【課題】ステージを搭載する固定ベース表面に組み込んだマイクロヒータアレイで構成されるコンパクトなアクチュエータシステムで、ＸＹ方向、ヨー回転方向の３自由度に関する長ストローク駆動、およびＺ／ピッチ／ロール方向の微細駆動を実現することができるステージ機構およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】ステージ１に接触するベース２の表面近傍に、ベース２の表面の熱変形突出用の第一層目のヒータ３をＸＹ方向にアレイ状に複数配置し、更にベース２の表面から深いところに、第一層目のヒータ３の前後左右を挟み込むように第二層目のヒータ４をＸＹ方向にアレイ状に複数配置する。第二層目のヒータ４が、第一層目のヒータ３による熱変形突出部をＸＹ方向に移動することにより、熱変形突出部に接触するステージ１をＸＹθ方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】伝達遅れを抑え且つ分岐回路無しで、一つのマスタ軸に対して一つまたは複数のスレーブ軸を同期させる。
【解決手段】ギア加工機の制御装置（１）は、工具軸コントローラ（２２）とワーク軸コントローラ（１２）との間を直接的に接続して通信するバス（５１）を具備し、工具軸位置検出センサ（２５）により検出された工具軸（４０）の位置はバスを通じてワーク軸コントローラに供給され、上位コントローラ（１０）は所定の同期比と、ねじれ動作を加えるための重畳指令とをワーク軸コントローラに供給するようになっており、ワーク軸コントローラは、バスを通じて供給された工具軸の位置に同期比を乗算して作成された値と重畳指令とを加算して、ワーク軸（３０）の移動指令を作成するようにした。 （もっと読む）

【課題】高速且つ高精度に駆動対象を目標位置に停止可能とする。
【解決手段】モータ制御ユニットは、モータに入力可能な電流上限値を推定し、この上限値に対応する駆動電流でモータを駆動する第一制御処理（Ｓ１４０，Ｓ１５０）を実行する。また、第二制御処理（Ｓ２１０，Ｓ２２０）では、電流上限値よりも小さい偽の電流上限値を、電流上限値の算出式に用いる係数を切り替えることで算出し、その偽の電流上限値に対応する駆動電流でモータを駆動する。そして、第三制御処理（Ｓ３００）では、第二制御処理終了時の駆動対象の位置Ｐ及び速度Ｖに基づき、定速区間及び減速区間の目標プロファイルを設定し、駆動対象の位置及び速度が、目標プロファイルが示す位置及び速度を追従するように、モータに対する電流指令値を調整する。これによって第三制御処理の初期に電流指令値が電流上限値を超えないようにモータ制御を実行し、駆動対象を目標位置に停止させる。 （もっと読む）

【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置１を、１個の正・逆回転可能なモータ１００と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ６００を保持するＸ軸方向キャリッジ４００Ｘ及びＸ軸方向キャリッジ４００Ｘと、モータ１００の回転力をＸ軸方向キャリッジ４００ＸをＸ軸方向に移動させる経路に伝達するか、Ｙ軸方向キャリッジ４００ＹをＹ軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ６００の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ１００の回転軸の回転運動をＸ軸方向キャリッジ４００Ｘの直線往復運動又はＹ軸方向キャリッジ４００Ｙの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、Ｘ軸方向キャリッジ案内手段及びＹ軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ６００の移動目標に応じてモータ１００の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 （もっと読む）

【課題】容易かつ遅れなしにカム曲線の切替が可能な同期制御装置を提供する。
【解決手段】カム曲線記憶部６４は、第１のカム曲線および第２のカム曲線を記憶する。制御部６６は、カム曲線の切替え前は、各制御タイミングで、第１のカム曲線上の値に基づいて、従動側部材への位置指令値を求め、カム曲線の切替え後は、各制御タイミングで、第２のカム曲線上の値に基づいて位置指令値を求め、カム曲線の切替期間は、各制御タイミングで、第１のカム曲線または従動軸の位置に基づく第１のデータと、第２のカム曲線に基づく第２のデータとを加重平均した値に基づいて従動側部材への位置指令値を求める。 （もっと読む）

