【課題】ステージを搭載する固定ベース表面に組み込んだマイクロヒータアレイで構成されるコンパクトなアクチュエータシステムで、ＸＹ方向、ヨー回転方向の３自由度に関する長ストローク駆動、およびＺ／ピッチ／ロール方向の微細駆動を実現することができるステージ機構およびその駆動方法を提供する。
【解決手段】ステージ１に接触するベース２の表面近傍に、ベース２の表面の熱変形突出用の第一層目のヒータ３をＸＹ方向にアレイ状に複数配置し、更にベース２の表面から深いところに、第一層目のヒータ３の前後左右を挟み込むように第二層目のヒータ４をＸＹ方向にアレイ状に複数配置する。第二層目のヒータ４が、第一層目のヒータ３による熱変形突出部をＸＹ方向に移動することにより、熱変形突出部に接触するステージ１をＸＹθ方向に駆動する。 （もっと読む）

【課題】可及的に安価で、モータ制御が簡単なステージ移動装置を提供する。
【解決手段】ステージ移動装置１を、１個の正・逆回転可能なモータ１００と、互いに直角に交差して配置され、交差部分にステージ６００を保持するＸ軸方向キャリッジ４００Ｘ及びＸ軸方向キャリッジ４００Ｘと、モータ１００の回転力をＸ軸方向キャリッジ４００ＸをＸ軸方向に移動させる経路に伝達するか、Ｙ軸方向キャリッジ４００ＹをＹ軸方向に移動させる経路に伝達するかをステージ６００の移動目標に応じて切り替える動力伝達経路切替手段と、モータ１００の回転軸の回転運動をＸ軸方向キャリッジ４００Ｘの直線往復運動又はＹ軸方向キャリッジ４００Ｙの直線往復運動に変換する運動方向変換手段と、Ｘ軸方向キャリッジ案内手段及びＹ軸方向キャリッジ案内手段と、ステージ６００の移動目標に応じてモータ１００の回転方向及び回転角度を制御するモータ制御装置とで構成した。 （もっと読む）

【課題】機器移動システムにおいて、所定の移動面に沿って任意の機器を任意方向に自律的に移動可能とする。
【解決手段】機器移動システム１は、所定の移動面Ｓに沿って移動することができる移動ユニット２を備える。移動ユニット２は、任意の機器１０が搭載される移動体１１と、移動体１１に一体的に設けられたアクチュエータ３と、移動体１１を移動面Ｓに拘束する拘束装置１３とを備える。アクチュエータ３は、電磁力に基づく衝撃を発生し、移動体１１を衝撃力の方向に移動させる。拘束装置１３は、移動ユニット２を移動面Ｓに対して移動自在かつ摩擦力が発生するように機械力または電磁気力により拘束する。機器１０が受電機器に給電する給電用１次コイルであり、受電機器が移動面Ｓの上方の任意位置に載置されると、移動ユニット２が受電機器の下部に移動し、給電用１次コイルを受電機器の位置に移動して給電でき、給電場所に融通性を持たせることができる。 （もっと読む）

【課題】移動装置の位置決め制御の精度の向上と加工速度の向上とを両立できる位置決め装置およびレーザ加工機を提供すること。
【解決手段】座標平面におけるレーザビームＢの加工予定軌跡と目標軌跡との間で距離の最も近い２点の組が探索され、その２点間の各々の距離が算出される。算出された各々の距離に基づいて加工予定軌跡を作るための指令が補正されるので、加工予定軌跡を目標軌跡に近づけることができる。これらの処理は被加工物ＷにレーザビームＢを照射する前に実行されるので、レーザ加工時における移動装置の位置決め速度（移動速度）を低下させることなく移動装置の位置決め制御の精度を向上できる。また、変位にヒステリシスをもつピエゾアクチュエータ等の移動装置であっても、ヒステリシスを考慮した補正ができる。 （もっと読む）

