【課題】リソグラフィ装置のための変位測定システムを較正するための改善された方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置の可動物体の第１方向の変位を測定放射ビームおよびリフレクタを使って測定するように動作可能な干渉型変位測定システム。リフレクタは、実質的に平面的で、かつ第１方向に実質的に垂直である。較正は、可動物体の角位置の第１組の測定値を使って得られる。測定ビームの位相オフセットが影響を受ける。可動物体の角位置の第２組の測定値が得られる。干渉型変位測定システムは、第１および第２組の測定値に基づいて較正される。 （もっと読む）

【課題】変位量を精度良く測定できる変位量測定装置を提供する。
【解決手段】変位量測定装置１は、入力したＡ＋，Ａ−相信号Ｓa1，Ｓa2からＡ相信号Ｓaを生成する第１信号生成装置６０Ａと、入力したＢ＋，Ｂ−相信号からＢ相信号を生成する第２信号生成装置とを備える。第１信号生成装置６０Ａ及び第２信号生成装置は、入力した各信号に基づいて、減算処理を施す減算手段６１と、入力した各信号に基づいて、加算処理を施す加算手段６２と、加算手段による処理結果に基づいて、減算手段による処理結果に含まれるオフセット成分を補正するオフセット補正手段６４とを備える。 （もっと読む）

【課題】投影レンズ内の１以上の光学素子の位置をモニタするシステムを提供すること
【解決手段】各々が入力放射から第１の波面及び第２の波面を導出し、かつ、第１及び第２の波面を合成して第１及び第２の波面の経路間の光路長の差に関する情報を備える出力放射を供給するように構成された複数の干渉計１１０，１２０を含み、各々が第１の波面の経路内に位置決めされた反射素子を備え、干渉計の少なくとも１つの反射素子が、第１の物体上に取り付けられる。本システムは、また、複数のファイバ１１１，１２１及び電子制御装置１７０を含む。各ファイバ１１１，１２１は、対応する干渉計１１０，１２０へのに送光、又は、対応する干渉計１１０，１２０からの受光に用いる。電子制御装置１７０は、干渉計１１０，１２０の少なくとも１つからの情報に基づいて、第２の物体に関する第１の物体の絶対変位をモニタする。 （もっと読む）

【課題】小型化が可能な干渉計、復調器および送受信器を提供する。
【解決手段】遅延干渉計は、基板２０１の上に配置されたハーフビームスプリッタ２０３と５角柱プリズム２０６，２０７と、を含む。ハーフビームスプリッタ２０３は、基板２０１にほぼ平行に入射する被測定光を２つの分岐光２０４，２０５に分岐する。５角柱プリズム２０６，２０７は、分岐光２０４，２０５の光軸が反射により基板２０１にほぼ垂直な方向に平行移動するよう、分岐光２０４，２０５をそれぞれ反射する。ハーフビームスプリッタ２０３は、５角柱プリズム２０６，２０７により反射された分岐光２０４，２０５（反射光２０８，２０９）を合波して、干渉光２１０，２１１を生成する。 （もっと読む）

【課題】レーザ干渉測長装置に対する再帰反射体の絶対位置を精度良く測定できる絶対位置測定方法を提供する。
【解決手段】絶対位置測定方法は、予め設定された３つ以上の各位置に再帰反射体をそれぞれ位置付ける工程Ｓ１，Ｓ４と、回転機構を動作させ、前記各位置にそれぞれ位置付けられた再帰反射体に対して測定光を出射可能とする各姿勢に干渉計を設定する工程Ｓ２と、回転機構の動作量に基づいて前記各姿勢間での測定光の光軸の角度変化量を算出する工程Ｓ５と、干渉計から出力される信号に基づいて前記各姿勢間での前記光軸に沿う方向の再帰反射体の位置変化量を算出する工程Ｓ６と、前記各位置、角度変化量、及び位置変化量に基づいて、レーザ干渉測長装置の基準位置を算出する工程Ｓ７と、基準位置に対する再帰反射体の絶対座標を算出する工程Ｓ８とを備える。 （もっと読む）

