【課題】光学部品の点数を少なく、構造を簡単化して、光センサーの小型化及び低コスト化を実現する。
【解決手段】振動検出用光センサー１は、光源２、偏光ビームスプリッター３、対物レンズ４、波長板ユニット５、及び１個の受光素子６を備える。波長板ユニットは１／４波長板７と振動板８とが一体化され、光センサーの小型化、構造及び組立の簡単化、低コストが図れる。受光素子６は、光軸ｘ2を振動板の反射光の光軸ｘ1と平行にかつ僅かにずらして配置される。それに対応して、受光素子に入射するビームスポット形状は、その中心ｃを受光面６ａの中心Ｏから僅かにずらして離れた位置に置いて投影される。受光素子から検出される光量は、振動板の変位に対応して増減する。 （もっと読む）

【課題】卵の気室位置が鈍端中央からどの程度ずれているかといった、ワクチン製造に係る卵へのウイルス接種や卵の漿尿液採取に必要な、精度の高い気室位置の情報を得る。
【解決手段】検査ユニット８ａの集光部２を卵５に密着させ、光源１１，１３から可視光を順次照射する。光源１１，１３から照射された光の一部は卵５の内部へ入射し、集光部２と卵５が接触する範囲の内側から放射されるので、集光部２と卵５が接触する範囲の内側から放射された光を光電変換部１で受光して受光電圧に変換する。判定演算部は、それぞれの受光電圧の値から気室６の位置の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、微小な曲げ変化を検出することが可能な光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】光ファイバセンサ１０は、コア１１及びコア１１の外周に設けられたクラッド１２から構成された光ファイバの、少なくともコア１１に光ファイバの光軸に非対称に、伝送する光の漏洩源となる欠陥１３がフェトム秒レーザで形成されている、光の漏洩が光ファイバセンサ１０の曲げ方向に依存する。 （もっと読む）

【課題】ファブリペロー干渉計を利用して位置を取得する装置及び方法の提供。
【解決手段】位置を取得する装置は、共焦点ファブリペロー干渉計２００を有する。 （もっと読む）

【課題】測長結果から精度よくデッドパスの影響を排除するヘテロダインレーザー干渉測長器を提供する。
【解決手段】ヘテロダインレーザー光源１０からのビームを２本の物理的に離れた平行なレーザービームに分岐させて測定ビームＢ１と参照ビームＢ２を生成する分岐器８０と、測定ビームＢ１及び参照ビームＢ２を測定光路ＬＰ１，ＬＰ２に向けて分割する偏光ビームスプリッタ３０と、測定光路ＬＰ１，ＬＰ２に設けられる１／４波長板３１，３２と、可動測定物５０に仮想直線上にお互いの反射面を反対方向に向けて固定され、測定ビームＢ１１，Ｂ１２が照射される測定ミラー３４１，３４２と、測定ミラー３４１，３４２近傍に配置され、参照ビームＢ２１，Ｂ２２が照射される反射ミラー４１１，４１２と、測定ミラー３４１，３４２の反射光を干渉させた光と反射ミラー４１１，４１２の反射光を干渉させた光に基づく２つのビート信号から変位を算出する演算回路７０を備える。 （もっと読む）

【課題】試料表面を正確に検出することができるレーザ共焦点顕微鏡及び表面検出方法を提供する。
【解決手段】照明光を射出するレーザ光源２と、試料１１に照明光を照射する対物レンズ１０と、対物レンズ１０の焦点位置と試料１１の間の距離を変化させるステージ１７と、レーザ光源２と対物レンズ１０の間に配置され光を偏光特性で分離する偏光ビームスプリッタ３と、偏光ビームスプリッタ３と対物レンズ１０の間に固定されたλ／４板７と、偏光ビームスプリッタ３と対物レンズ１０の間で挿脱可能なλ／４板８と、焦点位置と光学的に共役な位置に配置された共焦点絞り１３と、共焦点絞り１３を通過した試料１１からの検出光の強度に応じた信号を出力する光検出器１４と、を含んでレーザ共焦点顕微鏡を構成する。多重反射試料を観察する場合にλ／４板８を偏光ビームスプリッタ３と対物レンズ１０の間に挿入して観察する。 （もっと読む）

薄膜の厚さに関するデータ（例えば、厚さ変化）は、以下の通りに本願明細書において決定される。前記膜および基板が、全体において、干渉計構造を形成するように、前記膜は基板上に配置される。その光放射線が膜および基板によって形成される干渉計構造の方へ発されて、前記干渉計構造から光学的に反射された後、放射線は測定される。前記薄膜の厚さ関連のデータ（例えば、厚さ変化）は、その後、スペクトル関連の情報の中で、例えば、前記光学的に反射された放射線によって決定される。 （もっと読む）

