【課題】送り軸駆動系の剛性が低下した場合に、低周波の振動が発生せず、安定に動作させる位置制御装置を提供する。
【解決手段】移動平均段数変更器１６は、位置偏差Ｐｄｉｆの変動に基づき、移動平均器３の移動平均段数Ｎ２を変更する。移動平均段数変更器は、位置偏差をＦＦＴ演算器にて周波数解析し、スペクトラム最大値を算出する。算出されたスペクトラム最大値が予め設定した比較値を超えた場合に、移動平均段数変更器は、移動平均段数を増加させる指令を移動平均器３へ出力する。移動平均器３は移動平均段数をＮ２からＮ２’へ変更して移動平均処理を行う。 （もっと読む）

【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置１を、１個の正・逆回転可能なモータ１００と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ６００を保持するＸ軸方向キャリッジ４００Ｘ及びＸ軸方向キャリッジ４００Ｘと、モータ１００の回転力をＸ軸方向キャリッジ４００ＸをＸ軸方向に移動させる経路に伝達するか、Ｙ軸方向キャリッジ４００ＹをＹ軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ６００の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ１００の回転軸の回転運動をＸ軸方向キャリッジ４００Ｘの直線往復運動又はＹ軸方向キャリッジ４００Ｙの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、Ｘ軸方向キャリッジ案内手段及びＹ軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ６００の移動目標に応じてモータ１００の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 （もっと読む）

【課題】外部からの入力信号により、モータの回転位置を目標の位置に到達するまで移動して停止するのに好適な位置決め装置を提供する。
【解決手段】従来の位置決め装置にタイマカウンタラッチ処理部３１と比率計算部３２とを付加し、外部からの入力信号が発せられると、タイマカウンタのカウンタ値をラッチし、新たなサンプル信号が発せられると、このときのタイマカウンタのカウンタ値をラッチするとともに、比率計算部３２ではこれらの値と、このときモータ位置演算部１３が出力したモータ１の出力軸の回転位置の今回値，前回値と、サンプル信号の周期のカウント値とに基づく比率計算を行い、ラッチタイミングモータ位置とする。この値と移動量設定部１４の出力値との加算演算をした値をモータ１の回転軸の位置決め目標値とし、モータ１の回転軸は、前記入力信号が発せられたタイミングの位置を起点として、移動量設定部１４の出力値だけ移動して停止する。 （もっと読む）

【課題】基準軸の位置に同期させたセンサフィードバック制御を可能にするモータ駆動制御システムを実現するための指令生成装置を得る。
【解決手段】機械装置の状態をセンサ５で検出して機械装置を駆動するモータ４をセンサフィードバック制御するモータ制御装置３に対して、基準軸の位置とセンサフィードバック制御の指令値の対応関係を示す指令プロファイルに基づいて、基準軸の位置に対応したセンサフィードバック制御の指令値の詳細を演算して出力する。 （もっと読む）

【課題】動作履歴や経年変化による案内面抵抗の変化に影響を受けにくくして誤差の発生を抑制し、加工面品位を向上させると共に、様々な運転条件にも対応可能とする。
【解決手段】サーボモータ制御装置１は、反転動作の開始と終了とを判断する反転動作判定装置２０と、位置指令値Ｘｉと検出位置情報との間の位置誤差を算出する減算器１４と、算出された位置誤差から補正量を演算して記憶する補正量演算記憶装置２３と、補正量演算記憶装置２３に記憶された補正量で検出位置情報を補正する検出位置補正装置２４と、を備え、検出位置補正装置２４は、反転動作の開始判断に伴い、補正量演算記憶装置２３に記憶された補正量で検出位置情報を補正する一方、補正量演算記憶装置２３は、当該補正後のテーブル７の移動制御によって得られる検出位置情報と位置指令値Ｘｉとの間の位置誤差から新たな補正量を演算して次回の反転動作の際に用いる補正量を更新する。 （もっと読む）

【課題】カムテーブルの切り換えを迅速に行なうことが可能なＰＬＣの演算ユニットを提供する。
【解決手段】ＰＬＣのＣＰＵユニットは、モーション制御とシーケンス制御とを実行する。ＣＰＵユニットは、カムテーブルを用いたモーション制御を行なうための制御プログラムと、第１のカムテーブルおよび第２のカムテーブルとを格納している。マイクロプロセッサは、制御プログラムの実行中に予め定められた指示を受け付けると、制御プログラムの実行に用いるカムテーブルを第１のカムテーブルから第２のカムテーブルに切り換える。マイクロプロセッサは、カムテーブルの切り換えに基づき、第２のカムテーブルを用いた制御プログラムの実行結果を制御対象機器に出力する。 （もっと読む）