【課題】二つの電動機間の機動力が互いに干渉することによって生じうる振動を抑制するために、二つのプロセッサで二つの電動機を制御することができる制御装置を提供する。
【解決手段】ＤＳＰ１１ａは、取得した回転サーボモータ３ａの速度値をＤＳＰ１１ｂに送信するとともに回転サーボモータ３ｂの速度値をＤＳＰ１１ｂから受信し、回転サーボモータ３ａへのトルク指令に対する補正量を、回転サーボモータ３ａの速度値と回転サーボモータ３ｂの速度値との速度値差に基づいて計算する。ＤＳＰ１１ｂは、取得した回転サーボモータ３ｂの速度値をＤＳＰ１１ａに送信するとともに回転サーボモータ３ａの速度値をＤＳＰ１１ａから受信し、回転サーボモータ３ｂへのトルク指令に対する補正量を、回転サーボモータ３ａの速度値と回転サーボモータ３ｂの速度値との速度値差に基づいて計算する。 （もっと読む）

【課題】 サーボモータに同期して稼動する外部装置に対して作動を指示するトリガ信号を高精度に出力することが可能なトリガ発生装置を提供する。
【解決手段】 位置検出器のサンプリング開始からトリガ信号を発生させるタイマ設定時間を算出するまでに要する時間をサーボ側遅延時間とし、トリガ発生装置がトリガ信号を出力してから外部装置が作動を開始するまでに要する時間を外部装置側遅延時間とするとき、本発明のトリガ発生装置は、サーボモータの位置情報から算出された外部装置が作動開始位置に到達するまでの到達所要時間からサーボ側遅延時間及び外部装置側遅延時間を減算してタイマ設定時間を算出するタイマ設定時間算出部と、タイマ設定時間に基づきトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】出力を簡易に検出できる太陽追尾装置を提供すること。
【解決手段】太陽の方位に対応して回転可能に構成される第１軸７及び太陽の高度に対応して回転可能に構成される第２軸８により、太陽光を受光する受光部９が支持されている。第１軸７は重力軸Ｇに対して回転軸心Ｏが傾斜して配置されているので、第１軸７が回転すると、第１軸７に固定された第１傾斜センサ４１は重力軸Ｇと検出軸Ｄとの角度を変えながら、即ちセンサ出力を変えながら回転軸心Ｏの回りを回転する。第１軸７の回転角と第１傾斜センサ４１のセンサ出力とを対応させることにより、出力を簡易に検出できる。第１軸７に連係して回転される第２軸８や受光部９に第１傾斜センサ４１が固定されるときも同様に、出力を簡易に検出できる。 （もっと読む）

【課題】移動装置の位置決め制御の精度の向上と加工速度の向上とを両立できる位置決め装置およびレーザ加工機を提供すること。
【解決手段】座標平面におけるレーザビームＢの加工予定軌跡と目標軌跡との間で距離の最も近い２点の組が探索され、その２点間の各々の距離が算出される。算出された各々の距離に基づいて加工予定軌跡を作るための指令が補正されるので、加工予定軌跡を目標軌跡に近づけることができる。これらの処理は被加工物ＷにレーザビームＢを照射する前に実行されるので、レーザ加工時における移動装置の位置決め速度（移動速度）を低下させることなく移動装置の位置決め制御の精度を向上できる。また、変位にヒステリシスをもつピエゾアクチュエータ等の移動装置であっても、ヒステリシスを考慮した補正ができる。 （もっと読む）

【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】２つのステージが互いに近づくことができるマルチステージシステムを提供することが望ましい。
【解決手段】マルチステージシステムを制御する方法であって、マルチステージシステムは、第１方向と平行に延びるステータと、ステータに対して移動可能な第１および第２ステージと、を備える。それらのステージは、磁場を生成するマグネットシステムを備える。ステータは複数のコイルを備え、複数のコイルは磁場と相互作用し、ステージをステータに対して位置決めする。本方法は、それらのステージの位置を決定することと、第１ステージ、第２ステージそれぞれの磁場と無視できない相互作用を有する可能性のあるコイルの第１および第２サブセットを選択することと、両方のサブセットの電気コイルを駆動することと、を含む。コイルを駆動することは、両方のサブセットの一部となっているコイルを決定することと、両方のサブセットの一部であるコイルを駆動対象から除くことと、を含む。 （もっと読む）