【課題】参照光の位相設定精度に限界がある場合でも、測定対象物による位相シフト量を用いた計測する光位相測定装置を提供する。
【解決手段】コヒーレント光源８１、光源よりの光波を２分岐する光分岐手段８２、光波のうちの参照光波８９を周波数ωｍで位相変調する位相変調手段８３ａ、分岐された後に被測定対象物８５を透過又は反射した信号光波と位相変調された参照光波８９とを合成する光合成手段９７と、合成された干渉光の強度を測定する光強度測定手段８８を有する光干渉計を備えた光位相測定装置で、干渉光の強度を一定の時間に亘って取得し、取得した時系列の強度信号をフーリエ変換し、位相変調の周波数ωｍの整数倍の周波数成分のうち少なくとも２つの成分の光強度を演算して、位相変調手段の変調指数ｍを同定して、該変調指数ｍに基づいて前記被測定対象物８５による信号光波の位相変化量φを算出する演算手段９５を備えた光位相測定装置。 （もっと読む）

【課題】
試料表面に非接触で超音波励起を行い、超音波を励起した点を光干渉計測する手段を用いた非接触で試料内部の観察を行うことにより、稼動部分が無く、コンパクトな構成で、高感度で非破壊・非接触に内部欠陥を検査する。
【解決手段】
検査対象の試料から離れた場所から超音波を発射してこの超音波を試料に照射し、この試料の表面の超音波が照射された箇所に偏光の状態が制御された偏光光を照射し、この偏光光が照射された試料の表面からの反射・散乱光のうち照射した偏光光と同じ偏光特性を持つ光を光検出器で検出し、この光検出器で検出した信号を処理して試料の内部の欠陥を検出する内部欠陥検査方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】光束を測定リフレクタ方向に向ける偏向ユニットを簡素かつコンパクトにする。
【解決手段】光線偏向ユニット４０に二つのカルダンフレーム４１，４２を備えたカルダン構造を含んでおり、その内の第一カルダンフレーム４１は第一回転軸Ａ１を中心に動作的に変位自在であり、第一カルダンフレーム内にある第二カルダンフレーム４２は、第一回転軸に対して直角に向いた第二回転軸Ａ２を中心に動作的に変位自在である。二つの回転軸は、参照リフレクタ３０が配設されている位置固定された参照点Ｒで交差している。カルダンフレームに多数のミラーが固定して配設されているので、複数のミラーを介することにより光束が、測定リフレクタへ向けられる時に位置固定された参照点を中心に旋回自在である。 （もっと読む）

