【課題】伝達遅れを抑え且つ分岐回路無しで、一つのマスタ軸に対して一つまたは複数のスレーブ軸を同期させる。
【解決手段】ギア加工機の制御装置（１）は、工具軸コントローラ（２２）とワーク軸コントローラ（１２）との間を直接的に接続して通信するバス（５１）を具備し、工具軸位置検出センサ（２５）により検出された工具軸（４０）の位置はバスを通じてワーク軸コントローラに供給され、上位コントローラ（１０）は所定の同期比と、ねじれ動作を加えるための重畳指令とをワーク軸コントローラに供給するようになっており、ワーク軸コントローラは、バスを通じて供給された工具軸の位置に同期比を乗算して作成された値と重畳指令とを加算して、ワーク軸（３０）の移動指令を作成するようにした。 （もっと読む）

【課題】被駆動体を電動機によって同一動作パターンの繰り返し制御を行う場合において、被駆動体を停止させるために電動機の位置指令をゼロにしたときに発生し得る被駆動体の振動を抑制することができる電動機の制御装置を実現する。
【解決手段】電動機Ｍの制御装置１は、被駆動体２の位置を検出する位置検出部１１と、電動機Ｍに与えられる位置指令と位置検出部１１で検出した被駆動体２の位置との位置偏差をサンプリング周期毎に取得する位置偏差取得部１２と、位置偏差取得部１２により取得した位置偏差が所定の不感帯範囲内に含まれる場合は当該位置偏差をゼロに置き換えて出力する不感帯処理部１３と、不感帯処理部１３から出力された位置偏差がゼロになるような補正量を算出する繰り返し制御部１４とを備え、位置偏差取得部１２により取得した位置偏差と繰り返し制御部１４により算出された補正量とに基づいて、電動機Ｍを制御する。 （もっと読む）

【課題】移動装置の位置決め制御の精度の向上と加工速度の向上とを両立できる位置決め装置およびレーザ加工機を提供すること。
【解決手段】座標平面におけるレーザビームＢの加工予定軌跡と目標軌跡との間で距離の最も近い２点の組が探索され、その２点間の各々の距離が算出される。算出された各々の距離に基づいて加工予定軌跡を作るための指令が補正されるので、加工予定軌跡を目標軌跡に近づけることができる。これらの処理は被加工物ＷにレーザビームＢを照射する前に実行されるので、レーザ加工時における移動装置の位置決め速度（移動速度）を低下させることなく移動装置の位置決め制御の精度を向上できる。また、変位にヒステリシスをもつピエゾアクチュエータ等の移動装置であっても、ヒステリシスを考慮した補正ができる。 （もっと読む）

【課題】位置決め精度の向上に有利な技術を提供する。
【解決手段】位置決め装置は、ステージと、ベースと、前記ステージと前記ベースとの間に配置されていて、ばね性を有する支持部で前記ステージを支持する支持機構と、前記ステージを駆動するように前記ステージと前記ベースとの間に配置されたアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備える。前記制御部は、目標位置に対する前記ステージの位置偏差と、前記ステージと前記ベースとの相対位置の変動量とに基づいて、前記位置偏差が低減され、かつ、前記支持部の前記ばね性によって前記ステージに作用する力の少なくとも一部が打ち消されるように前記アクチュエータを制御する。 （もっと読む）