【課題】複数の駆動系が駆動時に互いに摩擦力を及ぼし合う関係にある位置制御装置の制御パラメータを調整する作業を簡単化する。
【解決手段】位置制御装置２８により２つの駆動系のモータ１６，２４を同時に駆動して各駆動系の位置決めデータを採取し、遺伝的アルゴリズムを用いて各駆動系の位置決めデータの特徴量を評価して、その評価値が要求性能（設計仕様）を満足するように位置制御装置２８の制御パラメータを調整する。この際、各駆動系の位置決めデータとして、位置指令波形、実位置波形及びトルク波形を採取し、各駆動系の位置決めデータの特徴量として位置決め波形を評価するようにすると良い。また、調整対象となる制御パラメータは、例えば、位置指令パラメータ、フィードバックゲインパラメータ及びフィードフォワードゲインパラメータである。 （もっと読む）

【課題】新たなハードウェアを必要とせず、タクトタイムを変化させることなく、振動を抑制する。
【解決手段】パラメータ生成部１０２は、基準距離について、予め定めた移動時間毎に、可動部の加速度軌道から共振周波数に対応する周波数成分を除いた軌道を計算するためのパラメータを生成する。データベース１０３は、パラメータ生成部１０２から供給されたパラメータを記憶する。パラメータ決定部１０４は、可動部の加速度軌道から共振周波数に対応する周波数成分を除いた軌道を計算するためのパラメータを決定する。軌道計算部１０５は、決定されたパラメータから軌道を計算する。本発明は、ロボットを制御する制御装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】加減速の影響により送り速度が過渡的に変化するような場合でも軌跡誤差を抑制できる軌跡制御装置を得ること。
【解決手段】軌跡制御装置は、機械の可動部が複数の可動軸により駆動され、前記複数の可動軸を同時制御することにより前記可動部の軌跡を制御する軌跡制御装置であって、与えられた指令経路に対して補間・加減速を行う補間・加減速演算部と、前記補間・加減速された指令経路に応じて、前記複数の可動軸の位置指令を生成する軸分配部と、前記複数の可動軸の位置指令と前記補間・加減速された指令経路とに基づいて、軌跡誤差を補正するための補正ベクトルを演算する補正ベクトル演算部と、前記演算された補正ベクトルを用いて前記複数の可動軸の位置指令を補正する位置指令補正部と、前記複数の可動軸の位置が前記補正された複数の可動軸の位置指令に追従するように、前記複数の可動軸を同時制御するサーボ制御部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】目標位置が変更された場合であっても、可動軸に発生する衝撃や励起する振動を可及的に抑制しながら前記変更された目標位置までの補間動作を実行すること。
【解決手段】目標位置Ｘと可動軸の現在位置Ｃとの間を補間するように速度指令計算値ｖｒを可動軸毎に算出する指令速度演算部と、直前に出力された速度指令出力値ｖｏと速度指令計算値ｖｒとの差分である速度変更量Δｖを可動軸毎に算出する速度変更量演算部と、可動軸毎の速度変更量Δｖの全てが許容速度変更量Ｖｍを越えない値となるように速度変更量Δｖを制限する１つの補正ゲインＲを算出する補正ゲイン演算部と、速度変更量Δｖを補正ゲインＲで制限した値と直前に出力された速度指令出力値ｖｏとを加算して次に出力する速度指令出力値ｖｏを可動軸毎に算出する指令速度出力部を備える。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 ウエハステージＷＳＴの位置情報は、ウエハＸ干渉計１８Ｘ_１，１８Ｘ_２、ウエハＹ干渉計１８Ｙ等と、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等とを用いて計測される。エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等は、計測値の短期安定性が良好であるので、ウエハステージＷＳＴの２位置情報が精度良く計測される。ウエハステージＷＳＴは、エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等の計測範囲内では、それらの計測結果に基づいて精度良く駆動される。 （もっと読む）

