【課題】コストの増加を抑えながら参照面と被検面との間の光路長差の変化に起因する計測誤差を低減し、参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置を提供する。
【解決手段】周波数を走査可能なｎ（ｎ＝２以上の整数）個の光源と、前記ｎ個の光源からのそれぞれの光を分割し、参照面と被検面とに入射させる分割素子と、前記参照面で反射された光と、前記被検面で反射された光との干渉により形成されるｎ個の干渉光を検出して干渉信号を出力する検出部と、前記距離を求める処理部と、前記処理部は、前記ｎ個の光源のうち１つの第１光源からの光の周波数を第１方向に第１走査速度で走査するように制御し、且つ、前記ｎ個の光源のうち他の１つの第２光源からの光の周波数を第１方向とは逆の第２方向に前記第１走査速度とは異なる第２走査速度で走査するように制御し、前記ｎ個の光源を制御している間の前記干渉信号に基づいて、前記距離を求める。 （もっと読む）

【課題】参照面と被検面との間の距離の計測において、計測範囲の広範囲化の技術を提供する。
【解決手段】光源からの第１光を参照面に入射させ第２光を被検面に入射させる分割素子と、前記参照面で反射された前記第１光と前記被検面で反射された前記第２光との干渉光の位相をシフトさせる位相シフト部と、前記干渉光の強度を検出する検出部と、前記光源からの光の周波数を連続的に３つ以上の周波数に設定し前記３つ以上の周波数のそれぞれについて前記干渉光の位相をシフトさせながら前記干渉光の強度を検出するように前記検出部を制御し検出される前記干渉光の強度及び前記位相シフト部による前記干渉光の位相のシフト量に基づいて、前記参照面と前記被検面との間の光路長に相当する位相を特定し前記参照面と前記被検面との距離を求める処理部と前記処理部は前記３つ以上の周波数のそれぞれの間の周波数差が互いに異なるように前記３つ以上の周波数を設定する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で広い計測レンジと高い計測精度とを実現した計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、第１光源、第２光源、第１検出器、第２検出器及び算出部を備える。第１光源は第１波長と第２波長との間で波長が走査された走査区間を含む第１光を生成する。第２光源は第３波長の第２光を生成する。第１検出器は第１光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第１干渉縞を検出する。第２検出器は第２光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第２干渉縞を検出する。第３波長は第１波長及び第２波長の合成波長より短い。算出部は第１時刻において第２干渉縞の位相のデータから第２干渉縞の次数が算出できなくなった場合に、第１時刻より後の走査区間における第１干渉縞の位相の変化に基づいて第１時刻以降における第２干渉縞の次数を算出し、該算出された第２干渉縞の次数を用いて第１時刻以降における被検面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】同じ支持板の径（面積）であっても、より光路長の変化を大きくすることのできる断層測定装置を提供する。
【解決手段】断層測定装置を、光を放出する光源と、光源から放出された光を第一の光と第二の光に分割する第一の光分割部材と、第一の光の光路を変化させる光路可変部材と、第一の光と前記第二の光を結合させる光結合部材と、結合部材により結合した光の振幅を測定する振幅測定部材と、を有し、光路可変部材は、支持板４１と、支持板を支持し、かつ回転させる回転支持部材と、第一の光を第三の光と第四の光２４に分割する第二の光分割部材と、支持板上に配置される支持反射部材４３と、支持反射部材から反射された第三の光を再度支持反射部材に入射させる第一の固定反射部材４５と、支持反射部材から反射された第四の光を再度支持反射部材に入射させる第二の固定反射部材４８を有するものとする。 （もっと読む）