【課題】 サーボモータに同期して稼動する外部装置に対して作動を指示するトリガ信号を高精度に出力することが可能なトリガ発生装置を提供する。
【解決手段】 位置検出器のサンプリング開始からトリガ信号を発生させるタイマ設定時間を算出するまでに要する時間をサーボ側遅延時間とし、トリガ発生装置がトリガ信号を出力してから外部装置が作動を開始するまでに要する時間を外部装置側遅延時間とするとき、本発明のトリガ発生装置は、サーボモータの位置情報から算出された外部装置が作動開始位置に到達するまでの到達所要時間からサーボ側遅延時間及び外部装置側遅延時間を減算してタイマ設定時間を算出するタイマ設定時間算出部と、タイマ設定時間に基づきトリガ信号を出力するトリガ信号出力部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】位置決め対象物を一台の駆動装置により互いに直交する二方向、例えば、水平方向と垂直方向とのそれぞれに移動させて位置決めすることができる位置決め装置を提供すること。
【解決手段】基台１１に設けられたレール１２の上にそれぞれ摺動可能に立設された第１のスライド部材２１と第２のスライド部材２２、但し、第１のスライド部材には、レールとの係合により第１のスライド部材を一時的に固定することのできる第１の仮固定機構３１が設けられており、また第２のスライド部材には、斜面２２ｃが設けられている；第１のスライド部材の側面２１ｂと第２のスライド部材の斜面２２ｃとにより摺動可能に係合支持された楔状の位置決め対象物支持部材２３、但し、対象物支持部材２３には、上記係合支持を一時的に固定することのできる第２の仮固定機構３２が設けられている；そして、第２のスライド部材のレール上での摺動を駆動する駆動部材４１を含む位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】２つのステージが互いに近づくことができるマルチステージシステムを提供することが望ましい。
【解決手段】マルチステージシステムを制御する方法であって、マルチステージシステムは、第１方向と平行に延びるステータと、ステータに対して移動可能な第１および第２ステージと、を備える。それらのステージは、磁場を生成するマグネットシステムを備える。ステータは複数のコイルを備え、複数のコイルは磁場と相互作用し、ステージをステータに対して位置決めする。本方法は、それらのステージの位置を決定することと、第１ステージ、第２ステージそれぞれの磁場と無視できない相互作用を有する可能性のあるコイルの第１および第２サブセットを選択することと、両方のサブセットの電気コイルを駆動することと、を含む。コイルを駆動することは、両方のサブセットの一部となっているコイルを決定することと、両方のサブセットの一部であるコイルを駆動対象から除くことと、を含む。 （もっと読む）

【課題】新たなハードウェアを必要とせず、タクトタイムを変化させることなく、振動を抑制する。
【解決手段】パラメータ生成部１０２は、基準距離について、予め定めた移動時間毎に、可動部の加速度軌道から共振周波数に対応する周波数成分を除いた軌道を計算するためのパラメータを生成する。データベース１０３は、パラメータ生成部１０２から供給されたパラメータを記憶する。パラメータ決定部１０４は、可動部の加速度軌道から共振周波数に対応する周波数成分を除いた軌道を計算するためのパラメータを決定する。軌道計算部１０５は、決定されたパラメータから軌道を計算する。本発明は、ロボットを制御する制御装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】加減速の影響により送り速度が過渡的に変化するような場合でも軌跡誤差を抑制できる軌跡制御装置を得ること。
【解決手段】軌跡制御装置は、機械の可動部が複数の可動軸により駆動され、前記複数の可動軸を同時制御することにより前記可動部の軌跡を制御する軌跡制御装置であって、与えられた指令経路に対して補間・加減速を行う補間・加減速演算部と、前記補間・加減速された指令経路に応じて、前記複数の可動軸の位置指令を生成する軸分配部と、前記複数の可動軸の位置指令と前記補間・加減速された指令経路とに基づいて、軌跡誤差を補正するための補正ベクトルを演算する補正ベクトル演算部と、前記演算された補正ベクトルを用いて前記複数の可動軸の位置指令を補正する位置指令補正部と、前記複数の可動軸の位置が前記補正された複数の可動軸の位置指令に追従するように、前記複数の可動軸を同時制御するサーボ制御部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】目標位置が変更された場合であっても、可動軸に発生する衝撃や励起する振動を可及的に抑制しながら前記変更された目標位置までの補間動作を実行すること。
【解決手段】目標位置Ｘと可動軸の現在位置Ｃとの間を補間するように速度指令計算値ｖｒを可動軸毎に算出する指令速度演算部と、直前に出力された速度指令出力値ｖｏと速度指令計算値ｖｒとの差分である速度変更量Δｖを可動軸毎に算出する速度変更量演算部と、可動軸毎の速度変更量Δｖの全てが許容速度変更量Ｖｍを越えない値となるように速度変更量Δｖを制限する１つの補正ゲインＲを算出する補正ゲイン演算部と、速度変更量Δｖを補正ゲインＲで制限した値と直前に出力された速度指令出力値ｖｏとを加算して次に出力する速度指令出力値ｖｏを可動軸毎に算出する指令速度出力部を備える。 （もっと読む）