【課題】検出磁場と線形運動デバイスの位置とにずれがある場合でも、線形運動デバイスを正確に位置決めすることができる線形運動デバイスの制御装置を提供する。
【解決手段】デバイス１１の磁石１９が発生する磁場を検出し、検出された磁場の値に応答する出力信号ＶＭＯを出力する磁場センサ１１３、制御信号ＶＣＭ［２：０］と出力信号ＶＭＯの振幅とを関連付けた電圧指令信号ＶＣＯを生成する電圧信号生成回路１１４、出力信号ＶＭＯと電圧指令信号ＶＣＯとの偏差を増幅して出力信号ＶＥＯを生成する差動増幅器１１５、出力信号ＶＥＯの値に応じて線形運動デバイス１１を駆動する出力ドライバ１１２と、出力信号ＶＥＯを、磁場センサ１１３から出力される出力信号ＶＭＯの振幅に応じて補正し、出力ドライバ１１２への入力信号を生成するゲイン補正回路１１６によって制御装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 ４軸制御の原点復帰動作を駆動軸同士の機械的な姿勢の相互干渉を抑えた状態で可能にする。
【解決手段】 ＸＹθガイドとボールねじ直動機構からなる駆動ユニットを４台備えた４軸アライメントステージにて、各駆動ユニットに仮の原点位置を設定して（Ｓ１）、それを基準に４軸制御による原点復帰動作を行う（Ｓ３）。次いで、全軸同時サーボオフを行い（Ｓ４）、その直後に生じる各駆動ユニットのガイドブロックの移動量を計測し（Ｓ５）記憶させる（Ｓ６）。その後、移動量の計測値を補正量として各駆動ユニットの仮の原点位置を補正し（Ｓ７）、補正後の仮の原点位置を基準とする原点復帰動作と、全軸同時サーボオフ直後の移動量の計測及び記憶と、移動量の計測値を補正量とする仮の原点位置の補正を繰り返し、全軸同時サーボオフ直後の移動量が収束したときの仮の原点位置を、４軸制御による実際の原点復帰動作用の原点位置に設定する。 （もっと読む）

【課題】開又は閉指令を、開度に対応した時間、出力することで、弁を目標開度に操作する場合、目標開度近くで開／閉方向の反転動作を頻繁に繰り返すことなく、目標開度とすることが可能な弁開度制御システムを提供する
【解決手段】弁１１を所望の開度に開閉制御する弁開度制御システムであって、弁１１の開閉速度に基づき、設定された所望の目標開度に達するまでの開又は閉指令の出力時間を出力時間演算手段１７で求め、 この出力時間の間、出力手段と１８により弁１１に開又は閉指令を出力する。この際、弁１１の実測開度を開度制御手段１９に入力し、この実測開度と目標開度との差が、予め設定した不感帯の範囲に入ると、弁１１に対する開又は閉指令の出力を停止させる。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータが備える変位部材の移動距離及び移動時間を設定するだけで、変位部材の詳細な動作を決定し、該変位部材を精度よく変位させる。
【解決手段】アクチュエータ用駆動制御装置１０は、変位部材１６の移動距離を設定する移動距離領域３０と、移動時間を設定する移動時間領域３２と、移動距離及び移動時間に基づいて任意のタイミングにおける変位部材１６の変位量又は変位速度の目標値を演算する目標値演算部４０と、変位部材１６の変位量又は変位速度の目標値に基づいて駆動電力Ｐを生成して、該駆動電力Ｐをアクチュエータ１２に送る駆動制御部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 複数のモータで同一方向の座標軸を駆動する機械に対して、汎用的な電機品を用いて各軸間相互に加わる無効反力を抑制すると共に、作業位置に対する同期制御を高精度に行なう同期制御装置を提供する。
【解決手段】 位置指令１２１を生成する位置指令生成部２１と、２台の位置情報１３１，１４１に基づいてＸＹ軸座標系である作業位置１２２を演算し、位置指令１２１と作業位置の一方の軸座標系位置１２２との差に基づいて新たな位置指令１２５を演算する第１の位置制御系を有する指令装置２と、新たな位置指令１２５と位置情報１３１，１４１との差に基づいてモータを駆動する指令を演算する第２の位置制御系をそれぞれ有する２台のモータ制御装置３，４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】エンコーダ・フィードバック、誤差マッピング、および空気圧制御を用いた誤差補償システムを提供する。
【解決手段】リニア・エンコーダ２３は、移動式往復台２５の側面に設置した一対の側面リニア・エンコーダ２３−１、２３−１’と、移動式往復台２５の一側部の下部に設置した一対の下面リニア・エンコーダ２３−２、２３−２’とで構成され、このように構成されたリニア・エンコーダ２３が、基準マーク、垂直位置誤差を補償するためのＬトラック、および水平位置［誤差］を補償するためのＴトラックを有するスケールに沿って移動することで、高い精度レベルで平面度、ピッチ、真直度、ヨー、およびロールに関連した誤差を補償するものであり、したがって、加工することが不可能である部分を最小限にし、加工コストを減少させ、精密なステージを実現する。 （もっと読む）

