説明

株式会社 光コムにより出願された特許

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【課題】振動させたMEMSの多数の箇所に同時にレーザ光を照射して、MEMSの多数の測定点における所定時点の振動状態を同様に測定できると共に、MEMSに対する起振部側の影響を排除して、MEMS各部の振動状態を正確に把握できるMEMS測定方法を提供する。
【解決手段】それぞれ周波数の異なる多数のレーザ光を、振動しているMEMS80の可動部81と固定部82に対し同時に照射し、MEMS80の各照射位置からの反射光を干渉光として光検出部で検出し、検出信号より取出せる情報から、MEMS80の各照射位置での振動状態を求め、さらに可動部81における振動状態の固定部振動状態に対する差分を求めることから、起振部の不要な振動成分が合成された結果から可動部81の振動成分のみを取出して、正しい可動部81の振動特性を取得でき、MEMS80の構造に基づいてあらわれる振動の特徴を確実に把握できる。 (もっと読む)


【課題】ゴーストのない高精度な光干渉観測を可能にする。
【解決手段】第1の台形プリズム131、第1の直角プリズム132、第2の直角プリズム133、第3の直角プリズム134、第2の台形プリズム135、第4の直角プリズム136を貼り合わせて一体化した構造のプリズムユニットを用いる。上記第1の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第1の直角プリズムの斜面に貼り合わされ、上記第2の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第4の直角プリズムの斜面に貼り合わされている。また、上記第2の直角プリズム及び第3の直角プリズムは、各斜面の一方の面に偏光ビームスプリッタ膜が形成され、上記偏光ビームスプリッタ膜を挟んで各斜面が貼り合わされている。 (もっと読む)


【課題】振動させたMEMSの多数の箇所に同時にレーザ光を照射して、MEMSの多数の測定点における所定時点の振動状態を同様に測定でき、確実にMEMS各部の振動の特徴を把握できるMEMS測定装置を提供する。
【解決手段】それぞれ周波数の異なる多数のレーザ光を、振動しているMEMS80の多数箇所に対し同時に照射し、MEMS80の各照射位置からの反射光を干渉光とした状態で光検出部50で検出し、得られた検出信号より取出せる情報から、MEMS80の各照射位置での振動状態を求められることから、MEMSにおける複数箇所の同じ時点での振動状態を検出でき、MEMS80の所定時点における各部の振動変位を測定して、そのMEMS80の構造に基づいてあらわれる振動の特徴を確実に把握できる。 (もっと読む)


【課題】測定対象物の厚さ及び測定対象物の群屈折率を分離して測定可能な測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置1は、移動ステージ4が、集光レンズ3で集光された測定光を受光して反射する反射鏡5との間に挿入された測定対象物6の一方の面6a及び他方の面6b、及び、集光レンズ3と反射鏡5との間に測定対象物6が挿入された状態及び挿入されていない状態で、反射鏡5に測定光の焦点が合うように集光レンズ3を移動させる。検出部20は、移動ステージ4により集光レンズ3を移動させてヘッド部30に戻された各測定光と、参照面31から戻された参照光との干渉光に基づく干渉信号をそれぞれ検出する。信号処理部60は、検出部20により検出した各干渉信号に基づいて、参照面31までの距離を基準にした測定対象物の一方の面6a及び他方の面6bまでの距離及び反射鏡5までの距離を求める。演算部7は、信号処理部60により求めた各距離から、測定対象物6の屈折率及び測定対象物6の厚さを求める。 (もっと読む)


【課題】 測定対象の振動情報と高さ情報を複数点同時に計測する。
【解決手段】
光源部110から出射された互いに位相同期され干渉性のある参照光LRと測定光Lを干渉光学系140において分割して参照光学系120と測定光学系130に入射し、測定光Lを光分合波器131によりチャンネル毎に2つ以上の周波数成分を含む複数チャンネルの測定光LCH1〜LCHnに分離して測定面10の複数の測定点に照射し、測定面10で反射されて戻ってきた複数チャンネルの測定光LCH1〜’LCHn’を測定L’として測定光学系130から干渉光学系140に戻し、参照光学系120と測定光学系130から戻ってくる参照光LR’と測定光L’の干渉光Lに含まれる光スペクトルを検出部150で検出して信号処理部160において各スペクトル成分を解析し、測定面10の複数の測定点における振動情報と高さ情報を得る。 (もっと読む)


