【課題】さらに付加的な情報の取得が可能で、かつ堅牢な装置構造と高度な測定精度とを有する光干渉測定技術の提供。
【解決手段】光干渉測定装置は、光源１からの出発ビーム２を測定ビーム３と第１の参照ビーム４ａとに分割するビームスプリッタ５ａと、光の重ね合わせ手段と、第１の検出器８ａとを備える。重ね合わせ手段と第１の検出器８ａとは互いに連携する。物体７によって反射された測定ビームと第１の参照ビームとが第１の検出器の検出面で重ね合わされる。ビームスプリッタ５ａは、出発ビーム２を測定ビーム３と、第１の参照ビーム４ａと、少なくとも第２の参照ビーム４ｂとに分割する。重ね合わせ手段と互いに連係する第２の検出器８ｂが備えられ、物体７によって散乱させられた第１の受信ビーム４ｂ’としての測定ビームと第２の参照ビーム４ｂとが第２の検出器８ｂの検出面で重ね合わされる。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ装置のための変位測定システムを較正するための改善された方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置の可動物体の第１方向の変位を測定放射ビームおよびリフレクタを使って測定するように動作可能な干渉型変位測定システム。リフレクタは、実質的に平面的で、かつ第１方向に実質的に垂直である。較正は、可動物体の角位置の第１組の測定値を使って得られる。測定ビームの位相オフセットが影響を受ける。可動物体の角位置の第２組の測定値が得られる。干渉型変位測定システムは、第１および第２組の測定値に基づいて較正される。 （もっと読む）

【課題】変位量を精度良く測定できる変位量測定装置を提供する。
【解決手段】変位量測定装置１は、入力したＡ＋，Ａ−相信号Ｓa1，Ｓa2からＡ相信号Ｓaを生成する第１信号生成装置６０Ａと、入力したＢ＋，Ｂ−相信号からＢ相信号を生成する第２信号生成装置とを備える。第１信号生成装置６０Ａ及び第２信号生成装置は、入力した各信号に基づいて、減算処理を施す減算手段６１と、入力した各信号に基づいて、加算処理を施す加算手段６２と、加算手段による処理結果に基づいて、減算手段による処理結果に含まれるオフセット成分を補正するオフセット補正手段６４とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転体の回転に伴って生じる都合５軸方向の運動誤差を高精度で測定することのできる５自由度誤差測定装置を提供する。
【解決手段】回転体２の外周面に回転体２の回転軸の方向に一定の間隔を置いて設けられた複数の周溝から形成された回折格子面３を設け、回転体２の径方向に相当するセンサ座標系第１軸と回転体２の軸方向に相当するセンサ座標系第２軸に沿った回折格子面の相対移動変位を検出する２軸干渉センサユニットＳ１，Ｓ２，Ｓ３を回転体２の外周面から径方向外側に間隙をおき、かつ、相互に重合しないようにして回転体２の周方向の相異なる少なくとも３つの位置に固定配備し、３つの２軸干渉センサユニットＳ１，Ｓ２，Ｓ３のセンサ座標系第１軸の干渉信号とセンサ座標系第２軸の干渉信号に基いて都合５軸方向の運動誤差Δｘ，Δｙ，Δｚ，Δｕ，Δｖを同時に求める。 （もっと読む）