偏光ダブルパス干渉計は、偏光ビームスプリッタ（１６）と、基準ビーム（１４）の経路内の基準ミラー（２０）と、測定ビーム（１２）の経路内の可動測定ミラー（２６）と、を含む。基準および測定ビームは、異なる偏光を有する。ガラスウエッジつまりプリズム（３２）のような角度ビーム偏向装置は、一つの偏光の光の他の偏光の光の経路内への漏れによって生じるエラービーム（３０）を除去あるいは分離するように作用する。
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本発明は、別個の光路内に設けられた２つの音響光学変調器、アナログ信号を形成する受光器、及び、該受光器の後ろ側に接続された、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器を有しており、一方の変調周波数ｆ_１の一方の音響光学変調器と、他方の変調周波数ｆ_２の他方の音響光学変調器が制御され、一方の変調周波数ｆ_１及び他方の変調周波数ｆ_２の差は、ヘテロダイン周波数ｆ_Ｈｅｔを形成し、Ａ／Ｄ変換器で、アナログ信号からデジタル信号にサンプリング周波数ｆ_ａで変換されるヘテロダインインターフェロメータの制御方法に関する。
そのようなヘテロダインインターフェロメータで、変調周波数ｆ_１，ｆ_２及びサンプリング周波数ｆ_ａからなる各周波数の少なくとも２つを、共通の発振器の基本周波数ｆ_{Ｑｕａｒｚ}から形成することによって、各変調周波数の固定比が保持され、この各変調周波数の固定比が、経年変化及びドリフトによって相互にシフトしないようにすることができる。
更に、こうすることによって、サンプリング周波数ｆ_ａが、ヘテロダイン周波数ｆ_Ｈｅｔの各変調周波数ｆ_１，ｆ_２の差周波数に対して固定の位相比となるようにされる。サンプリングは、一定位相でドリフト及び経年変化とは無関係に行われるので、測定精度が高められる。
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【目的】 被測定物の種類、あるいは塗料の種類によらず、常に一定のレーザー光を用いて、被測定物上に塗布された塗膜厚さを、その乾燥・硬化前の状態で、非接触でしかも極めて高精度に、測定しうる簡易な手段を提供する。
【解決手段】 塗装膜厚の測定方法を、塗装前の状態において基準面から被塗装体までの距離をレーザー変位計により測定する被塗装体表面位置測定段階と、塗装後の状態において他の基準面から塗面までの距離をレーザー変位計により測定する塗膜面位置測定段階と、前記被塗装体表面位置測定段階により測定された距離と前記塗膜面位置測定段階により測定された距離との差に基づき塗膜の厚さを算出する塗膜厚算出段階とを有するものとする。 （もっと読む）