【課題】 視準校正のための誤差を高精度、容易かつ短時間に確認できるレーザ視準校正システムを提供すること。
【解決手段】 レーザ視準校正システム１は、視準校正のための誤差６９を算出及び表示する。レーザ視準校正システム１は、レーザユニット１０が配設され、レーザ光線の照準を設定するためのレチクル２０ａを有する照準ユニット２０と、レチクル２０ａに対応するレチクル３０ａを有し、レチクル２０ａがレチクル３０ａと同軸上に配設され、レチクル２０ａとレチクル３０ａとによって照準が設定された状態でレーザ光線を受光する受光ユニット３０と、照準が設定された状態で、受光ユニット３０が受光したレーザ光線の受光ユニット３０における受光位置を基に、レーザ光軸の視準校正のための誤差６９を算出し、算出された誤差を表示する算出表示ユニット５０とを有している。 （もっと読む）

【課題】ノイズ耐性が大きく、比較的短時間で位相つなぎを実行できる２次元位相データの位相つなぎ方法および、これを用いた干渉測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は２次元の位相分布を表す位相データに含まれる位相ジャンプを補正するための位相つなぎ方法であって、ある測定点および該測定点の周囲にある複数の測定点を用いて局所的な近似面を生成する手法を用いて、各測定点に関連した複数の近似面を構築するステップ（ｓ２〜ｓ４）と、隣接する近似面の間に位相ジャンプがある場合、一方の近似面に対して位相２πを加算または減算することによって近似面の位相つなぎを行い、参照近似面を生成するステップ（ｓ５）と、参照近似面と該参照近似面の生成に使用した測定点との間に位相ジャンプがある場合、この測定点に対して位相２πを加算または減算することによって測定点の位相つなぎを行うステップ（ｓ６〜ｓ９）等を含む。 （もっと読む）

【課題】従来の３次元形状測定装置は複雑で大がかりなものや相当数のカメラを必要とするものが多かった。また、１台のカメラのみを用いた３次元形状測定装置で、精度良く測定対象物の形状を検出するものが見られなかった。
【解決手段】以上の課題を解決するため、回転テーブルの上に載置された測定物体が撮影された動画像を取得し、取得した動画象から得られる測定物体の特徴点の投影回転軌跡や投影回転中心の２次元投影座標等のデータに基づいて特徴点の回転半径、回転中心高度、特徴点間の角度を検出し、３次元位置データを出力可能な３次元形状測定装置、３次元形状測定方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】設置が容易で被検出体を検出することが可能とすること。
【解決手段】投光ヘッド４０は、投光軸Ｌ１が上側斜角に設定された拡散光Ｐ１をスリット４０ｂから出射する。受光ヘッド５０は、スリット５０ｂに対して、受光軸Ｌ２が下側斜角に設定され先端面からの距離に比例して上下方向の幅が広くなる受光領域Ａ１の光を入射する。そして、投光ヘッド４０及び受光ヘッド５０により形成される検出領域は、長方形状の範囲となり、検出領域の中心軸は、水平方向に沿って延び、平に搬送される板状のワークの板面と平行となる。 （もっと読む）

【課題】搬送する物品の載置状態や搬送速度が一定でない場合でもそれに影響されることなく、搬送中の物品の寸法を正しく測定することができる寸法測定装置を提供する。
【解決手段】物品を搬送する搬送装置を備えた寸法測定装置であって、前記搬送装置の搬送方向に沿って所定間隔をおいて配置され、該搬送装置で搬送される物品を検出する複数個の物品検出センサと、前記搬送中の物品の所定位置の両側端部を検出する側端部検出センサと、前記側端部検出センサの一定時間間隔で検出した信号について、一つの物品検出センサが物品を検出してから次の物品検出センサが前記物品を検出するまでの信号を前記の物品検出センサ間の距離に応じた位置に記憶し、少なくとも物品の側端部を前記側端部検出センサが検出しなくなるまで記憶するメモリと、前記メモリのデータから物品の外形寸法を算出する寸法算出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
従来のレーザーを用いた距離測定方法は、出射したレーザー光が被測定物で反射して戻って来る迄の時間を計って測距するものである。そのため測距精度はレーザー光の波長には遠く及ばない。また、レーザー光の特徴である可干渉性を利用した測定方法では、距離の変化量は波長程度の誤差で測定できるが、距離は分らない。
【解決手段】
本発明はレーザーの特徴である可干渉性を利用し、測距精度を波長程度、あるいは位相を考慮する事により波長以下にまで高めるものであり、その方法は発振波長の異なる２つ以上のレーザー光を用い、それぞれを参照光と測定光に分け、参照光と測距物から反射して来た測定光を干渉させ、参照光或いは測定光の伝播距離を変化させる事により光路差を変えていくとそれぞれのレーザー光はそれぞれの周期で干渉による明暗をつくるので重ね合わせた明暗の間隔を測ることによって測距物までの距離を知るものである。 （もっと読む）

