【課題】ゴースト光に起因した干渉計の測定制度の低下を抑制することができる干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計は、光源と、前記光源から射出された光のうち第１偏光成分を参照光として反射し、第２偏光成分を測定光として透過する第１偏光ビームスプリッタと、前記光源と前記第１偏光ビームスプリッタとの間に配置された複屈折材料の素子と、前記第１偏光ビームスプリッタを透過し被検面である反射面で反射され前記第１偏光ビームスプリッタを透過した測定光と前記第１偏光ビームスプリッタで反射された参照光との干渉光を受光する受光素子と、を備える。前記参照光と前記測定光とは、前記第１偏光ビームスプリッタと前記受光素子との間で前記複屈折材料の素子を通過する。 （もっと読む）

【課題】表面高さ情報および／またはその複雑な表面構造についての情報を、抽出すること。
【解決手段】試験対象物の第１の表面箇所に対する走査干渉分光信号から導出可能な情報と試験対象物の複数のモデルに対応する情報とを比較することを含む方法であって、複数のモデルは、試験対象物に対する一連の特性によってパラメータ化される方法。比較される導出可能な情報は、試験対象物の第１の箇所における走査干渉分光信号の形状に関する。 （もっと読む）

【課題】
安価で信頼性の高い信号処理装置を提供する。
【解決手段】
本発明の信号処理装置は、被計測物の位置を計測する計測装置に用いられる信号処理装置１であって、被計測物の位置に応じた信号の位相を時間に対して回帰することにより、被計測物の速度を算出する回帰演算器１９と、第１のサンプリング時における被計測物の位置に回帰演算器１９で算出された速度を加算することにより、第２のサンプリング時における被計測物の予測位置を求める予測演算手段（加算器２２）と、位相演算手段で求められた第２のサンプリング時の計測位相から予測位置を減算して予測誤差を求める誤差演算手段（減算器２３）と、桁拡張した予測誤差を予測位置に加算することにより、第２のサンプリング時における被計測物の位置を求める位置演算手段（加算器２１）とを有する。 （もっと読む）

【課題】分岐素子の不完全性により生ずる偏光依存性（ＰＤＦＳ）を低減することができる干渉計、及び当該干渉計を備える復調器を提供する。
【解決手段】干渉計１は、入射光Ｌ０を複数の分岐光Ｌ１，Ｌ２に分岐するハーフミラー１２を備えており、ハーフミラー１２で分岐された分岐光Ｌ１，Ｌ２を干渉させるものである。この干渉計１は、分岐光Ｌ１，Ｌ２の光路上に配置され、入射光Ｌ０をハーフミラー１２で分岐する際に生ずる分岐光Ｌ１，Ｌ２間の位相差を補償する位相板１３，１５を備える。尚、位相板は、分岐光Ｌ１，Ｌ２の双方に光路上に必ず配置しなければならないという訳ではなく分岐光Ｌ１，Ｌ２のうちの少なくとも１つの分岐光の光路上に配置されていれば良い。 （もっと読む）

【課題】光断層画像化装置において、偏光方向の調整をすることなく良好な画質の断層画像を低コストで取得する。
【解決手段】光断層画像化装置１００は、測定光Ｌ１を測定対象Ｓに照射させて所定の走査周波数で走査させて測定対象Ｓの断層画像を取得する。光断層画像化装置１００における、光源ユニット１０内または光源ユニット１０から合波手段４までの光Ｌ、測定光Ｌ１、参照光Ｌ２、反射光Ｌ３の光路の少なくとも１つに、時間的に平均したときに出力光が無偏光となるように入力光の偏光状態を走査周波数と同等もしくはそれ以上に高い周波数で変化させる無偏光化手段７０を設ける。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで測定安定性に優れた光学システム用偏菱形アセンブリをより容易に製造する手段を提供する。
【解決手段】ガラスプレートを切断することによって偏菱形アセンブリを製造する。ガラスプレートはそれらの間のコーティングによって互いに接着される。切断の角度は例えば４５°であり、切断によって生じた表面は光学的な許容誤差範囲内で仕上げられる。これらの光学表面により、偏菱形アセンブリを、多軸干渉計の偏光ビームスプリッタ（PBS）のような光学部品に直接取り付けることができる。さらに、測定ビームの分離間隔を広げる１／４波長板、キューブコーナー反射鏡、及び偏菱形部品などの部品をPBSに取り付けて、コンパクトで熱的に安定な一体型ビーム光学系を作製することができる。基準ビーム用の１／４波長板に反射性コーティングや他の基準反射鏡を配置することによって、基準ビームの全ビーム経路を一体型構造内に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】基板テーブルに当たる光ビームの偏光状態に関する情報を取得可能であるリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射ビームを調節するように構成された照明システム、投影された放射ビームとして放射ビームの少なくとも一部を投影するように構成された投影システム、および投影された放射ビームの波面状態を感知するレンズ干渉計を含む。レンズ干渉計には、投影された放射ビームの偏光状態を感知可能であるように、偏光要素が設けられる。偏光要素として、透過型回折格子構造ＧＲは、Ｘ方向およびＹ方向に延在する２次元のチェッカー盤構造であり、最適化された透開放領域Ｅ２と不透明領域Ｅ１を有する。 （もっと読む）

