【課題】歪抵抗薄膜全体としてのＴＣＲ値を低く抑えることが可能であると共に、温度サイクルに対して、比抵抗ρに代表される電気特性が安定で、かつ優れた高温安定性と高いゲージ率とを実現可能な歪抵抗薄膜および当該歪抵抗薄膜を用いたセンサの提供。
【解決手段】積層膜からなる歪抵抗薄膜１０、２０であって、上記積層膜が、クロム薄膜、酸化クロム薄膜または窒化クロム薄膜からなる第一の薄膜１１、２１と、第一の薄膜１１の両主面のうち第一面１１１または第一面２１１と第二面２１２に積層され、薄膜の膜厚を同一としたときのＴＣＲ値［ｐｐｍ・Ｋ^−１］が第一の薄膜より小さい第二の薄膜１２、２２、２３とを少なくとも一層以上有し、上記積層膜を構成する第二の薄膜１２、２２の一つが上記積層膜の表出面Ｓとして表出している歪抵抗薄膜とする。 （もっと読む）

【課題】回転部材の変位量とこの回転部材に作用する荷重とのうちの少なくとも一方の物理量を測定する為に使用する、エンコーダ１ａの被検出面に対向させたセンサの出力信号に基づいて、前記回転部材の回転速度を精度良く測定できる構造を実現すべる。
【解決手段】前記エンコーダ１ａの被検出面に設けた各特性変化組み合わせ部３ａ、３ａを構成する１対の透孔１１ａ、１１ｂのうち、一方の透孔１１ａを前記被検出面の幅方向に形成し、他方の透孔１１ｂをこの幅方向に対して傾斜した方向に形成する。このうちの一方の透孔１１ａ、１１ａに基づいて発生するパルス間の周期Ｌ（Ｌ₁、Ｌ₂）に基づいて、前記回転部材の回転速度を測定する。 （もっと読む）

【課題】 工具とワークに電圧を印加し、非接触状態で電流を検出して位置決めを行うものであって、印加電圧が大きい場合でも工具およびワークの損傷を防いで高精度の位置決めを行うことができ、さらにアルミニウム材でも高精度の位置決めを行うことができる工具位置決め方法および工具位置決め装置を提供する。
【解決手段】 工具１およびワーク２に接続するための電極３ａ，３ｂと、電極３ａ，３ｂの間に直列に接続される制限抵抗５と、制限抵抗５を介して電極３ａ，３ｂ間に電圧を印加する電圧供給装置４と、制限抵抗５の両端の電位差を増幅する差動増幅器６と、差動増幅器６から出力される電圧を判定基準電圧と比較するコンパレータ７と、コンパレータ７の出力を検出して電圧供給装置４からの電圧供給を遮断する遮断装置１３とを備える工具位置決め装置により位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】温度変化があった場合でも、ギヤのバックラッシュの変化量を低減できる回転角度の検出精度のよい回転角度検出装置および電動パワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】ケース８は、センサハウジング９との取付け部分、及び検出ギヤ４の回転を支持する部分に線膨張係数の小さい金属により形成されたインサート部材１１がインサート成形されている。また、回転体１０及びメインギヤ２内に装着されメインギヤ２を保持する保持リング３が同じく線膨張係数が小さい金属材料で形成されている。この保持リング３を介してメインギヤ２は回転体１０に圧入され、回転体１０にメインギヤ２がガタのない状態で組付けられる。 （もっと読む）

【課題】製造工程の遅延や製造コストの増大を抑制しつつ、高精度な位置検出を実現可能な位置検出センサを提供すること。
【解決手段】工作機械に装備された主軸に装着されるホルダと、上記ホルダの先端から突出して延びるアンテナと、上記アンテナが他の物体と接触したことを検出する接触検出手段と、を備えている。そして、上記アンテナは、当該アンテナの先端側が予め設定された変位許容量だけ変位可能なよう上記ホルダに装着されていると共に、上記他の物体との接触により外部から所定の力がかかったときに曲折するよう弾性を有する線状部材にて形成されている。 （もっと読む）

【課題】工作機械組立時等に、ロータリエンコーダの調整作業を容易に行う。しかも、テーブルの回転角度を正確に検出する。
【解決手段】工作機械において、ワーク載置用テーブル21は、ベッド11に垂直軸線を中心に回転自在に支持されている。テーブル回転角度検出装置は、テーブル21と同軸上で回転しうるようにベッド11に支持されているベース53と、テーブル21の回転角度を検出するためのロータリエンコーダ71とを備えている。ロータリエンコーダ71は、外周縁部にそって被検出パターンが付けられているロータ57と、被検出パターンを検出するためのセンサ62とよりなる。ロータ57は、その半径方向位置を調節しうるようにベース53に固定可能である。センサ62は、ベース53に固定されたロータ57の被検出パターンを検出しうるようにベッド11に固定可能である。伝達手段82によって、テーブル21の回転をベース53に固定されたロータ57に伝達しうるようになされている。 （もっと読む）