【課題】移動体を精度良く駆動する。
【解決手段】 ウエハステージＷＳＴの位置情報は、ウエハＸ干渉計１８Ｘ_１，１８Ｘ_２、ウエハＹ干渉計１８Ｙ等と、該干渉計に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等とを用いて計測される。エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等は、計測値の短期安定性が良好であるので、ウエハステージＷＳＴの２位置情報が精度良く計測される。ウエハステージＷＳＴは、エンコーダ５０Ａ，５０Ｂ等の計測範囲内では、それらの計測結果に基づいて精度良く駆動される。 （もっと読む）

【課題】動作履歴や経年変化による案内面抵抗の変化に影響を受けにくくして誤差の発生を抑制し、加工面品位を向上させると共に、様々な運転条件にも対応可能とする。
【解決手段】サーボモータ制御装置１は、反転動作の開始と終了とを判断する反転動作判定装置２０と、位置指令値Ｘｉと検出位置情報との間の位置誤差を算出する減算器１４と、算出された位置誤差から補正量を演算して記憶する補正量演算記憶装置２３と、補正量演算記憶装置２３に記憶された補正量で検出位置情報を補正する検出位置補正装置２４と、を備え、検出位置補正装置２４は、反転動作の開始判断に伴い、補正量演算記憶装置２３に記憶された補正量で検出位置情報を補正する一方、補正量演算記憶装置２３は、当該補正後のテーブル７の移動制御によって得られる検出位置情報と位置指令値Ｘｉとの間の位置誤差から新たな補正量を演算して次回の反転動作の際に用いる補正量を更新する。 （もっと読む）

【課題】動作中に振動特性が変化する制御対象に対する振動抑制制御の精度を向上できるモータ制御装置を得ること。
【解決手段】モータ１ａ及び振動可能要素１ｂを有する制御対象１の動作を制御して、制御対象の動作を動作目標値に追従するようにモデルトルクτａを生成するフィードフォワード制御部１１１と、モデルトルクに応じてトルク指令τＭを発生させる発生部とを備え、フィードフォワード制御部は、制御対象の振動関連情報に応じて、振動特性を表す振動パラメータθを生成する生成部と、振動パラメータに応じて、動特性を模擬した数式モデル１２１を変更し、モデルトルクから変更された数式モデルにより、制御対象の動作状態を含むモデル変数を演算する第１の演算部と、モデル変数が一定の追従特性で動作目標値に追従するように、振動パラメータに応じて特性を変化させた演算によりモデルトルクを演算する第２の演算部とを有する。 （もっと読む）

【課題】改良された電磁アクチュエータを実現する。
【解決手段】電磁アクチュエータが、互いに移動可能であり磁気回路を形成するように配置されている第１の磁性部材および第２の磁性部材と、使用時に電流を受け取って磁気回路を通る磁束を発生し、それによって第１の磁性部材と第２の磁性部材の間で第１の方向に力を発生するように構成されたコイルとを含み、磁束は、使用時に第１の磁性部材と第２の磁性部材の間で、第１の磁性部材の第１の面および第２の磁性部材の第２の面を通して伝達され、第１の面と第２の面がエアギャップによって分離され、第１の面および第２の面は互いに、第１の面の外形寸法が第２の面の外形寸法を越えて、第１の方向にほぼ垂直の第２の方向に延びるように配置される。 （もっと読む）

【課題】ピッチ駆動による装着ヘッド等の可動体の振動を低減する機能を、ピッチ駆動の高速化とコントローラの演算負荷軽減の要求を満たしながら実現する。
【解決手段】部品実装機の装着ヘッド２２に、複数本の吸着ノズル２１を所定ピッチで配列し、部品吸着動作時や部品実装動作時に、装着ヘッド２２を回転方向に吸着ノズル２１の配列ピッチ分だけピッチ駆動する。ピッチ駆動の速度指令プロファイルとして、速度上昇を性能限界より低い速度で制限した台形波状の速度指令プロファイルを用いて装着ヘッド２２をピッチ駆動することで、ピッチ駆動による装着ヘッド２２のＸ軸方向の振動エネルギを減衰させる。振動エネルギを減衰させる周波数帯は、台形波状の速度指令プロファイルの最高速度指令によって変化させることができ、減衰させる周波数が装着ヘッド２２の支持部分の固有振動数と一致するように最高速度指令を設定すれば良い。 （もっと読む）