【課題】計測装置の測長軸の調整を不要とし、簡便な取り付け及び光学素子の汚染防止の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置であって、光源からの光を分割させる光分割素子と、前記参照面、前記被検面及び前記光分割素子を内部に収納すると共に、前記内部において前記参照面及び前記光分割素子を固定するハウジングと、前記ハウジングの外部に設けられ、前記光分割素子から前記参照面までの第１の光路長と前記光分割素子から前記被検面までの第２の光路長とが等しくなるときの前記被検面の位置を示す測長基点を表示する第１の表示部と、前記ハウジングの外部に設けられ、前記第２の光の光路に平行な軸を示す測長軸を表示する第２の表示部と、前記参照面と前記被検面からの反射光との干渉信号から前記参照面と前記被検面との間の距離を算出する処理部と、を有することを特徴とする計測装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】投影レンズ内の１以上の光学素子の位置をモニタするシステムを提供すること
【解決手段】各々が入力放射から第１の波面及び第２の波面を導出し、かつ、第１及び第２の波面を合成して第１及び第２の波面の経路間の光路長の差に関する情報を備える出力放射を供給するように構成された複数の干渉計１１０，１２０を含み、各々が第１の波面の経路内に位置決めされた反射素子を備え、干渉計の少なくとも１つの反射素子が、第１の物体上に取り付けられる。本システムは、また、複数のファイバ１１１，１２１及び電子制御装置１７０を含む。各ファイバ１１１，１２１は、対応する干渉計１１０，１２０へのに送光、又は、対応する干渉計１１０，１２０からの受光に用いる。電子制御装置１７０は、干渉計１１０，１２０の少なくとも１つからの情報に基づいて、第２の物体に関する第１の物体の絶対変位をモニタする。 （もっと読む）

【課題】移動する被検体までの絶対距離を高精度に計測するために有利な波長走査干渉計を提供する。
【解決手段】波長走査干渉計は、光源から射出される光束の波長を変更しながら該光束から分割された参照光と被検光との干渉光の信号に基づいて被検体までの絶対距離を計測する。波長走査干渉計は、前記光源から射出される光束の波長が互いに等しい時刻である第１時刻およびその後の第２時刻と、前記第１時刻、前記第２時刻のそれぞれにおける前記干渉光の信号の周波数である第１周波数、第２周波数とに基づいて、前記被検体の移動による誤差成分が低減された絶対距離を算出する処理部を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物の変化量あるいは移動量を外乱の影響なく高精度に求めることが可能な変位計測方法とその装置を提供する。
【解決手段】４つの位相シフト光路を、４分割プリズムとアレイ状に配置したフォトニック結晶λ/４素子及びフォトニック結晶偏光素子とを組み合わせて空間的に並列生成する構成とすることにより、小形の光干渉変位センサを構築し、適用対象を拡大すると共に外乱の影響を受けることなく、対象物の微小変位や表面凹凸をサブナノメートル以下の分解能でかつ高い再現性で測定する。 （もっと読む）

【課題】参照面と被検面との間の距離の測定に有利な技術を提供する。
【解決手段】光源からの光を２つの光に分割して、一方の光を参照面に入射させ、他方の光を被検面に入射させ、前記参照面で反射された光と前記被検面で反射された光との干渉光を検出する検出部と、距離を求める処理を行う処理部、前記光源からの光の波長を固定しての干渉光である第１の信号と、前記光源からの光の波長を連続的に変更させながらの干渉光である第２の信号、前記第２の信号を周波数解析して前記第２の信号に含まれる周期誤差を算出し、前記第１の信号に含まれる周期誤差と前記第２の信号に含まれる周期誤差との対応関係を表すテーブルを用いて、前記算出された前記第２の信号に含まれる周期誤差に対応する前記第１の信号に含まれる周期誤差を特定し、前記第１の信号から前記特定された周期誤差を減算し、前記参照面と前記被検面との間の光路長に対応する位相を求める。 （もっと読む）

【課題】測定の空間分解能を向上しつつ装置の大型化を回避できる２直交偏光式の斜入射干渉計を提供すること。
【解決手段】 光源１１からの光を光束分割素子１４で分割し、一方を測定対象物２０に照射して測定光とし、測定光と参照光との偏光方向を直交させた後、光束合成素子１６で合成して合成光とする。得られた合成光を光束分割部３３で複数系統に分割し、各系統の分割光により形成される複数の干渉縞画像を撮像素子３５Ａ〜３５Ｃで撮像する。撮像素子と光束分割部３３との間には、偏光軸が互いに異なる複数の偏光板３４Ａ〜３４Ｃが配置され、各偏光板と撮像素子との間には画像拡張手段としてのスクリーン３６Ａ〜３６Ｃが光軸に対して傾斜配置され、各系統の干渉縞画像をその一軸方向に拡張する。 （もっと読む）