【課題】正確なショートストローク位置決めを提供する。
【解決手段】ステージシステムは、オブジェクトを保持するオブジェクトテーブルと、第１の移動範囲にわたりオブジェクトテーブルを移動させるショートストロークアクチュエータ素子と、第１の移動範囲よりも大きい第２の移動範囲にわたりショートストロークアクチュエータ素子を移動させるロングストロークアクチュエータ素子と、を備える。ステージシステムは、ショートストロークアクチュエータ素子上の空気外乱力を表す量を測定するセンサと、空気外乱を少なくとも部分的に補償する補償力を提供するアクチュエータと、コントローラと、を有する空気式補償デバイスをさらに備える。センサはコントローラのコントローラ入力に接続され、アクチュエータはコントローラのコントローラ出力に接続される。コントローラは、センサから受け取る信号に応答してアクチュエータを駆動する。 （もっと読む）

【課題】フルクローズド位置制御に於いて、送り軸機構部の剛性が低下した場合でも、低周波の振動が発生することなく、安定に動作させる位置制御装置を提供する。
【解決手段】被駆動体の位置検出値Ｐｌとモータの位置検出値Ｐｍの差分を入力とした１次遅れ回路１７の出力と、モータの位置検出値Ｐｍを加算した位置検出値を位置フィードバック値として使用する位置制御装置において、経年変化補正器３０が被駆動体の振動を検出した場合に、前記１次遅れ回路１７の時定数Ｔｐが大きくなるように可変することで低周波振動の発生を抑制する。 （もっと読む）

【課題】バックラッシに起因する位置決め精度の低下を抑えることのできる位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置のコントローラは、正方向用の補正マップと逆方向用の補正マップ、及び、移動台を移動させる際の基準位置を記憶している。コントローラは、以下の処理、即ち、（１）移動台が基準位置から既定の閾値以上離れた位置に移動した場合に移動先の位置を新たな基準位置に設定する更新処理、（２）基準位置と目標位置との間の距離が閾値以上の場合には、現在位置から目標位置への移動方向と同一方向用の補正マップを用いてセンサによる位置計測値を補正し、基準位置と目標位置との間の距離が閾値未満であり、かつ、最新の基準位置が設定されてから１回は移動方向が反転している場合には、両方向の補正マップを用いてセンサによる位置計測値を補正する補正処理、（３）補正後の位置計測値を目標位置に一致させる制御処理と、を実行する。 （もっと読む）

【課題】装置本体を支持する４以上の複数の脚を全て接地させつつ、装置本体を水平状態とする。
【解決手段】本発明の装置は、装置本体と、前記装置本体を支持する伸縮可能な４以上の複数の脚と、前記装置本体が水平状態であるか否かを検出し、検出結果を示す検出信号を出力する水平センサと、前記複数の脚を伸縮させ、前記装置本体が水平状態である旨を示す検出信号である水平信号が前記水平センサから出力されると、前記複数の脚のそれぞれについて、前記装置本体が水平状態ではない旨を示す検出信号である非水平信号が前記水平センサから出力されるまで伸張させる伸張処理と、前記伸張処理の結果、前記非水平信号が前記水平センサから出力されると、前記水平信号が前記水平センサから出力されるまで収縮させる収縮処理とを行う制御部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 パターンの重ね合わせ精度の低下及び露光量の均一性の低下を抑制した走査露光装置を提供する。
【解決手段】 原版９と基板８とを走査しながら前記基板の複数のショット領域を露光する走査露光装置は、前記基板を保持して移動するステージ１０と、前記ステージの移動を規定する駆動プロファイルに基づいて前記ステージの移動を制御する制御部１５と、を備える。前記駆動プロファイルのうち少なくとも１つのショット領域の露光中の前記ステージの移動を規定する部分は、前記ステージの制御系における共振周波数よりも低い周波数の正弦波から構成されている。 （もっと読む）

【課題】角度同期方式の長所を生かしつつ、基準角度が与えられない場合でも角度同期方式の学習制御の適用を可能にするサーボ制御システムの提供。
【解決手段】サーボ制御システム１０は、各軸を駆動するＸ軸サーボモータ１２、Ｙ軸サーボモータ１４及びＺ軸サーボモータ１６をそれぞれ制御するＸ軸サーボ制御装置１８、Ｙ軸サーボ制御装置２０及びＺ軸サーボ制御装置２２を有する。またＸ軸サーボ制御装置１８及びＹ軸サーボ制御装置２０は、上位制御装置２４から送られる各軸指令に基づいて、単調増加又は一方向に変化する基準信号θを作成する基準信号生成部２８及び３２をそれぞれ有し、学習制御器２６及び３０は該基準信号に基づいて学習制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 制御装置の機種の増加を抑えることができてコスト増を防止できる産業機械を提供する。
【解決手段】 三次元測定機１は、複数の軸方向へ制御対象物を移動させる移動機構２と、移動機構２に接続されて移動機構２を各軸方向に制御する各軸の制御信号を送受信する第１ポート３２１と第２ポート３２２と第３ポート３２３とを有し、移動機構２を制御する制御装置３とを備えるものであって、制御装置３は、各軸の制御信号を生成する制御信号生成部３２４と、各ポート３２１〜３２３で送受信する各軸の制御信号をそれぞれ設定させる設定部３２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】設計者が試行錯誤することなく決定した伝達関数に基づく位相進み補償器と位相遅れ補償器により、共振の位相を安定化させることが可能な外乱オブザーバ、フィードバック補償器、位置決め装置、露光装置、及び外乱オブザーバ設計方法を提供する。
【解決手段】
制御対象２８に加わる外乱ｄを推定する外乱オブザーバ２１において、外乱オブザーバ２１は、制御対象２８の共振成分を外乱ｄの一部として含んだ外乱モデルに基づいて相補感度関数のパラメータが設計されたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度位置決めを実現できるステージ装置，それを用いた荷電粒子線装置及び縮小投影露光装置，およびステージ制御方法を提供することにある。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ１０を駆動するモータ３０と、モータにより駆動されるステージの位置が最終目標位置となるような前記アクチュエータの駆動量を算出するステージ制御演算器１００を有する。ステージ制御演算器１００は、ステージの目標位置とステージの位置の差分に基づいて、ＰＩＤ制御する補償演算器１２０を有する。また、ステージの特性を同定するモデル同定器１３０と、モデル同定器によって得られた情報を基に、補償演算器におけるステージ制御用補償パラメータを演算する制御ゲイン演算器１４０を備える。 （もっと読む）

