【課題】物体の角変位を測定する回転型干渉計の重量を軽減すると共に角度範囲を増大させる。
【解決手段】レーザビームを参照ビーム及び測定ビームに分割することによって、物体の角変位が干渉計によって測定される。参照ビームは、固定の参照再帰反射器に、次いで位相シフト検出器に方向付けられる。測定ビームは、物体の回転可能な反射面、次いで固定の測定再帰反射器、次いで回転可能な反射面に引き返し、次いで位相シフト検出器に方向付けられ、その結果位相シフト検出器は、回転可能な反射面が変位するときに測定ビームの経路の長さが変わるときの回転可能な反射面の角変位を測定する。 （もっと読む）

【課題】検出結果の誤差を低減することが可能な干渉計システム、ステージ装置及び露光装置を提供すること。
【解決手段】移動体の位置情報を検出する干渉計システムであって、光を射出する光源と、光を分光して射出する分光装置と、移動体に設けられ、分光された光を反射させる移動鏡と、移動鏡を介した光を受光する受光装置と、光が分光装置から射出され移動鏡に入射し当該移動鏡で反射された後に分光装置へ向かう所定の光路を形成する第１光学系と、当該光路を進行した光が分光装置に入射せずに当該光路の進行方向とは逆向きに当該光路を進行するように光を導光する第２光学系と、第２光学系を進行する光のうち所定成分を前記受光装置に入射させ、所定成分以外の成分を光路に入射させないように当該光を分光する第２分光装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】白色干渉を用いた被測定物の表面高さの測定において、短時間で測定光束の焦点位置を調節可能な寸法測定装置を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２と、白色光源２から放射された光を、被測定物の表面高さに応じた光路長を有する測定光束と参照光束とに分割する光線分割素子３と、光線分割素子３から出射された参照光束の光路長を変化させる参照光走査光学系５と、測定光束内に配置された焦点可変レンズ４１と、測定光束の光路長と参照光束の光路長が略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、その干渉信号に対応する信号を出力する検出器６と、参照光束の光路長と測定光束の光路長が等しいときに測定光束が反射される位置において測定光束が焦点を結ぶように、焦点可変レンズ４１の焦点距離を調節し、かつ干渉信号の最大値に対応する参照光束の光路長を求めることにより、被測定物の表面高さを求めるコントローラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】光路長の増倍を容易に可能にする光路長増倍装置を実現する。
【解決手段】レーザ干渉測長機１００において、光路長増倍装置１０１における複数の偏光ビームスプリッタの数を１つ増やすことにより、固定平面ミラー３１と移動平面ミラー３２との間の１往復分に相当する光路長を増倍することを可能にし、特に、光路長増倍装置１０１において、複数の偏光ビームスプリッタ（１１〜１ｍ）、１／４波長板２１，２２、固定平面ミラー３１、移動平面ミラー３２などの光学部材の配置構成を規則的かつ単純にすることによって、偏光ビームスプリッタの数を増やすという構成変更を容易にし、光路長の増倍を容易に行うことを可能にした。 （もっと読む）

【課題】単純な干渉計構成により測定対象の位置又は移動量を高分解能で且つ高精度に測定可能な光学測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象５０にレーザ光を照射してこの測定対象の位置又は変位量を測定する光学測定装置１００である。そして、測定対象５０の複数の面５１ａ，５１ｂに対応して複数の光路長増倍光学系４Ａ，４Ｂが配置され、これら複数の光路長増倍光学系４Ａ，４Ｂを経た２光路のレーザ光を位相計４２により干渉させて位相を計測することで、測定対象５０の位置又は変位量を求める構成とした。 （もっと読む）

本発明は、干渉計の本体に対する干渉計の少なくとも１つの可動手段の移動に関する。本発明によるシステムは、別個に操作可能な少なくとも２つの干渉計アクチュエータを備えることによって、少なくとも２つのアクチュエータが、干渉計の少なくとも１つの可動手段を移動させることが可能である。少なくとも２つの干渉計アクチュエータの少なくとも１つを作動させる時、干渉計の少なくとも１つの可動手段は、例えば、傾斜を補正する最小限の必要性を伴って、移動される。好ましい構成では、本発明によるシステムおよび方法は、別個に操作可能な３つの干渉計アクチュエータを備える。
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【課題】従来の光干渉計の分解能を上回る高分解能を正確に実現する位置決め機構を実現する。
【解決手段】光コムを利用して得られる第１及び第２の波長の光を、それぞれマッハツェンダー干渉計４で干渉させる際、マッハツェンダー干渉計４の測定光路中にコーナーリフレクタ１及びコーナーリフレクタ２を設け、第１の波長の光はコーナーリフレクタ１とコーナーリフレクタ２を通し、第２の波長はコーナーリフレクタ２のみを通し、コーナーリフレクタ１のみを移動させ、第１の波長の光と第２の波長の光に位相差をおこし、この位相差を０に保障するようにコーナーリフレクタ２を移動させるとき、コーナーリフレクタ２の移動量は波長１と波長２の比で決まる倍率でコーナーリフレクタ１の移動量を縮小した移動量になる。 （もっと読む）

【課題】所望する光路差増倍数に切り替え可能な光路差増倍装置を実現する。
【解決手段】レーザ干渉器本体４から出力されたレーザ光が、光路差増倍装置５０の移動反射体１と固定反射体２の間で交互に入反射を繰り返して往復するマルチパスが行われる際に、第１のキューブコーナプリズム１６または第２のキューブコーナプリズム２６の配置を切り替え、それらキューブコーナプリズムがレーザ光を反射する位置を切り替えることによって、レーザ光が移動反射体１と固定反射体２の間の往復する回数を切り替えることができるので、その往復回数（マルチパス数）を増すことに応じてレーザ干渉測長機１００の測長分解能を向上させることを可能にした。 （もっと読む）

【課題】 高感度、かつ高精度なマイケルソン光干渉計及びこのマイケルソン光干渉系を用いた熱膨張計を提供する。
【解決手段】 マイケルソン干渉計を、レーザー発振器２１と、このレーザー発振器２１から発せられ、試料面Ｓ１及び基準面４５１でそれぞれ反射したレーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を相互に干渉させ、その干渉光Ｌ４を照射面２８に照射して複数の明暗パターンからなる干渉縞Ｉを生じさせる干渉縞発生手段とを有するマイケルソン光干渉計において、レーザー発振器４１と干渉縞発生手段との間に光路差発生手段２４を設け、この光路差発生手段２４に入射された各レーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を基準面２５１及び試料面Ｓ１との間で４往復させるように光路差発生手段２４を構成し、この光路差発生手段２４からレーザー光Ｌ１１、Ｌ１２を干渉させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 光測長器で円筒面など一方向に曲率を有する曲面の変位測定を行う場合に、被測定面に存在する微細な凹凸の影響を受けずに、精度よく測定を行うことができるようにする。
【解決手段】 レーザー光源１から出射するビームのスポット径を変更するスポット径調整手段を備えている。したがって、干渉計２から出射され、対物レンズ光学系４により集光される集光ビームは、被測定物体５の表面に大きさ可変な集光スポットＰとして照射される。これにより、集光スポットＰの大きさを集光スポットＰが被測定物体を走査する際に横断する傷等（符号Ｑ）に対し十分大きく設定することで、変位測定信号の乱れを排除できる。 （もっと読む）