【課題】表面を検査するフィゾー干渉計の対物光学系を最適化する。
【解決手段】基準表面と検査表面１８の虚像を形成するオフアクシス放物面反射器３０及び虚像をカメラ検出器表面４８上の実像に変換するカメラレンズ系４６がフィゾー干渉計１０に組み込まれる。カメラ検出器表面４８は、カメラレンズ系４６とともに、オフアクシス放物面反射器３０による虚像の傾きに適応するように配置される。オフアクシス放物面反射器３０に対して配置された実効光源２６およびコリメート光を垂直入射で受け、光の第１の部分を反射し、光の第２の部分を透過させるために配向されたフィゾー基準表面１６も含まれる。 （もっと読む）

【課題】移動体の絶対位置を高い精度で求めること。
【解決手段】絶対位置測定装置は、移動体２に形成された２つの減圧空間部３，２３に個々に収容されて、中心波長が単一の光源を用いて移動体に光を照射して干渉信号を得る２つの干渉計６，２５と、２つの減圧空間部の少なくとも一方を減圧して、２つの減圧空間部を互いに異なる圧力にする真空ポンプ４及び真空排気流路５，２４と、２つの干渉計より得られる干渉信号の位相を検出する２つの位相検出器１７，３５と、２つの位相検出器で検出される位相を比較する位相比較器１９と、位相比較器１９における位相比較結果に応じて原点を設定する原点信号発生器２１と、原点信号発生器２１で設定される原点を基準として移動体の絶対位置を求める絶対位置算出器２２，３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
試料表面に非接触で超音波励起を行い、超音波を励起した点を光干渉計測する手段を用いた非接触で試料内部の観察を行うことにより、稼動部分が無く、コンパクトな構成で、高感度で非破壊・非接触に内部欠陥を検査する。
【解決手段】
検査対象の試料から離れた場所から超音波を発射してこの超音波を試料に照射し、この試料の表面の超音波が照射された箇所に偏光の状態が制御された偏光光を照射し、この偏光光が照射された試料の表面からの反射・散乱光のうち照射した偏光光と同じ偏光特性を持つ光を光検出器で検出し、この光検出器で検出した信号を処理して試料の内部の欠陥を検出する内部欠陥検査方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】 干渉計測の応答速度を損なう事無く高精度な屈折率補正を実現可能な干渉計測方法を提供する。
【解決手段】 参照面で反射された光束と被検面で反射された光束との干渉信号を検出することによって被検光路の幾何学的距離を計測する干渉計測方法において、互いに波長が異なる複数の光束を用いて被検光路の光路長を算出する多波長光路長算出工程、多波長光路長算出工程で算出された被検光路の光路長から被検光路の空気の屈折率を算出する屈折率算出工程、屈折率算出工程で算出された屈折率を平滑化することによって平滑化屈折率を算出する平滑化屈折率算出工程、平滑化屈折率算出工程で算出された平滑化屈折率から被検光路の幾何学的距離を算出する幾何学的距離算出工程を有する事を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光束を測定リフレクタ方向に向ける偏向ユニットを簡素かつコンパクトにする。
【解決手段】光線偏向ユニット４０に二つのカルダンフレーム４１，４２を備えたカルダン構造を含んでおり、その内の第一カルダンフレーム４１は第一回転軸Ａ１を中心に動作的に変位自在であり、第一カルダンフレーム内にある第二カルダンフレーム４２は、第一回転軸に対して直角に向いた第二回転軸Ａ２を中心に動作的に変位自在である。二つの回転軸は、参照リフレクタ３０が配設されている位置固定された参照点Ｒで交差している。カルダンフレームに多数のミラーが固定して配設されているので、複数のミラーを介することにより光束が、測定リフレクタへ向けられる時に位置固定された参照点を中心に旋回自在である。 （もっと読む）