座標位置決め装置が開示される。座標位置決め装置は、取付面と、取付面に取付可能な移動案内部材と、目盛を感知するためのセンサを含む第一の部材であって、移動案内部材に取り付け可能な第一の部材と、使用時にセンサによって感知可能な第一の目盛セットを含むエンコーダスケール部材と、を備える。エンコーダスケール部材が取付面によって少なくとも第一の目盛セットの付近に支持されるよう、エンコーダスケール部材の少なくとも一部は取付面と移動案内部材の間に保持される。移動案内部材は、たとえば、ガイドレールまたは軸受であってもよい。このような座標位置決め装置で使用するエンコーダスケール部材もまた開示される。
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【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】互いに直交するＸ軸およびＹ軸の少なくとも１軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを備えた位置決め装置において、
スライダ１の１軸方向の位置を検出するレゾルバ２と、
このレゾルバ２とプラテン１０との間のギャップを検出するギャップセンサ３０と、
このギャップセンサ３０の出力に基づいてレゾルバ２の出力の振幅を補正する補正部と、
この補正部からの出力を位置情報に変換する位置変換部と、
を備えたことを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】自立型発電システムを備えた工作物表面上の点の座標を測定する工作機械または座標測定機械用の座標測定プローブを提供する。
【解決手段】工作機械１２の回転スピンドル１５に連結可能とし、巻線２０を伴う固定子１８との関係において相対的に回転する駆動要素であるフライホイール２８および永久磁石１９を担持した回転子１７を有する発電機１６を備え、工作機械１２の回転スピンドル１５を作動させることで発電機１６が電気または電子回路である接触検出回路２２に電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】ノズルとワークとの接触による測定系の発熱を抑制しつつ、ノズルとワークとの間のギャップをその間の静電容量の値から検出すること。
【解決手段】静電容量測定部２１は、ノズル１５側の中心電極とワークＷとの間に形成される静電容量を測定し、ギャップ算出部２２は、静電容量測定部２１にて測定された静電容量に基づいて、ノズル１５とワークＷとの間のギャップｄを算出し、接触判定部２３は、ノズル１５とワークＷとの接触状態を判定し、追従信号印加部２４は、ノズル１５とワークＷとの接触状態の判定結果に基づいて、ノズル１５側の中心電極の電位に追従する追従信号をケーブルＣｂの外被Ｃｂ２に印加する。 （もっと読む）

【課題】工作機械の工具刃先、摩耗検出等に使用されてきた接点方式位置検出スイッチの繰り返し精度は０．５〜１μｍのレベルにあった。近年、部品の加工でサブミクロンの精度要求も多くなり、対応が難しくなって来ているのが現状である。また、設置場所も悪環境の下で使用されるために、防塵、防水機能を高めたものが要求されている。
【解決手段】接点方式位置検出スイッチに接点信号検出回路を設置することにより、繰り返し精度の向上および接点寿命を延ばすことができる。また本体形状は多少大きくなるが放熱対策として接点部の容量を大きく取ることで性能をサブミクロンのレベルに到達することができ、その性能を大幅にアップすることができる。また悪環境で使用される位置検出スイッチは高圧エアを利用して、いままで難しかった切粉、クーラント、研磨粉塵の侵入を防ぐことができ、防塵、防水機能を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 さらなる高精度を実現することができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】 ２つのインクリメンタル層１２、１３とアブソリュート層１４とからなり、アブソリュート層１４がインクリメンタル層１２、１３の間に設けられ、各層に磁気情報が記録された磁気記録媒体１５と、磁気記録媒体１５の各層が延在された方向に対し、相対移動し、各層と対向配置される３つの磁気抵抗効果素子２４、２５、２６からなり、各磁気抵抗効果素子２４、２５、２６により各層の磁気情報をそれぞれ検出する磁気検出手段２２とを備え、磁気検出手段２２には、各磁気抵抗効果素子２４、２５、２６に対向配置され、各磁気抵抗効果素子２４、２５、２６に対応したバイアス磁界を発生させるバイアス磁界発生手段３０が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成で、一般の工具とワークとの高精度な相対位置決めを可能とする工具位置決め方法および工具位置決め装置を提供する。
【解決手段】 工具１およびワーク２に接続するための電極３ａ，３ｂと、該電極３ａ，３ｂの間に直列に接続される電源４および制限抵抗５と、該制限抵抗５の両端の電位差を増幅する差動増幅器６と、該差動増幅器６から出力される電圧を判定基準電圧と比較するコンパレータ７と、を備える工具位置決め装置を用いて、電極３ａ，３ｂを工具１およびワーク２に接続し、電源４により工具１およびワーク２の間に電圧を印加し、工具１をワーク２に接近させ、工具１とワーク２との間に流れるトンネル電流が検出された位置を基準位置として、位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】ステージの目的位置で停止させた後に生じる位置変動（ドリフト）を正確に検出可能なステージの位置変動検出装置を提供する。
【解決手段】固定体に設けられた第１の固定電極と、前記ステージに設けられた第１移動電極とで構成された第１コンデンサ部、前記固定体に設けられた第２の固定電極と、前記ステージに設けられた第２移動電極とで構成された第２コンデンサ部、および、前記第１コンデンサ部および前記第２コンデンサ部の双方に電圧を印加する電源、を備え、前記第１コンデンサ部の電気容量と前記第２コンデンサ部の電気容量とのうち、いずれか一方の電気容量に基づいて、前記ステージの位置変動を検出する装置であって、前記固定体に対して前記ステージを移動させたとき、前記第１コンデンサ部の出力波形と前記第２コンデンサ部の電出力波形の位相がずれるように構成される。 （もっと読む）