【課題】動作中に振動特性が変化する制御対象に対する振動抑制制御の精度を向上できるモータ制御装置を得ること。
【解決手段】モータ１ａ及び振動可能要素１ｂを有する制御対象１の動作を制御して、制御対象の動作を動作目標値に追従するようにモデルトルクτａを生成するフィードフォワード制御部１１１と、モデルトルクに応じてトルク指令τＭを発生させる発生部とを備え、フィードフォワード制御部は、制御対象の振動関連情報に応じて、振動特性を表す振動パラメータθを生成する生成部と、振動パラメータに応じて、動特性を模擬した数式モデル１２１を変更し、モデルトルクから変更された数式モデルにより、制御対象の動作状態を含むモデル変数を演算する第１の演算部と、モデル変数が一定の追従特性で動作目標値に追従するように、振動パラメータに応じて特性を変化させた演算によりモデルトルクを演算する第２の演算部とを有する。 （もっと読む）

【課題】改良された電磁アクチュエータを実現する。
【解決手段】電磁アクチュエータが、互いに移動可能であり磁気回路を形成するように配置されている第１の磁性部材および第２の磁性部材と、使用時に電流を受け取って磁気回路を通る磁束を発生し、それによって第１の磁性部材と第２の磁性部材の間で第１の方向に力を発生するように構成されたコイルとを含み、磁束は、使用時に第１の磁性部材と第２の磁性部材の間で、第１の磁性部材の第１の面および第２の磁性部材の第２の面を通して伝達され、第１の面と第２の面がエアギャップによって分離され、第１の面および第２の面は互いに、第１の面の外形寸法が第２の面の外形寸法を越えて、第１の方向にほぼ垂直の第２の方向に延びるように配置される。 （もっと読む）

【課題】ピッチ駆動による装着ヘッド等の可動体の振動を低減する機能を、ピッチ駆動の高速化とコントローラの演算負荷軽減の要求を満たしながら実現する。
【解決手段】部品実装機の装着ヘッド２２に、複数本の吸着ノズル２１を所定ピッチで配列し、部品吸着動作時や部品実装動作時に、装着ヘッド２２を回転方向に吸着ノズル２１の配列ピッチ分だけピッチ駆動する。ピッチ駆動の速度指令プロファイルとして、速度上昇を性能限界より低い速度で制限した台形波状の速度指令プロファイルを用いて装着ヘッド２２をピッチ駆動することで、ピッチ駆動による装着ヘッド２２のＸ軸方向の振動エネルギを減衰させる。振動エネルギを減衰させる周波数帯は、台形波状の速度指令プロファイルの最高速度指令によって変化させることができ、減衰させる周波数が装着ヘッド２２の支持部分の固有振動数と一致するように最高速度指令を設定すれば良い。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高速に位置決めすることが可能な位置決め装置を提供すること。
【解決手段】本実施形態に係る位置決め装置は、撮像器３による撮像画像データに基づいて追跡誤差信号を算出する画像処理部４０と、追跡誤差信号及び粗動機構のセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により粗動機構１を制御する粗動機構制御駆動部１０と、追跡誤差信号及び微動機構のセンサ信号に基づく微動機構制御信号により微動機構を制御する微動機構制御駆動部２０と、粗動機構１の駆動力又は駆動トルクと、粗動機構１のセンサ信号と、機構パラメータ記憶部に記憶された機構パラメータとから、機構の運動方程式に基づいて粗動機構の動作により発生する撮像器の撮像画面内の加速度を算出し、粗動微動機構部の目標物に対する追跡誤差を低減させるために微動機構制御信号へ加算する微動機構追跡補正信号を加速度に応じて生成する補正信号生成部３０とを具備する。 （もっと読む）