【課題】別途光源を用意することなく、被検レンズの光軸をレーザ光の進行方向に一致させる傾き調整が可能なレンズの透過波面測定装置を提供する。
【解決手段】透過波面測定装置が、入射部から光を取り入れて出射部から出射させ、入射部を被検レンズの第１レンズ面近傍に出射部を被検レンズの第２レンズ面近傍に夫々配置可能であり、入射部から観察光を出射部に導いて被検レンズのフランジ部の第２レンズ面側に形成された平面部に照射させる傾斜検出用光路形成部と、被検レンズの平面部で反射された観察光による被検レンズの傾きを判別するための点像を観察するための傾斜検出用カメラとを有し、傾斜検出用光路形成部は、被検レンズから離れて観察光を被検レンズの第１レンズ面に入射させる第１の位置と、被検レンズの第１レンズ面側及び第２レンズ面側に入射部及び出射部が夫々位置して観察光を平面部に照射させる第２の位置との間で移動可能である。 （もっと読む）

【課題】 大口径の被検光学系の面形状を測定する波面形状測定方法、及び大口径の被検光学系の面形状を測定するための波面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検光学系の面形状を測定するための波面形状測定方法において、重力方向に伸びた回転軸（ＫＪ）を中心に液体（ＥＴ）を入れた容器（ＹＫ）を回転させることにより、重力方向に凹んだ回転放物面の液体反射面（ＥＨ）を形成する液体反射面形成工程と、反射平面（ＨＭ）を有する基準平面鏡（ＫＨ）を液体反射面に対向するように配置する工程と、干渉計（ＫＳ）から可干渉性を有する光束を液体反射面に照射し、液体反射面で反射された光束が基準平面鏡で反射され、再び液体反射面を経由して干渉計に戻った光束を干渉させて、基準平面鏡の面形状を測定する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を用いる場合であっても被測定球面の形状を適切に測定することができるフィゾー型干渉計の提供。
【解決手段】フィゾー型干渉計１は、干渉計本体２と、測定装置３とを備える。干渉計本体２は、参照球面などで構成される光学系２２を備える。測定装置３は、強度取得部３１と、形状測定部３２とを備える。強度取得部３１は、参照球面の焦点と、被測定球面の焦点とを一致させたときの参照球面の位置を中央位置とし、この中央位置から等距離にある２つの位置を、それぞれ開始位置、及び終了位置としてｎ個の位置における干渉光の強度を等間隔で取得する。形状測定部３２は、ｉ個目の位置における干渉光の強度、及び（ｎ−ｉ＋１）個目の位置における干渉光の強度の係数を同一とする位相シフト法のアルゴリズムで被測定球面の形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】
高精度に干渉計測装置固有の誤差を計測することができる干渉計測装置を提供する。
【解決手段】
被検査レンズの波面を計測する干渉計測装置において、前記集光レンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置された前記凹球面ミラーを、光軸に関して０°回転した位置で前記被検査レンズの第１の波面を計測し、前記集光レンズの焦点位置に曲率中心が一致するように配置された前記凹球面ミラーを、前記光軸に関して１８０°回転した位置で前記被検査レンズの第２の波面を計測し、前記集光レンズの焦点位置からデフォーカスさせた位置に配置された反射基板により前記被検査レンズの第３の波面を計測し、前記入射光学系、前記干渉計測装置のシステムエラーを検出するように制御する制御手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】平面の形状を効率、精度よく測定できる平面形状測定装置、測定方法の提供。
【解決手段】光源１１からの射出光の一部を反射させて参照光を生成する部分反射板１４、残りの前記射出光を収束レンズ１５により収束された照明光に対して被測定平面２ａを傾斜させた支持状態を保ち被測定物２を光軸方向に相対移動可能な第１支持機構２０、被測定平面での反射光を被測定平面に向けて再び反射させる反射球面３０ａを有する反射鏡３０、反射球面の収束点ｃが照明光の収束点Ａと重なるように反射鏡を支持し、被測定物の移動に応じて照明光の光軸方向且つ反射光の光軸方向に反射鏡を移動可能な第２支持機構４０、被測定平面及び反射球面からの反射光と参照光から干渉縞を取得する撮像装置１８等と被測定平面の測定領域全体に照射され取得された第１干渉縞、照明光の収束点Ａが被測定平面上に位置するときの第２干渉縞から形状を算出する演算・制御部５０からなる。 （もっと読む）