【課題】 測定される距離の測定誤差を容易に低減できる追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の制御方法を提供する。
【解決手段】 追尾式レーザ干渉計１は、移動体に取り付けられたレトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を受光する検出器２２２を備える追尾用光学部２２を有する本体２と、追尾用光学部２２からの受光信号に基づいて本体２の姿勢を制御し、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させる制御手段３とを備えるものであって、制御手段３は、レトロリフレクタＲに入射する測定光Ｌ２とレトロリフレクタＲで反射される測定光Ｌ２とを平行とするように検出器２２２で受光される測定光Ｌ２１の目標位置Ｑ２を設定する目標位置設定部３２と、本体２の姿勢を制御し、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を目標位置Ｑ２に入射させる姿勢変更部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】個々の光学要素が理想的に位置決めされていない場合にも、測定エラーを回避でき、更に、基準反射器を軸にして測定光束を旋回できる光学式距離測定機器を提供する。
【解決手段】光源により発光された光束は、基準反射器の中心を軸にして旋回自在である。光源から届く光束を、光束分割要素を介して少なくとも一つの測定光束と基準光束に分割する。少なくとも一つの測定光束は、測定反射器の方向に進み、そして基準光束が、少なくとも一つの測定光束に対して同一線上を基準反射器の方向に進む。測定反射器により測定光束の逆反射が、そして基準反射器により基準光束の逆反射が、光束結合ユニットの方向に行われ、その時に少なくとも一つの測定光束が、測定反射器での反射の前後で基準反射器に対して対称に延伸する。光束結合ユニットが測定光束と基準光束を干渉させる。検知ユニットを介して、距離に関係する干渉信号を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】被検曲面の傾きが大きい場合でも被検曲面の形状を高精度に測定することが可能な被検曲面形状測定装置を得る。
【解決手段】被検曲面Ｐの形状の設計データに基づき形成された反射曲面３１を有する反射偏向素子３を用いて測定を行う。この反射曲面３１は、干渉計１から反射曲面３１に入射した測定光の各光線が、被検曲面Ｐに対し垂直に入射して再帰反射され反射曲面３１を経由して干渉計１に戻るとともに、該各光線の光路長が互いに等しくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】非球面体の内部屈折率分布の影響を受けることなく、また、非球面体が測定光を透過しないものである場合でも、面ずれ量および面倒れ量を測定できるようにする。
【解決手段】第１干渉計１Ａと第２干渉計１Ｂとを用いた反射波面測定により、非球面レンズ９の第１レンズ面９１および第２レンズ面９２の形状データを求める。各形状データをツェルニケ多項式で近似し、そのときのツェルニケ多項式の係数Ｚ_１，Ｚ_２の値を求めるとともに、各形状データから第１被検面の頂点偏芯の値および第２被検面の頂点偏芯の値を求める。求められたこれらの値に基づき、第１測定光軸Ｌ_１に対する第１レンズ面９１のシフト量およびチルト量と第２測定光軸Ｌ_２に対する第２レンズ面９２のシフト量およびチルト量を求め、求められた各々のシフト量およびチルト量と、第１干渉計１Ａおよび第２干渉計１Ｂの相対位置関係とに基づき、面ずれ量および面倒れ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】反射光を常に入射光と平行な方向へ効率よく戻すことができるレーザ反射体を提供すること。
【解決手段】レーザ光の光軸（Ｐ軸）上に設けられるレンズ５および球体４と、球体４の表面を覆いレーザ光を反射する被覆体１２と、これらを収納する筺体７を備えており、レーザ光をレンズ５と球体４で１点に集光させ、被覆体１２で反射させる。レンズ５の中心と焦点Ｆ_１をＰ軸上に配置して、球体４の中心を、レンズ５の中心と焦点Ｆ_１を結ぶ線上に配置する。被覆体１２は、焦点Ｆ_１に近い方の半球面上の領域で、半球面とＰ軸との交点Ｑ_１を少なくとも含む領域を覆う。レンズ５と球体４の中心間距離Ｓ_１、球体４の屈折率ｎ１を、レンズ５により焦点Ｆ_１に向けて集光されるレーザ光が球体４で屈折して被覆体１２で覆われた交点Ｑ_１に集光するように設定する。 （もっと読む）

【課題】物体の角変位を測定する回転型干渉計の重量を軽減すると共に角度範囲を増大させる。
【解決手段】レーザビームを参照ビーム及び測定ビームに分割することによって、物体の角変位が干渉計によって測定される。参照ビームは、固定の参照再帰反射器に、次いで位相シフト検出器に方向付けられる。測定ビームは、物体の回転可能な反射面、次いで固定の測定再帰反射器、次いで回転可能な反射面に引き返し、次いで位相シフト検出器に方向付けられ、その結果位相シフト検出器は、回転可能な反射面が変位するときに測定ビームの経路の長さが変わるときの回転可能な反射面の角変位を測定する。 （もっと読む）

【課題】回転機構の回転角度を適切に取得することができる追尾式レーザ干渉測長計の提供。
【解決手段】追尾式レーザ干渉測長計１は、第１の再帰反射体としての測定基準器２と、被測定物Ｗに取り付けられる第２の再帰反射体としてのターゲット３と、測定基準器２にレーザ光源から出射される光を導くとともに、測定基準器２にて反射された光を出射する本体部４と、測定基準器２を中心として本体部４を回転させる回転機構５と、回転機構５を制御する制御装置６とを備える。本体部４は、測定基準器２にて反射された光を受光し、受光した光の位置を検出する二次元ＰＳＤを備える。制御装置６は、回転機構５の回転角度を取得する角度取得部６３と、二次元ＰＳＤにて検出される光の位置に基づいて、角度取得部６３にて取得される回転機構５の回転角度を補正する角度補正部６４とを備える。 （もっと読む）

