発生装置を提供する。
【解決手段】 位置検出器のサンプリング開始からトリガ信号を発生させるタイマ設定時間を算出するまでに要する時間をサーボ側遅延時間とし、トリガ発生装置がトリガ信号を出力してから外部装置が作動を開始するまでに要する時間を外部装置側遅延時間とするとき、本発明のトリガ発生装置は、サーボモータの位置情報から算出された外部装置が作動開始位置に到達するまでの到達所要時間からサーボ側遅延時間及び外部装置側遅延時間を減算してタイマ設定時間を算出するタイマ設定時間算出部と、タイマ設定時間に基づきトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】観察サンプルを載置する可動テーブルをウォーキング形ピエゾモータにより駆動するピエゾステージと、前記ピエゾステージの移動を制御するステージ制御装置を有するステージ装置において、ピエゾステージの周期的な速度変動を抑制して、観察者がサンプルの移動を行う際の操作性と位置決め精度を向上する。
【解決手段】ピエゾステージ１のウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧標準データ３０４と、前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２の出力に一定速度を与える様に予め測定した指令電圧出力タイミング補正データ３０５と、少なくとも前記指令電圧標準データ３０４および前記指令電圧出力タイミング補正データ３０５から前記ウォーキング形ピエゾモータ１０２を駆動する指令電圧を生成する指令電圧生成部３０２を有するステージ装置３が提供される。 （もっと読む）

【課題】出力を簡易に検出できる太陽追尾装置を提供すること。
【解決手段】太陽の方位に対応して回転可能に構成される第１軸７及び太陽の高度に対応して回転可能に構成される第２軸８により、太陽光を受光する受光部９が支持されている。第１軸７は重力軸Ｇに対して回転軸心Ｏが傾斜して配置されているので、第１軸７が回転すると、第１軸７に固定された第１傾斜センサ４１は重力軸Ｇと検出軸Ｄとの角度を変えながら、即ちセンサ出力を変えながら回転軸心Ｏの回りを回転する。第１軸７の回転角と第１傾斜センサ４１のセンサ出力とを対応させることにより、出力を簡易に検出できる。第１軸７に連係して回転される第２軸８や受光部９に第１傾斜センサ４１が固定されるときも同様に、出力を簡易に検出できる。 （もっと読む）

【課題】外部からの入力信号により、モータの回転位置を目標の位置に到達するまで移動して停止するのに好適な位置決め装置を提供する。
【解決手段】従来の位置決め装置にタイマカウンタラッチ処理部３１と比率計算部３２とを付加し、外部からの入力信号が発せられると、タイマカウンタのカウンタ値をラッチし、新たなサンプル信号が発せられると、このときのタイマカウンタのカウンタ値をラッチするとともに、比率計算部３２ではこれらの値と、このときモータ位置演算部１３が出力したモータ１の出力軸の回転位置の今回値，前回値と、サンプル信号の周期のカウント値とに基づく比率計算を行い、ラッチタイミングモータ位置とする。この値と移動量設定部１４の出力値との加算演算をした値をモータ１の回転軸の位置決め目標値とし、モータ１の回転軸は、前記入力信号が発せられたタイミングの位置を起点として、移動量設定部１４の出力値だけ移動して停止する。 （もっと読む）

【課題】位置決め精度の向上に有利な技術を提供する。
【解決手段】位置決め装置は、ステージと、ベースと、前記ステージと前記ベースとの間に配置されていて、ばね性を有する支持部で前記ステージを支持する支持機構と、前記ステージを駆動するように前記ステージと前記ベースとの間に配置されたアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備える。前記制御部は、目標位置に対する前記ステージの位置偏差と、前記ステージと前記ベースとの相対位置の変動量とに基づいて、前記位置偏差が低減され、かつ、前記支持部の前記ばね性によって前記ステージに作用する力の少なくとも一部が打ち消されるように前記アクチュエータを制御する。 （もっと読む）