【課題】 内部円錐などの複雑な表面形状を測定するための干渉方法およびシステムを提供する。
【解決手段】局部球面測定波面（例えば、球面波面および非球面波面）を使用して、円錐表面（および他の複雑表面形状）を干渉法を使用して特性化することが可能である。詳細には、複雑表面形状は、測定点基準に対して測定される。これは、測定波面と基準波面の間に一定の光路長差（例えばゼロＯＰＤ）を生成するべく測定波面を反射する理論試験表面に対応する仮想表面（１５２）の曲率半径を変化させることによって達成される。 （もっと読む）

【課題】被検光学系（投影光学系）の波面収差を高精度に測定することができる測定装置を提供する。
【解決手段】被検光学系の波面収差を測定する測定装置であって、前記被検光学系の物体面側に配置され、光源からの光を被検光と参照光とに分離する光学素子と、前記被検光と前記参照光との位相差を変化させて複数の位相状態を生成する生成部と、前記被検光と前記参照光との位相差を変化させてフリンジスキャンを行うフリンジスキャン部と、前記生成部によって生成された前記複数の位相状態のそれぞれにおいて、予め決定された制御データに従って前記フリンジスキャン部でフリンジスキャンを行って、前記制御データに対する前記被検光と前記参照光との干渉パターンから導出される特徴量の非線形な変化を示す非線形誤差を決定する決定部と、前記決定部によって決定された前記非線形誤差に基づいて、前記被検光と前記参照光との干渉パターンから算出される前記被検光学系の波面収差を補正する補正部と、を有することを特徴とする測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】表裏のレンズ面周縁にそれぞれ環状平面部を有する被検レンズの波面収差を干渉計により測定する波面収差測定方法において、被検レンズを実装するときの環状平面部（Ｒ２平面部）を基準にして、被検レンズの光軸を干渉計光軸と一致させ、その後に干渉計による透過波面収差の測定ができる方法及び装置を得る。
【解決手段】試料台に載置した被検レンズの表裏の環状平面部のうち、該被検レンズを実装するときにレンズホルダに当接させる載置基準環状平面部に向けて傾き測定光を入射させ、該傾き測定光の被検レンズからの反射光により被検レンズの干渉計光軸からの傾き量を検知するステップと；
この傾き検知量に基づき、上記試料台の傾きを調整し、被検レンズ光軸を干渉計光軸に一致させるステップと；
この光軸一致状態で干渉計による波面収差測定を行うステップと；
を有する被検レンズの透過波面収差測定方法。 （もっと読む）

【課題】表面形状の測定方法および干渉計において、波面形状の測定精度を向上することができるようにする。
【解決手段】同一の光束を測定光と参照光とに分割し、複数の干渉縞を形成して、それぞれの干渉縞画像を取得し、位相差を測定することにより、被測定面の形状を算出する表面形状の測定方法であって、位相差を目標位相増分Δφずつずらして（２ｎ＋１）枚の被測定画像を取得する被測定画像取得工程と、各被測定画像内の一定位置の位置強度データｇ_ｊ（ｊ＝−ｎ，…，０，…，ｎ）から、被測定光の位相θを算出して波面形状を算出する波面形状算出工程とを備え、位相θの計算式に含まれる係数Ａ_ｉ、Ｂ_ｉ（ｉ＝１，…，ｎ）は、位置強度データｇ_ｊが、目標位相増分Δφからの位相偏差εを誤差として含む場合に、位相偏差εの（２ｎ−２）次以下の成分によらず一定となるように設定する。 （もっと読む）