【課題】周波数が高い領域においても良好な制御特性を維持するとともに、集積回路化が容易なＰＩＤ制御によるサーボ制御回路を提供する。
【解決手段】サーボ制御回路１００において、差分演算部１０は、制御対象から検出された検出信号ｘに比例した量と第１の信号ｆに比例した量との差ｕを出力する。Ａ／Ｄ変換部２１は、差分演算部１０の出力ｕをデジタル変換する。積分部２２は、Ａ／Ｄ変換部２１の出力Ｕをデジタル積分する。Ｄ／Ａ変換部２３は、積分部２２の出力に比例した量Ｆをアナログ変換して、第１の信号ｆとして出力する。加算演算部１５は、Ａ／Ｄ変換部２１の出力Ｕに比例した量と積分部２２の出力Ｆに比例した量との和Ｄを出力する。デジタルＰＩ制御部４０は、加算演算部１５の出力Ｄと目標値Ｒとの偏差Ｅに基づいて比例演算および積分演算を行なうことによって、制御対象を制御する制御信号Ｙを生成する。 （もっと読む）

【課題】位置決め過程の位置精度を向上させる位置決め制御ユニット、位置決め制御方法および位置決め制御プログラムを提供する。
【解決手段】位置決め制御ユニット１００は、特定の位置決め速度に基づいて１制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出部１２１と、算出された操作量を出力する出力制御部１２３と、出力された操作量をデジタル信号からアナログ信号へ変換するＤ／Ａ変換部１２４と、を備え、アナログ信号により圧電素子を駆動させ、位置検出を伴う閉ループでステージの位置決めを制御する。１制御周期あたりの操作量を制御することで、位置決め動作による振動を抑制することができる。その結果、位置決めの精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図るとともに、駆動電流制御の精度の向上を図ることが可能な半導体装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】半導体集積回路１０１は、駆動電流値を示す複数ビットの駆動データのうち、最上位ビットまたは最上位ビットから連続する複数のビットである上位データに基づいて第１の駆動電流を生成し、負荷に供給する第１の駆動電流生成部２１Ａと、駆動データのうち、最下位ビットまたは最下位ビットから連続する複数のビットであり、かつ少なくとも駆動データのうちの上位データ以外のすべてのデータを含む下位データに基づいて第２の駆動電流を生成し、負荷に供給する第２の駆動電流生成部２１Ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】自動操作と手動操作が可能な操作子において、自動位置決め完了時の実位置と目標位置との誤差を、その後の手動操作に際して実効的に解消し、違和感のない制御データを発生する。
【解決手段】通常は所定のスケール特性に従う制御データを位置データに応じて発生する。操作子が目標位置Ｐｔに自動位置決めされた直後の手動操作において変更スケール特性を適用する。変更スケール特性においては、位置決め完了時における実位置Ｐｒに対応して前記所定のスケール特性上の目標位置Ｐｔに対応する制御データＤｔが出力されるように起点を設定し、該起点の位置から少なくとも目標位置に達するまでの区間を含む第１の変更区間を設定し、位置検出器１２で検出された位置データに対応して発生される制御データが、起点に対応する制御データＤｔから該第１の変更区間の終点の位置に対応する前記所定のスケール特性上の制御データまで漸次変化するようにする。 （もっと読む）

【課題】リップルパルスに基づいて演算された位置と実際の位置との間のずれを適切に補正することが可能な位置制御装置を提供する。
【解決手段】位置制御装置１は、可動部材の現在位置情報をリップルパルスに基づき演算する現在位置情報演算部７７と、可動部材が機械的にロック状態となる端部の位置情報をロック位置情報として記憶しているロック位置情報記憶部７８と、端部に対して可動範囲の側と可動範囲から外れた側とに設定されたロック検出エリアを記憶しているロック検出エリア記憶部８２と、可動部材が移動して停止した時に現在位置情報により示される現在位置がロック検出エリア外から動き始め、可動範囲から外れた側のロック検出エリアで停止した場合にロック位置情報で現在位置情報を更新する現在位置情報更新部７５とを備える。 （もっと読む）

