【課題】振動させたＭＥＭＳの多数の箇所に同時にレーザ光を照射して、ＭＥＭＳの多数の測定点における所定時点の振動状態を同様に測定できると共に、ＭＥＭＳに対する起振部側の影響を排除して、ＭＥＭＳ各部の振動状態を正確に把握できるＭＥＭＳ測定方法を提供する。
【解決手段】それぞれ周波数の異なる多数のレーザ光を、振動しているＭＥＭＳ８０の可動部８１と固定部８２に対し同時に照射し、ＭＥＭＳ８０の各照射位置からの反射光を干渉光として光検出部で検出し、検出信号より取出せる情報から、ＭＥＭＳ８０の各照射位置での振動状態を求め、さらに可動部８１における振動状態の固定部振動状態に対する差分を求めることから、起振部の不要な振動成分が合成された結果から可動部８１の振動成分のみを取出して、正しい可動部８１の振動特性を取得でき、ＭＥＭＳ８０の構造に基づいてあらわれる振動の特徴を確実に把握できる。 （もっと読む）

【課題】ゴーストのない高精度な光干渉観測を可能にする。
【解決手段】第１の台形プリズム１３１、第１の直角プリズム１３２、第２の直角プリズム１３３、第３の直角プリズム１３４、第２の台形プリズム１３５、第４の直角プリズム１３６を貼り合わせて一体化した構造のプリズムユニットを用いる。上記第１の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第１の直角プリズムの斜面に貼り合わされ、上記第２の台形プリズムの互いに平行な二つの面の一方の面にビームスプリッタ膜が形成され、上記ビームスプリッタ膜を挟んで上記面が上記第４の直角プリズムの斜面に貼り合わされている。また、上記第２の直角プリズム及び第３の直角プリズムは、各斜面の一方の面に偏光ビームスプリッタ膜が形成され、上記偏光ビームスプリッタ膜を挟んで各斜面が貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】振動させたＭＥＭＳの多数の箇所に同時にレーザ光を照射して、ＭＥＭＳの多数の測定点における所定時点の振動状態を同様に測定でき、確実にＭＥＭＳ各部の振動の特徴を把握できるＭＥＭＳ測定装置を提供する。
【解決手段】それぞれ周波数の異なる多数のレーザ光を、振動しているＭＥＭＳ８０の多数箇所に対し同時に照射し、ＭＥＭＳ８０の各照射位置からの反射光を干渉光とした状態で光検出部５０で検出し、得られた検出信号より取出せる情報から、ＭＥＭＳ８０の各照射位置での振動状態を求められることから、ＭＥＭＳにおける複数箇所の同じ時点での振動状態を検出でき、ＭＥＭＳ８０の所定時点における各部の振動変位を測定して、そのＭＥＭＳ８０の構造に基づいてあらわれる振動の特徴を確実に把握できる。 （もっと読む）

【課題】測定対象となる物体の位置や姿勢を非接触で高精度に計測、制御する位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１は、参照光としての光周波数コムと測定光としての光周波数コムとを出射する光源１０と、光源１０から出射された測定光を測定対象４０に取り付けられた反射体４２に照射するヘッド部３０と、光源１０から出射された参照光が入射される参照面３１と、反射体４２で反射されヘッド部３０を介して戻された測定光と、参照面３１から戻された参照光との干渉光に基づく干渉信号を検出する検出部２０と、検出部２０により検出した干渉信号に基づいて参照面３１までの距離を基準にした反射体４２までの距離を求める信号処理部６０と、測定対象４０の位置を変化させるアクチュエータ５０と、信号処理部６０で求めた距離に応じてアクチュエータ５０を制御する制御部７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の厚さ及び測定対象物の群屈折率を分離して測定可能な測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置１は、移動ステージ４が、集光レンズ３で集光された測定光を受光して反射する反射鏡５との間に挿入された測定対象物６の一方の面６ａ及び他方の面６ｂ、及び、集光レンズ３と反射鏡５との間に測定対象物６が挿入された状態及び挿入されていない状態で、反射鏡５に測定光の焦点が合うように集光レンズ３を移動させる。検出部２０は、移動ステージ４により集光レンズ３を移動させてヘッド部３０に戻された各測定光と、参照面３１から戻された参照光との干渉光に基づく干渉信号をそれぞれ検出する。信号処理部６０は、検出部２０により検出した各干渉信号に基づいて、参照面３１までの距離を基準にした測定対象物の一方の面６ａ及び他方の面６ｂまでの距離及び反射鏡５までの距離を求める。演算部７は、信号処理部６０により求めた各距離から、測定対象物６の屈折率及び測定対象物６の厚さを求める。 （もっと読む）