【課題】測定対象となる物体の位置や姿勢を非接触で高精度に計測、制御する位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置1は、参照光としての光周波数コムと測定光としての光周波数コムとを出射する光源10と、光源10から出射された測定光を測定対象40に取り付けられた反射体42に照射するヘッド部30と、光源10から出射された参照光が入射される参照面31と、反射体42で反射されヘッド部30を介して戻された測定光と、参照面31から戻された参照光との干渉光に基づく干渉信号を検出する検出部20と、検出部20により検出した干渉信号に基づいて参照面31までの距離を基準にした反射体42までの距離を求める信号処理部60と、測定対象40の位置を変化させるアクチュエータ50と、信号処理部60で求めた距離に応じてアクチュエータ50を制御する制御部70とを備える。 (もっと読む)


【課題】複雑な光軸調整をすることなく、可動部を有する微細部品からなる測定対象の多点の振動情報を同時に測定可能な振動計測装置を提供する。
【解決手段】所定の周波数間隔のスペクトルであり、互いに変調周波数及び中心周波数が異なり、互いに位相同期され干渉性のある参照光と測定光とを出射する光源部10と、光源部10で出射された測定光を周波数成分毎に分けて、可動部を有する微細部品からなる測定対象の測定面59の複数点に顕微鏡光学系を介して照射する測定光学系と、測定光を測定光学系に入射するとともに、測定面59で反射され顕微鏡光学系を介して入射された測定光と参照光との重ね合わせを行うための反射光学系とを有するヘッド部50と、反射光学系によりにより重ね合わされた光に基づく干渉信号を検出する検出部30と、検出した干渉信号に基づいて測定面59の複数点における振動情報を解析する信号処理部70とを備える。 (もっと読む)


【課題】測定対象における多点の振動情報を同時に測定可能な振動計測装置を提供する。
【解決手段】所定の周波数間隔のスペクトルであり、互いに位相同期され干渉性のある基準光と測定光とを出射する光源10と、光源から出射された測定光を周波数成分毎に分けて測定面24の複数点に照射する分光ヘッド20と、光源10から出射された測定光を分光ヘッド20に入射するとともに、測定面24で反射された測定光と光源10から出射された基準光とを干渉させる干渉光学系30と、干渉光学系30により発生した干渉光に含まれる光スペクトル成分を分離する回折格子41と、回折格子41により分離した各スペクトル成分をそれぞれ検出する光検出器アレイ42とからなる検出部40と、検出部40により検出した各スペクトル成分に基づいて、測定面24の複数点における振動情報を解析する信号処理部50とを備える。 (もっと読む)


【課題】 長い距離を高い精度でしかも短時間に測定することが可能な距離計および距離測定方法を提供する。
【解決手段】
第1の光源1から出射されて基準面4に照射される基準光Sと第2の光源2から出射されて測定面6に照射される測定光Sと干渉光Sを基準光検出器3により検出して得られる干渉信号と、上記基準面4により反射された基準光S’と上記測定面5により反射された測定光S’との干渉光Sを測定光検出器6により検出して得られる干渉信号を信号処理部7に供給して、上記信号処理部7により、上記干渉光Sを検出した干渉信号と上記干渉光Sを検出した干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求める。 (もっと読む)


【課題】波長をプログラマブル且つ高速に変化させることができる波長可変光源を提供する。
【解決手段】利得媒質1と、利得媒質1からの射出光を波長分散する分散素子2と、波長分散された光を当該光の分散方向と非平行な方向に走査する光偏向器3と、走査された光の一部を戻り光として反射する部分反射素子4とを備え、部分反射素子4への入射光が波長分散方向と走査方向との領域を持つ。 (もっと読む)


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