【課題】検出磁場と線形運動デバイスの位置とにずれがある場合でも、線形運動デバイスを正確に位置決めすることができる線形運動デバイスの制御装置を提供する。
【解決手段】デバイス１１の磁石１９が発生する磁場を検出し、検出された磁場の値に応答する出力信号ＶＭＯを出力する磁場センサ１１３、制御信号ＶＣＭ［２：０］と出力信号ＶＭＯの振幅とを関連付けた電圧指令信号ＶＣＯを生成する電圧信号生成回路１１４、出力信号ＶＭＯと電圧指令信号ＶＣＯとの偏差を増幅して出力信号ＶＥＯを生成する差動増幅器１１５、出力信号ＶＥＯの値に応じて線形運動デバイス１１を駆動する出力ドライバ１１２と、出力信号ＶＥＯを、磁場センサ１１３から出力される出力信号ＶＭＯの振幅に応じて補正し、出力ドライバ１１２への入力信号を生成するゲイン補正回路１１６によって制御装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 ４軸制御の原点復帰動作を駆動軸同士の機械的な姿勢の相互干渉を抑えた状態で可能にする。
【解決手段】 ＸＹθガイドとボールねじ直動機構からなる駆動ユニットを４台備えた４軸アライメントステージにて、各駆動ユニットに仮の原点位置を設定して（Ｓ１）、それを基準に４軸制御による原点復帰動作を行う（Ｓ３）。次いで、全軸同時サーボオフを行い（Ｓ４）、その直後に生じる各駆動ユニットのガイドブロックの移動量を計測し（Ｓ５）記憶させる（Ｓ６）。その後、移動量の計測値を補正量として各駆動ユニットの仮の原点位置を補正し（Ｓ７）、補正後の仮の原点位置を基準とする原点復帰動作と、全軸同時サーボオフ直後の移動量の計測及び記憶と、移動量の計測値を補正量とする仮の原点位置の補正を繰り返し、全軸同時サーボオフ直後の移動量が収束したときの仮の原点位置を、４軸制御による実際の原点復帰動作用の原点位置に設定する。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 ウエハステージＷＳＴの位置情報は、ウエハＸ干渉計１８Ｘ_１，１８Ｘ_２、ウエハＹ干渉計１８Ｙ等と、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等とを用いて計測される。エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等は、計測値の短期安定性が良好であるので、ウエハステージＷＳＴの２位置情報が精度良く計測される。ウエハステージＷＳＴは、エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等の計測範囲内では、それらの計測結果に基づいて精度良く駆動される。 （もっと読む）

【課題】動作履歴や経年変化による案内面抵抗の変化に影響を受けにくくして誤差の発生を抑制し、加工面品位を向上させると共に、様々な運転条件にも対応可能とする。
【解決手段】サーボモータ制御装置１は、反転動作の開始と終了とを判断する反転動作判定装置２０と、位置指令値Ｘｉと検出位置情報との間の位置誤差を算出する減算器１４と、算出された位置誤差から補正量を演算して記憶する補正量演算記憶装置２３と、補正量演算記憶装置２３に記憶された補正量で検出位置情報を補正する検出位置補正装置２４と、を備え、検出位置補正装置２４は、反転動作の開始判断に伴い、補正量演算記憶装置２３に記憶された補正量で検出位置情報を補正する一方、補正量演算記憶装置２３は、当該補正後のテーブル７の移動制御によって得られる検出位置情報と位置指令値Ｘｉとの間の位置誤差から新たな補正量を演算して次回の反転動作の際に用いる補正量を更新する。 （もっと読む）

【課題】正確なショートストローク位置決めを提供する。
【解決手段】ステージシステムは、オブジェクトを保持するオブジェクトテーブルと、第１の移動範囲にわたりオブジェクトテーブルを移動させるショートストロークアクチュエータ素子と、第１の移動範囲よりも大きい第２の移動範囲にわたりショートストロークアクチュエータ素子を移動させるロングストロークアクチュエータ素子と、を備える。ステージシステムは、ショートストロークアクチュエータ素子上の空気外乱力を表す量を測定するセンサと、空気外乱を少なくとも部分的に補償する補償力を提供するアクチュエータと、コントローラと、を有する空気式補償デバイスをさらに備える。センサはコントローラのコントローラ入力に接続され、アクチュエータはコントローラのコントローラ出力に接続される。コントローラは、センサから受け取る信号に応答してアクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】改良された電磁アクチュエータを実現する。
【解決手段】電磁アクチュエータが、互いに移動可能であり磁気回路を形成するように配置されている第１の磁性部材および第２の磁性部材と、使用時に電流を受け取って磁気回路を通る磁束を発生し、それによって第１の磁性部材と第２の磁性部材の間で第１の方向に力を発生するように構成されたコイルとを含み、磁束は、使用時に第１の磁性部材と第２の磁性部材の間で、第１の磁性部材の第１の面および第２の磁性部材の第２の面を通して伝達され、第１の面と第２の面がエアギャップによって分離され、第１の面および第２の面は互いに、第１の面の外形寸法が第２の面の外形寸法を越えて、第１の方向にほぼ垂直の第２の方向に延びるように配置される。 （もっと読む）