【課題】フルクローズ位置制御において、極低速域の送りで発生するスティックスリップを抑制することができる位置制御装置を提供する。
【解決手段】加算器５および加算器２４が、実速度偏差Ｅｌに比例ゲインＰｌを乗算して得られた出力と、実速度偏差Ｅｌを積分補償器２５に入力して得られた実速度偏差の積分成分Ｔｉｌと、モータ速度偏差Ｅｍに比例ゲインＰｍを乗算して得られた出力と、モータ速度偏差Ｅｍを積分補償器９に入力して得られたモータ速度偏差の積分成分Ｔｉｍと、を加算しトルクフィードバック指令Ｔｆｂとして出力する。このとき、積分補償器２５と積分補償器９は、積分ゲインＫｌと積分ゲインＫｍを速度フィードフォワード指令Ｖｒまたは速度指令Ｖｃの値に応じて調節するために、０から１の間で可変できる係数可変器を備え、ロストモーションの影響が小さい極低速域において積分ゲインＫｌを大きく設定することで静摩擦トルクから動摩擦トルクへの切換応答速度を早め、スティックスリップを抑制する。 （もっと読む）

【課題】 帯状電極が短手方向に並設されているパネル部材に対し、各帯状電極と接触するプローブを設けたプローブユニットが相対的に平行であることの確認・調整を短時間で実行できる装置を提供する。
【解決手段】 本発明の装置は、パネル部材に対するプローブユニットの相対的平行度を調整する傾き調整機構と、プローブユニット及びパネル部材間の距離を検出する複数のセンサと、プローブ及び帯状電極が相対的に接近して接触する前後の各センサからの出力を取り込むセンサ出力取込手段と、取り込んだ各センサの出力に基づいて、プローブユニットの平行度調整において参照する情報を形成する調整参照情報形成手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】並列スライダ装置において、二つのスライダが相互に干渉することなくスムーズな動きをもって移動することを実現すること。
【解決手段】
前側リニアサーボモータ７２のための前側サーボコントローラ１１０と後側リニアサーボモータ８０のための後側サーボコントローラ１３０とに互いに同一の位置指令を与える一方で、前側リニアサーボモータ７２は比例要素と少なくとも積分要素と微分要素の何れか一方を含むＰＩ制御あるいはＰＤ制御あるいはＰＩＤ制御を行い、後側サーボコントローラ１３０は比例要素のみを含むＰ制御を行い、前側サーボコントローラ１１０と後側サーボコントローラ１３０とで制御ゲインを互いに相違させる。 （もっと読む）

【課題】 複数のモータで同一方向の座標軸を駆動する機械に対して、汎用的な電機品を用いて各軸間相互に加わる無効反力を抑制すると共に、作業位置に対する同期制御を高精度に行なう同期制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令１２１を生成する位置指令生成部２１と、２台の位置情報１３１，１４１に基づいてＸＹ軸座標系である作業位置１２２を演算し、位置指令１２１と作業位置の一方の軸座標系位置１２２との差に基づいて新たな位置指令１２５を演算する第１の位置制御系を有する指令装置２と、新たな位置指令１２５と位置情報１３１，１４１との差に基づいてモータを駆動する指令を演算する第２の位置制御系をそれぞれ有する２台のモータ制御装置３，４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成でありながら位置決め精度を高められる駆動装置、駆動方法、及び装置を提供する。
【解決手段】駆動装置（１ａ）は、回転駆動する駆動部（１０）と、駆動部（１０）の駆動出力軸の回転角度位置を検出し第１の位置情報を生成する第１の位置検出器（３１）と、駆動部（１０）の駆動出力軸に接続された減速機（２０）と、減速機（２０）の減速出力軸の回転角度位置を検出し第２の位置情報を生成する第２の位置検出器（３２）と、第１の位置情報と前記第２の位置情報とを選択的に用いて駆動部（１０）を制御する制御部（１００ａ）と、を備える。 （もっと読む）