【課題】マニピュレーターのリーチング動作や移動ロボットの移動など、自動機械の移動を好適に制御する。
【解決手段】自動機械の現在位置及び最終目標位置をパラメトリック曲線の端末とみなし、これら２点を結ぶパラメトリック曲線を内分比ｒ：１−ｒで内分する内分点を、仮想バネ・ダンパ系の平衡点、すなわち仮目標位置として算出する。そして、この仮目標位置を２次のフィルターで鈍らせ、目標位置ｘ_dの生成を行なう。複雑な経路への追従制御が実現されるとともに、ベースとなるオンライン目標位置整形の特徴である対外乱適応能力を両立した移動制御器を構成できる。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ高速に位置決めすることが可能な位置決め装置を提供すること。
【解決手段】本実施形態に係る位置決め装置は、撮像器３による撮像画像データに基づいて追跡誤差信号を算出する画像処理部４０と、追跡誤差信号及び粗動機構のセンサ信号に基づく粗動機構制御信号により粗動機構１を制御する粗動機構制御駆動部１０と、追跡誤差信号及び微動機構のセンサ信号に基づく微動機構制御信号により微動機構を制御する微動機構制御駆動部２０と、粗動機構１の駆動力又は駆動トルクと、粗動機構１のセンサ信号と、機構パラメータ記憶部に記憶された機構パラメータとから、機構の運動方程式に基づいて粗動機構の動作により発生する撮像器の撮像画面内の加速度を算出し、粗動微動機構部の目標物に対する追跡誤差を低減させるために微動機構制御信号へ加算する微動機構追跡補正信号を加速度に応じて生成する補正信号生成部３０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 パターンの重ね合わせ精度の低下及び露光量の均一性の低下を抑制した走査露光装置を提供する。
【解決手段】 原版９と基板８とを走査しながら前記基板の複数のショット領域を露光する走査露光装置は、前記基板を保持して移動するステージ１０と、前記ステージの移動を規定する駆動プロファイルに基づいて前記ステージの移動を制御する制御部１５と、を備える。前記駆動プロファイルのうち少なくとも１つのショット領域の露光中の前記ステージの移動を規定する部分は、前記ステージの制御系における共振周波数よりも低い周波数の正弦波から構成されている。 （もっと読む）

【課題】回転位置決めが可能でありながらＸＹの２次元の長ストローク化が容易で、且つ２次元位置決めテーブルを大形化する必要がない二次元位置決め装置を提供する。
【解決手段】案内部材３ａに案内されて移動する移動部材３ｂとこの移動部材３ｂを駆動する駆動機構３ｅとを有し、所定間隔を保って平行に配設された一対の直動機構３Ａ，３Ｂと、該一対の直動機構の移動部材３ｂに支持されて前記案内部材３ａと交差する方向に配設された案内部材４ｂに案内されて移動する移動部材４ｃとこの移動部材４ｃを駆動する駆動機構４ｆとを有し、前記一対の直動機構間に配設された交差直動機構４とを備え、前記交差直動機構４は、一端が前記直動機構の一方の移動部材に．配設された固定支持部材５に回動可能に支持され、他端が前記直動機構の他方の移動部材との間に配設された前記第１の案内部材と交差する方向に移動可能な可動支持部材６に回動可能に支持されている。 （もっと読む）

【課題】ダブルナット予圧方式の送り駆動機構においても低速から高速の領域まで摩擦力又は摩擦トルクを高精度で推定して象限突起を補正できる数値制御装置及び摩擦補償方法を提供する。
【解決手段】本発明の数値制御装置はオーバーサイズボール予圧方式だけでなく、ダブルナット予圧方式の送り駆動機構においても低速から高速の領域まで摩擦力又は摩擦トルクを高精度で推定する。故に数値制御装置は象限突起を補正できる。象限突起は指令軌跡よりも移動軌跡が外側に出る現象である。ダブルナット予圧方式の送り駆動機構はボール螺子軸が反転して一山目の象限突起を生じる。ダブルナット予圧方式の送り駆動機構はテーブルが反転後所定量移動した時に更に二山目の象限突起を生じる。数値制御装置はダブルナット予圧方式の時に二段階で生じる摩擦力の上昇を二つの近似式を用いて高精度に推定できる。 （もっと読む）