【課題】出力軸を支持する転がり軸受けに起因する回転伝達誤差を補正できるアクチュエータの回転伝達誤差補正方法を提案すること。
【解決手段】アクチュエータ２の出力軸６を支持するベアリング７の転動体７ｃの１つにマグネット１０を組み込み、ホールセンサ１２によってマグネット入りの回転位置検出用転動体１１が１回転することを検出し、１回転の間において、モータ軸４を一定角度回転させる毎に出力軸６の実回転位置を検出する。検出結果に基づきモータ軸４の各回転位置における、出力軸６の実回転位置のその目標回転位置からのずれ量を算出して記憶部１ａに記憶する。駆動制御装置１は、アクチュエータ２の駆動制御時には、記憶部１ａに記憶されているずれ量に基づき出力軸６の回転位置を補正し、ベアリング７に起因する回転伝達誤差を除去する。 （もっと読む）

【課題】
基部に対するステージ面を上下方向とピッチ方向、ロール方向に可動可能で、他の自由度には強く拘束され、かつ、アクチュエータへの力学的な負担が少ないステージの可動機構を、簡素で安価な構造で実現する。
【解決手段】
バネ性を有する素材がもつ弾性変形が許容される方向を活かすよう，板バネまたは曲げ棒バネなどのバネ材を用い、一つの間接部を有するくの字型の支持機構３０〜３３を構成し、これを二つ以上用いてステージ１０と基部２０とを弾性接続することで課題の自由度をもたらすステージ可動機構を構成している。同時に，くの字型を形成することで支持機構が弾性変形する際には，変位増加に対する反力が一定か減少するような逆バイアス特性がもたらされることで，アクチュエータを用いた場合の動作寿命を向上させることができる。また、センサ装置と組み合わせることによって３自由度の動作検出装置となる。 （もっと読む）

【課題】Ａ／Ｄ変換の精度をデバイスの分解能以上に高め、位置決めの精度を向上させる。
【解決手段】ステージの位置決め制御をする位置決め制御ユニット１２０であって、１制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出部１２１と、ステージ１４０の駆動のために、算出された操作量を出力する出力部１２６と、センサ１５０により１制御周期あたり複数回検出されたステージ１４０の検出位置の、１制御周期にわたる平均値を現在位置として算出する現在位置算出部１２９と、を備える。これにより、検出の分解能をデバイスの分解能以上に高くして、位置決めの精度を向上させることができる。たとえば、位置換算値１ｎｍの分解能のＡ／Ｄ変換部１２７を用いて０．１ｎｍ単位の位置検出を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】Ｄ／Ａ変換の精度をデバイスの分解能以上に高め、位置決めの精度を向上させる。
【解決手段】ステージの位置決めを制御する位置決め制御ユニット１２０であって、１制御周期あたりの操作量を算出する操作量算出部１２１と、算出された操作量を、１制御周期の積分値が等しくなるように、時間的に分割して所定分解能で出力する出力制御部１２３と、出力された操作量をデジタル信号からアナログ信号へ所定分解能で変換するＤ／Ａ変換部１２４と、を備え、アナログ信号により圧電素子を駆動させることで、ステージの位置決めを制御する。これにより、Ｄ／Ａ変換の精度をデバイスの分解能以上に高くして、位置決めの精度を向上させることができる。 （もっと読む）

ジンバルサーボシステムへの使用に適した支承組立体が提供される。支承組立体は、ハウジングと、第１のシャフトと、第１のシャフトがハウジングに対して軸線回りに回転するように第１のシャフトをハウジングに回転可能に結合する軸受と、ペイロードに結合されるようになった第１の端部を有する第２のシャフトと、フレックスピボット要素とを有し、このフレックスピボット要素は、第２のシャフトがフレックスピボット要素を介して第１のシャフトに対して回転するよう第１のシャフトの端部を第２のシャフトの第２の端部に回動可能に結合する。第２のシャフトの回転に応答して、フレックスピボット要素は、第１のシャフトの軸線回りに所与の角度回動するようになっている。回動角度は、第１のシャフトに対する第２のシャフトの変位を反映し、軸受の摩擦外乱に対応する。
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