【課題】位相差測定の精度を高める偏光干渉位相差検出手段を提供すること。
【解決手段】干渉距離測定または干渉変位測定のための検出手段。検出手段は、互いに直交偏光し、偏光感度を有する光線屈折素子に向けて配向される対象物光路出力光線および参照光路出力光線を受け取る。光線屈折素子は、これらの直交偏光光線の一方または両方を屈折させ、これらの光線の間に所望の発散角度を形成する。分離光線は、合成偏光板に入射される。この合成偏光板から射出する光線は、同様に偏光されて干渉する。干渉する分離光線により、干渉縞が形成される。受光素子アレイの干渉縞の空間位相が、干渉計の対象物光線および参照光線の間の位相差とされる。 （もっと読む）

【課題】
位相ノイズを低減した高精度の位相検出、及び参照光を通せない非常に狭帯域の光ＢＰＦ等の位相検出を可能にした光干渉計型位相検出装置を提供する。
【解決手段】
測定干渉信号を出力する受光器８と、第１の参照干渉信号を出力する受光器９と、第２の参照干渉信号を出力する受光器１８と、第２の参照干渉信号に対する測定干渉信号の位相（測定位相）を検出する位相検出手段１１と、第２の参照干渉信号に対する第１の参照干渉信号の位相（参照位相）を検出する位相検出手段１２と、被測定物を通った後の測定光と参照光とに基づいて被測定物の位相特性を求める第１のモード又は被測定物を通った後の測定光のみに基づいて被測定物の位相特性を求める第２のモードを指定する測定モード指定信号を受けて、第１のモードのときは測定位相から参照位相を減算して位相特性を求め、第２のモードのときは測定位相から位相特性を求める信号処理手段１３とを備えた。 （もっと読む）

対象物の干渉計測を実行するための共焦点干渉計システムにおいて、ピンホールアレイであって、光源ビームを受光するように配置され、ピンホールアレイの各ピンホールにおいて、光源ビームを、ピンホールアレイの一側において対応する参照ビームに、ピンホールアレイの他側において対応する測定ビームに分離するピンホールアレイ；と、第1結像システムであって、ピンホールアレイを、対象物上の、または対象物中のスポットアレイに対して結像するように配置され、配置は、ピンホールアレイの各ピンホールにおいて、対応測定ビームが、スポットアレイの別の対応スポットに向けられ、そのスポットにおいて、対応帰還測定ビームを生成するように行われ、前記第1結像システムはまた、スポットアレイの像をピンホールアレイに結像するように配置され、配置は、スポットアレイの各スポットからの対応帰還測定ビームが、ピンホールアレイの別の対応ピンホールに戻るように行われ、各ピンホールにおいて、ピンホールアレイは、そのピンホールにおける帰還測定ビームと参照ビームとを結合させ、対応する結合ビームを生成する第1結像システム；および、検出集合体であって、ピンホールアレイと軸揃えされた検出要素アレイを含み、軸揃えは、各ピンホールにおいて、対応結合ビームを、検出要素アレイの別の対応検出要素に向けるように行われる検出集合体、と、を含む共焦点干渉計システム。
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偏光ダブルパス干渉計は、偏光ビームスプリッタ（１６）と、基準ビーム（１４）の経路内の基準ミラー（２０）と、測定ビーム（１２）の経路内の可動測定ミラー（２６）と、を含む。基準および測定ビームは、異なる偏光を有する。ガラスウエッジつまりプリズム（３２）のような角度ビーム偏向装置は、一つの偏光の光の他の偏光の光の経路内への漏れによって生じるエラービーム（３０）を除去あるいは分離するように作用する。
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干渉計測装置であって、測定光ビーム（２ａ、２ｂ）と参照光ビーム（２ｃ、２ｄ）とを備え、それらは、互いに相互作用して空間縞パターン（２４）を発生させる。空間縞パターン（２４）と相互作用して、光を異なる方向（３０、３２、３４、３６）に空間的に分離する光学装置（１２）が設けられる。空間的に分離した光の２つ以上の方向の強度変調（intensity modulation）は、位相シフトされる。この光学装置は、例えば、回折型装置、屈折型装置、または回折型光学素子を含み得る。
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干渉計（１）はビーム変位アセンブリ（５と９）を有している。該ビーム変位アセンブリは、入力ビーム（４）を、それぞれ水平と垂直の偏波である直交偏光されている、第１と第２の基本ビーム（６と８）に分割し、かつ出力ビーム（１２）を生成するために、前記基本ビームを結合させるように配備される。偏光測定位相回復アセンブリ（１１）は、出力ビームに反応し、テストピース（７）によって、基本ビーム（６と７）の内の１つに与えた他方と相対的な位相偏移の差を決定するように配備される。本発明の他の実施形態は、それぞれ直交する空間モードを有する基本ビームを生成するように配備されている。 （もっと読む）