【課題】 測定対象の振動情報と高さ情報を複数点同時に計測する。
【解決手段】
光源部１１０から出射された互いに位相同期され干渉性のある参照光L_Rと測定光L_Ｍを干渉光学系１４０において分割して参照光学系１２０と測定光学系１３０に入射し、測定光L_Ｍを光分合波器１３１によりチャンネル毎に２つ以上の周波数成分を含む複数チャンネルの測定光Ｌ_ＣＨ１〜Ｌ_ＣＨｎに分離して測定面１０の複数の測定点に照射し、測定面１０で反射されて戻ってきた複数チャンネルの測定光Ｌ_ＣＨ１〜’Ｌ_ＣＨｎ’を測定L_Ｍ’として測定光学系１３０から干渉光学系１４０に戻し、参照光学系１２０と測定光学系１３０から戻ってくる参照光L_R’と測定光L_Ｍ’の干渉光L_Ｘに含まれる光スペクトルを検出部１５０で検出して信号処理部１６０において各スペクトル成分を解析し、測定面１０の複数の測定点における振動情報と高さ情報を得る。 （もっと読む）

【課題】複雑な光軸調整をすることなく、可動部を有する微細部品からなる測定対象の多点の振動情報を同時に測定可能な振動計測装置を提供する。
【解決手段】所定の周波数間隔のスペクトルであり、互いに変調周波数及び中心周波数が異なり、互いに位相同期され干渉性のある参照光と測定光とを出射する光源部１０と、光源部１０で出射された測定光を周波数成分毎に分けて、可動部を有する微細部品からなる測定対象の測定面５９の複数点に顕微鏡光学系を介して照射する測定光学系と、測定光を測定光学系に入射するとともに、測定面５９で反射され顕微鏡光学系を介して入射された測定光と参照光との重ね合わせを行うための反射光学系とを有するヘッド部５０と、反射光学系によりにより重ね合わされた光に基づく干渉信号を検出する検出部３０と、検出した干渉信号に基づいて測定面５９の複数点における振動情報を解析する信号処理部７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象における多点の振動情報を同時に測定可能な振動計測装置を提供する。
【解決手段】所定の周波数間隔のスペクトルであり、互いに位相同期され干渉性のある基準光と測定光とを出射する光源１０と、光源から出射された測定光を周波数成分毎に分けて測定面２４の複数点に照射する分光ヘッド２０と、光源１０から出射された測定光を分光ヘッド２０に入射するとともに、測定面２４で反射された測定光と光源１０から出射された基準光とを干渉させる干渉光学系３０と、干渉光学系３０により発生した干渉光に含まれる光スペクトル成分を分離する回折格子４１と、回折格子４１により分離した各スペクトル成分をそれぞれ検出する光検出器アレイ４２とからなる検出部４０と、検出部４０により検出した各スペクトル成分に基づいて、測定面２４の複数点における振動情報を解析する信号処理部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 長い距離を高い精度でしかも短時間に測定することが可能な距離計および距離測定方法を提供する。
【解決手段】
第１の光源１から出射されて基準面４に照射される基準光Ｓ_１と第２の光源２から出射されて測定面６に照射される測定光Ｓ_２と干渉光Ｓ_３を基準光検出器３により検出して得られる干渉信号と、上記基準面４により反射された基準光Ｓ_１’と上記測定面５により反射された測定光Ｓ_２’との干渉光Ｓ_４を測定光検出器６により検出して得られる干渉信号を信号処理部７に供給して、上記信号処理部７により、上記干渉光Ｓ_３を検出した干渉信号と上記干渉光Ｓ_４を検出した干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求める。 （もっと読む）

【課題】波長をプログラマブル且つ高速に変化させることができる波長可変光源を提供する。
【解決手段】利得媒質１と、利得媒質１からの射出光を波長分散する分散素子２と、波長分散された光を当該光の分散方向と非平行な方向に走査する光偏向器３と、走査された光の一部を戻り光として反射する部分反射素子４とを備え、部分反射素子４への入射光が波長分散方向と走査方向との領域を持つ。 （もっと読む）