【課題】被検体の回転に伴う回転中心線の位置変動を高精度に測定することが可能な回転中心線の位置変動測定方法および装置を得る。
【解決手段】３つの反射平面を有する測定用治具３を被検体５と一体的に回転し得るように設置し、被検体５が回転する過程の複数の時点において、測定用治具３の形状情報が担持された干渉縞画像を干渉計１によりそれぞれ撮像する。撮像された各々の干渉縞画像に基づき、３つの反射平面から選択された各２つの反射平面同士の各交線を２次元座標平面に正射影したときの各直線同士の交点の軌跡を求め、求められた軌跡に基づき、被検体５の回転中心線Ａの位置変動量を算定する。 （もっと読む）

【課題】
液浸露光装置の投影光学系の波面収差を高精度に測定する波面収差測定装置を提供する。
【解決手段】
光源からの光を被検光と参照光とに分離し、投影光学系に前記被検光を入射させる入射光学系と、前記投影光学系から出射される前記被検光を、再び、同一光路で前記投影光学系に向けて反射する反射光学系と、前記反射光学系により反射され前記投影光学系から出射される前記被検光と、前記投影光学系を通過しない前記参照光との干渉により生成された干渉縞を検出する検出器と、を有し、前記投影光学系と基板との間の浸液を介して前記基板を露光する露光装置の前記投影光学系の波面収差を測定する波面収差測定装置において、前記反射光学系を回転させる回転機構および傾斜させる傾斜機構を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 干渉計測装置がもつシステムエラーを短時間で簡便に保証し、絶対値計測の回数を減らす。
【解決手段】 被検光と参照光を干渉させて得られた干渉縞の計測データから、被検物１の透過波面を計測する際、被検用光束を計測用球面ミラー２で反射させて波面計測を行い、かつ複数の校正用球面ミラー４、５、６、７のそれぞれで反射させて波面計測を行うとともに、２回目以降の透過波面計測時は、今回及び前回得られたデータに基づいて前回計測時に対するシステムエラーの変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】光学素子である補正板の厚みが薄くても変形せず歪みを生じないように保持した光学素子ユニットを得、該光学素子ユニットを用いることで、被検レンズを高い測定精度で測定できる干渉計を得る。
【解決手段】光学素子と光学素子を保持する保持部材を有する光学素子ユニットであって、光学素子は、厚さが０．０５ｍｍ〜０．１５ｍｍの合成樹脂製又はガラス製の平板状のものであり、光学素子が球体を介して保持部材に接着されている光学素子ユニットとする。 （もっと読む）