【課題】移動体までの距離を安全に測定することができる干渉計を提供すること。
【解決手段】干渉計１Ａは、干渉計１Ａから射出される光の光量を調整可能に構成された調光手段３Ａと、受光手段４７，４９の受光量が所定の第１閾値以下か否かを判定する第１判定手段と、第１判定手段が、受光量が第１閾値以下と判定した場合、調光手段３Ａに、干渉計１Ａから射出される光の光量の低減を命じる低減信号を出力する低減信号出力手段とを備える。調光手段３Ａは、低減信号が入力された場合、光源から射出される光の光量を低減させる。従って、干渉計１Ａが反射体１０１を見失ってしまった場合、調光手段３Ａが干渉計１Ａから射出される光の光量を低減させることとなるので、干渉計１Ａの周囲で作業する人に干渉計１Ａから測定光が照射されてしまうことを防止でき、移動体２までの距離を安全に測定できる。 （もっと読む）

【課題】白色干渉法を用いた非接触測定器において、長さが１メートル以上あるくびれ形状を持つような細い管内の内面形状をミクロンオーダの高精度で計測できる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】白色光源３を参照光と測定光に分割して参照光を参照光路長スキャナ部７に送り測定光をセンサー部８に送る光カプラ４と、参照光路長スキャナ部から返った参照光とセンサー部から返った測定光の白色干渉を検出する光検出器５とからなり、測定対象の細管内に通した透明管内でセンサー部を移動させることで、透明管を透過する測定光により非接触で前記細管の内面形状を測定することを特徴とする白色干渉法による管内面の形状測定装置１の構成とした。 （もっと読む）

【課題】入射面のゴミの影響を受け難く、基準球の表面の傷に対してロバストであり、基準球の局所的な真球誤差の影響を受け難くする。
【解決手段】固定位置に配設された透明な基準球６１４と、移動体に配設された再帰逆反射体（６２０）と、基準球の中心を中心として回動するように設計されたキャリッジ６３０と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体と基準球の間でレーザビーム（６４２）を往復させる光学系を含み、再帰逆反射体と基準球の間の距離を干渉測長する測長手段（６４０）と、キャリッジに固定配設され、再帰逆反射体の入射光と反射光の光軸のずれ量に応じた信号を出力する追尾用位置検出手段６６０と、光軸のずれ量がゼロとなるようにキャリッジの回動を制御する制御部６７０とを備えた追尾式レーザ干渉測長計において、基準球に入射されるレーザビームが、基準球の中心Ｏに焦点を結び、入射側と反対の内側球面で反射されるようにする。 （もっと読む）

【課題】再帰反射体を見失ってしまっても測定を再開できる追尾式レーザ干渉計を提供すること。
【解決手段】第１判定部５２１により第１，第２受光手段のうち少なくとも一方の受光手段の受光量が所定の第１閾値以下と判定された場合、パターン射出制御部５４が、光源からの光が所定のパターンに沿って射出されるように変更機構１２１を制御する。そして、パターン射出制御部５４により変更機構１２１が制御され、光源からの光が所定のパターンに沿って射出されている間に、第２判定部５２２により各受光手段の受光量が共に所定の第２閾値以上と判定された場合、追尾制御部５１が変更機構１２１に再帰反射体１１を追尾させる。従って、干渉計１は、再帰反射体１１を見失った場合、所定のパターンに沿って光を射出して再帰反射体１１を探索し、再帰反射体１１を検出した場合には再び再帰反射体１１を追尾でき、測定を再開できる。 （もっと読む）

【課題】測定用プローブの動きの検出方法および測定機器を提供する。
【解決手段】予め定められた像平面上に物体平面を結像するようになされた対物レンズと前記物体平面との間に設けられた測定用プローブの動きを検出するための方法が開示されている。さらに、対物レンズと測定用プローブとを含む測定機器が開示されている。光の入射ビームを測定ビームおよび参照ビームに分割する。対物レンズによって測定ビームをコリメートさせるために、測定ビームを対物レンズの後側焦点面に集光させる。コリメートされた測定ビームを測定用プローブにおいて反射させる。対物レンズが反射測定ビームを後側焦点面に集光させるようにするために、反射測定ビームを対物レンズの方へ向ける。反射測定ビームがコリメートされる。コリメートされた測定ビームおよび参照ビームを重ね合わせて重畳ビームを生成し、反射測定ビームと参照ビームとの間の干渉を検出する。 （もっと読む）