【課題】 測定後の原点を高精度に設定することができ、被測定物の変位情報（絶対変位情報）を高精度に測定することができる干渉測定装置を得ること。
【解決手段】 第１光源手段からの第１の光束と第２光源手段からの第２の光束を合波する第１の合波手段と、第１の光束と第２の光束が合波された光束を、２つの光束に分割し、一方の光束を被測定物の測定面に入射させ、他方の光束を参照面に入射させ、測定面からの反射光束と参照面からの反射光束を合波する光学系と、
測定面と参照面からの反射光束とに含まれている分割された２つの第１の光束により形成される光束と、２つの第２の光束により形成される光束を受光する受光手段と、
受光手段で受光した第１の光束に基づく第１の信号と受光手段で受光した第２の光束に基づく第２の信号とを用いて測定原点を決定する決定手段を有すること。 （もっと読む）

【課題】位置決め装置を初期化する際に、短時間で移動体の絶対位置測定が可能であり、なおかつ長時間に渡り安定した移動体の移動量測定が可能な光干渉測長装置を提供する。
【解決手段】移動体であるスライダ１０の移動量を測定する光干渉測長装置は、光を測定光と参照光に分離し、測定光を、スライダ１０に設置された測定ミラー９によって反射させ、参照光を参照ミラー８によって反射させる。測定ミラー９による測定光路の屈折率を、チャンバー２の内部の気圧を増減させることによって変化させ、屈折率の変化による干渉計の測長値の変化から、スライダ１０の絶対位置を測定する。 （もっと読む）

【課題】ゴーストのない高精度な光干渉観測を可能にする。
【解決手段】第１の台形プリズム１３１、第１の直角プリズム１３２、第２の直角プリズム１３３、第３の直角プリズム１３４、第２の台形プリズム１３５、第４の直角プリズム１３６を貼り合わせて一体化した構造のプリズムユニットを用いる。上記第１の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第１の直角プリズムの斜面に貼り合わされ、上記第２の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第４の直角プリズムの斜面に貼り合わされている。また、上記第２の直角プリズム及び第３の直角プリズムは、各斜面の一方の面に偏光ビームスプリッタ膜が形成され、上記偏光ビームスプリッタ膜を挟んで各斜面が貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】 光軸調整が不要で、振動の影響が軽減され、小型化が可能な光学素子及び干渉計を提供すること。
【解決手段】 光学素子２０は、第１〜第４の三角プリズム２１、２２、２３、２４のそれぞれの頂角をなす面同士を貼り合わせて構成され、第１及び第２の三角プリズムの両接合面２１ａ、２２ｂ、及び第２及び第３の三角プリズムの両接合面２２ａ、２３ｂ、及び第３及び第４の三角プリズムの両接合面２３ａ、２４ｂ、及び第４及び第１の三角プリズムの両接合面２４ａ、２１ｂのそれぞれが、光学薄膜を介して接合され、各光学薄膜は、入射光をその偏光状態に応じて透過又は反射する特性を有する。光学素子２０は、光学薄膜における第１の位置Ｐ１で光路を分割し、光学薄膜における第２の位置Ｐ２で光路を合成する。 （もっと読む）

【課題】互いに離間した複数の平面または回転対称な線織面からなる被検面の傾斜角度を、被検面を傷付けることなく、高精度に測定することが可能な傾斜角度測定装置を得る。
【解決手段】アライメント用反射平面４１および測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂを有する反射素子４０を、被検面９１Ａ，９１Ｂから離間した位置に保持し、干渉計１０から反射素子４０に向けて測定光を照射する。アライメント用反射平面４１からの戻り光により形成される干渉縞画像に基づき、干渉計１０に対する反射素子４０のアライメントが調整される。測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂにおいて偏向されて被検面９１Ａ，９１Ｂに照射され、再帰反射されて測定光偏向用反射面４２Ａ，４２Ｂを経由し干渉計１０に戻る被検光により形成される干渉縞画像に基づき、被検面９１Ａ，９１Ｂの相対傾斜角度が解析される。 （もっと読む）