【課題】レンズ本体による干渉縞と平面部による干渉縞とを自動的に分離する。
【解決手段】レンズＬの透過波面を測定する干渉測定装置１は、検査光Ｂを射出する光源２と、検査光Ｂを参照光と被検光とに分割するハーフミラー３と、被検光を反射し、被検光の光軸上を移動可能な球面ミラー５と、参照光を反射し、参照光の光軸上を移動可能な平面ミラー４と、レンズＬが設置される載物台１０と、被検光と参照光とによって生じる干渉縞を有する観察像を取得する撮像素子を有する撮像装置６と、球面ミラー５又は平面ミラー４を移動させる制御部と、球面ミラー５又は平面ミラー４のいずれか一方の位置が異なる状態で取得された２つの観察像における撮像素子の各画素の輝度を比較する輝度比較部と、輝度比較部の比較結果に基づき、レンズ本体Ｌ１の干渉縞を含む解析領域と平面部Ｌ２の干渉縞を含むアライメント領域とを自動分離する演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で微少径を維持しつつも偏向部の回転速度が不均一になる現象を低減して安定した低コヒーレンス光の走査を実現することができるＯＣＴプローブを提供すること。
【解決手段】ＯＣＴプローブは、光源から照射された低コヒーレンスな光を用いて観察対象の断層像を取得するためのＯＣＴプローブであって、回転自在に構成され、外部にある光源から照射された光を前記ＯＣＴプローブの先端近傍まで導く導光手段と、導光手段と離間して配設され、導光手段から間接的に回転トルクを受けることにより導光手段の中心軸回りに回転するように構成され、導光手段により導かれた光を偏向して外部に照射すると同時に外部からの反射光を導光手段に向けて偏向する偏向手段と、導光手段から偏向手段に回転トルクを伝達し、かつ偏向手段の慣性による回転を許容するトルク伝達手段と、を有する構成にした。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で微少径を維持しつつも偏向部の回転速度が不均一になる現象を低減して安定した低コヒーレンス光の走査を実現することができるＯＣＴプローブを提供すること。
【解決手段】ＯＣＴプローブは、光源から照射された低コヒーレンスな光を用いて観察対象の断層像を取得するためのＯＣＴプローブであって、回転自在に構成され、外部にある光源から照射された光を前記ＯＣＴプローブの先端近傍まで導く導光手段と、導光手段と離間して配設され、導光手段から間接的に回転トルクを受けることにより導光手段の中心軸回りに回転するように構成され、導光手段により導かれた光を偏向して外部に照射すると同時に外部からの反射光を導光手段に向けて偏向する偏向手段と、導光手段から偏向手段に回転トルクを伝達し、かつ偏向手段の慣性による回転を許容するトルク伝達手段と、を有する構成にした。 （もっと読む）

【課題】空間光変調器（ＳＬＭ）を使用して（非球形）光学表面のヌルテストを実行するシステムおよび方法を提供する。
【解決手段】システムは干渉計、光学素子、およびＳＬＭを含む。干渉計は電磁放射を提供する。光学素子は電磁放射を調整して第一放射ビームおよび第二放射ビームを提供する。ＳＬＭは第一放射ビームの波面を成形して光学表面に対応する成形波面にする。成形波面は光学表面に入射しそれによって調整される。光学表面の形状は、光学表面によってマッピングされた成形波面と第二放射ビームとの干渉によって生じる干渉縞パターンに基づいて解析される。システムは、光学表面に対応するヌルコレクタ設計をＳＬＭのための命令に変換する光学設計モジュールも含むことができる。 （もっと読む）

【課題】計測時間の短縮、ドリフト誤差低減等を図り被検物の絶対形状を効率よく計測する干渉計測方法、干渉計、これを用いる露光装置、その露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計測方法を実施し、露光装置、デバイス製造方法に用いる干渉計は、被検物１の代りとなるダミー真球２の全ての球面に被検光が当たるようにダミー真球２を回転する第１の回転機構４と、ランダムに回転するダミー真球２を第１の回転機構４とともに光軸周りに回転する第２の回転機構５と、参照光を形成する参照面の形状誤差を演算する第１の演算手段と、参照面の形状誤差に基づき被検物１の真の形状を演算する第２の演算手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 干渉に利用できる光のパワーを下げることなく高精度の参照波面を生成することが可能で、かつ収差の大きさに依存せずに測定することが可能な波面測定の方法および装置を実現する。
【解決手段】 ２枚以上の鏡から構成されるファブリ・ペロ干渉計１０に光を入射させて入射光とし、入射光のうちファブリ・ペロ干渉計１０の最低次の空間モードと共振する成分を透過させて透過光とし、ファブリ・ペロ干渉計１０と共振せず反射された収差を含む空間成分を反射光とし、透過光と反射光を干渉させることで収差の情報を含む干渉縞を形成させて入射光の波面の収差を検出することを特徴とする光波面測定装置。 （もっと読む）

【課題】 フリンジスキャン法による干渉計測法において、外乱による測定誤差を低減させる。
【解決手段】 波面測定前に外乱による測定誤差の最小化条件（波面のピストン、ティルト、パワーのいずれかを最適化）を求める。 （もっと読む）