【課題】ピッチ駆動による装着ヘッド等の可動体の振動を低減する機能を、ピッチ駆動の高速化とコントローラの演算負荷軽減の要求を満たしながら実現する。
【解決手段】部品実装機の装着ヘッド２２に、複数本の吸着ノズル２１を所定ピッチで配列し、部品吸着動作時や部品実装動作時に、装着ヘッド２２を回転方向に吸着ノズル２１の配列ピッチ分だけピッチ駆動する。ピッチ駆動の速度指令プロファイルとして、速度上昇を性能限界より低い速度で制限した台形波状の速度指令プロファイルを用いて装着ヘッド２２をピッチ駆動することで、ピッチ駆動による装着ヘッド２２のＸ軸方向の振動エネルギを減衰させる。振動エネルギを減衰させる周波数帯は、台形波状の速度指令プロファイルの最高速度指令によって変化させることができ、減衰させる周波数が装着ヘッド２２の支持部分の固有振動数と一致するように最高速度指令を設定すれば良い。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で可動部材の位置を高精度に検出するとともに、高精度に停止位置の制御ができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】直流電気モータ３９〜４２と、電気モータによって可動部材を移動させる移動手段２と、ブラシとコミュテータとの間の断続によって電気モータへの供給電流に発生するリップル成分を抽出してパルス化したリップルパルスを出力するパルス検出部３８と、可動部材が移動されるときの現在位置を示す現在位置情報をリップルパルスに基づいて演算し記憶する現在位置情報記憶部４４と、電気モータ３９〜４２に供給される電流が０となる前に可動部材が停止するように電流を低下させる電流制御装置４５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 パターンの重ね合わせ精度の低下及び露光量の均一性の低下を抑制した走査露光装置を提供する。
【解決手段】 原版９と基板８とを走査しながら前記基板の複数のショット領域を露光する走査露光装置は、前記基板を保持して移動するステージ１０と、前記ステージの移動を規定する駆動プロファイルに基づいて前記ステージの移動を制御する制御部１５と、を備える。前記駆動プロファイルのうち少なくとも１つのショット領域の露光中の前記ステージの移動を規定する部分は、前記ステージの制御系における共振周波数よりも低い周波数の正弦波から構成されている。 （もっと読む）

【課題】 複数のモータで同一方向の座標軸を駆動する機械に対して、汎用的な電機品を用いて各軸間相互に加わる無効反力を抑制すると共に、作業位置に対する同期制御を高精度に行なう同期制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令１２１を生成する位置指令生成部２１と、２台の位置情報１３１，１４１に基づいてＸＹ軸座標系である作業位置１２２を演算し、位置指令１２１と作業位置の一方の軸座標系位置１２２との差に基づいて新たな位置指令１２５を演算する第１の位置制御系を有する指令装置２と、新たな位置指令１２５と位置情報１３１，１４１との差に基づいてモータを駆動する指令を演算する第２の位置制御系をそれぞれ有する２台のモータ制御装置３，４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可動体に載せられる物体の重さの影響を排除できる位置決め機構を提供すること。
【解決手段】固定体３と固定体３に対して移動する可動体２とからなる装置において、可動体２の一方に設けられ、固定体３に向って延出する係止具４１を有する凸部材４と、固定体３に設けられ、二箇所の突出部であるピン５１，５１を有し、位置決めの際にピン５１とピン５１との間に係止具４１が嵌入することによって可動体２を固定部３に対して位置決めすることができる凹部材５と、係止具４１をピン５１とピン５１との間から離脱させる変位手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）