【課題】プロファイルラインの指定と関心領域の指定との相互間の位置関係を容易に把握できるようにする。
【解決手段】画像表示領域１０８での試料の平面画像の表示に対してなされる、試料のプロファイルを表すプロファイル画像における当該プロファイルの表示範囲の指定を、演算部１０３が取得する。プロファイル描画部１０５は、当該表示範囲のプロファイル画像をプロファイル表示領域１０９に表示させる。演算部１０３は、画像表示領域１０８での平面画像の表示に対してなされる関心領域の指定を取得し、プロファイル描画部１０５でのプロファイル画像での表示において、当該関心領域に対応する範囲を判別する。プロファイル描画部１０５は、プロファイル表示領域１０９でのプロファイル画像における、当該関心領域の範囲内の画像と当該範囲外の画像とを、異なる態様にして表示させる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸回りの微小角度変位量の測定が可能な多自由度軸角度センサを提供する。
【解決手段】光検出素子が、１対の非分割型の単素子ＰＤ（フォトダイオード）３ａ，３ｂを有している。一方の単素子ＰＤ３ｂは、その受光面の一部に光スポット３ｂｓが入射するように、光ビーム分割用光学素子により分けられたレーザ光源２からの一方の光ビームにより定義される光軸９ｂから、ＰＤ受光面の長さ以下のオフセット量を与えて配置されている。他方の単素子ＰＤ３ａは、位置の変化による光強度変化量の検出用として光スポット３ａｓの大きさよりも十分に大きな素子サイズを有している。単素子ＰＤ３ａは、光ビーム分割用光学素子により分けられたレーザ光源２からの他方の光ビームにより規定される光軸９ａに沿って配置されている。単素子ＰＤ３ａは、光強度変化の正規化のための光量モニタリング用として設けられている。 （もっと読む）

【課題】より迅速に対象までの距離を算出する。
【解決手段】レーザー光源２ａ、２ｂ、２ｃからスクリーン１００に向かってレーザー光Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃを同時に照射させる（ステップＳ１）。このように、レーザー光源２ａ、２ｂ、２ｃからレーザー光Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃを同時に照射させことから、後述するスクリーン１００までの距離やスクリーン１００の角度をより迅速に測定することができる。そしてステップＳ５においては、位相差検出回路５ａ、５ｂ、５ｃを動作させて、レーザー光Ｌａ、Ｌｂ、Ｌｃと反射光成分Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃとの位相差を検出し、各位相差に基づき、各距離を算出する（ステップＳ６）。また、これらの距離を用いてスクリーンの角度の角度を算出し（ステップＳ７）台形補正を実行する（ステップＳ８）。 （もっと読む）

計測システムの照明サブシステム、計測システム、および計測測定のために試験片を照明するための方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】白色干渉を用いた被測定物の表面高さの測定において、短時間で測定光束の焦点位置を調節可能な寸法測定装置を提供する。
【解決手段】寸法測定装置１は、白色光源２と、白色光源２から放射された光を、被測定物の表面高さに応じた光路長を有する測定光束と参照光束とに分割する光線分割素子３と、光線分割素子３から出射された参照光束の光路長を変化させる参照光走査光学系５と、測定光束内に配置された焦点可変レンズ４１と、測定光束の光路長と参照光束の光路長が略等しい場合に生じる干渉信号を検出し、その干渉信号に対応する信号を出力する検出器６と、参照光束の光路長と測定光束の光路長が等しいときに測定光束が反射される位置において測定光束が焦点を結ぶように、焦点可変レンズ４１の焦点距離を調節し、かつ干渉信号の最大値に対応する参照光束の光路長を求めることにより、被測定物の表面高さを求めるコントローラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】被加工物の上面高さ位置を検出しつつ加工用のレーザー光線の集光点位置を追随させることができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】集光器７によって集光される加工用レーザー光線の集光点位置を変位せしめる集光点位置調整手段と、高さ位置検出手段８からの検出信号に基いて該集光点位置調整手段を制御する制御手段とを具備し、高さ位置検出装置８は検出用レーザー光線をのスポット形状を環状に形成する環状スポット形成手段８２と、チャックテーブルに保持された被加工物の上面で反射した反射光は通過させるが被加工物の下面で反射した反射光は遮断するピンホールマスク８４と、ピンホールマスク８４を通過した反射光を分析し分析結果を該制御手段に送る反射光分析手段８５とを具備ており、集光器７は対物レンズ７２と、加工用レーザー光線は集光しないがスポット形状が環状の検出用レーザー光線は集光するウインドウレンズ７３を備えている。 （もっと読む）

【課題】比較的小型の遮蔽部材を用いることができるとともに、遮蔽部材の周りに遮蔽部材との干渉を避けるための過大な空きスペースを確保する必要がなく、かつ、監視方向以外からの赤外線の入射を避けることができる赤外線監視装置を提供すること。
【解決手段】赤外線監視装置Ｓにおいて、焦電センサ２に対向するフレネルレンズからなる集光レンズ部３２には３つの監視方向の各々に対応する３つの入射領域３２ａ、３２ｂ、３２ｃが設定され、集光レンズ部３２の近傍位置では、２つの入射領域を遮蔽可能な遮蔽部材４が配置されている。遮蔽部材４は、端部の１つの入射領域のみを開状態とする第１モードと、および連続する２つの入射領域を同時に開状態とした第２モードとを実現し、焦電センサ２での受光結果、および遮蔽部材４の位置情報に基づいて、いずれの入射領域から焦電センサ２に赤外線が入射したか否かを判定する。 （もっと読む）