【課題】測定機器の経時／使用変化に伴う測定精度の低減を防止する。
【解決手段】物体の寸法を取得するための測定部６と、取得した物体の寸法に関する測定データを出力するための出力部８とを具えた測定装置２が記述される。作動停止部１０が測定装置の通常作動を禁止するために与えられ、測定データの出力が阻止されるようになっている。作動停止部１０は、使用中に、装置使用モジュールから装置使用情報を読み取り、この装置使用情報が１つ以上のあらかじめ設定した条件を満たしていない場合、測定装置の通常作動を禁止する。装置使用モジュールを測定装置の一体部品として、または別個の作動ボタン１８として与えることができる。測定装置は、接触トリガー測定プローブの如き測定プローブ２を具えることができる。 （もっと読む）

【課題】 相対変位のポジティブフィードバックの困難な調整を必要とすることなしに極低周波数まで検出範囲を広げることができると共に絶対変位を安定して検出することができる絶対変位検出方法及びその方法を用いた絶対変位センサを提供すること。
【解決手段】 絶対変位センサ１は、被検出体としてのセンサハウジング２と、センサハウジング２にばね係数ｋ及び減衰係数ｃをもって可動に支持された質量ｍを有した質量体３と、質量体３に対するセンサハウジング２の相対速度を電気的に検出する検出手段４と、相対変位をポジティブに、相対速度を一次微分して得られた相対加速度をネガティブに夫々フィードバックさせて、センサハウジング２の絶対変位に起因する質量体３の絶対変位を制御するフィードバック制御手段５と、相対変位に位相遅れ補償を施す位相遅れ補償手段６とを具備している。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面形状（真直度）をナノレベルで精密に測定する方法およびその測定に用いる表面形状校正装置の提供。
【解決手段】ｘ軸方向およびｙ軸方向に移動可能なｘｙステージに搭載された３対の変位センサを保持する変位センサ保持具３組の各組変位センサを用い、前記３対の変位センサ保持具の凹字状アームの凹字空間に挿まれる状態で、かつ、前記ｘｙステージとは独立して１８０度反転可能に保持される基準直定規の被測定面（表面および裏面）と変位センサ間距離、固定テーブル上に載置された加工ワークの被測定面と変位センサ間距離を測定し、その距離値をコントローラより電気信号としてデータ解析装置に送信し、それら送信された距離電気信号値から被校正測定物のｘ座標およびｙ座標の表面形状値を算出する。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工ノズルとワークの間の状態、例えば、ギャップ長やプラズマなどを精度良く検出できる状態検出装置などを提供する。
【解決手段】状態検出装置１は、レーザ加工ノズルに設けられた測定電極とワークＷの間に参照信号を供給する信号発生回路１０と、測定電極とワークＷの間の状態に応じて変化する電気信号を測定するバッファ回路２０およびＡ／Ｄコンバータ２１と、環境温度を検出する温度検出回路３０と、電気信号の測定データおよび検出した環境温度に基づいて、検出対象である状態、例えば、ギャップ長やプラズマなどを演算するための演算回路４０などで構成される。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰにおいて、渦電流によるジュール熱損を極小に抑えるとともに、所定の導電性膜が適正に除去されているかを正確に評価する。
【解決手段】導電性膜を研磨し、前記所定の導電性膜に高周波インダクタ型センサにおけるインダクタを近接させ、該インダクタで形成される磁束により前記所定の導電性膜に誘起される渦電流の変化をモニタする方法であって、前記所定の導電性膜の材質を一因子として決まる表皮効果により、研磨除去による前記導電性膜の膜厚減少に伴って前記導電性膜を貫通する磁束が増大して導電性膜に誘起される渦電流が増加するステップと、その後の更なる研磨による膜厚減少に伴って、渦電流を生じうる実質的な導電性膜厚の減少により、前記誘起される渦電流が減少へ転じるステップとを有し、該転じるステップの変化点を検出することを特徴とする、研磨途中時点の検出方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 摺動部の摩耗量を段階的に正確に測定する摩耗ゲージを提供する。
【解決手段】 産業機械の摺動部材の摩耗を検知するための摩耗ゲージであって、摺動部材に固定可能であり、先端部に間隔をもって配置された１以上の摩耗検知用ラインを備え、摺動部材の摩耗に伴い前記１以上の摩耗検知用ラインが段階的に摩滅する、絶縁板からなる摩耗ゲージ本体部を備える。 （もっと読む）